JP6088294B2 - 炭化珪素複合材およびその製造方法 - Google Patents
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Description
実施例1
B,C系の助剤を使用した常圧焼結SiCの板(「商品名:RS1000」、東海高熱工業株式会社製、サイズ:L150×W150×T5mm)を基材にして、最下層(SiC基材へのコート)にアルミニウムメタリコンを施工した後、大気中1000℃にて60分熱処理を行ないアルミニウムメタリコンの酸化層を形成した。
実施例2
実施例1と同様にして、アルミニウムメタリコンの酸化層を形成した後、アルミナプラズマ溶射をした上にジルコニアプラズマ溶射を施工して、酸化物セラミックス溶射膜層を形成し、炭化珪素複合材を作成した。
実施例3
アルミニウムメタリコンの熱処理条件を900℃,60分にした他は実施例1と同様にしてアルミニウムメタリコンの酸化層を形成した後、ジルコンプラズマ溶射を施工して、酸化物セラミックス溶射膜層を形成し、炭化珪素複合材を作成した。
比較例1
アルミニウムの代わりにニッケルをメタリコンした他は、実施例2と同様にして、炭化珪素複合材を作成した。
実施例2の条件で、最外層にジルコニアコートを施したSiC常圧焼結体を、フェライト焼成用セッターとして使用した。使用条件は、最高温度が1300℃のプッシャー炉で窒素が100%から空気が100%に変化する混合雰囲気である。40回使用したが、コートの剥がれは無く使用できた。
2:アルミニウムメタリコンの酸化層
3:酸化物セラミックス溶射膜
4:炭化珪素複合材
Claims (4)
- 炭化珪素焼結体からなる基材と、該基材表面に順次積層されたアルミニウムメタリコンの酸化層からなる第1層および酸化物セラミックス溶射膜層からなる第2層を備えることを特徴とする炭化珪素複合材。
- 前記酸化物セラミックス溶射膜がアルミナ、ムライト、ジルコニア、ジルコンおよびハフニアから選ばれる少なくとも1種の酸化物セラミックスを溶射して形成した被膜である請求項1に記載の炭化珪素複合材。
- 炭化珪素焼結体からなる基材表面をアルミニウムメタリコンで処理して酸化し、アルミニウムメタリコンの酸化層を形成した後、該アルミニウムメタリコンの酸化層表面を酸化物セラミックスで溶射することを特徴とする炭化珪素複合材の製造方法。
- 前記酸化物セラミックスがアルミナ、ムライト、ジルコニア、ジルコン、およびハフニアから選ばれる少なくとも1種である請求項3に記載の炭化珪素複合材の製造方法。
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