JP3797935B2 - 光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置 - Google Patents
光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP3797935B2 JP3797935B2 JP2002016863A JP2002016863A JP3797935B2 JP 3797935 B2 JP3797935 B2 JP 3797935B2 JP 2002016863 A JP2002016863 A JP 2002016863A JP 2002016863 A JP2002016863 A JP 2002016863A JP 3797935 B2 JP3797935 B2 JP 3797935B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- housing
- purge fluid
- lead
- light
- optical fiber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000000428 dust Substances 0.000 title claims description 76
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 title claims description 22
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 165
- 238000010926 purge Methods 0.000 claims description 121
- 239000013307 optical fiber Substances 0.000 claims description 84
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 39
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 39
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 37
- 239000000835 fiber Substances 0.000 claims description 28
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 21
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 7
- 230000002265 prevention Effects 0.000 claims description 6
- 238000000605 extraction Methods 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 8
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 230000008859 change Effects 0.000 description 5
- 239000002737 fuel gas Substances 0.000 description 4
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 3
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 description 1
- 230000001154 acute effect Effects 0.000 description 1
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000008569 process Effects 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Optical Measuring Cells (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、光ファイバを用いて光を伝送する光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、流体中に含まれたダストの濃度を測定するためにダスト測定装置が用いられ、このようなダスト測定装置として、例えば、光の散乱を利用した光散乱方式のものが知られている。この種のダスト測定装置は、流体流路中に挿入される検知部ハウジングを備え、検知部ハウジングには照射部及び受光部が設けられている。照射手段からの光は照射部の照射開口を通して測定領域に照射され、また測定領域からの被検知光は受光部の受光開口を通して受光手段に受光され、受光手段の受光量に基づいて、流体中に含まれるダスト濃度が計測される。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
このようなダスト測定装置では、流体流路の所定部位を流れるダスト濃度を測定するには、この所定部位にダスト測定装置の測定部位、即ち検知部ハウジングの照射部及び受光部の付近を位置付ける必要がある。ところが、従来のダスト測定装置では、検知部ハウジングの長さが一定であり、小径の流路を流れる流体中のダスト濃度を測定するもの、即ち検知部ハウジングの長さの小さいものでは、大径の流路を流れる流体中のダスト濃度を測定するのは難しく、一方、大径の流路を流れる流体中のダスト濃度を測定するもの、即ち検知部ハウジングの長さが長いものでは、小径の流路を流れる流体中のダスト濃度を測定するのが難しく、流体が流れる流路径の大きさに適する複数種類の検知部ハウジングのものを用意しなければならないという問題がある。
【0004】
本発明の目的は、小径から大径の広い範囲の流路において、流体中に含まれたダストの濃度を正確に測定することができるダスト測定装置を提供することである。
【0005】
本発明の他の目的はダスト測定装置等に好都合に適用することができる光伝送構造を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明は、流体流路に挿入される挿入部ハウジングと、光を伝送するための光ファイバと、前記挿入部ハウジングからの前記光ファイバを外部に導出するための導出ハウジングと、を備え、
前記導出ハウジングには、前記光ファイバを収容するためのファイバ収容部が設けられており、
前記挿入部ハウジングの長さを短くすると、前記光ファイバの一部が前記導出ハウジングの前記ファイバ収容部に湾曲した状態で収容され、前記挿入部ハウジングの長さを長くすると、前記ファイバ収容部に収容された前記光ファイバの湾曲した一部が前記ファイバ収容部から引き出されることを特徴とする光伝送構造である。
【0007】
