KR20080000421A - 프린트 헤드 및 그 제조방법 - Google Patents

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KR20080000421A KR1020060058224A KR20060058224A KR20080000421A KR 20080000421 A KR20080000421 A KR 20080000421A KR 1020060058224 A KR1020060058224 A KR 1020060058224A KR 20060058224 A KR20060058224 A KR 20060058224A KR 20080000421 A KR20080000421 A KR 20080000421A
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Abstract

히터층의 에너지 효율을 증대시킴과 더불어 잉크 챔버 내의 잉크로 열이 과도하게 전달됨을 방지하여 잉크의 토출성능 및/또는 인쇄성능을 향상시키는 잉크젯 프린트 헤드 및 그 제조방법을 개시한다. 본 발명에 의한 프린트 헤드는, 상부에 잉크챔버 및 노즐이 배치된 기판; 기판 위에 적층되는 단열층; 및 단열층의 상부에 적층되고, 잉크 챔버로 열을 전달하는 열전달부를 구비한 히터층;을 포함하고, 단열층은 히터층의 열전달부에 대응하는 부분이 그외 다른 부분 보다 두껍게 형성된다.
히터층, 열축적, 에너지, 효율, 토출, 잉크

Description

프린트 헤드 및 그 제조방법{PRINT HEAD AND FABRICATION METHOD THEREOF}
도 1은 종래의 일반적인 프린트 헤드를 예시한 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시형태에 따른 프린트 헤드의 하부 적층구조를 도시한 단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시형태에 따른 프린트 헤드의 하부 적층구조를 도시한 단면도
도 4는 본 발명의 프린트 헤드 및 종래의 프린트 헤드에 의한 벌크 잉크의 평균온도를 비교한 결과그래프이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 *
200 : 프린트 헤드 210 : 기판
220 : 단열층 230 : 히터층
240 : 도선층 250 : 보호층
본 발명은 잉크젯 프린터에 관한 것으로, 보다 상세하게는 잉크를 기록매체로 토출하는 잉크젯 프린트 헤드에 관한 것이다.
널리 주지된 바와 같이, 잉크젯 프린터는 기록매체의 원하는 위치에 잉크를 직접 토출시켜 소정의 화상을 형성하는 장치로, 잉크젯 프린터는 잉크 카트리지를 포함한다.
잉크 카트리지는 내부에 폼 및/또는 잉크 등을 수용하는 수용공간이 형성된 카트리지 몸체, 및 이 카트리지 몸체의 공급채널 측에 구비된 프린트 헤드를 포함하고, 프린트 헤드는 카트리지 몸체로부터 공급되는 잉크를 토출시키는 하나 이상의 노즐을 구비한다.
한편, 프린트 헤드는 잉크의 토출 메커니즘에 따라 열구동방식, 압전구동방식 등으로 구분된다. 열구동방식은 히터 등과 같은 발열원의 열을 이용하여 잉크 내에 버블(bubble)을 발생시켜 이 버블의 팽창력에 의해 잉크를 토출시키는 것이고, 압전구동방식은 압전체를 이용하여 그 압전체의 변형에 의해 잉크를 토출시키는 것이다.
일반적인 열구동방식의 프린트 헤드가 도시된 도 1에서, 프린트 헤드(10)는 기판(11), 이 기판(11) 위에 적층되어 잉크 챔버(22)를 한정하는 챔버층(20), 및 상기 챔버층(20) 위에 적층되는 노즐플레이트(30)를 포함한다. 잉크 챔버(22) 내에는 잉크가 채워지며, 잉크 챔버(22)의 하부측에는 잉크 내에 버블을 생성하기 위한 히터층(13)이 배치된다. 노즐플레이트(30)는 잉크를 토출하기 위한 하나 이상의 노즐(32)을 구비한다.
