KR101771830B1 - 세정 위치 확인 장치, 유체 도달 위치 확인 장치, 세정 위치 확인 시스템 및 유체 도달 위치 확인 방법 - Google Patents

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Abstract

본 실시 형태의 조인트(40)는 에어 공급부와 상기 에어 공급부로부터 공급된 에어를 사용하여 세정 대상물을 세정하는 노즐 사이에 배치되어, 노즐의 구멍으로부터 분사되는 에어가 도달하는 위치를 확인하기 위한 장치이며, 에어의 입구부(41b)와 출구부(41a)를 구비하는 관 형상의 접속 부재(41)와, 광원부를 배치하기 위한 개구(43a)를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 출구부(41a)를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간(43c)을 내부에 갖는 홀더(43)를 구비한다. 이에 의해, 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성을 높게 할 수 있다.

Description

세정 위치 확인 장치, 유체 도달 위치 확인 장치, 세정 위치 확인 시스템 및 유체 도달 위치 확인 방법 {WASHING POSITION CONFIRMATION DEVICE, FLUID DELIVERY POSITION CONFIRMATION DEVICE, WASHING POSITION CONFIRMATION SYSTEM, AND FLUID DELIVERY POSITION CONFIRMATION METHOD}
본 발명은 세정 대상물에 유체를 분사하여 세정하기 위한 에어 세정 장치가 구비하는 세정 위치 확인 장치에 관한 것이다.
대상물에 부착된 티끌 등을 제거(세정)하기 위해 노즐로부터 유체를 대상물에 사출하는 장치가 종래 알려져 있다. 예를 들어, 특허문헌 1, 2에는 유체를 겨냥한 개소에 사출하는 것을 용이하게 하는 기술이 개시되어 있다. 구체적으로, 특허문헌 1에는 플렉시블 튜브의 선단에, 노즐이 설치되고, 이 노즐 내에 광원을 배치하여 노즐의 선단으로부터 광이 조사됨과 함께, 튜브로부터의 유체가 노즐로부터 분사하도록 구성한 조명이 부착된 노즐이 기재되어 있다. 이에 의해, 광원이 비추는 용접면과, 노즐로부터의 유체의 분출처가 일치하기 때문에, 용접면을 조명하면, 유체를 용접면에 정확하게 분사할 수 있다. 또한, 노즐의 내주면에, 유체가 통과하는 컷팅이 넣어져 있다.
또한, 특허문헌 2에는 노즐로부터 분사되는 분사물의 도달 위치를 그 분사 전에 확인하기 위한 분사 도달 위치 확인 지그이며, 그 지그는 상기 노즐에 대해 착탈 가능하게 설치되는 것이고, 또한 그 지그는 그 설치 상태에 있어서, 상기 노즐로부터의 분사물의 분사 궤적과 동일 축선 위에 광을 발하는 발광체를 갖는 것인 것을 특징으로 하는 분사 도달 위치 확인 지그가 기재되어 있다. 이에 의해, 발광체로부터 발해지는 광이 도달하는 위치와, 분사물이 실제로 노즐로부터 분사되어 도달하는 지점이 일치하기 때문에, 분사 전에, 발광체의 광에 의해 분사물의 도달 위치를 확인할 수 있다.
일본 공개 특허 공보 「일본 특허 출원 공개 제2010-23190호 공보(2010년 2월 4일 공개)」 일본 공개 특허 공보 「일본 특허 출원 공개 평7-132444호 공보(1995년 5월 23일 공개)」
그러나, 상술한 바와 같이 특허문헌 1에 기재된 기술은, 광원을 배치시킴과 함께 유체를 통과시키기 위해 노즐 내주면에 커팅을 넣는 구성이므로, 그와 같은 가공이 노즐에 필요해진다. 또한, 시판 노즐로서의 슬릿 노즐이나 다공 노즐 등은 유로가 넓기 때문에, 광원을 끼워 넣을 수 없으므로, 사용되는 노즐이 한정된다. 따라서, 범용성이 없다는 문제가 있다.
또한, 특허문헌 2에 기재된 기술은 분사물의 도달 위치를 분사 중에 확인할 수 없는 문제가 있다. 또한, 노즐의 형상에 맞추어 지그의 형상이 결정되므로, 이 지그가 사용 가능한 노즐이 한정되어 버려, 범용성이 없다는 문제가 있다.
본 발명은 상기 과제를 해결하기 위해 이루어진 것으로, 본 발명의 목적은, 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성이 높은 세정 위치 확인 장치, 유체 도달 위치 확인 장치, 세정 위치 확인 시스템 및 유체 도달 위치 확인 방법을 제공하는 것이다.
상기의 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 세정 위치 확인 장치는 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 사용하여 피세정물을 세정하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 세정 위치 확인 장치이며, 유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와, 광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비한다.