本発明に従えば、流体流路に挿入される挿入部ハウジングから光ファイバが延び、この光ファイバは導出ハウジングを通して外部に導出される。挿入部ハウジングは長さが調整できるように構成され、このことに関連して、この導出ハウジングにはファイバ収容部が設けられている。そして、挿入部ハウジングの長さを短くすると、光ファイバの一部はファイバ収容部に湾曲した状態で収容され、また挿入部ハウジングの長さを長くすると、ファイバ収容部に収容された光ファイバの一部が引き出される。このように挿入部ハウジングの長さが調整できるので、小径及び大径の流路であっても挿入部ハウジングを流路の所定部位に挿入することができる。また、光ファイバは継ぎ足すことがないので、光の伝送を確実に行うことができる。例えば、ダスト測定装置に適用した場合、挿入部ハウジングの長さに関係なく、照射光及び/又は被検知光の伝送を同じ条件で行うことができる。尚、挿入部ハウジングは、複数のハウジング部を継ぎ足すようにしてもよく、或いは、スライド自在に伸縮するようにしてもよい。
【0008】
また、本発明では、前記挿入部ハウジングは、光を照射する照射開口及び/又は光を受光する受光開口が設けられた第1ハウジング部と、前記第1ハウジング部の基部に着脱自在に連結される第2ハウジング部とを備え、前記第1ハウジング部の基部には、前記導出ハウジング及び前記第2ハウジング部が選択的に着脱自在に連結され、前記第2ハウジング部の基部には、前記導出ハウジングが着脱自在に装着されることを特徴とする。
【0009】
本発明に従えば、挿入部ハウジングは第1及び第2ハウジング部から構成され、第1ハウジング部には照射開口及び/又は受光開口が設けられている。この第1ハウジング部の基部には第2ハウジング部及び導出ハウジングが選択的に着脱自在に連結され、第2ハウジング部の基部には導出ハウジングが着脱自在に連結される。従って、挿入部ハウジングの長さを短くするときには、第1ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結すればよく、このような連結状態では、挿入部ハウジングを小径流路の所定部位に挿入するのに好都合である。また、挿入部ハウジングの長さを長くするときには、第1ハウジング部の基部に第2ハウジング部を連結し、この第2ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結すればよく、このような連結状態では、挿入部ハウジングを大径流路の所定部位に挿入するのに好都合である。
【0010】
また、本発明では、前記照射開口及び/又は前記受光開口には照射口カバー及び/又は受光口カバーが設けられ、前記照射口カバー及び/又は受光口カバーの表面に向けてパージ流体を噴出する噴出手段が設けられており、また前記挿入部ハウジングの前記第1ハウジング部内には、パージ流体を前記噴出手段に送給するためのパージ流体送給流路が設けられ、前記挿入部ハウジングの前記第2ハウジング部内には、前記パージ流体流路に接続されるパージ流体延長流路が設けられ、更に、前記導出ハウジングにはパージ流体が流入する流入流路が設けられており、
前記挿入ハウジングの前記第1ハウジング部の基部に前記導出ハウジングを連結すると、前記導出ハウジングの前記流入流路と前記第1ハウジング部の前記パージ流体流路とが接続され、前記挿入部ハウジングの前記第1ハウジング部に前記第2ハウジング部を連結するとともに、前記第2ハウジング部に前記導出ハウジングを連結すると、前記第1ハウジング部の前記パージ流体流路と前記第2ハウジング部の前記パージ流体延長流路とが接続されるとともに、前記第2ハウジング部の前記パージ流体延長流路と前記導出ハウジングの前記流入流路とが接続されることを特徴とする。
【0011】
本発明に従えば、挿入部ハウジングの第1ハウジング部には、照射開口及び/又は受光開口に設けられた照射口カバー及び/又は受光口カバーに向けてパージ流体を噴出する噴出手段が設けられている。この第1ハウジング部内には、パージ流体を噴出手段に送給するためのパージ流体送給流路が設けられ、第2ハウジング部内にはパージ流体延長流路が設けられ、更に、導出ハウジングにはパージ流体が流入する流入流路が設けられている。第1ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結すると、第1ハウジング部のパージ流体送給流路と導出ハウジングの流入流路とが接続され、流入流路からのパージ流体はパージ流体送給流路を通して噴出手段に送給される。また、第1ハウジング部の基部に第2ハウジング部を連結するとともに、第2ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結すると、第1ハウジング部のパージ流体送給流路と第2ハウジング部のパージ流体延長流路とが接続されるとともに、このパージ流体延長流路と導出ハウジングの流入流路とが接続され、流入流路からのパージ流体はパージ流体延長流路及びパージ流体送給流路を通して噴出手段に送給される。
【0012】
また、本発明では、前記導出ハウジングの前記ファイバ収容部には、前記光ファイバを湾曲した状態に所要の通りに保持するための折損防止部材が設けられていることを特徴とする。
【0013】
本発明に従えば、ファイバ収容部に折損防止部材が設けられているので、光ファイバの一部を折損防止部材に掛けることによって、光ファイバを所要の湾曲した状態に保持することができ、この光ファイバの破損を防止することができる。
【0014】
更に、本発明は、請求項1〜4のいずれかに記載の光伝送構造を備え、前記挿入部ハウジングは、照射開口及び受光開口を有する検知部ハウジングであり、前記光ファイバは、前記照射開口に測定光を伝送するための第1光ファイバ及び前記受光開口を通して受光した被検知光を伝送するための第2光ファイバを含み、前記導出ハウジングの前記ファイバ収容部には、前記第1及び第2光ファイバの一部が湾曲した状態で収容されることを特徴とするダスト測定装置である。
【0015】
本発明に従えば、上述した光伝送構造が照射開口及び受光開口を有する検知部ハウジングを備えたダスト測定装置に適用され、照射開口に測定光を伝送するための第1光ファイバと、受光開口を通して受光した被検知光を伝送するための第2光ファイバとが用いられ、導出ハウジングのファイバ収容部には第1及び第2光ファイバの一部が湾曲した状態に収容される。このようなダスト測定装置では、検知部ハウジングの長さが変化しても、第1及び第2光ファイバの長さ、接続状態等が変化せず、従って、第1及び第2光ファイバにおける光の伝送が変化せず、ダストを正確に測定することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して、本発明に従う光伝送構造を適用したダスト測定装置の一実施形態について説明する。図1は、光伝送構造を備えたダスト測定装置の全体を示す概略図であり、図2は、図1のダスト測定装置の一部を示す部分断面図であり、図3は、図1のダスト測定装置の照射部及び受光部付近を示す部分断面図であり、図4は、図1のダスト測定装置の受光部を拡大して示す部分拡大断面図であり、図5は、図1のダスト測定装置の検知部ハウジングの第1ハウジング部に導出ハウジングを連結した状態を示す部分断面図であり、図6は、検知部ハウジングの第2ハウジング部を示す断面図であり、図7は、図1のダスト測定装置の第1ハウジング部に第2ハウジング部を連結する前の状態を示す部分断面図であり、図8は、第1ハウジング部に第2ハウジング部を連結した状態を示す部分断面図である。
【0017】
