JP5629920B2 - アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール - Google Patents
アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール Download PDFInfo
- Publication number
- JP5629920B2 JP5629920B2 JP2010167008A JP2010167008A JP5629920B2 JP 5629920 B2 JP5629920 B2 JP 5629920B2 JP 2010167008 A JP2010167008 A JP 2010167008A JP 2010167008 A JP2010167008 A JP 2010167008A JP 5629920 B2 JP5629920 B2 JP 5629920B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thermoelectric conversion
- magnesium
- aluminum
- composite material
- silicon composite
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 title claims description 153
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 title claims description 140
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 title claims description 139
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 title claims description 136
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 131
- 239000002131 composite material Substances 0.000 title claims description 110
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 108
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 99
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 99
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 94
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 60
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 12
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 56
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 38
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 31
- 238000002844 melting Methods 0.000 claims description 25
- 230000008018 melting Effects 0.000 claims description 24
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 22
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 claims description 16
- 239000000956 alloy Substances 0.000 claims description 16
- 229910000861 Mg alloy Inorganic materials 0.000 claims description 9
- -1 aluminum-magnesium-silicon Chemical compound 0.000 claims description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 description 59
- 238000000034 method Methods 0.000 description 43
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 19
- 239000002019 doping agent Substances 0.000 description 15
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 11
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 11
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 10
- 229910002804 graphite Inorganic materials 0.000 description 10
- 239000010439 graphite Substances 0.000 description 10
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 description 10
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 9
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 9
- 239000011810 insulating material Substances 0.000 description 9
- XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N Argon Chemical compound [Ar] XKRFYHLGVUSROY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 8
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 8
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- MKPXGEVFQSIKGE-UHFFFAOYSA-N [Mg].[Si] Chemical compound [Mg].[Si] MKPXGEVFQSIKGE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 7
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 7
- 239000002918 waste heat Substances 0.000 description 7
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 6
- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N nickel Substances [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 6
- 229910019018 Mg 2 Si Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 5
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 5
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 5
- 229910019752 Mg2Si Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052786 argon Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 4
