JP6289928B2 - 半導体装置 - Google Patents
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Description
本実施の形態では、本発明の一態様の半導体装置の構成例について、図面を参照して説明する。ここでは、半導体装置の一例として、トランジスタについて説明する。
[トランジスタの構成例]
図1に本構成例で例示するトランジスタ100を示す。図1(A)は、トランジスタ100の上面概略図であり、図1(B)、(C)は、それぞれ図1(A)中に示す切断線A1−A2、B1−B2で切断した断面概略図である。なお、図1(A)には明瞭化のため、主要な構成要素のみを示している。
以下では、本発明の一態様に含有される積層構造について説明する。
図2(A)に示す積層構造は、絶縁層107と、ゲート絶縁層104との間に酸化物積層110を有して構成される。また酸化物積層110は、第1の酸化物層111、第1の酸化物半導体層112、第2の酸化物半導体層113、及び第2の酸化物層114を含む。なお、実際の断面構造において、第1の酸化物層111と第1の酸化物半導体層112との境界、第1の酸化物半導体層112と第2の酸化物半導体層113の境界、及び第2の酸化物半導体層113と第2の酸化物層114との境界は明瞭でない場合がある。特に、第1の酸化物半導体層112と第2の酸化物半導体層113とは組成が同一または近い場合ではその境界が不明瞭な場合が多いため、図2(A)ではこれらの境界を破線で示している。
酸化物積層110のバンド構造を説明する。
第1の酸化物層111及び第2の酸化物層114は、第1の酸化物半導体層112または第2の酸化物半導体層113を構成する金属元素を一種以上含む酸化物であるから、酸化物積層110は主成分を共通して積層された酸化物積層ともいえる。主成分を共通として積層された酸化物積層は、各層を単に積層するのではなく、連続接合(ここでは、特に伝導帯下端のエネルギーが各層の間で連続的に変化するU字型の井戸構造)が形成されるように作製することが好ましい。なぜなら、各層の界面にトラップ中心や再結合中心のような欠陥準位を形成するような不純物が混在していると、エネルギーバンドの連続性が失われ、界面でキャリアがトラップあるいは再結合により消滅してしまうためである。
なお、酸化物積層110において、少なくとも第1の酸化物半導体層112及び第2の酸化物半導体層113のいずれか一方は、CAAC−OS膜であることが好ましい。
CAAC−OS膜は、例えば、多結晶である酸化物半導体スパッタリング用ターゲットを用い、スパッタリング法によって成膜する。当該スパッタリング用ターゲットにイオンが衝突すると、スパッタリング用ターゲットに含まれる結晶領域がa−b面から劈開し、a−b面に平行な面を有する平板状またはペレット状のスパッタリング粒子として剥離することがある。この場合、当該平板状のスパッタリング粒子が、結晶状態を維持したまま基板に到達することで、CAAC−OS膜を成膜することができる。
以下では、図1に示すトランジスタとは、構成の一部が異なる変形例について説明する。
以下では、本発明の一態様の半導体装置の作製方法の一例について、図面を参照して説明する。
ここでは、上記変形例で例示したトランジスタ150の作製方法例について説明する。図4及び図5は、作製工程に係る断面概略図である。
まず、基板101上に絶縁層107を形成する。
次いで、絶縁層107上に第1の酸化物層111、第1の酸化物半導体層112を順に積層する(図4(A))。第1の酸化物層111及び第1の酸化物半導体層112は、スパッタリング法、CVD(Chemical Vapor Deposition)法、MBE(Molecular Beam Epitaxy)法、ALD(Atomic Layer Deposition)法、またはPLD(Pulsed Laser Deposition)法等を用いて成膜する。
続いて、第1の酸化物半導体層112上に、レジストマスク121を形成する。レジストマスク121は、第1の酸化物半導体層112の第2の領域112bとなる領域以外を覆って形成する。
次いで、第1の酸化物半導体層112上に、第2の酸化物半導体層113、及び第2の酸化物層114を順に積層する(図4(C))。この段階で、酸化物積層110が形成される。
続いて、酸化物積層110、第1の電極102a及び第2の電極102b上にゲート絶縁層104を形成する。
次に、ゲート絶縁層104上に導電膜を形成し、不要な部分をエッチングすることにより、ゲート電極105を形成する(図5(B))。
続いて、ゲート絶縁層104及びゲート電極105上に絶縁層108と絶縁層109を順に積層する。
以下では、上記トランジスタの作製方法例とは一部が異なるトランジスタの作製方法例について説明する。なお以下では主に上記と相違する点について説明し、上記と共通する部分については、説明を省略する場合がある。
以下では、上記トランジスタの作製方法例及び上記変形例1とは一部が異なるトランジスタの作製方法例について説明する。なお以下では主に上記と相違する点について説明し、上記と共通する部分については、説明を省略する場合がある。
以下では上記トランジスタの作製方法例及び上記各変形例とは一部が異なるトランジスタの作製方法例について説明する。なお以下では主に上記と相違する点について説明し、上記と共通する部分については、説明を省略する場合がある。
以下では、上記トランジスタの作製方法例及び上記各変形例とは一部が異なるトランジスタの作製方法例について説明する。なお以下では主に上記と相違する点について説明し、上記と共通する部分については、説明を省略する場合がある。
本実施の形態では、上記実施の形態1とは異なる半導体装置の構成例、及び作製方法例について、図面を参照して説明する。なお以下では、上記実施の形態1と共通する部分については説明を省略する場合がある。
[トランジスタの構成例]
図10に本構成例で例示するトランジスタ200を示す。図10(A)は、トランジスタ200の上面概略図であり、図10(B)、(C)は、それぞれ図10(A)中に示す切断線E1−E2、F1−F2で切断した断面概略図である。なお、図10(A)には明瞭化のため、主要な構成要素のみを示している。
以下では、図10に示すトランジスタとは構成の一部が異なる変形例について説明する。
以下では、本発明の一態様の半導体装置の作製方法の一例について、図面を参照して説明する。なお、実施の形態1と共通する部分は、説明を省略する場合がある。
以下では、上記構成例2で例示したトランジスタ200の作製方法について説明する。
本実施の形態では本発明の一態様の半導体装置の一形態として、上記実施の形態で例示したトランジスタを具備するインバータ及びコンバータ等の電力変換回路の構成例について説明する。