図1において、図示のダスト測定装置は、配管2により規定された流体流路4を流れる流体に含まれた粉塵等のダスト6の濃度を測定するために用いられる。このダスト測定装置は、流体流路4に挿入される挿入部ハウジングを構成する円筒状の検知部ハウジング8を備え、この検知部ハウジング8の先端側が、例えば、配管2の所定部位に設けられたボールバルブ部10及びガスシール部12を通して流体流路4内に挿入される。流体流路4には、流体としての燃料用ガス、例えば高圧(例えば4MPa)の都市ガスが矢印で示す方向に流れており、ダスト測定装置は、このように流れる燃料用ガス中のダスト濃度を測定するのに好都合に用いることができるが、一般的なガスに含まれたダストの濃度を測定するのにも広く用いることができる。
【0018】
図2及び図3をも参照して、この形態では、検知部ハウジング8は、第1ハウジング部11と、この第1ハウジング部11の基部に着脱自在に装着される第2ハウジング部13とから構成され、比較的小径の流路を流れる流体中のダストの濃度を測定するときには、検知部ハウジング8は第1ハウジング部11から構成され、この第1ハウジング部11の基部に導出ハウジング15が着脱自在に装着され(図2、図5参照)、また比較的大径の流路を流れる流体中のダストの濃度を測定するときには、第1ハウジング部11の基部に第2ハウジング部13(図6参照)が着脱自在に装着され、検知部ハウジング8は第1及び第2ハウジング部11,13から構成され(図7及び図8参照)、この第2ハウジング部13の基部に導出ハウジング15が着脱自在に装着される。
【0019】
まず、第1ハウジング部11について説明すると、この第1ハウジング部11の先端部の所定部位には凹部17が設けられ、この凹部17の片側に照射部14が設けられ、その他側に受光部16が設けられている。第1ハウジング部11の照射部14には照射開口18が設けられ、この照射開口18に照射口カバー20が装着されている。また、検知部ハウジング8の受光部16には受光開口22が設けられ、この受光開口22に受光口カバー24が装着されている。照射口カバー20及び受光口カバー24はガラス等の透明な材料から形成され、照射口カバー20及び受光口カバー24によって、照射開口18及び受光開口22が密封される。
【0020】
ダスト測定装置は、検知部ハウジング8と分離した測定装置本体26を備えている。測定装置本体26には、光を発光するための発光源28と、後述する被検知光を受光するための受光素子30と、受光素子30により受光された被検知光を所要の通りに演算処理するためのダスト濃度演算手段32が内蔵されている。発光源28は、例えばレーザ発振素子から構成され、近赤外線レーザ光を発光する。尚、指向性の強い他の光を発光する発光源を用いるようにしてもよい。また、受光素子30は、例えばCCDから構成され、被検知光を受光する。ダスト濃度演算手段32は、例えばマイクロコンピュータから構成され、受光素子30からの受光信号を演算処理して流体中に含まれたダストの濃度を算出する。流体中に含まれているダスト量と被検知光とは所定の関係があり、ダスト量が多い(又は少ない)と、ダストによる光の散乱が多く(又は小さく)、従って、測定領域50からの散乱光が明るく(又は暗く)、受光素子30に受光される受光量が大きく(又は小さく)なり、このような関係を利用してダスト濃度演算手段32はダスト濃度を算出する。
【0021】
この測定装置本体26には、印刷装置34及び表示装置36が付設されており、印刷装置34は、ダスト濃度演算手段32により算出したダスト濃度を印刷し、また表示装置36は、算出したダスト濃度を表示する。
【0022】
この測定装置本体26と検知部ハウジング8とは、光伝送構造の一部を構成する第1及び第2光ファイバ38,40を介して接続され、第1及び第2光ファイバ38,40は、導出ハウジング15を通して後述する如く検知部ハウジング8に導入される。第1光ファイバ38は、発光源28からの光を導出ハウジングを通して第1ハウジング部11の照射部14に導き、第2光ファイバ40は、第2ハウジング部13の受光部16からの被検知光を導出ハウジング15を通して受光素子30に導く。このように構成されているので、発光源28及び第1光ファイバ38は、照射光を照射するための照射手段を構成し、第2光ファイバ40及び受光素子30は被検知光を受光するための受光手段を構成する。
【0023】
主として図3を参照して、第1ハウジング部11の凹部17の片側には、この第1ハウジング部11内に第1閉塞部材42が装着され、この第1閉塞部材42にファイバ保持部材44が螺着され、このファイバ保持部材44内に第1光ファイバ38の先端部が位置付け保持されている。このファイバ保持部材44の先端部には照射開口18を規定する凹部が設けられ、かかる凹部に照射口カバー20が装着されている。この照射口カバー20の表面側には第1カバー取付部材46が配設され、この第1カバー取付部材46を通して取付ねじ(図示せず)を第1閉塞部材42螺着することによって、照射口カバー20が照射開口18に押圧保持される。この第1カバー取付部材46の中央部には円形状の開口48が設けられている。かく構成されているので、発光源28からの光は、第1光ファイバ38を通ってその先端面から投射され、ファイバ保持部材44内の空間、照射口カバー20及び第1カバー取付部材46の開口48を通して流体流路4内の測定領域50に向けて照射される。
【0024】
また、第1ハウジング部11の凹部17の他側には、この第1ハウジング部11内に第2閉塞部材52が装着され、この第2閉塞部材52に集光レンズ54及び反射鏡56が装着されているとともに、第2光ファイバ40の先端部が装着されている。第2閉塞部材52の所定部位にはレンズ支持スリーブ58が螺着され、このレンズ支持スリーブ58の一端部を覆うようにカバー保持部材60が螺着され、レンズ支持スリーブ58の一端とカバー保持部材60の中間段部との間にOリング62を介して集光レンズ54が装着されている。このカバー保持部材60の先端部には受光開口22を規定する凹部が設けられ、かかる凹部に受光口カバー24が装着されている。この受光口カバー24の表面側には、照射口カバー20側と同様に、第2カバー取付部材64が配設され、この第2カバー取付部材64を通して取付ねじ(図示せず)を第2閉塞部材52に螺着することによって、受光口カバー24が受光開口22に押圧保持される。この第2カバー取付部材64の中央部には円形状の開口66が設けられている。
【0025】
更に、第2閉塞部材52の所定部位には切欠き67が設けられ、この切欠き67内に反射面が突出するように反射鏡56が第2閉塞部材52に取り付けられている。この形態では、反射鏡56が鏡支持部材68に取り付けられており、第2閉塞部材52に設けられた挿入孔を通して反射鏡56の先端側を挿入し、この鏡支持部材68を固定用ねじ70により第2閉塞部材52の裏面に取り付けることにより、反射鏡56が取り付けられる。また、第2閉塞部材52にはファイバ挿入孔72が設けられ、第2光ファイバ40の先端部はこのファイバ挿入孔72に挿入保持され、保持ホルダ74により保持されている。また、第1閉塞部材42と第2閉塞部材52との間にはカバースリーブ76が取り付けられ、このカバースリーブ76内を通して第2光ファイバ40が第2閉塞部材52に延びている。
【0026】
かく構成されているので、測定領域50のダストにより散乱された被検知光は、第2カバー取付部材64の開口66、受光口カバー24、カバー保持部材60の内部空間、集光レンズ54、レンズ支持スリーブ58の内部空間、第2閉塞部材52の孔77及び切欠き67を通して反射鏡56に至り、この反射鏡56の反射面で反射された後、切欠き67を通して第2光ファイバ40の先端面に受光され、かく受光された被検知光は、第2光ファイバ40を通して受光素子30に導かれる。このように被検知光が受光されるので、集光レンズ54及び反射鏡56も上記受光手段の一部を構成する。