본 발명은 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성이 높다는 효과를 발휘한다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 에어 세정 장치의 일례를 도시하는 도면이다.
도 2는 조인트의 내부를 도시하는 사시도이다.
도 3은 조인트의 내부를 도시하는 확대도이다.
도 4는 광원의 제어의 일례를 도시하는 도면이다.
도 5는 변형예에 있어서의 광원의 일례를 도시하는 제1 도이다.
도 6은 변형예에 있어서의 광원의 일례를 도시하는 제2 도이다.
도 7은 노즐의 일례를 도시하는 도면이다.
도 8은 변형예에 있어서의 노즐의 일례를 도시하는 도면이다.
도 9는 변형예에 있어서의 조인트의 일례를 도시하는 제1 도이다.
도 10은 변형예에 있어서의 조인트의 일례를 도시하는 제2 도이다.
도 11은 변형예에 있어서의 조인트의 일례를 도시하는 제3 도이다.
도 12는 변형예에 있어서의 조인트의 일례를 도시하는 제4 도이다.
도면을 참조하면서, 본 발명의 실시 형태에 대해 설명한다. 이하의 설명에서는, 동일한 부품에는 동일한 부호를 부여하고 있다. 그들의 명칭 및 기능도 동일하다. 따라서, 그들에 대한 상세한 설명은 반복하지 않는다.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 있어서의 에어 세정 장치의 일례를 도시하는 도면이다. 에어 세정 장치는 지지체에 의해 소정 높이로 유지된 세정 대상물(피세정물)에 대해, 에어를 분사함으로써 티끌 등을 제거하는 장치이다.
구체적으로는, 도 1에 도시된 바와 같이, 에어 세정 장치(세정 위치 확인 시스템)(1)는 가압된 에어를 공급하는 에어 공급부(유체 공급부)(100)와, 전자기 밸브(30)와, 조인트(40)와, 노즐(50)과, 전원(10)과, 제어 장치(20)와, 흡진 덕트(70)를 구비하고 있다. 에어 공급부(100)로부터 출력된 에어는 전자기 밸브(30) 및 조인트(40)를 이 순서로 통과하여, 노즐(50)에 도달한다. 그리고, 노즐(50)로부터 세정 대상물(60)에 에어가 분사된다. 세정 대상물(60)로의 에어의 분사에 의해 세정 대상물(60)로부터 제거된 티끌은, 흡진 덕트(70)를 통해, 도시하지 않은 흡진기에 의해 모아진다. 또한, 에어 공급부(100)는 에어의 압력을 소정의 압력으로 조정하는 레귤레이터나, 에어로부터 미스트를 제거하는 필터 등을 구비하고 있어도 된다.
또한, 본 실시 형태에 있어서는, 에어를 분사하는 경우를 예로 들어 설명하지만, 에어(공기)로 한정되는 것은 아니고, 질소나 아르곤 등의 기체나 물 등의 액체와 같은 유체이면 된다.
제어 장치(20)는 전자기 밸브(30)와, 노즐(50)과 전자기 밸브(30) 사이에 배치되는 조인트(세정 위치 확인 장치)(40) 내의 광원(80)과 접속되어, 전자기 밸브(30)의 개폐 및 광원(80)을 제어한다. 또한, 전원(10)은 제어 장치(20), 전자기 밸브(30) 및 광원(80)에 전력을 공급한다. 여기서, 조인트(40)의 상세를 도 2, 도 3을 사용하여 설명한다.
도 2는 조인트의 내부를 도시하는 사시도이고, 도 3은 조인트의 내부를 도시하는 확대도이다. 도 2, 도 3에 도시된 바와 같이, 조인트(40)는 유체의 입구부(41b)와 출구부(41a)를 구비하는 대략 원통 형상(관 형상)의 접속 부재(41)와, 접속 부재(41)의 내부에 형성되는 홀더(43)를 포함한다.
접속 부재(41)는 입구부(41b)가 전자기 밸브(30)의 에어가 배출되는 측에 접속되고, 출구부(41a)가 노즐(50)에 접속된다. 구체적으로는, 입구부(41b)로부터 소정 길이의 범위에 있어서 접속 부재(41)의 내주면에 나사 홈이 형성되어 있다. 그리고, 전자기 밸브(30)가 갖는, 외주면에 나사 홈이 형성된 관[전자기 밸브(30)의 출구부]이 입구부(41b)에 나사 끼움된다. 마찬가지로, 출구부(41a)로부터 소정 길이의 범위에 있어서 접속 부재(41)의 내주면에 나사 홈이 형성되어 있다. 그리고, 노즐(50)이 갖는, 외주면에 나사 홈이 형성된 관[노즐(50)의 입구부]이 출구부(41a)에 니사 끼움된다.
홀더(43)는 접속 부재(41)의 내주면에 고정되어, 접속 부재(41)의 출구부(41a)에 대향하는 개구(제1 개구부)(43a)를 가진 원통 형상의 부재(원통 부재)(43f)와, 당해 개구(43a)를 막는 캡(90)을 구비하고 있다. 또한, 원통 부재(43f)의 외경은 접속 부재(41)의 내경보다 작기 때문에, 접속 부재(41)와 홀더(43) 사이에 있어서, 입구부(41b)로부터 유입된 에어를 출구부(41a)를 향해 통과시키는 것이 가능해진다. 또한, 원통 부재(43f)는 원통형으로 한정되지 않고 형상은 상관없다.
또한, 원통 부재(43f)는 광원(80)이 유지되기 위한 광원부 배치 공간(43c)을 갖는다. 구체적으로는, 원통 부재(43f)의 내주면에는 개구(43a)보다 안측에 2개 연속해서 단차부(43d, 43e)를 갖고 있고, 이들 단차에 의해 내경이 작게 되어 있다. 개구(43a)에 가까운 측의 제1 단차부(43d)는 원통 부재(43f)의 개구(43a)를 막고, 또한 광원(80)을 광원부 배치 공간(43c) 내부에 수납하기 위한 캡(90)의 테두리가 접촉하는, 직경 방향을 따른 제1 접촉면(43d1)을 갖는다. 개구(43a)로부터 먼 측의 제2 단차부(43e)는 광원(80)이 플랜지 부분으로부터 개구(43a)에 삽입됨으로써, 광원(80)의 플랜지 부분(80a)의 배면이 접촉하는, 직경 방향을 따른 제2 접촉면(43e1)을 갖는다.
또한, 캡(90)의 내경은 광원(80)의 플랜지 부분(80a)의 외경보다도 약간 작고, 광원(80)의 플랜지 부분(80a) 이외의 발광 부분을 씌우는 것이 가능한 크기이고, 제1 접촉면(43d1)과 제2 접촉면(43e1)의 거리는, 광원(80)의 플랜지 부분(80a)의 두께 정도이다. 따라서, 광원(80)이 원통 부재(43f) 내에 삽입되고, 캡(90)이 개구(43a)에 끼워짐으로써, 광원(80)의 플랜지 부분(80a)의 배면이 제2 접촉면(43e1)에 의해 지지되고, 플랜지 부분(80a)의 전방면이 캡(90)의 테두리에 의해 지지되므로, 광원(80)을 위치 결정할 수 있다. 또한, 광원(80)의 광축은 입구부(41b)로부터 출구부(41a)에 통과하는 유체의 방향과 동축이 된다.
또한, 캡(90)은 그 외면에 용제 등을 사용하여 투과성을 높이도록 해도 되고, 렌즈 형상으로 가공하여 광원(80)으로부터 출사된 광을 집광하도록 해도 된다. 또한, 캡(90)과 원통 부재(43f)의 간극은 에어의 누설을 방지하기 위해 시일 부재나 패킹에 의해 밀폐되어 있다. 이에 의해, 외부의 공기가 접속 부재(41) 중에 침입하는 것도 방지할 수 있다.
또한, 조인트(40)에는 원통 부재(43f)의 광원(80)이 배치되는 위치보다 안측에, 원통 부재(43f)의 내부로부터 접속 부재(41)의 외부에 관통하는 관통구(제2 개구부)(43b)가 형성되어 있고, 이 관통구(43b)를 통해, 제어 장치(20) 및 전원(10)과 광원(80)이 접속된다.
광원(80)은, 예를 들어 LED나 레이저광 등의 직진성이 있는 것이면 되고, 단색의 LED로 한정되지 않고, 풀컬러 LED나 컬러 LED여도 된다. 예를 들어, 도 4에 도시한 바와 같이 발광색이 다른 복수의 LED 칩을 갖는 풀컬러 LED의 광원(80A)이 홀더(43) 내에 배치되는 구성이어도 된다. 이 경우, 노즐(50) 내에 압력 센서 등을 배치하고, 노즐(50) 내의 압력 변화에 따라 색을 변화시키도록 제어 장치(20)가 제어한다. 예를 들어, 도 5에 도시한 바와 같이, 압력값이 0일 때에는 광원(80A)을 청색으로 발광시키고, 압력값이 낮을 때에는 광원(80A)을 녹색으로 발광시키고, 압력값이 높을 때에는 광원(80A)을 적색으로 발광시킨다.
또한, 광원(80) 대신에, 도 6에 도시한 바와 같이 광을 사용하여 물체의 유무를 검출하는 광전 센서를 사용해도 된다. 광전 센서는 광을 발하는 발광부(광원부)(81a)와, 광을 수광하는 수광부(81b)를 구비한다. 이 경우, 제어 장치(20)는 발광부(81a)로부터의 광을 수광부(81b)에 있어서 검지하였는지 여부에 기초하여, 세정 대상물(60)의 존재를 검지하고 에어를 분사하도록 제어한다. 구체적으로, 제어 장치(20)는 세정 대상물(60)의 존재를 검지하면, 에어를 분사하기 위해, 전자기 밸브(30)를 개방 상태로 한다. 즉, 에어 공급부(100)로부터 노즐(50)로 에어를 공급한다. 또한, 세정 대상물(60)의 존재를 검지하지 않게 되면, 에어의 분사를 정지하기 위해, 전자기 밸브(30)를 폐쇄 상태로 한다. 즉, 에어 공급부(100)로부터 노즐(50)로의 에어의 공급을 정지한다.
또한, 광전 센서는, 도 6의 (a)에 도시한 바와 같이 발광부(81a)와 수광부(81b)가 일체로 되어 있는 것이어도 되고, 도 6의 (b)에 도시한 바와 같이 발광부(81a)와 수광부(81b)가 각각이어도 된다. 즉, 도 6의 (a)에 도시하는 예에서는, 발광부(81a)와 수광부(81b)가 광원부 배치 공간(43c)에 배치된다. 또한, 도 6의 (b)에 도시하는 예에서는, 발광부(81a)가 광원부 배치 공간(43c)에 배치되고, 수광부(81b)는 조인트(40)의 외부이고, 또한 광원(80)으로부터의 광의 진로 상의 위치에 배치된다. 도 6의 (a)의 경우, 제어 장치(20)는 발광부(81a)의 광이 세정 대상물(60)에 반사하고, 수광부(81b)에 수광되면 세정 대상물(60)의 존재를 검지한다. 또한, 도 6의 (a)의 경우, 발광부(81a)의 광을 직접 수광부(81b)가 수광하지 않도록 되어 있다. 예를 들어, 발광부(81a)와 수광부(81b) 사이에 차폐판이 설치되어 있다. 도 6의 (b)의 경우, 제어 장치(20)는 발광부(81a)의 광이 수광부(81b)에 수광되지 않게 되면 세정 대상물(60)의 존재를 검지한다.
노즐(50)은 통 형상이고, 선단을 향하는 것에 따라 직경이 작은 테이퍼 형상으로 되어 있고, 선단에는 슬릿(구멍)이 형성되어 있다. 에어는 노즐(50)의 슬릿으로부터 방출된다. 도 7은 노즐의 일례를 도시하는 도면이다. 도 7의 (a)에 도시된 바와 같이, 노즐(50A)은 직사각형의 슬릿(52)을 갖고 있고, 이 슬릿(52)을 광원(80)의 광이 통과함으로써, 슬릿(52)과 동일한 형상의 광이 발사된다. 또한, 도 7의 (b)에 도시된 바와 같이, 노즐(50B)은, 대략 원형의 슬릿(53)을 갖고 있고, 이 슬릿(53)을 광원(80)의 광이 통과함으로써, 슬릿(53)과 동일한 형상의 광이 발사된다. 따라서, 조광 패턴에 의해, 에어의 조사되는 범위를 눈으로 확인할 수 있다.
또한, 노즐의 형상은 광원(80)의 광이 세정 대상물(60)에 도달하는 형상이어도 되고, 노즐 내부나 조인트 내부 등의 유로를 경면 마무리 등으로 반사하기 쉬운 가공을 해도 되고, 반사하기 쉬운 소재를 사용해도 된다. 또한, 원통 형상으로 한정되는 것은 아니고, 예를 들어 도 8에 도시한 바와 같이 원통의 도중이 절곡된 형상의 노즐(50C)이어도 된다. 이 경우, 원통의 굴곡부에 반사판(51)을 설치하고, 광원(80)의 광을 슬릿을 향해 반사시키도록 한다.
이상 설명한 바와 같이, 본 실시 형태에 있어서의 조인트(40)는 에어 공급부(100)와 상기 에어 공급부(100)로부터 공급된 에어를 사용하여 세정 대상물(60)을 세정하는 노즐(50) 사이에 배치되어, 노즐(50)의 구멍으로부터 분사되는 에어가 도달하는 위치를 확인하기 위한 장치이며, 에어의 입구부(41b)와 출구부(41a)를 구비하는 관 형상의 접속 부재(41)와, 광원(80)을 삽입하기 위한 개구(43a)를 갖고, 상기 광원(80)으로부터 발해지는 광이 출구부(41a)를 향해 조사되도록 상기 광원(80)을 유지하기 위한 광원부 배치 공간(43c)을 내부에 갖는 홀더를 구비한다.
이 구성에 의하면, 광원부 배치 공간(43c)에 광원(80)이 배치되는 경우, 에어의 진행 방향과 동축에 광을 통과시킬 수 있다. 이에 의해, 유저는 에어가 도달하는 위치를 눈으로 확인할 수 있다. 또한, 종래와는 달리 노즐에 광원을 설치하는 구성이 아니므로, 노즐의 종류마다 그와 같은 가공을 할 필요가 없어, 다양한 종류의 노즐에 접속하여 사용할 수 있다. 따라서, 분사하는 에어의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성을 높게 할 수 있다.
또한, 순차 반송되어 오는 세정 대상물(60)에 에어를 분사하는 자동화 설비에 에어 세정 장치(1)를 설치하는 경우, 에어의 도달 위치의 확인이 용이하므로, 노즐(50)의 위치 정렬의 시간 단축ㆍ관리의 간소화로 된다. 또한, 세정 대상물(60)의 목표 위치에 광이 닿도록 조정하는 것뿐이어도 되고, 생산 중에도 위치가 어긋나 있지 않은 것을 알 수 있으므로, 확인 작업에 특별한 기술을 필요로 하지 않는다.
또한, 작업자가 수작업으로 세정을 행하는 경우, 종래 노즐의 위치를 눈으로 확인하여 노즐의 분사 위치를 찾고, 손으로 세정 대상물(60)을 이동시켜 세정을 행하지만, 본 실시 형태의 에어 세정 장치(1)를 사용하면, 노즐(50)을 의식하지 않고 광의 끝에 세정 대상물(60)을 갖고 오면, 확실히 효과가 높은 세정을 정량적(광에 닿고나서 소정 시간 후에 분사함)으로 행할 수 있다.
또한, 본 실시 형태에 있어서의 에어 세정 장치(1)를, 제전에 의한 세정을 가능한 구성으로 해도 된다. 구체적으로, 조인트(40)의 입구부(41b)에 이온 발생 장치를 설치함으로써 유체 도달 위치 확인 장치(이오나이저)를 구성한다. 이에 의해, 이온화한 유체(에어)를 노즐(50)로부터 분출하고, 피세정물을 제전함으로써, 분진 등의 부착을 방지할 수 있다.
<변형예>
본 실시 형태에 있어서의 에어 세정 장치(1)는 직선 형상의 조인트(40) 내부에 광원(80)을 배치하는 구성이었다. 변형예에 있어서의 에어 세정 장치(1)는 굴곡된 조인트에 광원(80)을 배치하는 구성이다. 도 9는 변형예에 있어서의 조인트의 일례를 도시하는 도면이다. 도 9에 도시된 바와 같이, 조인트(40A)는 L자로 구부러진 통 형상의 접속 부재(41A)를 갖는다. 즉, 접속 부재(41A)는 굴곡부(41d)와, 굴곡부(41d)로부터 출구부(41a)까지의 직선 형상의 관부(41e)와, 굴곡부(41d)로부터 입구부(41b)까지의 직선 형상의 관부(41f)를 구비한다. 접속 부재(41A)의 출구부(41a)에 노즐(50)이 접속되고, 입구부(41b)에 전자기 밸브(30)가 접속된다. 또한, 접속 부재(41A)는 관부(41e)의 유로 방향을 따라 출구부(41a)에 대향하는 위치에 개구(제3 개구부)(41c)를 갖는다. 그 개구(41c)에는 홀더(43A)가 끼워 넣어져, 고정된다. 홀더(43A)와 조인트(40A)는 홀더(43A)와 조인트(40A)의 겹침 부분을 나사를 사용하여 고정하도록 해도 되고, 조인트(40A)의 개구의 내측을 따라 설치된 환상의 고무에 의해 홀더(43A)의 외주의 곡면을 지지하도록 해도 된다. 또한, 홀더(43A)는 도 2에 도시하는 홀더(43)를 조인트의 개구에 맞추어 크게 한 것이다. 또한, 조인트의 형상은 L자로 한정되는 것은 아니고, T자여도 실현 가능하다.
또한, 홀더(43A)와 조인트(40A)가 고정되는 구성으로 한정되는 것은 아니고, 도 10에 도시한 바와 같이 홀더(43A)의 개구(43a)와 조인트(40A)의 개구(41c)가 위치 정렬된 상태에서, 홀더(43A)가 조인트(40A)로부터 이격된 위치에서 고정되는 구성이어도 된다. 이 경우, 조인트(40A)의 개구(41c)는 외부로부터의 광을 내부에 투과하는 투명부(41g)에 의해 막혀 있다.
또한, 조인트는 시판품의 것에 홀더를 조합하여 사용하는 구성이어도 된다. 예를 들어, 도 11에 도시한 바와 같이 T자의 시판 조인트(40B)에 있어서, 좌단부의 출구부(41a)가 노즐(50)에 접속되고, 하단부의 입구부(41b)가 전자기 밸브(30)와 접속되고, 우단부의 개구(제3 개구부)(41c)가 홀더(43B)와 접속된다. 홀더(43B)는 한쪽에 개구(43a)를 갖는 원통 형상의 부재이고, 선단 또는 전체에 투과성이 있다. 홀더(43B)는 개구(43a)를 삽입 방향의 뒤로 하여 조인트(40B)의 개구(41c)에 끼워 넣어지고, 개구(41c)가 막힌다. 바꾸어 말하면, 홀더(43B)는 조인트(40B)의 개구(41c)의 마개로서의 기능을 갖는다. 광원(80)은 홀더(43B)의 개구(43a)로부터, 발광부를 삽입 방향의 앞으로 하여 삽입된다.
또한, 유체를 슬릿으로부터 분사하는 위치를 확인하기 위해 광원을 사용하였지만, 초음파를 출력하는 부재(초음파 발생부)와 음파를 가시화하는 부재를 사용하도록 해도 된다.
또한, 조인트는, 도 12에 도시한 바와 같이, 홀더(43)와 출구부(41a) 사이에 굴곡부를 갖고, 당해 굴곡부에 반사판(51)을 설치한 조인트(40C)와 같은 구성이어도 되고, 반사판(51)에 의해, 광원(80)의 광을 노즐(50)의 슬릿으로 유도하는 것이 가능하다.
또한, 본 발명의 유체란, 분사물의 도달 위치를 확인 가능하게 한다는 의미에서는, 기체, 액체로 한정되는 것은 아니지만, 특별히 에어나 이온화한 에어 등, 눈으로 보이지 않는 유체를 사용한 경우에, 분사물의 도달 위치를 시인 가능하게 하는 효과를 얻는 것이 가능해진다. 또한, 세정이란, 유체로 씻어 낸다는 의미로 한정되는 것은 아니고, 전술의 이온화한 에어를 사용하는 경우와 같이, 이온에 의한 제전을 행함으로써, 분진 등의 부착을 방지하는 경우도 포함된다.
(정리)
본 발명의 세정 위치 확인 장치는 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 사용하여 피세정물을 세정하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 세정 위치 확인 장치이며, 유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와, 광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비한다.
상기의 구성에 의하면, 광원부 배치 공간에 광원부가 배치되는 경우, 유체의 진행 방향과 동축에 광을 전반시킬 수 있다. 이에 의해, 유저는 유체가 도달하는 위치를 눈으로 확인할 수 있다. 또한, 종래와는 달리 노즐에 광원부를 설치하는 구성이 아니므로, 노즐의 종류마다 그와 같은 가공을 할 필요가 없고, 다양한 종류의 노즐을 세정 위치 확인 장치에 접속하여 사용할 수 있다. 따라서, 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성이 높은 세정 위치 확인 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 장치에 있어서, 상기 홀더는 상기 접속 부재의 내부에 설치되는 구성으로 할 수 있다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 장치에 있어서, 상기 제1 개구부는 상기 출구부에 대향하고 있고, 상기 홀더는 상기 제1 개구부에 끼워 넣어지고, 광을 투과하는 소재를 포함하는 캡을 구비한다.
상기의 구성에 의하면, 세정 대상물에 광을 도달시키기 쉽게 할 수 있다. 또한, 제1 개구부가 캡에 의해 막히므로, 제1 개구부를 통해 외부로부터 이물이 유체 중에 침입하는 일이 없다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 장치에 있어서, 상기 홀더 및 상기 접속 부재는 상기 광원부 배치 공간과 외부를 연결하는 제2 개구부를 구비하는 구성으로 할 수 있다.
상기의 구성에 의하면, 제2 개구부를 통해, 광원부를 전원에 접속시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 장치에 있어서는, 상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고, 상기 접속 부재는 상기 입구부 및 상기 출구부와는 별도로, 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 제3 개구부를 구비하고, 제3 개구부에 상기 홀더가 끼워 넣어져, 고정되는 구성으로 할 수 있다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 장치에 있어서, 상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고, 상기 굴곡부는 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 부분에 있어서, 외부로부터의 광을 내부에 투과하는 투명부를 구비하고, 상기 광원부로부터의 광을 상기 투명부로부터 입사시키도록, 상기 홀더가 상기 접속 부재로부터 이격된 상태로 배치되는 구성으로 할 수 있다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 장치에 있어서, 상기 접속 부재는 상기 광원부로부터 발해지는 광을 상기 출구부로 유도하는 반사판을 구비한다.
상기의 구성에 의하면, 단순한 구성으로, 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 한다.
본 발명의 세정 위치 확인 장치에 있어서, 상기 광원부의 광축은 유체의 방출축과 동축인 것이 바람직하다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 세정 위치 확인 시스템은 상기 세정 위치 확인 장치와, 상기 광원부 배치 공간에 배치된 광원부와, 상기 노즐 내의 압력에 따라 상기 광원부에 의해 광의 발생을 제어하는 제어 장치를 구비한다.
상기의 구성에 의하면, 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성이 높은 세정 위치 확인 장치를 제공할 수 있다. 또한, 유체의 분사 강도를, 광원부의 점등 또는 소등에 의해 확인할 수 있다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 시스템에 있어서, 상기 광원부는 복수의 발광색으로 발광하고, 상기 제어 장치는 상기 노즐 내의 압력에 따라 상기 광원부의 발광색을 다르게 한다.
상기 구성에 의하면, 유체의 분사 강도를, 발광색에 의해 확인할 수 있다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 시스템에 있어서, 상기 세정 위치 확인 장치와, 상기 광원부 배치 공간에 배치된 광원부와, 상기 출구부로부터 상기 광원부 배치 공간 내에 입사한 광을 수광하고, 상기 광원부 배치 공간에 배치된 수광부와, 상기 수광부의 수광에 기초하여, 피세정물의 존재의 유무를 검출하고, 피세정물의 존재가 검출되는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로 유체를 공급하고, 피세정물의 존재가 검출되지 않는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로의 유체의 공급을 정지하는 제어 장치를 구비한다.
또한, 본 발명의 세정 위치 확인 시스템은 상기 세정 위치 확인 장치와, 상기 광원부 배치 공간에 배치된 광원부와, 상기 세정 위치 확인 장치의 외부이고, 또한 상기 광원부로부터의 광의 진로 상의 위치에 배치된 수광부와, 상기 수광부의 수광에 기초하여, 피세정물의 존재의 유무를 검출하고, 피세정물의 존재가 검출되는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로 유체를 공급하고, 피세정물의 존재가 검출되지 않는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로의 유체의 공급을 정지하는 제어 장치를 구비한다.
상기의 구성에 의하면, 유체의 분사를 자동화할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체 도달 위치 확인 장치는 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 방출하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 유체 도달 위치 확인 장치이며 유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와, 광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비한다.
상기 구성에 의하면, 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성이 높은 유체 도달 위치 확인 장치를 제공할 수 있다.
또한, 본 발명의 유체 도달 위치 확인 장치에 있어서, 상기 노즐이 방출하는 유체는 기체 또는 이온화된 기체인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 유체 도달 위치 확인 장치 및 세정 위치 확인 장치에 있어서, 상기 광원부의 광축은 유체의 방출축과 동축인 것이 바람직하다.
또한, 본 발명의 유체 도달 위치 확인 방법은 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 방출하는 노즐 사이에 배치되는, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 유체 도달 위치 확인 장치를 사용한 유체 도달 위치 확인 방법이며, 상기 유체 도달 위치 확인 장치는 유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와, 광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비한다.
상기 구성에 의하면, 분사하는 유체의 도달 위치의 확인을 용이하게 하여, 범용성이 높은 유체 도달 위치 확인 방법을 제공할 수 있다.
본 발명은 상술한 각 실시 형태로 한정되는 것은 아니고, 청구항에 나타낸 범위에서 다양한 변경이 가능하고, 다른 실시 형태에 각각 개시된 기술적 수단을 적절히 조합하여 얻어지는 실시 형태에 대해서도 본 발명의 기술적 범위에 포함된다.
1 : 에어 세정 장치(세정 위치 확인 시스템)
20 : 제어 장치
30 : 전자기 밸브
40, 40A, 40B, 40C : 조인트(세정 위치 확인 장치)
41, 41A : 접속 부재
41a : 출구부
41b : 입구부
41c : 개구(제3 개구부)
41d : 굴곡부
41e : 관부
41g : 투명부
43, 43A, 43B : 홀더
43a : 개구(제1 개구부)
43b : 관통구(제2 개구부)
43c : 광원부 배치 공간
43f : 원통 부재
50, 50A, 50B, 50C : 노즐
51 : 반사판
60 : 세정 대상물(피세정물)
80, 80A : 광원(광원부)
90 : 캡
100 : 에어 공급부(유체 공급부)

Claims (16)

  1. 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 사용하여 피세정물을 세정하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 세정 위치 확인 장치이며,
    유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와,
    광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비하고,
    상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고,
    상기 접속 부재는 상기 입구부 및 상기 출구부와는 별도로, 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 제3 개구부를 구비하고,
    제3 개구부에 상기 홀더가 끼워 넣어져, 고정되는 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 장치.
  2. 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 사용하여 피세정물을 세정하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 세정 위치 확인 장치이며,
    유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와,
    광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비하고,
    상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고,
    상기 굴곡부는 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 부분에 있어서, 외부로부터의 광을 내부에 투과하는 투명부를 구비하고,
    상기 광원부로부터의 광을 상기 투명부로부터 입사시키도록, 상기 홀더가 상기 접속 부재로부터 이격시킨 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 장치.
  3. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 접속 부재는 상기 광원부로부터 발해지는 광을 상기 출구부로 유도하는 반사판을 구비하는 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 장치.
  4. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 광원부의 광축은 유체의 방출축과 동축인 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 장치.
  5. 제1항 또는 제2항에 기재된 세정 위치 확인 장치와,
    상기 광원부 배치 공간에 배치된 광원부와,
    상기 노즐 내의 압력에 따라 상기 광원부에 의해 광의 발생을 제어하는 제어 장치를 구비한 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 시스템.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 광원부는 복수의 발광색으로 발광하고,
    상기 제어 장치는 상기 노즐 내의 압력에 따라 상기 광원부의 발광색을 다르게 하는 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 시스템.
  7. 제1항 또는 제2항에 기재된 세정 위치 확인 장치와,
    상기 광원부 배치 공간에 배치된 광원부와,
    상기 출구부로부터 상기 광원부 배치 공간 내에 입사한 광을 수광하고, 상기 광원부 배치 공간에 배치된 수광부와,
    상기 수광부의 수광에 기초하여, 피세정물의 존재의 유무를 검출하고, 피세정물의 존재가 검출되는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로 유체를 공급하고, 피세정물의 존재가 검출되지 않는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로의 유체의 공급을 정지하는 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 시스템.
  8. 제1항 또는 제2항에 기재된 세정 위치 확인 장치와,
    상기 광원부 배치 공간에 배치된 광원부와,
    상기 세정 위치 확인 장치의 외부이고, 또한 상기 광원부로부터의 광의 진로 상의 위치에 배치된 수광부와,
    상기 수광부의 수광에 기초하여, 피세정물의 존재의 유무를 검출하고, 피세정물의 존재가 검출되는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로 유체를 공급하고, 피세정물의 존재가 검출되지 않는 경우, 상기 유체 공급부로부터 상기 노즐로의 유체의 공급을 정지하는 제어 장치를 구비하는 것을 특징으로 하는, 세정 위치 확인 시스템.
  9. 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 방출하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 유체 도달 위치 확인 장치이며,
    유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와,
    광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비하고,
    상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고,
    상기 접속 부재는 상기 입구부 및 상기 출구부와는 별도로, 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 제3 개구부를 구비하고,
    제3 개구부에 상기 홀더가 끼워 넣어져, 고정되는 것을 특징으로 하는, 유체 도달 위치 확인 장치.
  10. 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 방출하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 유체 도달 위치 확인 장치이며,
    유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와,
    광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비하고,
    상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고,
    상기 굴곡부는 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 부분에 있어서, 외부로부터의 광을 내부에 투과하는 투명부를 구비하고,
    상기 광원부로부터의 광을 상기 투명부로부터 입사시키도록, 상기 홀더가 상기 접속 부재로부터 이격시킨 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는, 유체 도달 위치 확인 장치.
  11. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 노즐이 방출하는 유체는, 기체 또는 이온화된 기체인 것을 특징으로 하는, 유체 도달 위치 확인 장치.
  12. 제9항 또는 제10항에 있어서, 상기 광원부의 광축은 유체의 방출축과 동축인 것을 특징으로 하는, 유체 도달 위치 확인 장치.
  13. 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 방출하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 유체 도달 위치 확인 장치를 사용한 유체 도달 위치 확인 방법이며,
    상기 유체 도달 위치 확인 장치는,
    유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와,
    광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비하고,
    상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고,
    상기 접속 부재는 상기 입구부 및 상기 출구부와는 별도로, 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 제3 개구부를 구비하고,
    제3 개구부에 상기 홀더가 끼워 넣어져, 고정되는 것을 특징으로 하는, 유체 도달 위치 확인 방법.
  14. 유체 공급부와 상기 유체 공급부로부터 공급된 유체를 방출하는 노즐 사이에 배치되어, 상기 노즐의 구멍으로부터 분사되는 유체가 도달하는 위치를 확인하기 위한 유체 도달 위치 확인 장치를 사용한 유체 도달 위치 확인 방법이며,
    상기 유체 도달 위치 확인 장치는,
    유체의 입구부와 출구부를 구비하는 관 형상의 접속 부재와,
    광원부를 배치하기 위한 제1 개구부를 갖고, 상기 광원부로부터 발해지는 광이 상기 출구부를 향해 조사되도록 상기 광원부를 유지하기 위한 광원부 배치 공간을 내부에 갖는 홀더를 구비하고,
    상기 접속 부재는 굴곡부와, 상기 굴곡부로부터 상기 출구부까지의 직선 형상의 관부를 구비하고,
    상기 굴곡부는 상기 관부의 유로 방향을 따라 상기 출구부와 대향하는 부분에 있어서, 외부로부터의 광을 내부에 투과하는 투명부를 구비하고,
    상기 광원부로부터의 광을 상기 투명부로부터 입사시키도록, 상기 홀더가 상기 접속 부재로부터 이격시킨 상태로 배치되는 것을 특징으로 하는, 유체 도달 위치 확인 방법.
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