JP5483163B2 - レーザガス分析装置 - Google Patents
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Description
これらの図において、光学ユニット20に配置されたレーザ光源からの光は光ファイバ23および光ファイバコネクタ24を介して計測セル25に入射する。
(1)測定ガス中に汚れが混在する場合、測定ガス中の汚れが光学ミラーや光透過性窓に付着するため反射率や透過率が低下し、感度低下を引き起こす。
内周が鏡面加工された外管と、所定の箇所に複数の貫通孔が形成され前記外管の内周との間に等間隔の空間を保って配置された内管と、前記外管に形成されたパージガス導入口及びパージガス排出口と、前記外管に直接取付けられ前記内管内に所定の角度でレーザ光を出射するレーザ出射手段と、前記内管内に出射されたレーザ光が前記鏡面加工された面で反射した光を受光する前記外管に直接取付けられた受光手段と、を備え、
前記複数の貫通孔の一つ(第1貫通孔)は所定の角度で出射されたレーザ光を入射する位置に形成され、他の貫通孔の一つ(第2貫通孔)は前記鏡面加工された面で所定の角度で反射し前記第1貫通孔から出射したレーザ光を入射する位置に形成され、他の貫通孔の一つ(第3貫通孔)は前記鏡面加工された面で所定の角度で反射し前記第2貫通孔から出射したレーザ光を入射する位置に形成されており、前記受光手段は前記複数の貫通孔を介して前記鏡面加工面で反射したレーザ光を受光するように構成したことを特徴とする。
前記レーザ出射手段はレーザダイオードであることを特徴とする。
前記受光手段はフォトダイオードであることを特徴とする。
図1(a,b)において、Aで示す部分はレーザガス分析装置の設置区間であり、測定ガスが流れる管路1の途中に分析装置の両端に固定されたフランジ2により挟まれて取付けられている。3は電気信号を送信するための端子箱である。
上述の構成において、レーザ光出射手段であるLDから出射したレーザ光は内管5に形
成された貫通孔8aを通って測定ガスが流れる内管5内に入り、対向する側の内管5に形成された貫通孔8bを通って外管4の内面に施された鏡面Cで反射する。
測定ガスが流れている間は外管4と内管5の間に形成された空間Bにパージガス導入口6から内管5内を流れるガスの圧力と同じか若しくは僅かに高い圧力のパージガスが供給されパージガス排出口7から排出されている。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
2,30 フランジ
3 端子箱
4 外管
5 内管
6 パージガス導入口
7 パージガス排出口
8 貫通孔
20 光学ユニット
21 制御/解析部
22 解析用PC
23 光ファイバ
24 光ファイバコネクタ
25 計測セル
26 光学ミラー
27 受光部
28 ガス通貨孔
29 センサ部
Claims (3)
- 内周が鏡面加工された外管と、所定の箇所に複数の貫通孔が形成され前記外管の内周との間に等間隔の空間を保って配置された内管と、前記外管に形成されたパージガス導入口及びパージガス排出口と、前記外管に直接取付けられ前記内管内に所定の角度でレーザ光を出射するレーザ出射手段と、前記内管内に出射されたレーザ光が前記鏡面加工された面で反射した光を受光する前記外管に直接取付けられた受光手段と、を備え、
前記複数の貫通孔の一つ(第1貫通孔)は所定の角度で出射されたレーザ光を入射する位置に形成され、他の貫通孔の一つ(第2貫通孔)は前記鏡面加工された面で所定の角度で反射し前記第1貫通孔から出射したレーザ光を入射する位置に形成され、他の貫通孔の一つ(第3貫通孔)は前記鏡面加工された面で所定の角度で反射し前記第2貫通孔から出射したレーザ光を入射する位置に形成されており、前記受光手段は前記複数の貫通孔を介して前記鏡面加工面で反射したレーザ光を受光するように構成し、前記空間に流すパージガスの圧力は前記内管内を流れるガスの圧力と同じか若しくは高い圧力としたことを特徴とするレーザガス分析装置。 - 前記レーザ出射手段はレーザダイオードであることを特徴とする請求項1に記載のレーザガス分析装置。
- 前記受光手段はフォトダイオードであることを特徴とする請求項1に記載のレーザガス分析装置。
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JP2009150726A JP5483163B2 (ja) | 2009-06-25 | 2009-06-25 | レーザガス分析装置 |
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JP2009150726A JP5483163B2 (ja) | 2009-06-25 | 2009-06-25 | レーザガス分析装置 |
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JP2011007602A JP2011007602A (ja) | 2011-01-13 |
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2009
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