【0027】
この実施形態では、第1光ファイバ38の先端部は、検知部ハウジング8、即ち第1ハウジング部11の軸線方向(図2及び図3において左右方向)に対して10〜30度の適当な角度、例えば20度傾斜して保持され、従って、第1光ファイバ38からの照射光は、上記軸線方向に対して例えば20度傾斜した角度で照射される。また、集光レンズ54を通る光軸は、検知部ハウジング8、即ち第1ハウジング部の軸線方向に対して10〜30度の適当な角度、例えば20度傾斜し、また第2光ファイバ40の先端部は検知部ハウジング8の上記軸線方向に延びており、従って、測定領域50から上記光軸方向への散乱光、即ち被検知光は、反射鏡56の反射面で検知部ハウジング8の上記軸線方向に反射された後に第2光ファイバ40に導かれる。このように照射部14からの照射角度及び受光部16の光軸角度を第1ハウジング部11の軸線に対して所定角度傾斜させることによって、照射部14からの照射光が直接的に受光部16に受光されることがなく、測定領域50における散乱光のみが被検知光として受光部16に受光されるようになり、これにより流体中のダスト濃度を正確に測定することができる。また、受光部16にて受光された被検知光を反射鏡56により反射させているので、この被検知光を鋭角に反対方向に導いて第2光ファイバ40の先端面に到達させることができ、これにより、検知部ハウジング8の外形を小さくすることが可能となり、その小型化、軽量化を達成することができる。尚、この形態では、検知部ハウジング8の凹部17の軸線方向中央部には、外方に突出する遮光板80が設けられている。この遮光板80は、照射部14から照射された照射光が受光部16に直接的に受光されるのを防止する。
【0028】
このダスト測定装置には、更に、照射部14の照射面(照射口カバー20の表面)及び受光部16の受光面(受光口カバー24の表面)にダストが付着するのを防止するためのパージ流体噴出構造が採用されている。図示のパージ流体噴出構造は、照射部14の照射面にパージ流体を噴出する第1噴出手段と、この第1噴出手段にパージ流体を送給するための第1パージ流体送給手段82と、受光部16の受光面にパージ流体を噴出する第2噴出手段と、この第2噴出手段にパージ流体を送給するための第2パージ流体送給手段84とを含んでいる。この実施形態では、第1カバー取付部材46が後述するように第1噴出手段として機能し、第1パージ流体送給手段82が第1パージ流体送給流路86を備え、第1パージ流体送給流路86が第1カバー取付部材46まで延びている。また、第2カバー取付部材64が後述するように第2噴出手段として機能し、第2パージ流体送給手段84が第2パージ流体送給流路88を備え、第2パージ流体送給流路88が第2カバー取付部材64まで延びている。
【0029】
また、第1及び第2パージ流体送給流路86,88は、双方の送給流路として機能する主パージ流体送給流路90に合流しており、この主パージ流体送給流路90が第1ハウジング部11の基部まで延びており、かかる主パージ流体送給流路90が後述するようにパージ流体供給源92に接続される。パージ流体供給源92は例えば流体タンクから構成され、この流体タンク内に流体流路4を通して流れる流体と実質上同じ成分の流体が充填され、かく充填されたパージ流体が後述する如くパージ供給される。流体流路4を通して燃料用ガス、例えば都市ガスが流れる場合、パージ流体供給源92から実質上同じ成分の燃料用ガス、例えば都市ガスがパージ供給され、かくパージ供給することによって、パージ流体が添加されても流体流路4を流れる流体の成分が変化することがなく、流体流路4を流れる燃料用ガスの燃焼熱量を一定に保つことができる。
【0030】
この実施形態では、主パージ流体送給流路90は、第1閉塞部材42に形成された環状流路96と、この環状流路96から延びる流路98と、第1閉塞部材42に装着された接続部材100の流路102と、検知部ハウジング8の端部部材104に形成された流路106と、端部部材104と接続部材100との間に配設された接続パイプ112の流路114と、を含み、この端部部材104の流路106が後述するようにしてパージ流体供給源92に接続される。
【0031】
また、第1パージ流体送給流路86は、第1閉塞部材42に形成された流路120を含み、この流路120が上記環状流路96から第1カバー取付部材46まで延びている。更に、第2パージ流体送給流路88は、第1閉塞部材42の環状流路96から延びる流路122と、第1閉塞部材42に装着された短接続部材124の流路126と、第2閉塞部材52に装着された短接続部材128の流路130と、短接続部材124,128間に配設された接続パイプ132の流路134と、第2閉塞部材52の流路136と、その環状流路138と、この環状流路138から第2カバー取付部材64まで延びる流路140と、を含んでいる。このように構成されているので、パージ流体供給源92からのパージ流体は、主パージ流体送給流路90を通して第1閉塞部材42の環状流路96に流れ、この環状流路96から第1パージ流体送給流路86を通して第1カバー取付部材46に流れるとともに、第2パージ流体送給流路88を通して第2カバー取付部材64に流れる。
【0032】
この実施形態では、主パージ流体送給流路90に逆止弁146が配設されている。この逆止弁146は、球状の弁体148と、この弁体148を押圧する押圧部材150と、押圧部材150に作用するコイルばね152から構成され、コイルばね152は、押圧部材150を介して弁体148を閉方向(図2において左方)に弾性的に偏倚する。このように逆止弁146を設けることによって、主パージ流体送給流路90を通しての流体の逆流が防止され、流体流路4を流れる流体が第1パージ流体送給流路86及び/又は第2パージ流体送給流路88を通してパージ流体供給源92側に逆流することが防止される。また、図示の形態では、押圧部材150の片側(弁体148に作用する面とは反対側)に軸部が設けられ、この軸部を被嵌するようにコイルばね152が装着されており、このように構成することによって、コイルばね152の偏倚力が押圧部材150を介して弁体148に安定的に作用し、かくして、主パージ流体送給流路90を通しての流体の逆流をより確実に防止することができる。
【0033】
第1及び第2パージ流体送給流路86,88を流れるパージ流体は、次のようにして照射口カバー20の照射面及び受光口カバー24の受光面に向けて噴出される。第1及び第2噴出手段を構成する第1及び第2カバー取付部材46,64は実質上同一の構成であり、以下、主として図4を参照して、第2カバー取付部材64(第1カバー取付部材46)及びそれに関連する構成について説明する。
【0034】
受光口カバー24(照射口カバー20)の受光面(照射面)側に取り付けられる第2カバー取付部材64(第1カバー取付部材46)は、外周壁162と、この外周壁162の先端部から受光面(照射面)に向けて半径方向内方に傾斜して延びる内周壁164とを有し、外周壁162が第2閉塞部材52(第1閉塞部材42)に当接するように装着される。この取付状態においては、内周壁164の先端部が受光口カバー24(照射口カバー20)の受光面(照射面)を押圧し、受光口カバー24(照射口カバー20)は受光開口24(照射開口18)に押圧保持される。
【0035】
