JPWO2020166565A1 - 焼成治具 - Google Patents
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Abstract
Description
本明細書では、例えば、チタン酸バリウム(BaTiO3)を主成分とするセラミックスコンデンサ、及び、そのセラミックスコンデンサの原料といった電子部品材を焼成するための焼成治具を開示する。また、本明細書では、例えば、コバルト酸リチウム(LiCoO2)を主成分とするリチウム電池の活物質、及び、その活物質の原料といった活物質材を焼成するための焼成治具も開示する。双方の焼成治具は、SiC質又はSi-SiC質の基材と、基材の表面を被覆しているコーティング層を備えているという共通した特徴を有していてよい。基材の厚みとしては、0.4〜5mmであってもよい。この範囲であると、基材の熱容量が制御され、効率よく電子部品材またはリチウム電池の活物質材を焼成することができる。また、双方の焼成治具において、コーティング層は、基材表面に設けられているAl2O3−SiO2質を主成分とする第1層と、コーティング層の表層に露出している第2層を備えているという共通した特徴を有していてよい。電子部品材においては、第2層は、Y2O3,HfO2,CeO2,NiO,WC,Ni,Moから選択される少なくとも1種を主成分としてよい。また、活物質材においては、第2層は、Y2O3,HfO2,CeO2,NiOから選択される少なくとも1種を主成分としてよい。
上記したように、電子部品材を焼成するための焼成治具において、第2層は、Y2O3,HfO2,CeO2,NiO,WC,Ni,Moから選択される少なくとも1種を主成分としてよい。図1に示すように、Y2O3,HfO2,CeO2,NiO,WC,Ni,Moは、熱力学平衡計算ソフト(FactSage:GTT-Technologies,Thermfact Ltd.製)によるBaTiO3に対する熱力学的平衡状態の計算において、BaTiO3と反応しない(反応生成物が形成されない)ことが確認された。それに対し、従来第2層(トップコート層)として有用であると認識されているZrO2,Al2O3,TiO2は、BaTiO3と反応し、反応生成物(Ba化合物)が生成されることが確認された。なお、図1に示すように、HfO2はBaTiO3と反応しないが、HfはBaTiO3と反応して反応生成物(BaHfO3)が生成されることが確認された。すなわち、単にY,Hf,Ce,Niといった元素を含む化合物(あるいは単体)がBaTiO3と反応しないのではなく、上記した酸化物の形態(HfO2,Y2O3,CeO2,NiO)であるからこそBaTiO3と反応しないことが確認された。
図3に示すように、第2層は複数の偏平粒で構成されており、各偏平粒は厚み方向に積層している確認された。各偏平粒は、平板状ではなく、不規則に湾曲した形状であり、偏平粒間に隙間が設けられていることも確認された。この隙間が、第2層(第2層を構成する偏平粒)の熱膨張を緩和するものと推察される。
各試料について反応試験を行った。反応試験は、試料の表面の中央部分に被焼成物(BaTiO3,LiCoO2)10gを載置し、BaTiO3を載置した試料については、大気雰囲気で1200℃,1時間焼成した後に室温まで冷却する処理を1サイクルとする試験を、35サイクル行った。また、LiCoO2を載置した試料については、大気雰囲気で1000℃,1時間焼成した後に室温まで冷却する処理を1サイクルとする試験を、35サイクル行った。なお、各サイクルを開始するにあたり、被焼成物(BaTiO3,LiCoO2)は、新しいものと交換した。そのため、反応試験においては、合計350gの被焼成物を焼成した。
各試料について剥離試験を行った。剥離試験は、反応試験とは別の試料を作成して行った。剥離試験は、各試料について、大気雰囲気で1350℃,2時間焼成した後に室温まで冷却する処理を1サイクルとする試験を、6サイクル行った。各サイクル終了後、各試料の表面に10mm×15mmのガムテープ(菊水テープ(株)製、布テープ No,212 50ミリ 25M)を貼り付けた後、そのガムテープを剥がし、コーティング層の剥離の有無を目視で確認して評価した。なお、ガムテープは、試料の中央部分に貼り付けた。また、ガムテープを試料(コーティング層)に密着させるため、ガムテープを試料に貼り付けた後、ガムテープ上に2kgの重りを10秒間載せた。6サイクル終了後に剥離が確認されなかった試料を「A」、4または5サイクル終了後に剥離が確認された試料を「B」、2または3サイクル終了後に剥離が確認された試料を「C」、1サイクル終了後に剥離が確認された試料を「D」とした。評価結果を図2に示す。
上記反応試験及び剥離試験の結果、評価「A」が3個以上の試料を判定「A」、評価「A」が1又は2個で評価「C」及び評価「D」がない試料を判定「B」、評価「A」が1個もない試料を判定「C」とした。判定「A」及び「B」の試料(焼成治具)は、電子部品材及びリチウム電池で用いられる活物質材との反応性が低く、焼成治具として有用であることを示している。特に、判定「A」の試料(焼成治具)は、電子部品材及びリチウム電池で用いられる活物質材用の焼成治具として優れた特性を有しているといえる。
Claims (6)
- 電子部品材の焼成に用いられる焼成治具であり、
SiC質又はSi-SiC質の基材と、基材の表面を被覆しているコーティング層を備えており、
コーティング層は、
基材表面に設けられているAl2O3−SiO2質を主成分とする第1層と、
コーティング層の表層に露出しており、Y2O3,HfO2,CeO2,NiO,WC,Ni,Moから選択される少なくとも1種を主成分とする第2層と、
を備える焼成治具。 - リチウム電池の活物質材の焼成に用いられる焼成治具であり、
SiC質又はSi-SiC質の基材と、基材の表面を被覆しているコーティング層を備えており、
コーティング層は、
基材表面に設けられているAl2O3−SiO2質を主成分とする第1層と、
コーティング層の表層に露出しており、Y2O3,HfO2,CeO2,NiOから選択される少なくとも1種を主成分とする第2層と、
を備える焼成治具。 - 第2層が、Y2O3,HfO2,CeO2,NiOから選択される少なくとも1種を主成分とする請求項1に記載の焼成治具。
- 第1層の熱膨張係数が基材の熱膨張係数以上であり、第2層の熱膨張係数が第1層の熱膨張係数以上となるように、基材、第1層及び第2層の材料が選択されている請求項1から3のいずれか一項に記載の焼成治具。
- 第1層と第2層の間に、Al2O3質を主成分とする第3層が設けられている請求項1から4のいずれか一項に記載の焼成治具。
- 第2層内に、第2層を構成する粒子が溶融凝固した偏平粒が複数存在し、