- 229910000765 intermetallic Inorganic materials 0.000 description 4
- 238000005498 polishing Methods 0.000 description 4
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 description 4
- 238000004056 waste incineration Methods 0.000 description 4
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N Boron Chemical compound [B] ZOXJGFHDIHLPTG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N Boron nitride Chemical compound N#B PZNSFCLAULLKQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N Magnesium oxide Chemical compound [Mg]=O CPLXHLVBOLITMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005260 corrosion Methods 0.000 description 3
- 230000007797 corrosion Effects 0.000 description 3
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 3
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 3
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 3
- 239000002783 friction material Substances 0.000 description 3
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 3
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 3
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 3
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000005678 Seebeck effect Effects 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910003460 diamond Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010432 diamond Substances 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 2
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 2
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 2
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 2
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 2
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000000395 magnesium oxide Substances 0.000 description 2
- 229910021338 magnesium silicide Inorganic materials 0.000 description 2
- YTHCQFKNFVSQBC-UHFFFAOYSA-N magnesium silicide Chemical compound [Mg]=[Si]=[Mg] YTHCQFKNFVSQBC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052748 manganese Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000010309 melting process Methods 0.000 description 2
- BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N platinum Chemical compound [Pt] BASFCYQUMIYNBI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 2
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000006104 solid solution Substances 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052582 BN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910002909 Bi-Te Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910020712 Co—Sb Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000005679 Peltier effect Effects 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052787 antimony Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012300 argon atmosphere Substances 0.000 description 1
- 229910052797 bismuth Inorganic materials 0.000 description 1
- JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N bismuth atom Chemical compound [Bi] JCXGWMGPZLAOME-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- VJTAZCKMHINUKO-UHFFFAOYSA-M chloro(2-methoxyethyl)mercury Chemical compound [Cl-].COCC[Hg+] VJTAZCKMHINUKO-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 239000004020 conductor Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000012776 electronic material Substances 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000002440 industrial waste Substances 0.000 description 1
- 229910052741 iridium Inorganic materials 0.000 description 1
- GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N iridium atom Chemical compound [Ir] GKOZUEZYRPOHIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000010030 laminating Methods 0.000 description 1
- AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N magnesium;oxygen(2-) Chemical compound [O-2].[Mg+2] AXZKOIWUVFPNLO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000155 melt Substances 0.000 description 1
- 239000004570 mortar (masonry) Substances 0.000 description 1
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000010248 power generation Methods 0.000 description 1
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 1
- 239000011802 pulverized particle Substances 0.000 description 1
- WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N pyrogallol Chemical compound OC1=CC=CC(O)=C1O WQGWDDDVZFFDIG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 229910052761 rare earth metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002910 rare earth metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000002441 reversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000012552 review Methods 0.000 description 1
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052814 silicon oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000002490 spark plasma sintering Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/01—Manufacture or treatment
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/85—Thermoelectric active materials
- H10N10/851—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F3/00—Manufacture of workpieces or articles from metallic powder characterised by the manner of compacting or sintering; Apparatus specially adapted therefor ; Presses and furnaces
- B22F3/10—Sintering only
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B22—CASTING; POWDER METALLURGY
- B22F—WORKING METALLIC POWDER; MANUFACTURE OF ARTICLES FROM METALLIC POWDER; MAKING METALLIC POWDER; APPARATUS OR DEVICES SPECIALLY ADAPTED FOR METALLIC POWDER
- B22F9/00—Making metallic powder or suspensions thereof
- B22F9/02—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes
- B22F9/04—Making metallic powder or suspensions thereof using physical processes starting from solid material, e.g. by crushing, grinding or milling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/515—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics
- C04B35/58—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides
- C04B35/58085—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products based on non-oxide ceramics based on borides, nitrides, i.e. nitrides, oxynitrides, carbonitrides or oxycarbonitrides or silicides based on silicides
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/626—Preparing or treating the powders individually or as batches ; preparing or treating macroscopic reinforcing agents for ceramic products, e.g. fibres; mechanical aspects section B
- C04B35/62605—Treating the starting powders individually or as mixtures
- C04B35/6261—Milling
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B35/00—Shaped ceramic products characterised by their composition; Ceramics compositions; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/622—Forming processes; Processing powders of inorganic compounds preparatory to the manufacturing of ceramic products
- C04B35/64—Burning or sintering processes
- C04B35/645—Pressure sintering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C1/00—Making non-ferrous alloys
- C22C1/02—Making non-ferrous alloys by melting
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C23/00—Alloys based on magnesium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C22—METALLURGY; FERROUS OR NON-FERROUS ALLOYS; TREATMENT OF ALLOYS OR NON-FERROUS METALS
- C22C—ALLOYS
- C22C24/00—Alloys based on an alkali or an alkaline earth metal
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N10/00—Thermoelectric devices comprising a junction of dissimilar materials, i.e. devices exhibiting Seebeck or Peltier effects