図14(A)に示すDCDCコンバータ501は、一例としてチョッパー回路を用いた、降圧型のDCDCコンバータである。DCDCコンバータ501は、容量素子502、トランジスタ503、制御回路504、ダイオード505、コイル506及び容量素子507を有する。
本実施の形態では本発明の一態様の半導体装置の一形態として、上記実施の形態で例示したトランジスタを具備する電源回路の構成例について説明する。
本発明の一態様に係る半導体装置(電力変換回路、電源回路などを含む)は、機器への電力の供給を制御するのに適しており、特に大きな電力が必要な機器に好適に用いることができる。例えば、モーターなどの電力によりその駆動が制御される駆動部を備える機器や、電力により加熱または冷却を制御する機器などに好適に用いることができる。
まず、酸化物半導体膜に対してイオン注入を異なる条件で行った試料を作製し、それぞれの試料に対してエネルギーギャップを測定した。
試料の基板として石英基板を用いた。基板表面上に厚さ約100nmの酸化物半導体膜を成膜した。酸化物半導体膜の成膜は、In:Ga:Zn=1:1:1[原子数比]である多結晶のスパッタリングターゲットを用いたスパッタリング法を用いた。
作製した各試料に対して、エリプソメトリー法によりバンドギャップを算出した。ここで、酸化物半導体膜としては、基板側からリンのドープされていない第1層(L1)とリンのドープされた第2層(L2)の積層構造を仮定した。イオン注入の条件と第2層(L2)の厚さの関係を図21の上段に、またイオン注入の条件と第2層(L2)のバンドギャップの関係を図21の下段にそれぞれ示す。
以下では、上記とは異なる試料を作製し、紫外光電子分光法(UPS)を用いて評価した。
試料の基板として、シリコンウェハを用いた。まず、シリコン基板上の酸化膜を希フッ酸により除去したあと、シリコン基板上に厚さ約10nmの第1の酸化物膜、及び厚さ約25nmの第1の酸化物半導体膜を連続して成膜した。第1の酸化物膜の成膜はIn:Ga:Zn=1:3:2[原子数比]である多結晶のスパッタリングターゲットを用いたスパッタリング法を用いた。第1の酸化物半導体膜の成膜は、上記と同様に行った。
作製した試料について、UPSを用いて真空準位と価電子帯上端のエネルギー差(イオン化ポテンシャルともいう。)を測定した。測定は、試料表面からスパッタリング法によりエッチングしながら行うことで、イオン化ポテンシャルの深さ方向の分布を調べた。
12 光学系
14 試料室
16 光学系
18 カメラ
20 観察室
22 フィルム室
24 電子
28 物質
32 蛍光板
100 トランジスタ
101 基板
102 電極
102a 電極
102b 電極
104 ゲート絶縁層
105 ゲート電極
106a 電極
106b 電極
107 絶縁層
108 絶縁層
109 絶縁層
110 酸化物積層
111 酸化物層
112 酸化物半導体層
112a 領域
112b 領域
113 酸化物半導体層
114 酸化物層
121 レジストマスク
122 元素
150 トランジスタ
160 トランジスタ
170 トランジスタ
200 トランジスタ
210 トランジスタ
400 電源回路
401 パワースイッチ
402 パワースイッチ
403 電圧調整部
404 蓄電装置
405 補助電源
406 電圧発生回路
407 トランジスタ
408 トランジスタ
409 トランジスタ
410 トランジスタ
411 無線信号入力回路
413 制御回路
414 容量素子
415 容量素子
416 電源
417 負荷
501 DCDCコンバータ
502 容量素子
503 トランジスタ
504 制御回路
505 ダイオード
506 コイル
507 容量素子
508 負荷
511 DCDCコンバータ
512 容量素子
513 トランジスタ
514 制御回路
515 変圧器
516 ダイオード
517 容量素子
518 負荷
601 インバータ
602 トランジスタ
603 トランジスタ
604 トランジスタ
605 トランジスタ
606 制御回路
1400 電子レンジ
1401 筐体
1402 処理室
1403 表示部
1404 入力装置
1405 照射部
1410 洗濯機
1411 筐体
1412 開閉部
1413 入力装置
1414 給水口
1451 筐体
1452 冷蔵室用扉
1453 冷凍室用扉
1460 室内機
1461 筐体
1462 送風口
1464 室外機
Claims (8)
- 絶縁表面上に第1の酸化物層、第1の酸化物半導体層、第2の酸化物半導体層、及び第2の酸化物層が順に積層した積層構造を含む酸化物積層と、
前記第2の酸化物層の一部と接し、前記第1の酸化物半導体層上で離間する第1の電極及び第2の電極と、
前記第2の酸化物層上にゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に前記酸化物積層と重なるゲート電極と、を有し、
前記第1の酸化物半導体層は、第1の領域と第2の領域と、を備え、
前記第2の領域は、側部及び底部が前記第1の領域に囲まれ、上部が前記第2の酸化物半導体層と接して設けられ、且つ、前記第1の電極と重畳し、且つ前記第2の電極と重畳しないように設けられ、且つ、酸化物半導体に対して導電性を付与する元素の濃度が、前記第1の領域よりも高い、
半導体装置。 - 絶縁表面上に第1の酸化物層、第1の酸化物半導体層、第2の酸化物半導体層、及び第2の酸化物層が順に積層された積層構造を含む酸化物積層と、
前記第2の酸化物半導体層の上面の一部、及び前記第2の酸化物層の底面の一部と接し、前記第1の酸化物半導体層上で離間する第1の電極及び第2の電極と、
前記第2の酸化物層上にゲート絶縁層と、
前記ゲート絶縁層上に前記酸化物積層と重なるゲート電極と、を有し、
前記第1の酸化物半導体層は、第1の領域と第2の領域と、を備え、
前記第2の領域は、側部及び底部が前記第1の領域に囲まれ、上部が前記第2の酸化物半導体層と接して設けられ、且つ、前記第1の電極と重畳し、且つ前記第2の電極と重畳しないように設けられ、且つ、酸化物半導体に対して導電性を付与する元素の濃度が、前記第1の領域よりも高い、
半導体装置。 - 前記酸化物半導体に対して導電性を付与する元素は、リン、砒素、アンチモン、ホウ素、アルミニウム、窒素、アルゴン、ヘリウム、ネオン、インジウム、フッ素、塩素、水素、チタン、亜鉛のいずれかである、
請求項1または請求項2に記載の、半導体装置。 - 前記第1の酸化物層、前記第2の酸化物層、前記第1の酸化物半導体層、および前記第2の酸化物半導体層は、それぞれIn−M−Zn酸化物(MはAl、Ti、Ga、Y、Zr、La、Ce、NdまたはHf)であり、
前記第1の酸化物層は、前記第1の酸化物半導体層よりも前記元素Mの含有割合が高く、
前記第2の酸化物層は、前記第2の酸化物半導体層よりも前記元素Mの含有割合が高い、
請求項1乃至請求項3のいずれか一に記載の、半導体装置。 - 前記ゲート電極は、前記第1の電極と重畳し、且つ前記第2の電極と重畳しないように設けられた、
請求項1乃至請求項4のいずれか一に記載の、半導体装置。 - 前記ゲート電極は、前記第2の領域よりも前記第2の電極側に延在するように設けられた、
