JP2011131590A5 - - Google Patents

Claims (10)

1. 液体を吐出するために利用されるエネルギーを発生するエネルギー発生素子を備えた基板と、液体を吐出する吐出口が設けられ、前記基板と接合されることで前記吐出口と連通する液体の流路を形成する吐出口部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法であって、
   （１）前記吐出口を形成するための絶縁性の第１のマスクと、絶縁性の第２のマスクと、がこの順に積層された導電性の基体を用意する工程と、
   （２）前記第１のマスクと前記第２のマスクとを利用してメッキを行い第１のメッキ層の上面の前記基体からの高さが、第１のマスクの上面の前記基体からの高さより高く、第２のマスクの上面の前記基体からの高さより低くなるように、前記第１のメッキ層を形成する工程と、
   （３）前記第２のマスクを除去する工程と、
   （４）前記第１のマスクをマスクとして利用して前記基体にメッキを行うことにより、第２のメッキ層を第１のメッキ層を覆うように形成する工程と、
   （５）前記基体と前記第１のマスクとを除去することにより前記吐出口部材を形成する工程と、
   をこの順に有する液体吐出ヘッドの製造方法。
2. 前記第１のマスク層の側端面と前記第２のマスク層の側端面とが連続するように積層されている請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
3. 前記第１のマスク層の内側に前記第２のマスク層が配置される請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
4. 前記第１のマスク層の側端面と上面とを覆うように前記第２のマスク層が設けられている請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
5. 前記第１のマスクはＳｉＯ₂からなる請求項１乃至４のいずれかに記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
6. 液体を吐出する液体吐出ヘッドに用いられる、吐出口が設けられた吐出口部材の製造方法であって、
   （１）前記吐出口を形成するための絶縁性の第１のマスクと、絶縁性の第２のマスクと、がこの順に積層された導電性の基体を用意する工程と、
   （２）前記第１のマスクと前記第２のマスクとを利用してメッキを行い、第１のメッキ層の上面の前記基体からの高さが、第１のマスクの上面の前記基体からの高さより高く、第２のマスクの上面の前記基体からの高さより低くなるように、前記第１のメッキ層を形成する工程と、
   （３）前記第２のマスクを除去する工程と、
   （４）前記第１のマスクをマスクとして利用して前記基体にメッキを行うことにより、第２のメッキ層を第１のメッキ層を覆うように形成する工程と、
   （５）前記基体と前記第１のマスクとを除去することにより前記吐出口部材を形成する工程と、
   をこの順で有する吐出口部材の製造方法。
7. 前記第１のマスク層の側端面と前記第２のマスク層の側端面とが連続するように積層されている請求項６に記載の吐出口部材の製造方法。
8. 前記第１のマスク層の内側に配置されるように前記第２のマスク層が設けられている請求項６に記載の吐出口部材の製造方法。
9. 前記第１のマスク層の側端面と上面とを覆うように前記第２のマスク層が設けられている請求項６に記載の吐出口部材の製造方法。
10. 前記第１のマスクはＳｉＯ₂からなる請求項６乃至９のいずれかに記載の吐出口部材の製造方法。