- H10N10/80—Constructional details
- H10N10/85—Thermoelectric active materials
- H10N10/851—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions
- H10N10/8556—Thermoelectric active materials comprising inorganic compositions comprising compounds containing germanium or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/40—Metallic constituents or additives not added as binding phase
- C04B2235/401—Alkaline earth metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/40—Metallic constituents or additives not added as binding phase
- C04B2235/402—Aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/30—Constituents and secondary phases not being of a fibrous nature
- C04B2235/42—Non metallic elements added as constituents or additives, e.g. sulfur, phosphor, selenium or tellurium
- C04B2235/428—Silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/02—Composition of constituents of the starting material or of secondary phases of the final product
- C04B2235/50—Constituents or additives of the starting mixture chosen for their shape or used because of their shape or their physical appearance
- C04B2235/54—Particle size related information
- C04B2235/5418—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof
- C04B2235/5436—Particle size related information expressed by the size of the particles or aggregates thereof micrometer sized, i.e. from 1 to 100 micron
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
- C04B2235/6562—Heating rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/656—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes characterised by specific heating conditions during heat treatment
- C04B2235/6565—Cooling rate
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
- C04B2235/6581—Total pressure below 1 atmosphere, e.g. vacuum
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/65—Aspects relating to heat treatments of ceramic bodies such as green ceramics or pre-sintered ceramics, e.g. burning, sintering or melting processes
- C04B2235/658—Atmosphere during thermal treatment
- C04B2235/6582—Hydrogen containing atmosphere
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/72—Products characterised by the absence or the low content of specific components, e.g. alkali metal free alumina ceramics
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
- C04B2235/00—Aspects relating to ceramic starting mixtures or sintered ceramic products
- C04B2235/70—Aspects relating to sintered or melt-casted ceramic products
- C04B2235/96—Properties of ceramic products, e.g. mechanical properties such as strength, toughness, wear resistance
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Structural Engineering (AREA)
- Powder Metallurgy (AREA)
Description
[アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料の特性]
本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料は、Al、Mg、及びSiからなる合金を含み、300Kにおける電気伝導率σが1000〜3000S/cmである。ここで、熱電変換材料の性能指数を示す上記の数式(1)から明らかなように、電気伝導率σが高い材料は、性能指数も高くなる傾向にある。このため、本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料は、優れた熱電変換性能を有する傾向にある。アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料が優れた電気伝導率を示すことにより、例えば、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料を熱電変換素子、熱電変換モジュールに使用する場合に、高い熱電変換性能を得ることができる。なお、上記電気伝導率は、1100〜2500S/cmであることが好ましく、1200〜2000S/cmであることが更に好ましい。
本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料は、熱電変換材料として好適に使用できるものである。即ち、本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料は、300Kにおける電気伝導率が1000〜3000S/cmのものであるので、熱電変換性能に優れる傾向にあり、これを熱電変換材料として熱電変換素子、熱電変換モジュールに使用する場合に、高い熱電変換性能を得ることができる。
本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料の製造方法は、Alを含有するMg合金、並びに/又はAl及びMgの混合物と、Siとを混合することにより得られ、Alの含有量が1〜10at%である組成原料を、開口部とこの開口部を覆う蓋部とを有し、上記開口部の辺縁における上記蓋部への接触面と、上記蓋部における上記開口部への接触面とが共に研磨処理された耐熱容器中で加熱溶融する工程を有するものである。
