JP2011201083A5 - - Google Patents

Description

本発明の１つの側面は、基板に樹脂を塗布し該樹脂に型を押し付けた状態で該樹脂を硬化させるインプリント装置に係り、前記型は、ポーラス層を有し、前記インプリント装置は、前記型を保持するチャックと、前記チャックによって保持された前記型の前記ポーラス層から気体が排出されるように前記ポーラス層に気体を供給する供給部とを備え、前記供給部は、樹脂に前記型を押し付ける前の期間の少なくとも一部において、前記型の前記ポーラス層から気体が排出されるように前記型に気体を供給する。

Claims (6)

1. 基板に樹脂を塗布し該樹脂に型を押し付けた状態で該樹脂を硬化させるインプリント装置であって、
   前記型は、ポーラス層を有し、
   前記インプリント装置は、
   前記型を保持するチャックと、
   前記チャックによって保持された前記型の前記ポーラス層から気体が排出されるように前記ポーラス層に気体を供給する供給部と、
   を備え、
   前記供給部は、樹脂に前記型を押し付ける前の期間の少なくとも一部において、前記型の前記ポーラス層から気体が排出されるように前記型に気体を供給することを特徴とするインプリント装置。
2. 前記型は、パターンが形成されたパターン部を有し、前記パターン部が前記ポーラス層で構成されていて、
   前記供給部は、樹脂に前記型を押し付けてから該樹脂が硬化するまでの期間は、前記ポーラス層への気体の供給を停止する、
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. 前記型は、前記ポーラス層の一部を覆う非ポーラス部材からなるキャップ層を有し、前記キャップ層にパターン部が配置されていて、前記キャップ層は、気体を透過させる厚さを有し、
   前記供給部は、樹脂に前記型を押し付けてから該樹脂が硬化するまでの期間は、前記ポーラス層への気体の供給を停止する、
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
4. 前記供給部は、硬化した樹脂から前記型を引き離す際に、前記型の前記ポーラス層から気体が排出されるように前記型に気体を供給する、
   ことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
5. 基板に樹脂を塗布し該樹脂に型を押し付けた状態で該樹脂を硬化させるインプリント装置であって、
   前記型は、ポーラス層を有し、
   前記インプリント装置は、
   前記型を保持するチャックと、
   気体制御部とを備え、
   前記気体制御部は、
   樹脂に押し付けられた前記型のパターン部に形成されたパターンの凹部から前記ポーラス層を介して気体が吸引され、これによって前記凹部への該樹脂の充填が促進されるように前記ポーラス層から気体を吸引する吸引部と、
   前記チャックによって保持された前記型の前記ポーラス層から気体が排出されるように前記ポーラス層に気体を供給する供給部とを含み、
   前記供給部は、樹脂に前記型を押し付ける前の期間の少なくとも一部において、前記型の前記ポーラス層から気体が排出されるように前記型に気体を供給することを特徴とするインプリント装置。
6. 物品を製造する製造方法であって、
   請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板の上に樹脂のパターンを形成する工程と、
   該パターンが形成された基板を加工する工程と、
   を含むことを特徴とする製造方法。