偏平粒が、基材と第1層と第2層が積層している方向に積層している請求項1から5のいずれか一項に記載の焼成治具。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2019024685 | 2019-02-14 | ||
JP2019024685 | 2019-02-14 | ||
PCT/JP2020/005150 WO2020166565A1 (ja) | 2019-02-14 | 2020-02-10 | 焼成治具 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2020166565A1 true JPWO2020166565A1 (ja) | 2021-03-11 |
JP6948466B2 JP6948466B2 (ja) | 2021-10-13 |
Family
ID=72044896
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2020530713A Active JP6948466B2 (ja) | 2019-02-14 | 2020-02-10 | 焼成治具 |
Country Status (5)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6948466B2 (ja) |
KR (1) | KR102407421B1 (ja) |
CN (1) | CN113383204B (ja) |
TW (1) | TWI816975B (ja) |
WO (1) | WO2020166565A1 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7422104B2 (ja) | 2021-03-23 | 2024-01-25 | 東京窯業株式会社 | 積層構造体の製造方法及び積層構造体 |
JP7203296B1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-01-12 | 日本碍子株式会社 | 焼成用セッター |
WO2023188454A1 (ja) * | 2022-03-28 | 2023-10-05 | 日本碍子株式会社 | 焼成用セッター |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH11314984A (ja) * | 1998-05-06 | 1999-11-16 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 焼成用道具材 |
JP4693196B2 (ja) | 1998-12-22 | 2011-06-01 | 菊水化学工業株式会社 | 焼成治具 |
JP2003306392A (ja) * | 2002-04-12 | 2003-10-28 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 電子部品用セラミックスの熱処理用治具およびその製造方法 |
JP4276558B2 (ja) | 2003-02-25 | 2009-06-10 | 株式会社アライドマテリアル | 酸化物皮膜層を備えた高融点金属材料とその製造方法とそれを用いた焼結用板 |
JP2006183972A (ja) * | 2004-12-28 | 2006-07-13 | Ngk Insulators Ltd | 電子部品用焼成治具 |
JP2007076935A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Toshiba Ceramics Co Ltd | 電子部品焼成用治具およびその製造方法 |
JP5324029B2 (ja) * | 2006-03-20 | 2013-10-23 | 東京エレクトロン株式会社 | 半導体加工装置用セラミック被覆部材 |
WO2009116596A1 (ja) * | 2008-03-21 | 2009-09-24 | 株式会社Ihi | コーティング構造及び表面処理方法 |
JP5953947B2 (ja) * | 2012-06-04 | 2016-07-20 | 株式会社Ihi | 耐環境被覆されたセラミックス基複合材料部品及びその製造方法 |
JP6088294B2 (ja) * | 2013-03-07 | 2017-03-01 | 東海高熱工業株式会社 | 炭化珪素複合材およびその製造方法 |
JP5995809B2 (ja) * | 2013-09-13 | 2016-09-21 | 三井金属鉱業株式会社 | 焼成治具および焼成治具の製造方法 |
CN104451518B (zh) * | 2014-11-20 | 2017-02-01 | 西安交通大学 | 一种低导热抗烧结热障涂层及其制备方法 |
JP6554573B1 (ja) * | 2018-03-19 | 2019-07-31 | 日本碍子株式会社 | 焼成用セッター |
-
2020
- 2020-02-10 WO PCT/JP2020/005150 patent/WO2020166565A1/ja active Application Filing
- 2020-02-10 CN CN202080001614.5A patent/CN113383204B/zh active Active
- 2020-02-10 KR KR1020207023354A patent/KR102407421B1/ko active IP Right Grant
- 2020-02-10 JP JP2020530713A patent/JP6948466B2/ja active Active
- 2020-02-13 TW TW109104493A patent/TWI816975B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP6948466B2 (ja) | 2021-10-13 |
TW202043176A (zh) | 2020-12-01 |
KR102407421B1 (ko) | 2022-06-10 |
CN113383204B (zh) | 2023-04-14 |
WO2020166565A1 (ja) | 2020-08-20 |
KR20200105930A (ko) | 2020-09-09 |
TWI816975B (zh) | 2023-10-01 |
CN113383204A (zh) | 2021-09-10 |
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