混合工程においては、Alを含有するMg合金、並びに/又はAl及びMgの混合物と、Siとを混合して、Alの含有量が1〜10at%、好ましくは3.5〜6.0at%、より好ましくは3.8〜5.8at%である組成原料を得る。
加熱溶融工程においては、Al、Mg、及びSiを含む組成原料を還元雰囲気下且つ好ましくは減圧下において、Mg及びAlの融点を超えSiの融点を下回る温度条件下で熱処理してAl、Mg、及びSiからなる合金を溶融合成することが好ましい。ここで、「還元雰囲気下」とは、特に水素ガスを5体積%以上含み、必要に応じてその他の成分として、不活性化ガスを含む雰囲気を指す。斯かる還元雰囲気下で加熱溶融工程を行うことにより、Mg、Al、及びSiを確実に反応させることでき、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料を合成することができる。
また、加熱溶融工程における加熱条件としては、700℃以上1410℃未満、好ましくは1085℃以上1410℃未満で、例えば3時間程度熱処理することができる。ここで、熱処理の時間は2〜10時間であってもよい。熱処理を長時間のものとすることにより、得られるアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料をより均一化することができる。なお、Alの融点は660.4℃、Siの融点は1410℃である。
粉砕工程は、加熱溶融された試料を粉砕する工程である。粉砕工程においては、加熱溶融された試料を、微細で、狭い粒度分布を有する粒子に粉砕することが好ましい。微細で、狭い粒度分布を有する粒子に粉砕することにより、これを焼結する際に、粉砕された粒子同士がその表面の少なくとも一部において融着し、空隙(ボイド)の発生がほとんど観察されない程度に焼結することができ、理論値の約70%から理論値とほぼ同程度の密度を有する焼結体を得ることができる。
焼結工程は、粉砕した上記試料を焼結する工程である。焼結工程における焼結の条件としては、場合によってドーパントを添加した上記試料を、加圧圧縮焼結法により真空又は減圧雰囲気下で焼結圧力5〜60MPa、焼結温度600〜1000℃で焼結する方法を挙げることができる。
本発明に係る熱電変換素子は、熱電変換部と、該熱電変換部に設けられた第1電極及び第2電極とを備え、この熱電変換部が本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料を用いて製造されるものである。
熱電変換部としては、上記の焼結工程にて得られた焼結体を、ワイヤーソー等を用いて所望の大きさに切り出したものを用いることができる。
この熱電変換部は、通常、1種類の熱電変換材料を用いて製造されるが、複数種類の熱電変換材料を用いて複層構造を有する熱電変換部としてもよい。複層構造を有する熱電変換部は、焼結前の複数種類の熱電変換材料を所望の順序で積層した後、焼結することにより製造することができる。
上記第1電極及び第2電極の形成方法は特に限定されるものではないが、本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料を用いて製造された熱電変換素子は、メッキ法により電極を形成できることが特徴の1つである。
通常、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料を用いて製造された熱電変換部にメッキ法で電極を形成しようとした場合、材料中に残留する金属マグネシウムに起因して水素ガスが発生し、メッキの接着性が悪くなる。一方、本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料を用いて製造された熱電変換部の場合には、材料中に金属マグネシウムが殆ど含まれないため、メッキ法により接着性の高い電極を形成することが可能である。メッキ法としては、特に限定されないが、無電界ニッケルメッキが好ましい。
このようにして得られたメッキ層付きの焼結体を、ワイヤーソーやブレードソーのような切断機で所定の大きさにカットして、第1電極、熱電変換部、及び第2電極からなる熱電変換素子が作製される。
第1の方法は、例えばグラファイトダイ及びグラファイト製パンチからなる円筒型の焼結用冶具内にその底部から順次、SiO2のような絶縁性材料粉末の層、Niのような電極形成用金属粉末の層、本発明に係るアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料の粉砕物の層、上記電極形成用金属粉末の層、上記絶縁性材料粉末の層を所定の厚さで積層した後、加圧圧縮焼結を行う。
上記絶縁性材料粉末は、焼結装置から電極形成用金属粉末に電気が流れるのを防止し、溶融を防ぐために有効であり、焼結後、形成された電極から該絶縁性材料を分離する。
第1の方法においては、カーボンペーパーを絶縁性材料粉末層と電極形成用金属粉末層との間に挟み、さらに円筒型焼結用冶具の側内壁表面にカーボンペーパーを設置しておけば、粉末同士の混合を防止し、また焼結後に電極と絶縁材料層を分離するのに有効である。
このようにして得られた焼結体の上下表面の多くは、凹凸が形成されるため、研磨して平滑にする必要があり、その後、ワイヤーソーやブレードソーのような切断機で所定の大きさにカットして、第1電極、熱電変換部、及び第2電極からなる熱電変換素子が作製される。
絶縁性材料粉末を用いない従来の方法によると、電流によって電極形成用金属粉末を溶融させてしまうため、大電流を使用できず電流の調整が難しく、したがって、得られた焼結体から電極が剥離してしまう問題があった。一方、第1の方法では絶縁性材料粉末層を設けることによって、大電流を用いることができ、その結果、初期の焼結体を得ることができる。
この第2の方法は、第1の方法の利点を全て有する上に、得られた焼結体の上下表面が平滑であるため、殆ど研磨する必要がないという利点を有する。
得られた焼結体を所定の大きさにカットして、第1電極、熱電変換部、及び第2電極からなる熱電変換素子を作製する方法は上記第1の方法と同様である。
本発明に係る熱電変換モジュールは、上記のような本発明に係る熱電変換素子を備えるものである。
<実施例1>
[混合工程]
高純度シリコン36.23質量部、マグネシウム62.72質量部、及びアルミニウム1.06質量部を混合し、MgとSiとの組成比が、Mg:Si=66.0:33.0、Alの含有量が1.0at%の組成原料(1.0at%Al、66.0at%Mg、33.0at%Si)を得た。なお、高純度シリコンとしては、MEMC Electronic Materials社製で、純度が99.9999999%の半導体グレード、直径4mm以下の粒状のものを用いた。また、マグネシウムとしては、日本サーモケミカル社製で、純度が99.93%、大きさ1.4mm×0.5mmのマグネシウム片を用いた。また、アルミニウムとしては、フルウチ化学株式会社社製で、純度が99.99%、大きさ3〜7mmのチップ状のものを用いた。
上記組成原料を、Al2O3製の溶融ルツボ(日本化学陶業社製、内径34mm、外径40mm、高さ150mm;蓋部は直径40mm、厚さ2.5mm)に投入した。当該溶融ルツボは、開口部の辺縁の蓋部への接触面と、蓋部の開口部の辺縁への接触面とが、表面粗さRaが0.5μm、表面うねりRmaxが1.0μmとなるように研磨されたものを用いた。溶融ルツボの開口部の辺縁と、蓋部とを密着させて、加熱炉内に静置し、加熱炉の外部からセラミック棒を介して、3kgf/cm2となるようにおもりで加圧した。
加熱溶融後の試料は、陶製乳鉢を用いて75μmにまで粉砕し、75μmの篩に通した粉末を得た。そして、図5に示すように、内径15mmのグラファイトダイ10と、グラファイト製パンチ11a,11bとで囲まれた空間に、粉砕したマグネシウム−ケイ素複合材料1.0gを仕込んだ。粉末の上下端には、パンチへのマグネシウム−ケイ素複合材料固着防止のためにカーボンペーパーを挟んだ。その後、放電プラズマ焼結装置(ELENIX社製、「PAS−III−Es」)を用いてアルゴン雰囲気下で焼結を行い、焼結体を得た。焼結条件は下記のとおりである。
焼結温度:750℃
圧力:30.0MPa
昇温レート:100℃/min×5min(〜500℃)
0℃/min×10min(500℃)
20℃/min×12.5min(500〜750℃)
0℃/min×2min(750℃)
冷却条件:真空放冷
雰囲気:Ar 60Pa(冷却時は真空)