請求項5に記載の、半導体装置。 - 前記第1の電極と重畳する領域において、
前記第2の酸化物半導体層の厚さが、10nm以上40nm以下である、
請求項1乃至請求項6のいずれか一に記載の、半導体装置。 - 前記第1の酸化物半導体層、及び前記第2の酸化物半導体層の少なくともいずれかは、結晶部を有する、
請求項1乃至請求項7のいずれか一に記載の、半導体装置。
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CN106796918A (zh) * | 2014-10-10 | 2017-05-31 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置、电路板及电子设备 |
WO2016092427A1 (en) * | 2014-12-10 | 2016-06-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP6705663B2 (ja) * | 2015-03-06 | 2020-06-03 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置およびその作製方法 |
KR20160114511A (ko) | 2015-03-24 | 2016-10-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치의 제작 방법 |
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JP6367167B2 (ja) * | 2015-09-10 | 2018-08-01 | 東芝メモリ株式会社 | 半導体装置 |
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KR102330089B1 (ko) * | 2016-01-18 | 2021-12-01 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 금속 산화물막, 반도체 장치, 및 표시 장치 |
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US10512954B2 (en) * | 2018-05-02 | 2019-12-24 | Mitsubishi Polycrystalline Silicon America Corporation (MIPSA) | Method to prevent grounding from a silicon rod to a plate in polycrystalline silicon reactor |
CN109935637A (zh) * | 2019-03-19 | 2019-06-25 | 中国科学院物理研究所 | 一种高压薄膜晶体管 |
Family Cites Families (160)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US1900018A (en) * | 1928-03-28 | 1933-03-07 | Lilienfeld Julius Edgar | Device for controlling electric current |
JPS60198861A (ja) | 1984-03-23 | 1985-10-08 | Fujitsu Ltd | 薄膜トランジスタ |
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JPS63210023A (ja) | 1987-02-24 | 1988-08-31 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | InGaZn↓4O↓7で示される六方晶系の層状構造を有する化合物およびその製造法 |
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US6709907B1 (en) * | 1992-02-25 | 2004-03-23 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method of fabricating a thin film transistor |
JPH05251705A (ja) | 1992-03-04 | 1993-09-28 | Fuji Xerox Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
JP3479375B2 (ja) | 1995-03-27 | 2003-12-15 | 科学技術振興事業団 | 亜酸化銅等の金属酸化物半導体による薄膜トランジスタとpn接合を形成した金属酸化物半導体装置およびそれらの製造方法 |
DE69635107D1 (de) | 1995-08-03 | 2005-09-29 | Koninkl Philips Electronics Nv | Halbleiteranordnung mit einem transparenten schaltungselement |
JP3625598B2 (ja) | 1995-12-30 | 2005-03-02 | 三星電子株式会社 | 液晶表示装置の製造方法 |
US8603870B2 (en) * | 1996-07-11 | 2013-12-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method of manufacturing the same |
JP4170454B2 (ja) | 1998-07-24 | 2008-10-22 | Hoya株式会社 | 透明導電性酸化物薄膜を有する物品及びその製造方法 |
JP2000150861A (ja) | 1998-11-16 | 2000-05-30 | Tdk Corp | 酸化物薄膜 |
JP3276930B2 (ja) | 1998-11-17 | 2002-04-22 | 科学技術振興事業団 | トランジスタ及び半導体装置 |
TW460731B (en) | 1999-09-03 | 2001-10-21 | Ind Tech Res Inst | Electrode structure and production method of wide viewing angle LCD |
GB2358079B (en) * | 2000-01-07 | 2004-02-18 | Seiko Epson Corp | Thin-film transistor |
JP4089858B2 (ja) | 2000-09-01 | 2008-05-28 | 国立大学法人東北大学 | 半導体デバイス |