この第2カバー取付部材64(第1カバー取付部材46)の外周壁162と内周壁164との間には第2環状空間166(第1環状空間)が規定され、かかる第2環状空間166(第1環状空間)が第2パージ流体送給流路88(第1パージ流体送給流路86)に連通している。また、この内周壁164の先端部には、周方向に間隔をおいて複数個の噴出口170が設けられ、これら噴出口170が第2噴出手段(第1噴出手段)の噴出口として機能する。この形態では、噴出口170は矩形状に形成されているが、半円状等の適宜の形状に形成することもできる。
【0036】
このように構成されているので、第2パージ流体送給流路88(第1パージ流体送給流路86)からのパージ流体は、第2噴出手段として機能する第2カバー取付部材64(第1噴出手段として機能する第1カバー取付部材46)の第2環状空間166(第1環状空間)に流れ、この第2環状空間166(第1環状空間)を通して複数個の噴出口170から半径方向内方に受光口カバー24(照射口カバー20)の受光面(照射面)に沿って噴出される。
【0037】
次に、図6を参照して、検知部ハウジング8の第1ハウジング部11の基部(図2、図5、図7及び図8において左端部)に装着される第2ハウジング部13について説明すると、第2ハウジング部13は中空円筒状であり、その先端部には端部部材182が装着され、その他端部には端部部材184が装着され、これら端部部材182,184も第2ハウジング部13の一部を構成している。端部部材182の先端中央部には、一端側に突出する環状突出部186が設けられている。また、他方の端部部材184には取付凹部187が設けられ、この取付凹部187に開口する貫通孔188が設けられている。この第2ハウジング部13の他方の端部部材184は、第1ハウジング部11の端部部材104と実質上同一の構成でよく、逆止弁146を装着しないで用いられる。また、一対の端部部材182,184の間には接続パイプ190が設けられる。このように構成されているので、端部部材184に形成された流路192及び接続パイプ190の流路194がパージ流体延長流路196を構成する。
【0038】
第1ハウジング部11の基部及び第2ハウジング部13の先端部には、解除自在に連結するための連結手段が設けられている。図7及び図8を参照して、図示の連結手段は連結溝200と連結ピン202との組合せから構成され、連結溝200はL字状に形成されている。この形態では、一対の連結溝200が第1ハウジング部11の基部に設けられ、一対の連結ピン202が第2ハウジング部13の先端部に設けられており、一対の連結ピン202を一対の連結溝200に挿入して第1及び第2ハウジング部郡11,13を相対的に所定角度回動することによって、一対の連結ピン202が一対の連結溝200の底部に位置し、これによって、第1及び第2ハウジング部11,13を解除自在に連結される。
【0039】
第1及び第2ハウジング部11,13の基部には、導出ハウジング15を着脱自在に装着することができる。第1及び第2ハウジング部11,13の基部は実質上同一の構成であるので、主として図5を参照して、導出ハウジング15の構成と第1ハウジング部11との連結について説明する。
【0040】
図示の導出ハウジング15は連結ハウジング部204と、この連結ハウジング部204に接続部材206を介して取り付けられた収容ハウジング部208(ファイバ収容部を構成する)とを備え、収容ハウジング部208がファイバ収容部を構成している。更に説明すると、連結ハウジング部204は、貫通孔210を有する連結部材212を備え、この連結部材212の端部に、貫通孔210を閉塞するように閉塞部材214が取付ねじ215により取り付けられている。この連結部材212には、側面に開口する流入流路216が設けられ、かかる流入流路216が接続チューブ等(図示せず)を介してパージ流体供給源92に接続される。連結部材212には、軸線方向(図5において左右方向)に延びる流路218及び環状流路220が形成され、これら流路218,220が送給流路222を構成している。この送給流路222は、後述するように、第1ハウジング部11の基部に導出ハウジング15を装着したときには流入流路216と主パージ流体流路90とを連通し、第2ハウジング部13の基部に装着したときには流入流路216とパージ流体延長流路194とを連通する。この連結部材212の−端部には、第1ハウジング部11の一対の連結溝200とともに連結手段を構成する一対の連結ピン202が設けられている。このことに関連して、第2ハウジング部13の基部には、連結部材212の一対の連結ピン202とともに連結手段を構成する一対の連結溝200(図6参照)が設けられている。
【0041】
接続部材206は中空パイプ状であり、その一端部が取付ねじ224により連結ハウジング部204に取り付けられ、その他端部が取付ボルト226により収容ハウジング部208に取り付けられている。収容ハウジング部208には開口228,230が設けられ、測定装置本体26(図1参照)からの第1及び第2光ファイバ38,40は、開口228を通して収容ハウジング部208内に導入され、それらの一部がこの収容ハウジング部208内に収容される。そして、収容ハウジング部208からの第1及び第2光ファイバ38,40は、開口230を通して導出され、接続部材206の内部空間及び連結ハウジング部204の内部空間(連結部材212の貫通孔210)を通して延びる。
【0042】
収容ハウジング部208内には支持壁232が設けられ、この支持壁232に第1及び第2コネクタ234,236が装着され、第1及び第2光ファイバ38,40は、それらの上流側部と下流側部とが第1及び第2コネクタ234,236で着脱自在に連結されるように構成されている。この実施形態では、第1及び第2光ファイバ38,40の下流側部が第1及び第2コネクタ234,236で取り外し可能に構成されている。検知部ハウジング8の第1ハウジング部11に第2ハウジング部13を取り付ける場合、また第1ハウジング部11から第2ハウジング部13を取り外す場合に、第1及び第2光ファイバ38,40の下流側部を第1及び第2コネクタ234,236から外して取付作業、取外作業が行われる。
【0043】
この収容ハウジング部208内には、図5において左部に、第1光ファイバ38のための折損防止部材238が設けられ、図5において右部に、第2光ファイバ40のための折損防止部材240が設けられている。折損防止部材238,240は略L字状の部材から構成され、図5に示すように、第1及び第2光ファイバ38,40を略同心状に保持するように間隔をおいて複数設けられている。このように折損防止部材238,240を設けることによって、第1及び第2光ファイバ38,40を所定の湾曲した状態に保持することができる。これにより、第1及び第2光ファイバ38,40が大きく折れ曲がることがなく、それらの破損を防止することができる。尚、折損防止部材238,240はこのような構成のものに限定されず、各種形態のものを用いることができる。
【0044】
次に、このダスト測定装置の使用様式について説明する。比較的小径の流体流路4を流れる流体中のダストの濃度を測定する場合、検知部ハウジング8の第1ハウジング部11の基部に導出ハウジング15を装着する。この装着は、導出ハウジング15の先端部の一対の連結ピン202を第1ハウジング部11の基部の一対の連結溝200に挿入し、第1ハウジング部11及び導出ハウジング15を相対的に所定方向に回動すればよく、かく連結操作することによって、第1ハウジング部11及び導出ハウジング15を着脱自在に連結することができる。