混合工程において、アルミニウムの添加量を2.11質量部とし、組成原料中のアルミニウムの含有量を2.0at%とした点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、アルミニウムの添加量を3.16質量部とし、組成原料中のアルミニウムの含有量を3.0at%とした点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、アルミニウムの添加量を6.11質量部とし、組成原料中のアルミニウムの含有量を5.0at%とした点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、アルミニウムの添加量を10.5質量部とし、組成原料中のアルミニウムの含有量を10at%とした点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、高純度シリコン36.44g、及びアルミニウムを含有するマグネシウム合金(AM60)63.58gを混合し、MgとSiとの組成比を、Mg:Si=66.0:33.0、Alの含有量を3.8at%とした組成原料を用いた点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、高純度シリコン36.28g、及びアルミニウムを含有するマグネシウム合金(AZ91)63.75gを混合し、MgとSiとの組成比を、Mg:Si=66.0:33.0、Alの含有量を5.8at%とした組成原料を用いた点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、アルミニウムを添加しなかった点以外は、実施例1と同様の方法により、マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、アルミニウムの添加量を0.16質量部とし、組成原料中のアルミニウムの含有量を0.15at%とした点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
混合工程において、アルミニウムの添加量を0.35質量部とし、組成原料中のアルミニウムの含有量を0.33at%とした点以外は、実施例1と同様の方法により、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を得た。
[ゼーベック係数、熱伝導率、及び電気伝導率の測定]
実施例1〜7、比較例1〜3で得られた焼結体を、熱起電力・熱伝導率測定装置(アルバック理工社製、「ZEM2」)及びレーザーフラッシュ法熱伝導率測定装置(アルバック理工社製、「TC・7000H」)を用い、動作温度330〜860Kにおけるゼーベック係数α、熱伝導率κ、及び電気伝導率σを測定すると共に、300Kにおける電気伝導率を別途測定した。測定した各種パラメーターを元に、上記数式(1)に従って、無次元性能指数ZTを算出した。結果を表1及び図6〜図9に示す。
試験例1に倣って、Alが0.0at%、1.0at%、3.0at%、5.8at%、又は10at%の組成原料から、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)又はマグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を調製した。これらの各焼結体につき、ダイヤモンドワイヤーソーを用いて切断し、切断後の断面におけるクラックの有無を調べた。ここで、クラックが入ったものを×、クラックが入っていないものを○とした。結果を表2に示す。
試験例1の実施例2,6,7に倣って、Alが2at%、3.8at%、又は5.8at%の組成原料から、アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料(焼結体)を調製した。これらの各焼結体につき、ダイヤモンドワイヤーソーを用いて2.7mm×2.7mm×10mmの大きさに切断し、オートグラフ(島津製作所製、「AG−10TA」)を用いて圧縮強度(N)を測定した。このときの試験速度は0.375mm/minとした。なお、測定は4回行い、最高値及び最低値を省いた2点の測定値及びその平均値を求めた。結果を図10に示す。
なお、図示しないが、組成原料中のAlの含有量が6.0at%を超えると、圧縮強度は低下した。
1015,1016 電極
102 p型熱電変換部
1025,1026 電極
103 n型熱電変換部
1035,1036 電極
3 負荷
4 直流電源
10 グラファイトダイ
11a,11b グラファイト製パンチ
Claims (6)
- Al、Mg、及びSiで構成される合金からなり、300Kにおける電気伝導率σが1000〜3000S/cmであり、
Alを含有するMg合金、並びに/又はAl及びMgの混合物と、Siとを混合することにより得られ、Alの含有量が3.5〜6.0at%であり、Mgの含有量がMg及びSiの合計含有量に基づく原子量比で66.17〜66.77at%であり、Siの含有量がMg及びSiの合計含有量に基づく原子量比で33.23〜33.83at%である組成原料から合成されるアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料。 - 300Kにおける電気伝導率σが1100〜2500S/cmである請求項1に記載のアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料。
- Al、Mg、及びSiで構成される合金からなるアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料の製造方法であって、
Alを含有するMg合金、並びに/又はAl及びMgの混合物と、Siとを混合することにより得られ、Alの含有量が3.5〜6.0at%であり、Mgの含有量がMg及びSiの合計含有量に基づく原子量比で66.17〜66.77at%であり、Siの含有量がMg及びSiの合計含有量に基づく原子量比で33.23〜33.83at%である組成原料を、開口部と前記開口部を覆う蓋部とを備え、前記開口部の辺縁における前記蓋部への接触面と、前記蓋部における前記開口部への接触面とが共に研磨処理された耐熱容器中で加熱溶融する工程を有するアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料の製造方法。 - 請求項1又は2に記載のアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料からなる熱電変換材料。
- 熱電変換部と、該熱電変換部に設けられた第1電極及び第2電極とを備え、
前記熱電変換部が請求項1又は2に記載のアルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料を用いて製造される熱電変換素子。 - 請求項5に記載の熱電変換素子を備える熱電変換モジュール。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010167008A JP5629920B2 (ja) | 2009-07-27 | 2010-07-26 | アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2009174428 | 2009-07-27 | ||
JP2009174428 | 2009-07-27 | ||
JP2010167008A JP5629920B2 (ja) | 2009-07-27 | 2010-07-26 | アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2011049538A JP2011049538A (ja) | 2011-03-10 |
JP5629920B2 true JP5629920B2 (ja) | 2014-11-26 |
Family
ID=43529264
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010167008A Expired - Fee Related JP5629920B2 (ja) | 2009-07-27 | 2010-07-26 | アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール |
Country Status (7)
Country | Link |
---|---|
US (2) | US20120118343A1 (ja) |
