JP2011102001A5 - - Google Patents
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Description
本発明の液体吐出ヘッドの製造方法は、液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する流路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、第１の層と第２の層とがこの順で積層されている基板を用意するＡ工程と、前記第２の層に、内部に前記吐出口を形成するための部材（Ａ）を形成するＢ工程と、前記第１の層に、前記流路を形成するための型を形成するＣ工程と、前記型の上面以上の厚さで前記型と前記部材（Ａ）とに密接するように第３の層を設けるＤ工程と、前記型を除去して前記流路を形成するＥ工程と、をこの順に有することを特徴とする。
Claims (15)
- 液体を吐出する吐出口と、該吐出口に連通する流路と、を有する液体吐出ヘッドの製造方法において、
第１の層と第２の層とがこの順で積層されている基板を用意するＡ工程と、
前記第２の層に、内部に前記吐出口を形成するための部材（Ａ）を形成するＢ工程と、
前記第１の層に、前記流路を形成するための型を形成するＣ工程と、
前記型の上面以上の厚さで前記型と前記部材（Ａ）とに密接するように第３の層を設けるＤ工程と、
前記型を除去して前記流路を形成するＥ工程と、
をこの順に有することを特徴とする液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記Ａ工程は、露光が行われていない状態のポジ型感光性樹脂からなる前記第１の層を基板の上に設ける工程と、前記第１の層の上に前記第２の層を設ける工程と、を含み、
前記Ｂ工程の後に、前記型を形成するために前記第１の層に露光を行うことを特徴とする請求項１に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。 - 前記Ｂ工程において、前記部材（Ａ）に前記吐出口となる開口を形成することを特徴とする請求項１または２に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記部材（Ａ）の上面まで前記第３の層を設けることを特徴とする請求項１乃至３のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記Ｄ工程を行う前に、前記部材（Ａ）の前記開口の周辺の部分を撥液性とすることを特徴とする請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記Ｄ工程を行う前に、前記部材（Ａ）の前記基板側と反対側の表面に、撥液性の部分と撥液性を示さない部分とを設けることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記撥液性の部分は、前記部材（Ａ）の前記開口の周辺の部分であり、前記部材（Ａ）は撥液性を示さない部分で前記第３の層と接することを特徴とする請求項６に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記Ｂ工程において、前記第２の層の上に撥液性を付与するため材料を提供し、前記開口の周辺の部分に、前記材料により撥液性を付与し、前記周辺以外の部分の前記材料を除去することを特徴とする請求項６乃至７のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記Ｂ工程は、前記材料の除去される部分とともに、前記２の層の前記除去される部分の下に位置する部分とを一括して除去することを特徴とする請求項８に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第２の層はネガ型感光性樹脂により形成される請求項１乃至９のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第２の層と前記第３の層とが同一の組成のネガ型感光性樹脂を含むことを特徴とする請求項１乃至１０のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記部材（Ａ）を形成する工程において前記部材（Ａ）を前記流路の形状に対応した形状とし、前記部材（Ａ）をマスクとして利用して前記第１の層の前記（Ａ）部材が積層されていない部分を除去することにより前記型を形成することを特徴とする請求項１乃至１１のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第１の層がポジ型感光性樹脂からなり、前記部材（Ａ）をマスクとして利用して前記第１の層を露光した後、前記露光が行われた部分を除去することにより前記型を形成することを特徴とする請求項１乃至１２のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記Ｅ工程を行った後に、前記部材（Ａ）の前記開口の周辺の部分に撥液性を付与することを特徴する請求項３に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
- 前記第１の層と前記第２の層とは、それぞれ平坦な状態で形成されていることを特徴とする請求項１乃至１４のいずれか１項に記載の液体吐出ヘッドの製造方法。
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