【0045】
かく連結すると、図5に示すように、導出ハウジング15の連結部材212に設けられた環状突出部252が第1ハウジング部11の端部部材104に形成された貫通孔254内に挿入され、第1ハウジング部11からの第1及び第2光ファイバ38,40は、第1ハウジング部11の端部部材104の貫通孔254、導出ハウジング15の連結部材212の貫通孔210を通り、接続部材206の内部空間を通って収容ハウジング部208内にて第1及び第2コネクタ238,240に至る。尚、連結操作は、例えば、端部部材104の貫通孔254から延びる状態にて、第1及び第2ファイバ38,40を連結部材212の貫通孔210及び接続部材206の内部空間を通って収容ハウジング部208内に導き、この状態において導出ハウジング15を第1ハウジング部11に取り付け、その後これら光ファイバ38,40を第1及び第2コネクタ238,240に接続することにより行われる。この使用形態においては、容易に理解される如く、検知部ハウジング8の長さが短く、第1及び第2光ファイバ38,40の長さが余分となり、従って、第1及び第2光ファイバ38,40の余った部分が収容ハウジング部208内に折損防止部材238,240に保持された状態で収容される。
【0046】
この連結状態では、また、導出ハウジング15の連結部材212の環状流路220の一部と第1ハウジング部11の端部部材104の流路106とが接続され、導出ハウジング15の流入流路216が送給流路222を介して第1ハウジング部11の主パージ流体送給流路90に連通される。従って、パージ流体供給源92からのパージ流体は、導出ハウジング15の流入流路216及び送給流路222を通して第1ハウジング部11の主パージ流体送給流路90に流れ、この主パージ流体送給流路90から第1パージ流体送給流路86を通して第1噴出手段(第1カバー取付部材46)に送給されるとともに、第2パージ流体送給流路88を通して第2噴出手段(第2カバー取付部材64)に送給される。
【0047】
また、比較的大径の流体流路4を流れる流体中のダストの濃度を測定する場合、検知部ハウジング8の第1ハウジング部11に第2ハウジング部13を縦ぎ足した後に、この第2ハウジング部13の基部に導出ハウジング15を装着する。この装着は、第2ハウジング部13の先端部の−対の連結ピン202を第1ハウジング部11の基部の連結溝200に挿入してこれらを相対的に回動して相互に連結し、次いで、導出ハウジング15の先端部の一対の連結ピン202を第2ハウジング部13の基部の一対の連結溝200に挿入してこれらを相対的に回動して相互に連結する。
【0048】
かく連結すると、第2ハウジング部13の端部部材182に設けられた環状突出部186が第1ハウジング部11の端部部材104の貫通孔254内に挿入される(図8参照)とともに、導出ハウジング15の連結部材212の環状突出部252が第2ハウジング部13の端部部材184の貫通孔88内に挿入され、第1ハウジング部11からの第1及び第2光ファイバ38,40は、第1ハウジング部11の端部部材104の貫通孔254と、第2ハウジング部13の端壁部材186に形成された貫通孔262、その内部空間及び端壁部材184の貫通孔188と、導出ハウジング15の連結部材212の貫通孔210とを通り、更に接続部材206の内部空間を通って収容ハウジング部208内にて第1及び第2コネクタ238,240に至る。尚、このときの連結操作は、例えば、端部部材104の貫通孔254から延びる状態にて第1及び第2光ファイバ38,40を第2ハウジング部13の端部部材184の貫通孔262、その内部空間及び端部部材184の貫通孔188を通し、この状態においてまず第2ハウジング部13を第1ハウジング部11に連結し、次に第1及び第2光ファイバ38,40を導出ハウジング15の連結部材212の貫通孔210及び接続部材206の内部空間を通って収容ハウジング部208内に導き、この状態において導出ハウジング15を第2ハウジング部13に連結し、その後、これら光ファイバ38,40を第1及び第2コネクタ238,240に接続することによって行われる。この使用形態においては、容易に理解される如く、検知部ハウジング8の長さが長く、第1及び第2光ファイバ38,40の長さが余分となることがほとんどなく、従って、短い使用形態において余っていた部分は、収容ハウジング部208内から引き出されて用いられる。このように用いるので、検知部ハウジング8の長さが長くなっても第1及び第2光ファイバ38,40の長さは変わることがなく、その結果、検知ハウジング8の使用形態に関係なく、流体中のダスト濃度を正確に測定することができる。
【0049】
この連結状態では、導出ハウジング15の連結部材212の環状流路220の一部と第2ハウジング部13の端部部材184の流路192とが接続されるとともに、第2ハウジング部13の接続パイプ190の流路194と第1ハウジング部11の端部部材104の流路106とが接続され、導出ハウジング15の流入流路216が送給流路222を介し、第2ハウジング部13のパージ流体延長流196を通して第1ハウジング部11の主パージ流体送給流路90に連通される。従って、パージ流体供給源92からのパージ流体は、導出ハウジング15の流入流路216及び送給流路222並びに第2ハウジング部13のパージ流体延長流路196を通して第1ハウジング部11の主パージ流体送給流路90に流れ、上述したと同様に、主パージ流体送給流路90から第1及び第2噴出手段に送給される。
【0050】
以上、本発明に従うダスト測定装置の一実施形態について説明したが、本発明はかかる実施形態に限定されるものではなく、本発明の範囲を逸脱することなく種々の変形乃至修正が可能である。
【0051】
例えば、図示の実施形態では、第1及び第2カバー取付部材46,64により第1及び第2噴出手段を構成しているが、このような構成に代えて、例えば、第1噴出手段としての第1チューブ(又は第1パイプ)を照射ロカバー20の周囲にリング状に配設するとともに、第2噴出手段としての第2チューブ(又は第2パイプ)を受光ロカバー24の周囲にリング状に配設し、第1及び及び第2チューブ(又は第1及び第2パイプ)に間隔をおいて設けた噴出口からパージ流体を半径方向内方に噴出するようにしてもよく、この場合、第1パージ流体送給手段82を通して流れるパージ流体は第1チューブ(又は第1パイプ)に送給され、第2パージ流体送給手段84を通して流れる流体は第2チューブ(又は第2パイプ)に送給される。
【0052】
また、図示の実施形態では、第1及び第2噴出手投の噴出口を照射ロカバー20及び受光ロカバー24の周方向に間隔をおいて複数個設けているが、このような構成に限定されず、それらの噴出口を周方向に連続する一つの噴出口から構成するようにしてもよく、このような形状の噴出口であってもパージ流体を周方向に実質上均一に噴出させることができる。
【0053】
また、上述した実施形態では、第1及び第2ハウジング部11,13の基部側に連結溝200を設け、導出ハウジング15及び第2ハウジング部13の先端側に連結ピン202を設けているが、これとは反対に、第1及び第2ハウジング部11,13の基部側に連結ピン202を設け、導出ハウジング15及び第2ハウジング部13の先端側に連結溝200を設けるようにしてもよい。
【0054】
