JPH04326031A - 半導体圧力センサ - Google Patents
半導体圧力センサInfo
- Publication number
- JPH04326031A JPH04326031A JP12504491A JP12504491A JPH04326031A JP H04326031 A JPH04326031 A JP H04326031A JP 12504491 A JP12504491 A JP 12504491A JP 12504491 A JP12504491 A JP 12504491A JP H04326031 A JPH04326031 A JP H04326031A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- introduction pipe
- pressure introduction
- pressure
- pressure sensor
- protrusion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 11
- 230000002265 prevention Effects 0.000 abstract 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 2
- NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N novaluron Chemical compound C1=C(Cl)C(OC(F)(F)C(OC(F)(F)F)F)=CC=C1NC(=O)NC(=O)C1=C(F)C=CC=C1F NJPPVKZQTLUDBO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
Landscapes
- Measuring Fluid Pressure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】この発明は、半導体圧力センサの
構造に関するものである。
構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】図２は従来の半導体圧力センサの構造断
面図であり、図において、１はパッケージ、２はリード
、３はセンサチップ、４はセンサチップ３の裏面と接合
してセンサチップ３への応力を緩和するためのガラス台
座、５はリード２とセンサチップ３をつなぐワイヤ、６
はパッケージ１の一部である圧力導入管、７は本センサ
の使用時に圧力を取り入れるために使用される圧力導入
パイプである。
面図であり、図において、１はパッケージ、２はリード
、３はセンサチップ、４はセンサチップ３の裏面と接合
してセンサチップ３への応力を緩和するためのガラス台
座、５はリード２とセンサチップ３をつなぐワイヤ、６
はパッケージ１の一部である圧力導入管、７は本センサ
の使用時に圧力を取り入れるために使用される圧力導入
パイプである。
【０００３】次に動作について説明する。圧力導入パイ
プ７より圧力変化を取り入れ、センサチップ３により圧
力−電圧変換され、その圧力に従って出力電圧が変化す
る。そしてその電気信号はワイヤ５を通り、リード２に
より出力される。
プ７より圧力変化を取り入れ、センサチップ３により圧
力−電圧変換され、その圧力に従って出力電圧が変化す
る。そしてその電気信号はワイヤ５を通り、リード２に
より出力される。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】従来の半導体圧力セン
サは以上のように構成されているので、圧力導入パイプ
７を圧力導入管６に取付ける際、圧力導入パイプ７の締
め付け力のみで接続されるため圧力導入パイプが抜け易
いという問題点があった。
サは以上のように構成されているので、圧力導入パイプ
７を圧力導入管６に取付ける際、圧力導入パイプ７の締
め付け力のみで接続されるため圧力導入パイプが抜け易
いという問題点があった。
【０００５】この発明は上記のような問題点を解消する
ためになされたもので、圧力導入パイプの抜けを防止す
ることを目的とする。
ためになされたもので、圧力導入パイプの抜けを防止す
ることを目的とする。
【０００６】
【課題を解決するための手段】この発明に係る半導体圧
力センサは、圧力導入管のねもと付近に突起を設けたも
のである。
力センサは、圧力導入管のねもと付近に突起を設けたも
のである。
【０００７】
【作用】この発明における半導体圧力センサは、圧力導
入管のねもと付近に突起を設けているため、圧力導入パ
イプが突起に締め付けられ抜けを防止できる。
入管のねもと付近に突起を設けているため、圧力導入パ
イプが突起に締め付けられ抜けを防止できる。
【０００８】
【実施例】以下この発明の一実施例を図について説明す
る。図１において、１〜７は上記従来例に示したものと
同一部品であり、８は圧力導入管６のねもと付近に設け
た突起である。
る。図１において、１〜７は上記従来例に示したものと
同一部品であり、８は圧力導入管６のねもと付近に設け
た突起である。
【０００９】次に動作について説明する。なお半導体圧
力センサの動作については従来例と同様であるが、圧力
導入パイプ７を圧力導入管６に取付けたとき、圧力導入
パイプ７は突起８によって外周から締め付けられ、抜け
を防止できる。
力センサの動作については従来例と同様であるが、圧力
導入パイプ７を圧力導入管６に取付けたとき、圧力導入
パイプ７は突起８によって外周から締め付けられ、抜け
を防止できる。
【００１０】
【発明の効果】以上のようにこの発明によれば、圧力導
入管に突起を設けた構造にしたので、圧力導入パイプが
突起に締め付けられ抜けを防止できる。
入管に突起を設けた構造にしたので、圧力導入パイプが
突起に締め付けられ抜けを防止できる。
【図１】この発明の一実施例による半導体圧力センサの
断面図である。
断面図である。
【図２】従来の半導体圧力センサの断面図である。
１ パッケージ
２ リード
３ センサチップ
４ ガラス台座
５ ワイヤ
６ 圧力導入管
７ 圧力導入パイプ
８ 突起
Claims (1)
- 【請求項１】 圧力導入パイプを接続するための圧力
導入管を備えたパッケージを備えた半導体圧力センサに
おいて、圧力導入管のねもと部に、圧力導入パイプを接
続したとき、これを外周から締め付ける突起を備えたこ
とを特徴とする半導体圧力センサ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504491A JPH04326031A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 半導体圧力センサ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12504491A JPH04326031A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 半導体圧力センサ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04326031A true JPH04326031A (ja) | 1992-11-16 |
Family
ID=14900449
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12504491A Pending JPH04326031A (ja) | 1991-04-25 | 1991-04-25 | 半導体圧力センサ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04326031A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10279551B2 (en) | 2010-03-31 | 2019-05-07 | Ev Group Gmbh | Method for producing a microlens |
-
1991
- 1991-04-25 JP JP12504491A patent/JPH04326031A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US10279551B2 (en) | 2010-03-31 | 2019-05-07 | Ev Group Gmbh | Method for producing a microlens |
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