그리고, 잉크 챔버(22)의 하부 적층구조를 보다 상세히 살펴보면, 실리콘 재질의 기판(11) 위에 적층된 단열층(12), 이 단열층(12) 위에 적층된 히터층(13), 이 히터층(13) 위에 적층되어 히터층(13)에 전류를 인가하는 도선층(14), 히터층(13) 및 도선층(14)을 보호하는 보호층(15), 그리고 보호층(15) 위에 형성되는 캐비테이션 방지층(16) 등으로 이루어진다.
단열층(12)은 기판(11) 위에 실리콘산화물(SiO2)이 증착되어 형성된다. 단열층(12)은 히터층(13)과 기판(11) 사이를 단열시킴으로써 히터층(13)에서 생성된 열이 기판(11)측으로 전달됨을 차단하며, 이에 따라 히터층(13)의 열은 잉크 챔버(22)측으로 보다 효율적으로 전달될 수 있다.
히터층(13)은 탄탈륨 질화물(TaN), 탄탈륨-알루미늄(TaAl) 등과 같이 Ta를 함유하는 발열체로 이루어진다.
도선층(14)은 알루미늄(Al) 등과 같이 도전성이 양호한 금속재질로 이루어진다.
보호층(15)은 히터층(13) 및 도선층(14)이 산화되거나 잉크와 직접 접촉되는 것을 방지하기 위한 것으로, 주로 실리콘 질화막(SiNx)을 증착함으로써 형성된다.
한편, 최근의 프린트 헤드는 어레이 헤드 또는 라인 헤드 등과 같이 고속화, 고집적화, 저전력 구동 등을 구현하는 방향으로 진행되고 있다.
이러한 프린트 헤드의 고속화, 고집적화, 저전력 구동 등을 구현하기 위해서는 상술한 히터층(13)의 고효율화가 필수적으로 요구되고 있으며, 이러한 히터층(13)의 고효율화를 위해서는 히터층(13)의 저항을 증가시키거나 단열층(12)의 두께를 증가시키는 방법 등이 있다.
특히, 단열층(12)의 두께를 증가시키면 그 단열효율의 증대를 도모할 수 있고, 이로 인해 히터층(13)으로 입력되는 입력에너지(즉, 전기에너지)를 감소시킬 수 있어 히터층(13)의 고효율화에 매우 유리하다.
하지만, 단열층(12)의 두께 증가는 히터층(13)의 열을 잉크 챔버(22)의 잉크측으로 너무 과도하게 전달시킬 수 있고, 이에 따라 잉크 챔버(22) 내의 잉크는 과열상태가 되어 잉크 챔버(22)의 잉크는 토출에 적합한 점성을 유지할 수 없게 되어 잉크의 토출성능 및/또는 인쇄성능을 저하시킬 수 있는 문제점을 야기하였다.
본 발명은 상기와 같은 점을 감안하여 안출한 것으로, 잉크의 토출성능 및/또는 인쇄성능을 향상시킬 수 있는 프린트 헤드 및 그 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
또한, 본 발명은 히터층의 에너지효율을 증대시킴과 더불어 잉크 챔버 내의 잉크로 열이 과도하게 전달됨을 방지할 수 있는 프린트 헤드 및 그 제조방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 프린트 헤드는, 상부에 잉크챔버 및 노즐이 배치된 기판; 상기 기판 위에 적층되는 단열층; 및 상기 단열층의 상부에 적층되고, 잉크 챔버로 열을 전달하는 열전달부를 구비한 히터층;을 포함하고, 상기 단열층은 그 두께가 불균일한 것을 특징으로 한다.
상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분의 두께가 그외 다른 부분의 두께보다 크게 형성된다.
상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 다른 높이를 가진다.
상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 동일한 높이를 가진다.
상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분에 단차를 가진다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 프린트 헤드는, 기판; 상기 기판 상부 측에 배치되고, 잉크 챔버를 구비한 챔버층; 상기 기판의 상면에 적층된 단열층; 상기 단열층의 상면에 적층되고, 열전달부를 포함하는 히터층; 상기 히터층에 전류를 인가하도록 히터층의 상면에 적층되는 도선층; 및 상기 히터층 및 도선층의 상면에 적층되는 보호층;을 포함하고, 상기 단열층은 불균일한 두께를 가진다.
상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분의 두께가 그외 다른 부분의 두께보다 크게 형성된다.
상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 다른 높이를 가진다.
상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 동일한 높이를 가진다.
상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분에 단차가 형성된다.
본 발명의 프린트 헤드 제조방법은, 기판 위에 불균일한 두께의 단열층을 형성한 후에, 상기 단열층 위에 히터층을 형성한다.
상기 단열층의 두께는 히터층의 열전달부에 대응하는 부분이 그외 다른 부분보다 두껍게 형성한다.
본 발명의 상기와 같은 목적 및 다른 특징들은 첨부도면을 참조하여 본 발명 의 바람직한 실시예를 상세히 설명함으로써 더욱 명백해질 것이다. 참고로 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.
본 발명의 프린트 헤드에 대한 일 실시형태를 예시한 도 2 및/또는 도 3에서, 본 발명의 프린트 헤드(200)는 기판(210), 단열층(220), 히터층(230), 도선층(240), 보호층(250) 등을 포함한다.
기판(210)은 반도체소자로 주로 이용되는 실리콘 웨이퍼를 대략 400~650㎛의 두께로 가공하여 사용한다.
단열층(220)은 도 2 및 도 3에 도시된 바와 같이, 그 두께가 불균일하게 형성되고, 특히 후술하는 히터층(230)의 열전달부(232)에 대응하는 부분이 다른 부분과 다른 두께를 가진다.
바람직하게는, 단열층(220)은 후술하는 히터층(230)의 열전달부(232)에 대응하는 부분이 다른 부분 보다 두껍게 형성됨으로써, 히터층(230)에서 발생된 열은 히터층(230)의 열전달부(232)에서 기판(210)으로 전달됨을 차단함과 더불어 잉크 챔버(270)로 보다 효율적으로 열을 전달할 수 있다.
또한, 단열층(220)은 후술하는 히터층(230)의 전류인가부(231)에 대응하는 부분이 열전달부(232)에 대응하는 부분 보다 얇게 형성됨으로써 히터층(230)에서 발생된 열의 일부는 히터층(230)의 전류인가부(231)를 통해 기판(210)으로 일부 방 출시킬 수 있다.
즉, 본 발명은 불균일한 두께를 가진 단열층(220)에 의해, 잉크 챔버(270) 내에 있는 잉크로 열이 과도하게 전달됨을 방지함으로써 잉크 챔버(270)의 잉크가 과열상태가 되지 않도록 하고, 이에 따라 잉크 챔버(270)의 잉크는 토출에 적합한 점성을 유지할 수 있으므로 잉크의 토출 성능 및 인쇄성능이 저하됨을 방지할 수 있는 장점이 있다.
이러한 단열층(220)은 기판(210)의 상면에 실리콘산화물(SiO2) 등과 같은 산화물을 증착시키거나 기판(210)의 상부 일부분을 산화시킨 후에 습식 식각 또는 건식 식각 등과 같은 에칭공법에 의해 패터닝함으로써 도 2에 도시된 형태로 형성할 수 있다.
또한, 단열층(220)은 기판(210)의 상면 일부분을 희생층 산화법 등에 의해 도 3에 도시된 바와 같은 형상으로 형성시킬 수도 있을 것이다.
히터층(230)은 단열층(220)의 상면에 구비되고, 이 히터층(230)은 그 상면에 후술하는 도선층(240)이 적층되어 도선층(240)을 통해 전류를 인가받는 전류 인가부(231)와, 도선층(240)이 적층되지 않아 발생된 열을 잉크 챔버(270)로 직접 전달하는 열전달부(232)로 이루어진다.
한편, 히터층(230)은 도 2에 도시된 바와 같이, 단열층(220)의 불균일한 두께에 대응하여 그 열전달부(232)가 전류인가부(231) 보다 높게 위치할 수도 있고, 도 3에 도시된 바와 같이 열전달부(232)가 전류인가부(231)와 동일 내지는 유사한 높이에 위치할 수도 있을 것이다.
이러한 히터층(230)은 단열층(220)의 상면에 탄탈륨 질화물(TaN), 탄탈륨-알루미늄 합금(TaAl), 티타늄 질화물(TiN) 또는 텅스텐 실리사이드(tungsten silicide) 등과 같은 발열 저항체를 증착한 후에 패터닝함으로써 형성될 수 있다.
도선층(240)은 히터층(230)의 전류인가부(231) 상면에 구비되고, 히터층(230)에 전류를 인가하도록 금속재질로 이루어진다.
이러한 도선층(240)은 알루미늄 등과 같이 도전성이 양호한 금속재질을 히터층(230)의 상면 일부에 증착시킨 후에 히터층(230)의 열전달부(232)에 대응하는 부분을 에칭 공법 등에 의해 패터닝함으로써 형성된다.
보호층(250)은 히터층(230) 및 도선층(240) 상면에 구비되고, 히터층(230)의 열전달부(232) 및 도선층(240)이 산화되거나 잉크와 직접 접촉하는 것을 방지한다.
이러한 보호층(250)은 실리콘 질화물(SiN4) 등을 플라즈마 보강 화학기상증착법(PECVD)에 의해 증착함으로써 형성될 수 있다.
또한, 보호층(250)의 상면에는 캐비테이션 방지층(미도시)이 형성될 수 도 있을 것이다.
다음의 표 1은 버블의 형성을 위해 필요한 특성값들을 본 발명의 프린트 헤드 및 종래예로 구분하여 표시한 표이다. 여기서, 본 발명의 단열층(220)은 히터층(230)의 열전달부(232)에 대응하는 부분의 두께를 1.8㎛로 하고, 그외 나머지 부분의 두께를 0.3㎛로 한 것이다.
항목 본 발명 종래예
펄스 폭(㎲) 0.6 0.6
전력량(POWER, W/m) 2.0 2.0
버블의 최대크기에 도달하는 시간(㎲) 0.78 0.78
입력 전기에너지(μJ) 1.2 1.2
Tb(℃) 287.3 287.3
임계버블형성에너지(μJ) 7989 7990
버블 형성을 위한 히터의 온도증가율(℃/sec) 2.1E+8 2.1E+8
여기서, 입력 전기에너지는 잉크 내에 버블을 형성하기 위해 히터층으로 입력되는 전기에너지값을 의미하고, Tb는 잉크 내에 버블이 형성되기 시작할 때의 히터층의 표면온도를 의미하며, 임계버블형성에너지는 버블의 형성을 위해 히터층으로부터 잉크로 전달되는 최소한의 에너지를 의미한다.
상기의 표1과 같이 본 발명의 프린트 헤드는 단열층(220)의 불균일한 두께에도 불구하고 입력 전기에너지 등의 각종 특성값에 거의 변화가 없음을 알 수 있다.
도 4는 본 발명의 프린트 헤드와 종래예에 의해 구현되는 벌크 잉크(Bulk Ink)의 평균온도를 비교한 결과그래프이다. 여기서, 벌트 잉크는 잉크 챔버 내에 수용된 잉크를 의미한다.
도 4에 나타난 바와 같이, 종래예의 벌크 잉크(bulk ink)는 시간의 경과에 따른 과열정도가 대략 97℃ 정도를 나타내고 있지만, 본 발명은 80℃정도로 대략 18℃ 정도의 온도 감소 효과를 나타냄을 알 수 있었다.
이로부터, 본 발명은 단열층(220)의 불균일한 두께에 의해 히터층(230)의 열전달부(232)에서 잉크 챔버(270)로 열이 과도하게 전달되는 것을 최소화함을 알 수 있었다.
본 발명은 예시적인 방법으로 설명되었다. 여기서 사용된 용어들은 설명을 위한 것이며 한정의 의미로 이해되어서는 안될 것이다. 상기 내용에 따라 본 발명의 다양한 수정 및 변형이 가능하다. 따라서, 따로 부가 언급하지 않는 한 본 발명은 청구항의 범주 내에서 자유로이 실행될 수 있을 것이다.
상기와 같은 본 발명은, 히터층의 에너지 효율을 증대시킴과 더불어 잉크 챔버 내로 열이 과도하게 전달됨을 방지함으로써 잉크의 토출성능 및/또는 인쇄성능을 향상시키는 효과가 있다.

Claims (12)

  1. 상부에 잉크챔버 및 노즐이 배치된 기판;
    상기 기판 위에 적층되는 단열층; 및
    상기 단열층의 상부에 적층되고, 잉크 챔버로 열을 전달하는 열전달부를 구비한 히터층;을 포함하고,
    상기 단열층은 그 두께가 불균일한 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분의 두께가 그외 다른 부분의 두께보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 다른 높이를 가진 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 동일한 높이를 가진 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분에 단차를 가진 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  6. 기판;
    상기 기판 상부 측에 배치되고, 잉크 챔버를 구비한 챔버층;
    상기 기판의 상면에 적층된 단열층;
    상기 단열층의 상면에 적층되고, 열전달부를 포함하는 히터층;
    상기 히터층에 전류를 인가하도록 히터층의 상면에 적층되는 도선층; 및
    상기 히터층 및 도선층의 상면에 적층되는 보호층;을 포함하고, 상기 단열층은 불균일한 두께를 가지는 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  7. 제6항에 있어서,
    상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분의 두께가 그외 다른 부분의 두께보다 크게 형성된 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  8. 제6항에 있어서,
    상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 다른 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 히터층은 그 열전달부가 다른 부분과 동일한 높이를 가지는 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 단열층은 상기 열전달부에 대응하는 부분에 단차가 형성된 것을 특징으로 하는 프린트 헤드.
  11. 기판 위에 불균일한 두께의 단열층을 형성한 후에, 상기 단열층 위에 히터층을 형성하는 것을 특징으로 하는 프린트 헤드의 제조방법.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 단열층의 두께는 히터층의 열전달부에 대응하는 부분이 그외 다른 부분보다 두껍게 형성하는 것을 특징으로 하는 프린트 헤드의 제조방법.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4792818A (en) * 1987-06-12 1988-12-20 International Business Machines Corporation Thermal drop-on-demand ink jet print head
US4935752A (en) * 1989-03-30 1990-06-19 Xerox Corporation Thermal ink jet device with improved heating elements
JP4654494B2 (ja) * 2000-08-07 2011-03-23 ソニー株式会社 プリンタ、プリンタヘッド及びプリンタヘッドの製造方法
JP4706098B2 (ja) * 2000-11-07 2011-06-22 ソニー株式会社 プリンタ、プリンタヘッド及びプリンタヘッドの製造方法
US6582063B1 (en) * 2001-03-21 2003-06-24 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Fluid ejection device
KR100425306B1 (ko) * 2001-10-12 2004-03-30 삼성전자주식회사 버블젯 방식의 잉크젯 프린트헤드
JP2004188796A (ja) * 2002-12-11 2004-07-08 Fuji Xerox Co Ltd インクジェット記録用ヘッド及びインクジェット記録装置
US7198358B2 (en) * 2004-02-05 2007-04-03 Hewlett-Packard Development Company, L.P. Heating element, fluid heating device, inkjet printhead, and print cartridge having the same and method of making the same
JP4537246B2 (ja) * 2004-05-06 2010-09-01 キヤノン株式会社 インクジェット記録ヘッド用基体の製造方法及び該方法により製造された前記基体を用いた記録ヘッドの製造方法

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