また、上述した実施形態では、第1及び第2パージ流体送給流路86,88を主パージ流体送給流路90に合流させ、主パージ流体送給流路90より上流側を−つの流体送給流路になるように構成しているが、例えば、検知部ハウジング8を延びる第1及び第2パージ流体送給流路86,88を全く別系統の流体流路から構成するようにしてもよい。
【0055】
また、上述した実施形態によれば、第1ハウジング部11に第2ハウジング部13を着脱自在に装着して検知部ハウジング8の長さを2段に調整できる構成であるが、第2ハウジング部13に、例えば第2ハウジング部13部を更に一つ又は複数着脱自在に装着してその長さを3段以上に調整できるようにしてもよい。
【0056】
更に、上述した実施形態では、光散乱式のダスト測定装置に適用して説明したが、その他の形態のダスト測定装置、例えば光透過式のもの、光反射式のもの等にも同様に適用することができる。また、これらダスト測定装置に限定されず、光を照射するための照射開口及び/又は光を受光するための受光開口を有する各種測定装置、計測装置、検査装置等にも適用することができる。特に、光ファイバを用いた光伝送構造は、非常に有用であり、それ自体広い範囲に適用することができる。
【0057】
【発明の効果】
本発明の請求項1の光伝送構造によれば、挿入部ハウジングの長さが調整できるので、小径及び大径の流路であっても挿入部ハウジングを流路の所定部位に挿入することができる。また、光ファイバは継ぎ足すことがないので、光の伝送を確実に行うことができる。
【0058】
また、本発明の請求項2の光伝送構造によれば、第1ハウジング部の基部には第2ハウジング部及び導出ハウジングが選択的に着脱自在に連結され、第2ハウジング部の基部には導出ハウジングが着脱自在に連結されるので、第1ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結することによって、挿入部ハウジングの長さを短くすることができ、また第1ハウジング部の基部に第2ハウジング部を連結し、この第2ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結することによって、挿入部ハウジングの長さを長くすることができる。
【0059】
また、本発明の請求項3の光伝送構造によれば、第1ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結すると、第1ハウジング部のパージ流体送給流路と導出ハウジングの流入流路とが接続され、流入流路からのパージ流体はパージ流体送給流路を通して噴出手段に送給される。また、第1ハウジング部の基部に第2ハウジング部を連結するとともに、第2ハウジング部の基部に導出ハウジングを連結すると、第1ハウジング部のパージ流体送給流路と導出ハウジングの流入流路とが第2ハウジング部のパージ流体延長流路を介して接続され、流入流路からのパージ流体はパージ流体延長流路及びパージ流体送給流路を通して噴出手段に送給される。
【0060】
また、本発明の請求項4の光伝送構造によれば、ファイバ収容部に折損防止部材が設けられているので、光ファイバの一部を折損防止部材に掛けることによって、光ファイバを所要の湾曲した状態に保持することができ、この光ファイバの破損を防止することができる。
【0061】
更に、本発明の請求項5のダスト測定装置によれば、上述した光伝送構造が照射開口及び受光開口を有する検知部ハウジングを備えたダスト測定装置に適用され、照射開口に測定光を伝送するための第1光ファイバと、受光開口を通して受光した被検知光を伝送するための第2光ファイバとが、導出ハウジングのファイバ収容部には第1及び第2光ファイバの一部が湾曲した状態に収容される。このようなダスト測定装置では、検知部ハウジングの長さが変化しても、第1及び第2光ファイバの長さ、接続状態等が変化せず、ダストを正確に測定することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に従う光伝送構造を備えたダスト測定装置の一実施形態の全体を示す概略図である。
【図2】図1のダスト測定装置の一部を示す部分断面図である。
【図3】図1のダスト測定装置の照射部及び受光部付近を示す部分断面図である。
【図4】図1のダスト測定装置の受光部を拡大して示す部分拡大断面図である。
【図5】図1のダスト測定装置の検知部ハウジングの第1ハウジング部に導出ハウジングを連結した状態を示す部分断面図である。
【図6】検知部ハウジングの第2ハウジング部を示す断面図である。
【図7】図1のダスト測定装置の第1ハウジング部に第2ハウジング部を連結する前の状態を示す部分断面図である。
【図8】第1ハウジング部に第2ハウジング部を連結した状態を示す部分断面図である。
【符号の説明】
4 流体流路
6 ダスト
8 検知部ハウジング
11 第1ハウジング部
13 第2ハウジング部
14 照射部
15 導出ハウジング
16 受光部
18 照射開口
20 照射口カバー
22 受光開口
24 受光口カバー
26 測定装置本体
28 発光源
30 受光素子
32 ダスト濃度演算手段
38,40 光ファイバ
46,64 カバー取付部材
50 測定領域
54 集光レンズ
56 反射鏡
82,84 パージ流体送給手段
86,88,90 パージ流体送給流路
196 パージ流体延長流路
208 収容ハウジング部
238,240 折損防止部材
Claims (5)
- 流体流路に挿入される挿入部ハウジングと、光を伝送するための光ファイバと、前記挿入部ハウジングからの前記光ファイバを外部に導出するための導出ハウジングと、を備え、
前記導出ハウジングには、前記光ファイバを収容するためのファイバ収容部が設けられており、
前記挿入部ハウジングの長さを短くすると、前記光ファイバの一部が前記導出ハウジングの前記ファイバ収容部に湾曲した状態で収容され、前記挿入部ハウジングの長さを長くすると、前記ファイバ収容部に収容された前記光ファイバの湾曲した一部が前記ファイバ収容部から引き出されることを特徴とする光伝送構造。 - 前記挿入部ハウジングは、光を照射する照射開口及び/又は光を受光する受光開口が設けられた第1ハウジング部と、前記第1ハウジング部の基部に着脱自在に連結される第2ハウジング部とを備え、前記第1ハウジング部の基部には、前記導出ハウジング及び前記第2ハウジング部が選択的に着脱自在に連結され、前記第2ハウジング部の基部には、前記導出ハウジングが着脱自在に装着されることを特徴とする請求項1記載の光伝送構造。
- 前記照射開口及び/又は前記受光開口には照射口カバー及び/又は受光口カバーが設けられ、前記照射口カバー及び/又は受光口カバーの表面に向けてパージ流体を噴出する噴出手段が設けられており、また前記挿入部ハウジングの前記第1ハウジング部内には、パージ流体を前記噴出手段に送給するためのパージ流体送給流路が設けられ、前記挿入部ハウジングの前記第2ハウジング部内には、前記パージ流体送給流路に接続されるパージ流体延長流路が設けられ、更に、前記導出ハウジングにはパージ流体が流入する流入流路が設けられており、
前記挿入ハウジングの前記第1ハウジング部の基部に前記導出ハウジングを連結すると、前記導出ハウジングの前記流入流路と前記第1ハウジング部の前記パージ流体送給流路とが接続され、前記挿入部ハウジングの前記第1ハウジング部に前記第2ハウジング部を連結するとともに、前記第2ハウジング部に前記導出ハウジングを連結すると、前記第1ハウジング部の前記パージ流体送給流路と前記第2ハウジング部の前記パージ流体延長流路とが接続されるとともに、前記第2ハウジング部の前記パージ流体延長流路と前記導出ハウジングの前記流入流路とが接続されることを特徴とする請求項2記載の光伝送構造。 - 前記導出ハウジングの前記ファイバ収容部には、前記光ファイバを湾曲した状態に所要の通りに保持するための折損防止部材が設けられていることを特徴とする請求項1〜3のいずれかに記載の光伝送構造。
- 請求項1〜4のいずれかに記載の光伝送構造を備え、前記挿入部ハウジングは、照射開口及び受光開口を有する検知部ハウジングであり、前記光ファイバは、前記照射開口に測定光を伝送するための第1光ファイバ及び前記受光開口を通して受光した被検知光を伝送するための第2光ファイバを含み、前記導出ハウジングの前記ファイバ収容部には、前記第1及び第2光ファイバの一部が湾曲した状態で収容されることを特徴とするダスト測定装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002016863A JP3797935B2 (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002016863A JP3797935B2 (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003215036A JP2003215036A (ja) | 2003-07-30 |
JP3797935B2 true JP3797935B2 (ja) | 2006-07-19 |
Family
ID=27652764
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002016863A Expired - Lifetime JP3797935B2 (ja) | 2002-01-25 | 2002-01-25 | 光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3797935B2 (ja) |
Families Citing this family (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4570038B2 (ja) * | 2005-03-18 | 2010-10-27 | 大阪瓦斯株式会社 | ダスト測定装置 |
JP4570039B2 (ja) * | 2005-03-18 | 2010-10-27 | 大阪瓦斯株式会社 | ダスト測定方法及び装置 |
JP2007132793A (ja) * | 2005-11-10 | 2007-05-31 | Ishikawajima Inspection & Instrumentation Co | 計測装置 |
JP4594277B2 (ja) * | 2006-05-31 | 2010-12-08 | トヨタ自動車株式会社 | 排ガス分析装置におけるセンサユニット |
JP4732277B2 (ja) | 2006-08-23 | 2011-07-27 | トヨタ自動車株式会社 | ガス分析装置及びガス分析方法 |
JP5058303B2 (ja) * | 2010-06-14 | 2012-10-24 | 大阪瓦斯株式会社 | ダスト測定方法 |
JP2010243500A (ja) * | 2010-06-14 | 2010-10-28 | Osaka Gas Co Ltd | ダスト測定装置 |
-
2002
- 2002-01-25 JP JP2002016863A patent/JP3797935B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003215036A (ja) | 2003-07-30 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7319524B2 (en) | Air purged optical densitometer | |
JP3797935B2 (ja) | 光伝送構造及びこれを備えたダスト測定装置 | |
CN104334070B (zh) | 弯曲传感器 | |
US9377411B2 (en) | Transflexion probe and transflective sensor | |
KR101771830B1 (ko) | 세정 위치 확인 장치, 유체 도달 위치 확인 장치, 세정 위치 확인 시스템 및 유체 도달 위치 확인 방법 | |
JP2008529028A (ja) | スタック中を流れる粒子をモニタリングするためのモニター | |
KR102046726B1 (ko) | 거리 측정 장치 | |
JP3871310B2 (ja) | ダスト測定装置 | |
FR2666892A1 (fr) | Capteur optique de temperature. | |
JP3932037B2 (ja) | ダスト測定装置 | |
JP4129067B2 (ja) | 孔を測定する方法及び装置 | |
JP4327112B2 (ja) | ガス測定装置 | |
EP1111739A3 (en) | Laser oscillator apparatus | |
CN112683833B (zh) | 烟气监测装置 | |
JP5297901B2 (ja) | 内視鏡挿入部の先端部構造 | |
JP4956545B2 (ja) | スポットライトにおいて照明手段を収容するとともに電気接触させるための装置 | |
JP5603691B2 (ja) | レーザ加工ヘッド | |
JP3775626B2 (ja) | タービン動翼振動計測装置の光学プローブ | |
JP4570038B2 (ja) | ダスト測定装置 | |
CN111487359B (zh) | 色谱检测器 | |
US11268891B2 (en) | Fire extinguishing agent concentration measuring system and method | |
JP2012024774A (ja) | レーザ加工ヘッド | |
JP2004044645A (ja) | 鞘管ホルダ | |
JP4474664B2 (ja) | 管内液体検出装置 | |
JP2021168811A (ja) | 口腔内測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041227 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20060414 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20060418 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20060418 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 3797935 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120428 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150428 Year of fee payment: 9 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |