JP2012126124A5 - - Google Patents

Claims (5)

1. 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する流路の壁を構成する流路壁部材と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
   前記流路の型が設けられた基板を用意するＡ工程と、
   前記流路壁部材となる第１の層を、前記流路の型を被覆するように設けるＢ工程と、
   前記第１の層の流路の側壁となる部分を硬化させるＣ工程と、
   第２の層を、前記第１の層の硬化させた部分と前記流路の型とを被覆するように設けるＤ工程と、
   前記第２の層を基板側に押圧することで、前記第２の層を平坦化するＥ工程と、
   前記第１の層及び前記第２の層に前記吐出口を設けるＦ工程と、
   前記流路の型を除去して前記流路を形成するＧ工程と、
   をこの順に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。
2. 前記Ｃ工程の後であり、前記Ｄ工程の前に、
   前記Ｃ工程において前記第１の層の硬化させていない部分を、前記第１の層から除去する請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
3. 前記Ｆ工程において、
   前記Ｃ工程において前記第１の層の硬化させていない部分の一部と、前記第２の層の一部とを一括して硬化させることで前記第１の層及び前記第２の層に前記吐出口を設ける請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
4. 前記第１の層と前記第２の層とは同じ組成の層である請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
5. 前記Ｆ工程において、前記第１の層と前記第２の層とにドライエッチングをすることで前記第１の層及び前記第２の層に前記吐出口を設ける請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。