JP5541732B2 - 液体吐出ヘッドの製造方法及び吐出口部材の製造方法 - Google Patents
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Description
したがって、dは、マスクにおける開口とそれに隣接する開口との間隔D、レジスト17の厚さtD、及びニッケルメッキ20の厚さtNによって決定される。tDは無視できる程度であるため、dを変化させない場合、吐出口同士の間隔を小さくしようとすると、メッキ厚さは小さくならざるを得ない。言い換えれば吐出口を高密度化するほど吐出口部材が薄くなる。
液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、液体を吐出する吐出口が設けられ、前記基板と接合されることで前記吐出口と連通する液体の流路を形成する吐出口部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記吐出口を形成するための絶縁性の第1のマスクと、絶縁性の第2のマスクと、がこの順に積層された導電性の基体を用意する工程と、
(2)前記第1のマスクと前記第2のマスクとをマスクとして利用してメッキを行い第1のメッキ層の上面の前記基体からの高さが、第1のマスクの上面の前記基体からの高さより高く、第2のマスクの上面の前記基体からの高さより低くなるように、前記第1のメッキ層を形成する工程と、
(3)前記第2のマスクを除去する工程と、
(4)前記第1のマスクをマスクとして利用して前記基体にメッキを行うことにより、第2のメッキ層を第1のメッキ層を覆うように形成する工程と、
(5)前記基体と前記第1のマスクとを除去することにより前記吐出口部材を形成する工程と、
をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法である。
液体を吐出する液体吐出ヘッドに用いられる、前記吐出口が設けられた吐出口部材の製造方法であって、
(1)前記吐出口を形成するための絶縁性の第1のマスクと、絶縁性の第2のマスクと、がこの順に積層された導電性の基体を用意する工程と、
(2)前記第1のマスクと前記第2のマスクとをマスクとして利用してメッキを行い、第1のメッキ層の上面の前記基体からの高さが、第1のマスクの上面の前記基体からの高さより高く、第2のマスクの上面の前記基体からの高さより低くなるように、前記第1のメッキ層を形成する工程と、
(3)前記第2のマスクを除去する工程と、
(4)前記第1のマスクをマスクとして利用して前記基体にメッキを行うことにより、第2のメッキ層を第1のメッキ層を覆うように形成する工程と、
(5)前記基体と前記第1のマスクとを除去することにより前記吐出口部材を形成する工程と、
をこの順で有する吐出口部材の製造方法である。
以下、本発明の実施形態1について図を用いて説明する。
後述する第2のマスク材料の除去工程の際、第1のマスク材料を残しながら除去を行うため、第2のマスク材料は、第1のマスク材料と異なるレジスト材料を用いることが望ましい。
本発明の方法により製造される吐出口部材105は、図3(g)に示すように、湾曲部114にエッジを有しない形状である。また、非常に高密度なノズル密度であっても、必要な吐出口部材の厚さを確保できる。したがって、この吐出口部材105を流路壁103に貼り合わせて得られる液体吐出ヘッドは、吐出されたインク滴は非常に直進力を有するドットとなり、非常に良好な吐出性能を有する。
また、図6、図7に、吐出口が千鳥状に配列された場合の吐出口部材を有する液体吐出ヘッドの概略図を示す。例えば、本実施形態においてノズル間ピッチを1200dpiとする。
図8に、実施形態1における下層レジストに無機材料を用いて、吐出口部材を製造する工程を示す。本実施形態では、実施形態1における第1のマスク層として絶縁材料であるSiO2膜を用いた形態について説明する。
以下、本発明の実施形態を説明する。
Claims (10)
- 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、液体を吐出する吐出口が設けられ、前記基板と接合されることで前記吐出口と連通する液体の流路を形成する吐出口部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
(1)前記吐出口を形成するための絶縁性の第1のマスクと、絶縁性の第2のマスクと、がこの順に積層された導電性の基体を用意する工程と、
(2)前記第1のマスクと前記第2のマスクとを利用してメッキを行い第1のメッキ層の上面の前記基体からの高さが、第1のマスクの上面の前記基体からの高さより高く、第2のマスクの上面の前記基体からの高さより低くなるように、前記第1のメッキ層を形成する工程と、
(3)前記第2のマスクを除去する工程と、
(4)前記第1のマスクをマスクとして利用して前記基体にメッキを行うことにより、第2のメッキ層を第1のメッキ層を覆うように形成する工程と、
(5)前記基体と前記第1のマスクとを除去することにより前記吐出口部材を形成する工程と、
をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記第1のマスク層の側端面と前記第2のマスク層の側端面とが連続するように積層されている請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のマスク層の内側に前記第2のマスク層が配置される請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のマスク層の側端面と上面とを覆うように前記第2のマスク層が設けられている請求項1に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第1のマスクはSiO2からなる請求項1乃至4のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 液体を吐出する液体吐出ヘッドに用いられる、吐出口が設けられた吐出口部材の製造方法であって、
(1)前記吐出口を形成するための絶縁性の第1のマスクと、絶縁性の第2のマスクと、がこの順に積層された導電性の基体を用意する工程と、
(2)前記第1のマスクと前記第2のマスクとを利用してメッキを行い、第1のメッキ層の上面の前記基体からの高さが、第1のマスクの上面の前記基体からの高さより高く、第2のマスクの上面の前記基体からの高さより低くなるように、前記第1のメッキ層を形成する工程と、
(3)前記第2のマスクを除去する工程と、
(4)前記第1のマスクをマスクとして利用して前記基体にメッキを行うことにより、第2のメッキ層を第1のメッキ層を覆うように形成する工程と、
(5)前記基体と前記第1のマスクとを除去することにより前記吐出口部材を形成する工程と、
をこの順で有する吐出口部材の製造方法。 - 前記第1のマスク層の側端面と前記第2のマスク層の側端面とが連続するように積層されている請求項6に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記第1のマスク層の内側に配置されるように前記第2のマスク層が設けられている請求項6に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記第1のマスク層の側端面と上面とを覆うように前記第2のマスク層が設けられている請求項6に記載の吐出口部材の製造方法。
- 前記第1のマスクはSiO2からなる請求項6乃至9のいずれかに記載の吐出口部材の製造方法。
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