JP4537246B2 - インクジェット記録ヘッド用基体の製造方法及び該方法により製造された前記基体を用いた記録ヘッドの製造方法 - Google Patents
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Description
101 基板
102 蓄熱層
103 電極層
103a 電極層の端部
104 発熱抵抗層
105 上部絶縁保護層
106 上部金属保護層
107 熱作用部(発熱部)
109 電極層テーパー角度
110 境界部
111 下部層のテーパー角度
112 発熱抵抗層の屈曲部
113 保護層の屈曲部
114 電極層の端部の角
Claims (8)
- 絶縁層と、該絶縁層の上に設けられた対をなす電極層と、通電により熱を発生する材料からなり、前記絶縁層の、前記電極層の対の間の部分と前記電極層とを連続的に覆う発熱抵抗層と、を有し、前記絶縁層の、前記電極層の対の間の部分が凹部となっており、該凹部は該凹部の底面に向かうほど前記凹部の内側面同士の間隔が小さくなるように前記底面に対して傾斜している斜面を前記内側面として有するインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法であって、
前記絶縁層となる絶縁材料層と、前記対をなす電極層と、がこの順に設けられた基板を用意する工程と、
前記絶縁材料層の、前記電極層の対の間の部分をエッチングすることにより、前記絶縁材料層に前記凹部を形成して前記絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の、前記凹部の前記底面及び前記内側面と前記電極層とを連続的に覆う様に前記発熱抵抗層を形成する工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法。 - 前記発熱抵抗層の上に絶縁材料からなる保護層を設ける工程を更に有することを特徴とする請求項1に記載のインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法。
- 前記電極層の互いに対向する端部の上面は前記電極層の前記絶縁層と接する面に対して傾斜していることを特徴とする請求項1または2に記載のインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法。
- 前記端部の前記上面の前記電極層の前記絶縁層と接する面に対する傾斜角度は、前記凹部の斜面の前記底面に対する傾斜角度より大きいことを特徴とする請求項3に記載のインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法。
- 前記凹部は、前記絶縁材料層をドライエッチングして形成されることを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法。
- 前記基板を用意する工程において、前記電極層を形成するための電極層用材料を前記基板上でドライエッチングすることにより前記電極層が形成され、
前記凹部を形成するためのドライエッチングのドライエッチング速度は前記電極層を形成するためのドライエッチングのドライエッチング速度より遅いことを特徴とする請求項5に記載のインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法。 - 前記絶縁層に形成する工程の後であり、前記発熱抵抗層を形成する工程の前に、前記電極の前記絶縁層に接する面とは反対側の面側の角部をドライエッチングにより丸める工程をさらに有することを特徴とする請求項1乃至6のいずれかに記載のインクジェット記録ヘッド用基体の製造方法。
- 絶縁層と、該絶縁層の上に設けられた対をなす電極層と、通電により熱を発生する材料からなり、前記絶縁層の、前記電極層の対の間の部分と前記電極層とを連続的に覆う発熱抵抗層と、を有し、前記絶縁層の、前記電極層の対の間の部分が凹部となっていて、該凹部は該凹部の底面に向かうほど前記凹部の内側面同士の間隔が小さくなるように前記底面に対して傾斜している斜面を前記内側面として有しており、前記発熱抵抗層の前記電極層の対の間の部分が吐出口からインクを吐出するために利用される熱エネルギーを発生する熱エネルギー発生手段として用いられるインクジェット記録ヘッドの製造方法において、
前記絶縁層となる絶縁材料層と、前記対をなす電極層と、がこの順に設けられた基板を用意する工程と、
前記絶縁材料層の、前記電極層の対の間の部分をエッチングすることにより、前記絶縁材料層に前記凹部を形成して前記絶縁層を形成する工程と、
前記絶縁層の、前記凹部の前記底面及び前記内側面と前記電極層とを連続的に覆う様に前記発熱抵抗層を形成する工程と、
前記発熱抵抗層の上に絶縁材料からなる保護層を設ける工程と、
前記吐出口と、該吐出口と連通する液流路の壁と、を有し、前記保護層の上側に接して設けることで前記液流路を構成する流路壁部材を形成する工程と、
を有することを特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
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