KR20020038482A (ko) | 2000-11-15 | 2002-05-23 | 모리시타 요이찌 | 박막 트랜지스터 어레이, 그 제조방법 및 그것을 이용한표시패널 |
JP3997731B2 (ja) | 2001-03-19 | 2007-10-24 | 富士ゼロックス株式会社 | 基材上に結晶性半導体薄膜を形成する方法 |
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CN1445821A (zh) | 2002-03-15 | 2003-10-01 | 三洋电机株式会社 | ZnO膜和ZnO半导体层的形成方法、半导体元件及其制造方法 |
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JP2004273732A (ja) | 2003-03-07 | 2004-09-30 | Sharp Corp | アクティブマトリクス基板およびその製造方法 |
JP4108633B2 (ja) | 2003-06-20 | 2008-06-25 | シャープ株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法ならびに電子デバイス |
US7262463B2 (en) | 2003-07-25 | 2007-08-28 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Transistor including a deposited channel region having a doped portion |
US7297977B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-11-20 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Semiconductor device |
KR101019337B1 (ko) | 2004-03-12 | 2011-03-07 | 도꾸리쯔교세이호징 가가꾸 기쥬쯔 신꼬 기꼬 | 아몰퍼스 산화물 및 박막 트랜지스터 |
US7282782B2 (en) | 2004-03-12 | 2007-10-16 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Combined binary oxide semiconductor device |
US7145174B2 (en) | 2004-03-12 | 2006-12-05 | Hewlett-Packard Development Company, Lp. | Semiconductor device |
US7211825B2 (en) | 2004-06-14 | 2007-05-01 | Yi-Chi Shih | Indium oxide-based thin film transistors and circuits |
JP2006005294A (ja) * | 2004-06-21 | 2006-01-05 | Renesas Technology Corp | 半導体装置 |
JP2006100760A (ja) | 2004-09-02 | 2006-04-13 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
US7285501B2 (en) | 2004-09-17 | 2007-10-23 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Method of forming a solution processed device |
US7298084B2 (en) | 2004-11-02 | 2007-11-20 | 3M Innovative Properties Company | Methods and displays utilizing integrated zinc oxide row and column drivers in conjunction with organic light emitting diodes |
CA2585071A1 (en) | 2004-11-10 | 2006-05-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor employing an amorphous oxide |
US7829444B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-11-09 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor manufacturing method |
CA2585063C (en) | 2004-11-10 | 2013-01-15 | Canon Kabushiki Kaisha | Light-emitting device |
US7453065B2 (en) | 2004-11-10 | 2008-11-18 | Canon Kabushiki Kaisha | Sensor and image pickup device |
EP1812969B1 (en) | 2004-11-10 | 2015-05-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Field effect transistor comprising an amorphous oxide |
US7863611B2 (en) | 2004-11-10 | 2011-01-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Integrated circuits utilizing amorphous oxides |
US7791072B2 (en) | 2004-11-10 | 2010-09-07 | Canon Kabushiki Kaisha | Display |
US7579224B2 (en) | 2005-01-21 | 2009-08-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Method for manufacturing a thin film semiconductor device |
TWI445178B (zh) | 2005-01-28 | 2014-07-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
TWI505473B (zh) | 2005-01-28 | 2015-10-21 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電子裝置,和半導體裝置的製造方法 |
US7858451B2 (en) | 2005-02-03 | 2010-12-28 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device, semiconductor device and manufacturing method thereof |
US7948171B2 (en) | 2005-02-18 | 2011-05-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Light emitting device |
US20060197092A1 (en) | 2005-03-03 | 2006-09-07 | Randy Hoffman | System and method for forming conductive material on a substrate |
US8681077B2 (en) | 2005-03-18 | 2014-03-25 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, and display device, driving method and electronic apparatus thereof |
WO2006105077A2 (en) | 2005-03-28 | 2006-10-05 | Massachusetts Institute Of Technology | Low voltage thin film transistor with high-k dielectric material |
US7645478B2 (en) | 2005-03-31 | 2010-01-12 | 3M Innovative Properties Company | Methods of making displays |
US8300031B2 (en) | 2005-04-20 | 2012-10-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device comprising transistor having gate and drain connected through a current-voltage conversion element |
JP2006344849A (ja) | 2005-06-10 | 2006-12-21 | Casio Comput Co Ltd | 薄膜トランジスタ |
US7691666B2 (en) | 2005-06-16 | 2010-04-06 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7402506B2 (en) | 2005-06-16 | 2008-07-22 | Eastman Kodak Company | Methods of making thin film transistors comprising zinc-oxide-based semiconductor materials and transistors made thereby |
US7507618B2 (en) | 2005-06-27 | 2009-03-24 | 3M Innovative Properties Company | Method for making electronic devices using metal oxide nanoparticles |
KR100711890B1 (ko) | 2005-07-28 | 2007-04-25 | 삼성에스디아이 주식회사 | 유기 발광표시장치 및 그의 제조방법 |
JP2007059128A (ja) | 2005-08-23 | 2007-03-08 | Canon Inc | 有機el表示装置およびその製造方法 |
JP4280736B2 (ja) | 2005-09-06 | 2009-06-17 | キヤノン株式会社 | 半導体素子 |
JP5116225B2 (ja) | 2005-09-06 | 2013-01-09 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体デバイスの製造方法 |
JP4850457B2 (ja) | 2005-09-06 | 2012-01-11 | キヤノン株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜ダイオード |
JP2007073705A (ja) | 2005-09-06 | 2007-03-22 | Canon Inc | 酸化物半導体チャネル薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
EP1770788A3 (en) | 2005-09-29 | 2011-09-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having oxide semiconductor layer and manufacturing method thereof |
JP5037808B2 (ja) | 2005-10-20 | 2012-10-03 | キヤノン株式会社 | アモルファス酸化物を用いた電界効果型トランジスタ、及び該トランジスタを用いた表示装置 |
CN101577231B (zh) | 2005-11-15 | 2013-01-02 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体器件及其制造方法 |
TWI292281B (en) | 2005-12-29 | 2008-01-01 | Ind Tech Res Inst | Pixel structure of active organic light emitting diode and method of fabricating the same |
US7867636B2 (en) | 2006-01-11 | 2011-01-11 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Transparent conductive film and method for manufacturing the same |
JP4977478B2 (ja) | 2006-01-21 | 2012-07-18 | 三星電子株式会社 | ZnOフィルム及びこれを用いたTFTの製造方法 |
US7576394B2 (en) | 2006-02-02 | 2009-08-18 | Kochi Industrial Promotion Center | Thin film transistor including low resistance conductive thin films and manufacturing method thereof |
US7977169B2 (en) | 2006-02-15 | 2011-07-12 | Kochi Industrial Promotion Center | Semiconductor device including active layer made of zinc oxide with controlled orientations and manufacturing method thereof |
JP2007273919A (ja) * | 2006-03-31 | 2007-10-18 | Nec Corp | 半導体装置及びその製造方法 |
KR20070101595A (ko) | 2006-04-11 | 2007-10-17 | 삼성전자주식회사 | ZnO TFT |
US20070252928A1 (en) | 2006-04-28 | 2007-11-01 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure, transmission type liquid crystal display, reflection type display and manufacturing method thereof |
JP5028033B2 (ja) | 2006-06-13 | 2012-09-19 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4609797B2 (ja) | 2006-08-09 | 2011-01-12 | Nec液晶テクノロジー株式会社 | 薄膜デバイス及びその製造方法 |
JP4999400B2 (ja) | 2006-08-09 | 2012-08-15 | キヤノン株式会社 | 酸化物半導体膜のドライエッチング方法 |
JP4332545B2 (ja) | 2006-09-15 | 2009-09-16 | キヤノン株式会社 | 電界効果型トランジスタ及びその製造方法 |
JP5164357B2 (ja) | 2006-09-27 | 2013-03-21 | キヤノン株式会社 | 半導体装置及び半導体装置の製造方法 |
JP4274219B2 (ja) | 2006-09-27 | 2009-06-03 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス、有機エレクトロルミネッセンス装置、有機薄膜半導体装置 |
US7622371B2 (en) | 2006-10-10 | 2009-11-24 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Fused nanocrystal thin film semiconductor and method |
US7772021B2 (en) | 2006-11-29 | 2010-08-10 | Samsung Electronics Co., Ltd. | Flat panel displays comprising a thin-film transistor having a semiconductive oxide in its channel and methods of fabricating the same for use in flat panel displays |
JP2008140684A (ja) | 2006-12-04 | 2008-06-19 | Toppan Printing Co Ltd | カラーelディスプレイおよびその製造方法 |
KR101303578B1 (ko) | 2007-01-05 | 2013-09-09 | 삼성전자주식회사 | 박막 식각 방법 |
US8207063B2 (en) | 2007-01-26 | 2012-06-26 | Eastman Kodak Company | Process for atomic layer deposition |
KR100851215B1 (ko) | 2007-03-14 | 2008-08-07 | 삼성에스디아이 주식회사 | 박막 트랜지스터 및 이를 이용한 유기 전계 발광표시장치 |
US7795613B2 (en) | 2007-04-17 | 2010-09-14 | Toppan Printing Co., Ltd. | Structure with transistor |
KR101325053B1 (ko) | 2007-04-18 | 2013-11-05 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 기판 및 이의 제조 방법 |
KR20080094300A (ko) | 2007-04-19 | 2008-10-23 | 삼성전자주식회사 | 박막 트랜지스터 및 그 제조 방법과 박막 트랜지스터를포함하는 평판 디스플레이 |
KR101334181B1 (ko) | 2007-04-20 | 2013-11-28 | 삼성전자주식회사 | 선택적으로 결정화된 채널층을 갖는 박막 트랜지스터 및 그제조 방법 |
WO2008133345A1 (en) | 2007-04-25 | 2008-11-06 | Canon Kabushiki Kaisha | Oxynitride semiconductor |
KR101345376B1 (ko) | 2007-05-29 | 2013-12-24 | 삼성전자주식회사 | ZnO 계 박막 트랜지스터 및 그 제조방법 |
JP5215158B2 (ja) | 2007-12-17 | 2013-06-19 | 富士フイルム株式会社 | 無機結晶性配向膜及びその製造方法、半導体デバイス |
JP4555358B2 (ja) | 2008-03-24 | 2010-09-29 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタおよび表示装置 |
KR100941850B1 (ko) | 2008-04-03 | 2010-02-11 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 트랜지스터, 그의 제조 방법 및 박막 트랜지스터를구비하는 평판 표시 장치 |
KR100963026B1 (ko) | 2008-06-30 | 2010-06-10 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 트랜지스터, 그의 제조 방법 및 박막 트랜지스터를구비하는 평판 표시 장치 |
KR100963027B1 (ko) | 2008-06-30 | 2010-06-10 | 삼성모바일디스플레이주식회사 | 박막 트랜지스터, 그의 제조 방법 및 박막 트랜지스터를구비하는 평판 표시 장치 |
JP5345456B2 (ja) | 2008-08-14 | 2013-11-20 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜電界効果型トランジスタ |
JP4623179B2 (ja) | 2008-09-18 | 2011-02-02 | ソニー株式会社 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
EP2172977A1 (en) * | 2008-10-03 | 2010-04-07 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device |
JP5451280B2 (ja) | 2008-10-09 | 2014-03-26 | キヤノン株式会社 | ウルツ鉱型結晶成長用基板およびその製造方法ならびに半導体装置 |
TWI478356B (zh) | 2008-10-31 | 2015-03-21 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置及其製造方法 |
TWI529949B (zh) | 2008-11-28 | 2016-04-11 | 半導體能源研究所股份有限公司 | 半導體裝置和其製造方法 |
US8441007B2 (en) | 2008-12-25 | 2013-05-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Display device and manufacturing method thereof |
JP5606682B2 (ja) | 2009-01-29 | 2014-10-15 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ、多結晶酸化物半導体薄膜の製造方法、及び薄膜トランジスタの製造方法 |
JP5504008B2 (ja) * | 2009-03-06 | 2014-05-28 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
WO2010114529A1 (en) * | 2009-03-31 | 2010-10-07 | Hewlett-Packard Development Company, L.P. | Thin-film transistor (tft) with a bi-layer channel |
US20100244017A1 (en) * | 2009-03-31 | 2010-09-30 | Randy Hoffman | Thin-film transistor (tft) with an extended oxide channel |
JP5322787B2 (ja) * | 2009-06-11 | 2013-10-23 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ及びその製造方法、電気光学装置、並びにセンサー |
JP4415062B1 (ja) | 2009-06-22 | 2010-02-17 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタ及び薄膜トランジスタの製造方法 |
JP4571221B1 (ja) | 2009-06-22 | 2010-10-27 | 富士フイルム株式会社 | Igzo系酸化物材料及びigzo系酸化物材料の製造方法 |
KR102153841B1 (ko) | 2009-07-31 | 2020-09-08 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제조 방법 |
JP5655195B2 (ja) * | 2009-08-18 | 2015-01-21 | リコー電子デバイス株式会社 | 半導体装置 |
TWI512997B (zh) | 2009-09-24 | 2015-12-11 | Semiconductor Energy Lab | 半導體裝置,電源電路,和半導體裝置的製造方法 |
JP2011138934A (ja) | 2009-12-28 | 2011-07-14 | Sony Corp | 薄膜トランジスタ、表示装置および電子機器 |
CN102903758B (zh) | 2009-12-28 | 2015-06-03 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置 |
KR101773641B1 (ko) | 2010-01-22 | 2017-09-12 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
JP2011187506A (ja) | 2010-03-04 | 2011-09-22 | Sony Corp | 薄膜トランジスタおよびその製造方法、並びに表示装置 |
WO2011122364A1 (en) * | 2010-04-02 | 2011-10-06 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
WO2011125940A1 (ja) * | 2010-04-06 | 2011-10-13 | 株式会社日立製作所 | 薄膜トランジスタおよびその製造方法 |
JP5606787B2 (ja) * | 2010-05-18 | 2014-10-15 | 富士フイルム株式会社 | 薄膜トランジスタの製造方法、並びに、薄膜トランジスタ、イメージセンサー、x線センサー及びx線デジタル撮影装置 |
TW201212237A (en) * | 2010-09-03 | 2012-03-16 | Au Optronics Corp | Thin film transistor and fabricating method thereof |
US8941112B2 (en) * | 2010-12-28 | 2015-01-27 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
US9799773B2 (en) * | 2011-02-02 | 2017-10-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Transistor and semiconductor device |
JP2012160679A (ja) | 2011-02-03 | 2012-08-23 | Sony Corp | 薄膜トランジスタ、表示装置および電子機器 |
US8541781B2 (en) * | 2011-03-10 | 2013-09-24 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing the same |
JP2012209543A (ja) * | 2011-03-11 | 2012-10-25 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置 |
JP5615744B2 (ja) * | 2011-03-14 | 2014-10-29 | 富士フイルム株式会社 | 電界効果型トランジスタ、表示装置、センサ及び電界効果型トランジスタの製造方法 |
JP5931573B2 (ja) * | 2011-05-13 | 2016-06-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
US8772752B2 (en) * | 2011-05-24 | 2014-07-08 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9214474B2 (en) | 2011-07-08 | 2015-12-15 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
US8748886B2 (en) | 2011-07-08 | 2014-06-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
US8952377B2 (en) | 2011-07-08 | 2015-02-10 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and manufacturing method thereof |
JP2013055080A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-21 | Japan Display East Co Ltd | 表示装置および表示装置の製造方法 |
US8796683B2 (en) | 2011-12-23 | 2014-08-05 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
JP5917385B2 (ja) | 2011-12-27 | 2016-05-11 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置の作製方法 |
TWI562361B (en) | 2012-02-02 | 2016-12-11 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | Semiconductor device |
KR102254731B1 (ko) | 2012-04-13 | 2021-05-20 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR102119914B1 (ko) | 2012-05-31 | 2020-06-05 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 및 그 제작 방법 |
CN104380473B (zh) | 2012-05-31 | 2017-10-13 | 株式会社半导体能源研究所 | 半导体装置 |
JP6208469B2 (ja) | 2012-05-31 | 2017-10-04 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 半導体装置 |
JP2014027263A (ja) * | 2012-06-15 | 2014-02-06 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 半導体装置およびその作製方法 |
US8901557B2 (en) | 2012-06-15 | 2014-12-02 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9059219B2 (en) | 2012-06-27 | 2015-06-16 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device |
KR102161077B1 (ko) * | 2012-06-29 | 2020-09-29 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 반도체 장치 |
KR102046996B1 (ko) * | 2012-10-16 | 2019-11-21 | 삼성디스플레이 주식회사 | 박막 트랜지스터 표시판 |
US9293544B2 (en) | 2013-02-26 | 2016-03-22 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device having buried channel structure |
US9373711B2 (en) | 2013-02-27 | 2016-06-21 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device |
US9666697B2 (en) * | 2013-07-08 | 2017-05-30 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device and method for manufacturing semiconductor device including an electron trap layer |
-
2014
- 2014-02-06 US US14/174,477 patent/US9231111B2/en active Active
- 2014-02-12 KR KR1020140016162A patent/KR102166554B1/ko active IP Right Grant
- 2014-02-13 JP JP2014025474A patent/JP6289928B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9231111B2 (en) | 2016-01-05 |
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US20140225104A1 (en) | 2014-08-14 |
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