EP (1) | EP2461384A1 (ja) |
JP (1) | JP5629920B2 (ja) |
KR (1) | KR101365251B1 (ja) |
CN (1) | CN102473831B (ja) |
TW (1) | TWI485266B (ja) |
WO (1) | WO2011013609A1 (ja) |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6029256B2 (ja) * | 2009-06-30 | 2016-11-24 | 学校法人東京理科大学 | マグネシウム−ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール |
JP5641474B2 (ja) * | 2010-11-08 | 2014-12-17 | 日立化成株式会社 | Mg2Si基化合物から成る熱電材料の製造方法 |
JP5737566B2 (ja) * | 2011-03-10 | 2015-06-17 | 日立化成株式会社 | マグネシウムシリサイド焼結体の製造方法及びそれを用いた熱電変換素子の製造方法 |
WO2013047474A1 (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-04 | 学校法人東京理科大学 | 焼結体、熱電変換素子用焼結体、熱電変換素子及び熱電変換モジュール |
CN104205382A (zh) | 2012-01-25 | 2014-12-10 | 阿尔法贝特能源公司 | 用于热回收系统的模块化热电单元及其方法 |
TWI499101B (zh) | 2012-07-13 | 2015-09-01 | Ind Tech Res Inst | 熱電轉換結構及使用其之散熱結構 |
US9257627B2 (en) | 2012-07-23 | 2016-02-09 | Alphabet Energy, Inc. | Method and structure for thermoelectric unicouple assembly |
US9065017B2 (en) * | 2013-09-01 | 2015-06-23 | Alphabet Energy, Inc. | Thermoelectric devices having reduced thermal stress and contact resistance, and methods of forming and using the same |
CN105330289B (zh) * | 2014-08-14 | 2018-08-31 | 清华大学 | 一种硫氧化钆(Gd2O2S)闪烁陶瓷制备方法 |
US10930834B2 (en) | 2015-02-09 | 2021-02-23 | University Of Houston System | Synthesis of N-type thermoelectric materials, including Mg—Sn—Ge materials, and methods for fabrication thereof |
TWI569499B (zh) * | 2015-05-22 | 2017-02-01 | 國立成功大學 | 複合電極材料及其製作方法、包含該複合電極材料之複合電極及其製作方法、以及包含該複合電極之鋰電池 |
JP6811539B2 (ja) * | 2016-03-07 | 2021-01-13 | 古河機械金属株式会社 | 熱電変換材料の製造方法 |
JP6390662B2 (ja) * | 2016-04-22 | 2018-09-19 | トヨタ自動車株式会社 | 熱電材料の製造方法 |
JP6536615B2 (ja) | 2017-03-31 | 2019-07-03 | トヨタ自動車株式会社 | 熱電変換材料及びその製造方法 |
EP3627573B1 (en) * | 2017-05-19 | 2023-08-30 | Nitto Denko Corporation | Method of producing semiconductor sintered body, electrical/electronic member and semiconductor sintered body |
JP7248157B2 (ja) * | 2017-06-29 | 2023-03-29 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換材料、及び、熱電変換材料の製造方法 |
JP7176248B2 (ja) * | 2017-06-29 | 2022-11-22 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換材料、熱電変換素子、熱電変換モジュール、及び、熱電変換材料の製造方法 |
JP7121227B2 (ja) * | 2017-06-29 | 2022-08-18 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換材料、及び、熱電変換材料の製造方法 |
JP7159854B2 (ja) * | 2018-12-26 | 2022-10-25 | 三菱マテリアル株式会社 | 熱電変換材料、熱電変換素子、及び、熱電変換モジュール |
KR102199791B1 (ko) * | 2019-07-02 | 2021-01-07 | 울산과학기술원 | 마찰 전계 효과를 이용한 열전발전소자 |
Family Cites Families (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO1999022411A1 (en) * | 1997-10-24 | 1999-05-06 | Sumitomo Special Metals Co., Ltd. | Silicon based conductive material and process for production thereof |
JPH11274578A (ja) | 1998-03-19 | 1999-10-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 熱電変換材料の製造方法および熱電変換モジュール |
JP3600486B2 (ja) * | 1999-08-24 | 2004-12-15 | セイコーインスツル株式会社 | 熱電変換素子の製造方法 |
US6277351B1 (en) * | 2000-03-20 | 2001-08-21 | Carl Francis Swinehart | Crucible for growing macrocrystals |
JP2002194472A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-10 | Kanazawa Inst Of Technology | 軽量高強度マグネシウム又はマグネシウム合金、及びその製造方法 |
JP2002368291A (ja) * | 2001-06-04 | 2002-12-20 | Tokyo Yogyo Co Ltd | 熱電材料 |
WO2003027341A1 (fr) | 2001-09-25 | 2003-04-03 | Center For Advanced Science And Technology Incubation, Ltd. | Materiau composite a base de magnesium |
JP2005129765A (ja) * | 2003-10-24 | 2005-05-19 | Hitachi Metals Ltd | 熱発電モジュールおよびそれに用いる型枠 |
JP2005314805A (ja) | 2004-03-29 | 2005-11-10 | Toudai Tlo Ltd | マグネシウム化合物、金属材料およびマグネシウム化合物の製造方法 |
KR100985310B1 (ko) * | 2004-06-30 | 2010-10-04 | 스미토모덴키고교가부시키가이샤 | 마그네슘 합금재의 제조방법 |
JP4496365B2 (ja) * | 2004-10-27 | 2010-07-07 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | 熱電材料及びその製造方法 |
JP2008001558A (ja) * | 2006-06-22 | 2008-01-10 | Sumitomo Metal Electronics Devices Inc | 窒化アルミニウム成形体の焼成方法と焼成用治具 |
KR20090107491A (ko) * | 2006-12-20 | 2009-10-13 | 소와 케이디이 가부시키가이샤 | 열전변환 재료, 그 제조 방법 및 열전변환 소자 |
-
2010
- 2010-07-23 TW TW099124370A patent/TWI485266B/zh not_active IP Right Cessation
- 2010-07-26 EP EP10804355A patent/EP2461384A1/en not_active Withdrawn
- 2010-07-26 US US13/386,873 patent/US20120118343A1/en not_active Abandoned
- 2010-07-26 JP JP2010167008A patent/JP5629920B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 2010-07-26 WO PCT/JP2010/062509 patent/WO2011013609A1/ja active Application Filing
- 2010-07-26 KR KR1020127004521A patent/KR101365251B1/ko not_active IP Right Cessation
- 2010-07-26 CN CN201080033425.2A patent/CN102473831B/zh not_active Expired - Fee Related
-
2015
- 2015-03-27 US US14/671,045 patent/US20150207056A1/en not_active Abandoned
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2011013609A1 (ja) | 2011-02-03 |
CN102473831A (zh) | 2012-05-23 |
KR101365251B1 (ko) | 2014-02-20 |
US20150207056A1 (en) | 2015-07-23 |
EP2461384A1 (en) | 2012-06-06 |
US20120118343A1 (en) | 2012-05-17 |
CN102473831B (zh) | 2015-03-25 |
TW201127966A (en) | 2011-08-16 |
KR20120049286A (ko) | 2012-05-16 |
TWI485266B (zh) | 2015-05-21 |
JP2011049538A (ja) | 2011-03-10 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5629920B2 (ja) | アルミニウム・マグネシウム・ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール | |
JP6029256B2 (ja) | マグネシウム−ケイ素複合材料及びその製造方法、並びに該複合材料を用いた熱電変換材料、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール | |
Zheng et al. | High thermoelectric performance of mechanically robust n-type Bi 2 Te 3− x Se x prepared by combustion synthesis | |
JP5765776B2 (ja) | Mg2Si1−xSnx系多結晶体およびその製造方法 | |
JP7042517B2 (ja) | 多結晶性マグネシウムシリサイドおよびその利用 | |
Wang et al. | High performance n-type (Bi, Sb) 2 (Te, Se) 3 for low temperature thermoelectric generator | |
JP2013179322A (ja) | 熱電変換材料、その製造方法および熱電変換素子 | |
US9115420B2 (en) | Thermoelectric material formed of Mg2Si-based compound and production method therefor | |
Chen et al. | Thermoelectric properties of cold-pressed higher manganese silicides for waste heat recovery | |
WO2014084163A1 (ja) | Mg-Si系熱電変換材料及びその製造方法、熱電変換用焼結体、熱電変換素子、並びに熱電変換モジュール | |
WO2013047474A1 (ja) | 焼結体、熱電変換素子用焼結体、熱電変換素子及び熱電変換モジュール | |
JP6176885B2 (ja) | p型熱電材料、熱電素子およびp型熱電材料の製造方法 | |
Boldrini et al. | Ultrafast high-temperature sintering and thermoelectric properties of n-doped Mg2Si | |
WO2013047475A1 (ja) | マグネシウムシリサイド、熱電変換材料、焼結体、熱電変換素子用焼結体、熱電変換素子、及び熱電変換モジュール | |
JP4123388B2 (ja) | 亜鉛アンチモン化合物焼結体 | |
JP2021005593A (ja) | マグネシウムシリサイド及びその利用 | |
JP3564541B2 (ja) | 亜鉛アンチモン化合物焼結体及びその製造法 | |
Trivedi et al. | Magnesium and manganese silicides for efficient and low cost thermo-electric power generation | |
JP2003138327A (ja) | 亜鉛アンチモン化合物焼結体及びその製造法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20130722 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130725 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20130722 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130806 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131004 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20131115 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20140530 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140603 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20140819 |
|
A711 | Notification of change in applicant |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A711 Effective date: 20140916 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20140916 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20140916 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5629920 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |