JP2013525828A5

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Info

Publication number: JP2013525828A5
Application number: JP2013501636A
Authority: JP
Filing date: 2010-03-31
Publication date: 2014-05-08
Anticipated expiration: 2030-03-31

Description

このように、本発明によると、レンズは、担体ウェーハ、特に担体ウェーハのリング内周と形状結合式に連結されている。

リング内周１６とリング外周２４とを有する担体ウェーハ１７が、保持構造２５を、図２に示された実施例では光軸Ａの方向においてリング内周１６から鋭く突出した突起の形態で備えることによって、レンズ１４と担体ウェーハ１７とは形状結合式に連結される。この連結を、破損せずに解除することはできない。

Claims

担体ウェーハ（１７）とレンズ（１４、１４’）とを有するマイクロレンズ（１、１’）を製造するための方法であって、前記レンズ（１４、１４’）が、前記レンズ（１４、１４’）を受容するために形成された前記担体ウェーハ（１７）の開口部（２）において、前記レンズ（１４、１４’）の型押しによって前記担体ウェーハ（１７）内に成形される方法において、
前記担体ウェーハ（１７）のリング内周（１６）には、前記レンズ（１４、１４’）を形状結合式に連結するための保持構造（２５）が設けられており、前記保持構造に前記レンズ（１４、１４’）が固定されることを特徴とする方法。
前記担体ウェーハ（１７）は、前記レンズ（１４、１４’）を透過する光線を遮断しないように前記マイクロレンズ（１、１’）の光路から外されて配置されていることを特徴とする請求項１に記載の方法。
型押しの際、同時に複数のレンズ（１４、１４’）が、対応する担体ウェーハ（１７）を含む担体ウェーハ・マトリックス（３２）の対応する開口部（２）内に成形されることを特徴とする請求項１又は２に記載の方法。
型押しの際、上側及び下側レンズ・ダイ（９、９’、１８、１８’）の接触面（８、２２）がそれぞれ、前記上側及び下側レンズ・ダイ（９、９’、１８、１８’）を同一平面上に位置決めするために、前記担体ウェーハ（１７）の対応する対向面（７、２３）に接触することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載の方法。
請求項１から４のいずれか一項に記載の方法であって、
‐下側レンズ・ダイ（１８、１８’）の前記担体ウェーハ（１７）の開口部（２）との位置決め及び固定、
‐前記レンズ（１４、１４’）を形成するレンズ材料の前記開口部（２）への導入、
‐前記レンズ材料を前記上側レンズ・ダイ（９、９’）と作用させることによる、前記レンズ（１４、１４’）の型押し、
‐前記レンズ（１４、１４’）の硬化、
が順に行われる方法。