JP2007219303A5 - - Google Patents

Claims (6)

1. 任意の非球面を有し、かつ、厚さがレンズ口径の半分より大きいマイクロレンズを製造するための型の製造方法であって、
   シリコン基板上に当該型の凹部よりも径の小さい円形領域を包囲する形状の一のマスク層を形成し、さらに、前記円形領域上に径の異なる複数の円形開口部を有する他のマスク層を形成し、
   前記複数の円形開口部を通じて、前記円形領域内のシリコン基板に対して異方性ドライエッチングを行うことにより、前記シリコン基板に各円形開口部の径に応じた深さの複数の穴を形成し、
   前記複数の円形開口部を通じて、前記円形領域内のシリコン基板に対して等方性エッチングを行うことにより、前記複数の穴の側壁を除去して穴同士を融合し、
   前記他のマスク層を除去した後に、前記一のマスク層の前記円形領域を通じて、前記穴同士が融合して形成された凹部に対して等方性エッチングを行うことにより、当該凹部を拡大させるとともに表面を平滑化した後、前記一のマスク層を除去することを含む方法。
2. 任意の非球面を有し、かつ、厚さがレンズ口径の半分より大きいマイクロレンズを製造するための型の製造方法であって、
   シリコン基板上に当該型の凹部よりも径の小さい円形領域を包囲する形状の一のマスク層を形成し、さらに、前記円形領域上に径の異なる複数の円形開口部を有する他のマスク層を形成し、
   前記複数の円形開口部を通じて、前記円形領域内のシリコン基板に対して異方性ドライエッチングを行うことにより、前記シリコン基板に各円形開口部の径に応じた深さの複数の穴を形成し、
   前記他のマスク層を除去した後に、前記一のマスク層の前記円形領域を通じて等方性エッチングを行うことにより、前記複数の穴の側壁を除去して穴同士を融合して凹部を形成し、
   前記凹部が形成された後、前記一のマスク層を除去することを含む方法。
3. 任意の非球面を有し、かつ、厚さがレンズ口径の半分よりも大きいマイクロレンズを製造するための型の製造方法であって、
   シリコン基板上に当該型の凹部に対応する円形領域上に径の異なる複数の円形開口部を有する一のマスク層を形成し、さらに、前記円形領域内の外周部に存在する複数の円形開口部を覆う他のマスク層を形成し、
   前記複数の円形開口部のうち、前記他のマスク層に覆われていない複数の円形開口部を通じて、前記円形領域内のシリコン基板に対して異方性ドライエッチングを行うことにより、前記シリコン基板に各円形開口部の径に応じた深さの複数の穴を形成し、
   前記他のマスク層を除去した後に、前記円形領域内の全ての円形開口部を通じて、さらに前記円形領域内のシリコン基板に対して異方性ドライエッチングを行うことにより、前記シリコン基板に深さの異なる複数の穴を形成し、
   前記複数の円形開口部を通じて、前記円形領域内のシリコン基板に対して等方性エッチングを行うことにより、前記複数の穴の側壁を除去して穴同士を融合し、
   前記一のマスク層を除去した後に、等方性エッチングにより前記融合した穴の表面を平滑化することを含む方法。
4. 前記一のマスク層を除去した後に、前記マイクロレンズ用型の表面に、レンズ材に対して剥離性の良い膜を形成することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロレンズ用型の製造方法。
5. 前記一のマスク層を除去した後に、前記マイクロレンズ用型の表面に、型材であるシリコンをエッチングするガス又は液体に腐食され難い膜を形成することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のマイクロレンズ用型の製造方法。
6. 請求項５に記載のマイクロレンズ用型の製造方法により製造されたマイクロレンズ用型を用いて、マイクロレンズを成型する方法であって、
   前記マイクロレンズ用型の任意の非球面を有する表面の形状をレンズ材に転写した後、前記マイクロレンズ用型の前記表面とは反対側の面に対してエッチングを行ってシリコン基板を除去し、さらに前記表面に形成された膜を除去することにより、マイクロレンズを成型する方法。