JPH08174833A - インクジェット記録装置の記録ヘッドおよびその基板端面への酸化皮膜形成方法 - Google Patents
インクジェット記録装置の記録ヘッドおよびその基板端面への酸化皮膜形成方法Info
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- JPH08174833A JPH08174833A JP6335709A JP33570994A JPH08174833A JP H08174833 A JPH08174833 A JP H08174833A JP 6335709 A JP6335709 A JP 6335709A JP 33570994 A JP33570994 A JP 33570994A JP H08174833 A JPH08174833 A JP H08174833A
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Abstract
(57)【要約】
【目的】本発明は、金属を主成分とする基板を用いたイ
ンクジェット記録ヘッドのフェイス面における基板端面
の腐食を防止して、良好な印字機能を有するインクジェ
ット記録ヘッドおよびその基板端面への酸化皮膜形成方
法を提供することを目的とするものである。 【構成】本発明は、熱エネルギーを利用して記録液を加
熱・沸騰させ液滴を吐出して記録を行うように構成され
たインクジェット記録装置の記録ヘッドにおいて、該記
録ヘッドを構成する金属を主成分とした基板の、少なく
とも液滴吐出側端面に酸化皮膜を設け、その基板端面の
金属の腐食を防ぐようにしたものである。そして、その
酸化皮膜は、化成処理や陽極酸化法により形成される。
ンクジェット記録ヘッドのフェイス面における基板端面
の腐食を防止して、良好な印字機能を有するインクジェ
ット記録ヘッドおよびその基板端面への酸化皮膜形成方
法を提供することを目的とするものである。 【構成】本発明は、熱エネルギーを利用して記録液を加
熱・沸騰させ液滴を吐出して記録を行うように構成され
たインクジェット記録装置の記録ヘッドにおいて、該記
録ヘッドを構成する金属を主成分とした基板の、少なく
とも液滴吐出側端面に酸化皮膜を設け、その基板端面の
金属の腐食を防ぐようにしたものである。そして、その
酸化皮膜は、化成処理や陽極酸化法により形成される。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、インクジェット記録装
置に係り、特に熱エネルギーを利用して記録液を加熱・
沸騰させ液滴を吐出して記録を行うように構成されたイ
ンクジェット記録装置の記録ヘッドおよびその基板端面
への酸化皮膜形成方法に関する。
置に係り、特に熱エネルギーを利用して記録液を加熱・
沸騰させ液滴を吐出して記録を行うように構成されたイ
ンクジェット記録装置の記録ヘッドおよびその基板端面
への酸化皮膜形成方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】インクジェット記録装置は、インクジェ
ット記録ヘッドに設けたオリフィスからインク（記録
液）を吐出させ、これを紙などの被記録材上に付着させ
て記録を行う記録装置であり、騒音の発生がきわめて少
なく且つ高速記録が可能であり、しかも特別な記録紙を
用いず普通紙に記録が行えるという多くの利点を有し、
種々のタイプの記録ヘッドが開発されている。なかで
も、例えば特開昭５４−５１８３７号公報に記載されて
いるインクジェット記録装置は、熱エネルギーの作用を
受けたインクが加熱されて気泡を発生し、この気泡が被
記録部材に付着して情報の記録が行われるということを
特徴としている。
ット記録ヘッドに設けたオリフィスからインク（記録
液）を吐出させ、これを紙などの被記録材上に付着させ
て記録を行う記録装置であり、騒音の発生がきわめて少
なく且つ高速記録が可能であり、しかも特別な記録紙を
用いず普通紙に記録が行えるという多くの利点を有し、
種々のタイプの記録ヘッドが開発されている。なかで
も、例えば特開昭５４−５１８３７号公報に記載されて
いるインクジェット記録装置は、熱エネルギーの作用を
受けたインクが加熱されて気泡を発生し、この気泡が被
記録部材に付着して情報の記録が行われるということを
特徴としている。
【０００３】この記録装置に適用される記録ヘッドは、
一般にインク液滴を吐出するために設けられたインク吐
出口と、インク液滴を吐出するための熱エネルギーがイ
ンクに作用する熱作用部を有してインク吐出口に連通す
る液路と、熱エネルギーの発生手段である電気熱変換体
としての発熱抵抗層と、該発熱抵抗層をインクから保護
する上部保護層並びに熱エネルギーを蓄熱するための蓄
熱層と、記録ヘッド全体を支持する支持基板とを具備し
ている。尚、場合によっては、上部保護層は省略され
る。上記支持基板を形成する材料としては熱伝導率が大
きく、表面性が良好であるものが好ましく、従来、シリ
コン基板が用いられてきた。しかしながら、シリコン基
板は高価であり工業経済的に不利であるため、これに代
わる安価な代替材料が数多く検討されてきた。そこで、
熱伝導率が大きく、表面性が良好であり、しかも安価で
ある金属基板が注目されている。中でもアルミニウムは
安価で熱伝導率が大きいために、特に注目されている。
一般にインク液滴を吐出するために設けられたインク吐
出口と、インク液滴を吐出するための熱エネルギーがイ
ンクに作用する熱作用部を有してインク吐出口に連通す
る液路と、熱エネルギーの発生手段である電気熱変換体
としての発熱抵抗層と、該発熱抵抗層をインクから保護
する上部保護層並びに熱エネルギーを蓄熱するための蓄
熱層と、記録ヘッド全体を支持する支持基板とを具備し
ている。尚、場合によっては、上部保護層は省略され
る。上記支持基板を形成する材料としては熱伝導率が大
きく、表面性が良好であるものが好ましく、従来、シリ
コン基板が用いられてきた。しかしながら、シリコン基
板は高価であり工業経済的に不利であるため、これに代
わる安価な代替材料が数多く検討されてきた。そこで、
熱伝導率が大きく、表面性が良好であり、しかも安価で
ある金属基板が注目されている。中でもアルミニウムは
安価で熱伝導率が大きいために、特に注目されている。
【０００４】このような構成のインクジェット記録ヘッ
ドのインク吐出口と液路とを形成する方法として、例え
ば、熱エネルギーの発生手段である電気変換体の配置さ
れた基板上に、硬化した感光性樹脂の溝壁をフォトリソ
グラフィー工程を用いて積層して溝を形成し、このよう
にして形成された溝付き板に、他の平板（覆い）を接合
してインク流路を設けた接合体を形成し、その後、イン
ク液路の下流側の所定の位置で、インク流路に対して垂
直に接合体を、ダイシング法等によって切断加工して切
断面にオリフィスを形成する工程が知られている。
ドのインク吐出口と液路とを形成する方法として、例え
ば、熱エネルギーの発生手段である電気変換体の配置さ
れた基板上に、硬化した感光性樹脂の溝壁をフォトリソ
グラフィー工程を用いて積層して溝を形成し、このよう
にして形成された溝付き板に、他の平板（覆い）を接合
してインク流路を設けた接合体を形成し、その後、イン
ク液路の下流側の所定の位置で、インク流路に対して垂
直に接合体を、ダイシング法等によって切断加工して切
断面にオリフィスを形成する工程が知られている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、耐食性の弱
いアルミニウムなどの金属基板を用いた場合、オリフィ
ス面の基板端部分に、金属端がそのまま露出するため、
その部分がインクで腐食されインクジェット記録ヘッド
の性能が低下したり、はなはだしい場合にはインク吐出
口を腐食生成物でふさいでインクが吐出しなくなる場合
がある。インクが非腐食性のものでも、大気中の水分や
ナトリウムイオンや塩素イオンなどによっても腐食が生
じる。これらに対して、当初、フェイス面に樹脂をコー
ティングしたり、スパッタや蒸着、プラズマ重合等によ
り膜を成膜していたが、以下に述べる理由により対策と
して十分ではなかった。
いアルミニウムなどの金属基板を用いた場合、オリフィ
ス面の基板端部分に、金属端がそのまま露出するため、
その部分がインクで腐食されインクジェット記録ヘッド
の性能が低下したり、はなはだしい場合にはインク吐出
口を腐食生成物でふさいでインクが吐出しなくなる場合
がある。インクが非腐食性のものでも、大気中の水分や
ナトリウムイオンや塩素イオンなどによっても腐食が生
じる。これらに対して、当初、フェイス面に樹脂をコー
ティングしたり、スパッタや蒸着、プラズマ重合等によ
り膜を成膜していたが、以下に述べる理由により対策と
して十分ではなかった。
【０００６】すなわち、これらの処方において例えば膜
厚が薄い場合には、ピンホールなどが発生し十分に基板
端面の金属の腐食を防ぐことができず、また、逆に金属
の腐食を防げるほど膜厚を厚くすると膜剥がれやクラッ
クが入りそこからアルミニウムの腐食が進行し、印字性
能の劣化が生じるという問題があった。
厚が薄い場合には、ピンホールなどが発生し十分に基板
端面の金属の腐食を防ぐことができず、また、逆に金属
の腐食を防げるほど膜厚を厚くすると膜剥がれやクラッ
クが入りそこからアルミニウムの腐食が進行し、印字性
能の劣化が生じるという問題があった。
【０００７】そこで、本発明は、金属を主成分とする基
板を用いたインクジェット記録ヘッドのフェイス面にお
ける基板端面の腐食を防止して、良好な印字機能を有す
るインクジェット記録ヘッドおよびその基板端面への酸
化皮膜形成方法を提供することを目的とするものであ
る。
板を用いたインクジェット記録ヘッドのフェイス面にお
ける基板端面の腐食を防止して、良好な印字機能を有す
るインクジェット記録ヘッドおよびその基板端面への酸
化皮膜形成方法を提供することを目的とするものであ
る。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、熱エネルギーを利用して記録液を加熱・沸
騰させ液滴を吐出して記録を行うように構成されたイン
クジェット記録装置の記録ヘッドにおいて、該記録ヘッ
ドを構成する金属を主成分とした基板の、少なくとも液
滴吐出側端面に酸化皮膜を設け、その基板端面の金属の
腐食を防ぐようにしたものである。そして、その膜厚は
金属の腐食を防げるだけの膜厚が必要であるが、数十ｎ
ｍ〜数千ｎｍ、好ましくは数百ｎｍ〜数千ｎｍあれば良
い。
成するため、熱エネルギーを利用して記録液を加熱・沸
騰させ液滴を吐出して記録を行うように構成されたイン
クジェット記録装置の記録ヘッドにおいて、該記録ヘッ
ドを構成する金属を主成分とした基板の、少なくとも液
滴吐出側端面に酸化皮膜を設け、その基板端面の金属の
腐食を防ぐようにしたものである。そして、その膜厚は
金属の腐食を防げるだけの膜厚が必要であるが、数十ｎ
ｍ〜数千ｎｍ、好ましくは数百ｎｍ〜数千ｎｍあれば良
い。
【０００９】記録ヘッド端面への酸化皮膜形成方法とし
ては、化成処理や陽極酸化法により行うことができる。
その中でも、化成処理は工程が簡単で装置も低コストで
できるため、製造上有利である。化成処理としては、基
板としてアルミニウムを用いた場合には、クロム酸塩、
燐酸塩及び弗化物を含む酸性溶液を用いるアロジン法、
あるいは無水炭酸ソーダ及び無水クロム酸ソーダの水溶
液を用いるＭＢＶ法、あるいは炭酸ソーダ、クロム酸ソ
ーダ及び珪酸ソーダの水溶液を用いるＥＷ法等が使用で
きる。酸化皮膜の形成は、オリフィス形成工程、すなわ
ち、ダイシング法などによる接合体の切断工程後に行
う。処理は、薬液にヘッド先端部を浸漬して行うため、
ヘッドの構成材料に極力ダメージを与えない処理方法を
とったり、あるいは、必要に応じて処理液が入るインク
通路などを処理前にワックスなどの材料で充填する場合
もある。この場合は、処理後、充填物を除去すれば良
い。また、インク通路などに処理液が入らない方法とし
ては、インク通路の一部からＮ2などの不活性な気体を
送り込みリフィスから吐出するようにしても良い。
ては、化成処理や陽極酸化法により行うことができる。
その中でも、化成処理は工程が簡単で装置も低コストで
できるため、製造上有利である。化成処理としては、基
板としてアルミニウムを用いた場合には、クロム酸塩、
燐酸塩及び弗化物を含む酸性溶液を用いるアロジン法、
あるいは無水炭酸ソーダ及び無水クロム酸ソーダの水溶
液を用いるＭＢＶ法、あるいは炭酸ソーダ、クロム酸ソ
ーダ及び珪酸ソーダの水溶液を用いるＥＷ法等が使用で
きる。酸化皮膜の形成は、オリフィス形成工程、すなわ
ち、ダイシング法などによる接合体の切断工程後に行
う。処理は、薬液にヘッド先端部を浸漬して行うため、
ヘッドの構成材料に極力ダメージを与えない処理方法を
とったり、あるいは、必要に応じて処理液が入るインク
通路などを処理前にワックスなどの材料で充填する場合
もある。この場合は、処理後、充填物を除去すれば良
い。また、インク通路などに処理液が入らない方法とし
ては、インク通路の一部からＮ2などの不活性な気体を
送り込みリフィスから吐出するようにしても良い。
【００１０】
【作用】以下図面を参照して本発明の作用を説明する。
なお、本発明に於ては、吐出口付近に問題の解決が絞ら
れるものであるから、以後に於ては記録ヘッドの吐出口
を含む部分のみ抽出して詳述する。図１（Ａ）及び図１
（Ｂ）に示される記録ヘッドはインクを通す溝を有す
る、例えば感光性樹脂からなる液路形成部材６と発熱ヘ
ッド部９と例えばガラスからなる天板７とを接着して得
られる。発熱ヘッド部９は酸化シリコン等で形成される
保護層５、アルミニウムから形成される電極４、ＨｆＢ
2等で形成される発熱抵抗体層３、酸化シリコン等で形
成される蓄熱層２、金属を主成分とする基板１より成っ
ている。そして、このオリフィス面１２の金属を主成分
とする基板端部には酸化皮膜８が形成されている。本発
明においてはこの酸化皮膜８は、化成処理あるいは陽極
酸化法により金属を酸化して形成する。
なお、本発明に於ては、吐出口付近に問題の解決が絞ら
れるものであるから、以後に於ては記録ヘッドの吐出口
を含む部分のみ抽出して詳述する。図１（Ａ）及び図１
（Ｂ）に示される記録ヘッドはインクを通す溝を有す
る、例えば感光性樹脂からなる液路形成部材６と発熱ヘ
ッド部９と例えばガラスからなる天板７とを接着して得
られる。発熱ヘッド部９は酸化シリコン等で形成される
保護層５、アルミニウムから形成される電極４、ＨｆＢ
2等で形成される発熱抵抗体層３、酸化シリコン等で形
成される蓄熱層２、金属を主成分とする基板１より成っ
ている。そして、このオリフィス面１２の金属を主成分
とする基板端部には酸化皮膜８が形成されている。本発
明においてはこの酸化皮膜８は、化成処理あるいは陽極
酸化法により金属を酸化して形成する。
【００１１】そして本発明においては、このようにオリ
フィス面１２の金属を主成分とする基板端部には酸化皮
膜８が形成されているから、記録ヘッドの使用時におい
て電極に電気信号が加わって熱作用部１０が急激に発熱
し、ここに接しているインクに気泡が発生して、その圧
力によってインク液滴が吐出口１１から吐出し小滴１３
となって被記録部材１４に向かって飛翔し、基板端部に
インク液滴がかかっても、この酸化皮膜によって該部の
腐食されることが防止され吐出特性を向上させることが
できる。
フィス面１２の金属を主成分とする基板端部には酸化皮
膜８が形成されているから、記録ヘッドの使用時におい
て電極に電気信号が加わって熱作用部１０が急激に発熱
し、ここに接しているインクに気泡が発生して、その圧
力によってインク液滴が吐出口１１から吐出し小滴１３
となって被記録部材１４に向かって飛翔し、基板端部に
インク液滴がかかっても、この酸化皮膜によって該部の
腐食されることが防止され吐出特性を向上させることが
できる。
【００１２】
【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。 ［実施例１］図１（Ａ）及び（Ｂ）に示す記録ヘッドに
おいて、基板としてアルミニウムを用い、基板端部に酸
化皮膜のないものをまず作成した。次にヘッドの先端部
分を、リン酸、弗化ナトリウム及びクロム酸を表２に示
す割合で含む酸性溶液を用いたアロジン法によって、そ
の液温５０℃のもとに３分間浸漬し、フェイスの基板端
部に約３００ｎｍの酸化皮膜を形成した。この実施例１
のものと、酸化皮膜がなくその基板端部にアルミニウム
が露出したままである点を除き実施例１と同じ構成のも
のとを比較した結果、表１の試験結果で示されるよう
に、比較例に比し実施例１のものはフェイス面の基板端
面のアルミニウムの腐食もなく、吐出特性も良好な結果
となった。 ［実施例２］実施例１と同じ構成の記録ヘッドに、ＭＢ
Ｖ法により約３００ｎｍの酸化皮膜を形成した。すなわ
ち、実施例２ではヘッドの先端部分を、苛性ソーダ及び
クロム酸ソーダを表２に示す割合で含む水溶液を用いた
ＭＢＶ法によって、その液温９６℃のもとに６分間浸漬
し、フェイスの基板端部に約３００ｎｍの酸化皮膜を形
成した。この実施例２のものと、酸化皮膜がなくその基
板端部にアルミニウムが露出したままである点を除き実
施例１と同じ構成のものとを比較した結果、表１の試験
結果で示されるように、比較例に比し実施例２のものは
フェイス面の基板端面のアルミニウムの腐食もなく、吐
出特性も良好な結果となった。 ［実施例３］実施例１と同じ構成の記録ヘッドに、ＥＷ
法により約３００ｎｍの酸化皮膜を形成した。すなわ
ち、実施例３ではヘッドの先端部分を、炭酸ソーダ、ク
ロム酸ソーダ及び珪酸ソーダを表２に示す割合で含む溶
液を用いたＥＷ法によって、その液温９５℃のもとに９
分間浸漬し、フェイスの基板端部に約３００ｎｍの酸化
皮膜を形成した。この実施例３のものと、酸化皮膜がな
くその基板端部にアルミニウムが露出したままである点
を除き実施例１と同じ構成のものとを比較した結果、表
１の試験結果で示されるように、比較例に比し実施例３
のものはフェイス面の基板端面のアルミニウムの腐食も
なく、吐出特性も良好な結果となった。
おいて、基板としてアルミニウムを用い、基板端部に酸
化皮膜のないものをまず作成した。次にヘッドの先端部
分を、リン酸、弗化ナトリウム及びクロム酸を表２に示
す割合で含む酸性溶液を用いたアロジン法によって、そ
の液温５０℃のもとに３分間浸漬し、フェイスの基板端
部に約３００ｎｍの酸化皮膜を形成した。この実施例１
のものと、酸化皮膜がなくその基板端部にアルミニウム
が露出したままである点を除き実施例１と同じ構成のも
のとを比較した結果、表１の試験結果で示されるよう
に、比較例に比し実施例１のものはフェイス面の基板端
面のアルミニウムの腐食もなく、吐出特性も良好な結果
となった。 ［実施例２］実施例１と同じ構成の記録ヘッドに、ＭＢ
Ｖ法により約３００ｎｍの酸化皮膜を形成した。すなわ
ち、実施例２ではヘッドの先端部分を、苛性ソーダ及び
クロム酸ソーダを表２に示す割合で含む水溶液を用いた
ＭＢＶ法によって、その液温９６℃のもとに６分間浸漬
し、フェイスの基板端部に約３００ｎｍの酸化皮膜を形
成した。この実施例２のものと、酸化皮膜がなくその基
板端部にアルミニウムが露出したままである点を除き実
施例１と同じ構成のものとを比較した結果、表１の試験
結果で示されるように、比較例に比し実施例２のものは
フェイス面の基板端面のアルミニウムの腐食もなく、吐
出特性も良好な結果となった。 ［実施例３］実施例１と同じ構成の記録ヘッドに、ＥＷ
法により約３００ｎｍの酸化皮膜を形成した。すなわ
ち、実施例３ではヘッドの先端部分を、炭酸ソーダ、ク
ロム酸ソーダ及び珪酸ソーダを表２に示す割合で含む溶
液を用いたＥＷ法によって、その液温９５℃のもとに９
分間浸漬し、フェイスの基板端部に約３００ｎｍの酸化
皮膜を形成した。この実施例３のものと、酸化皮膜がな
くその基板端部にアルミニウムが露出したままである点
を除き実施例１と同じ構成のものとを比較した結果、表
１の試験結果で示されるように、比較例に比し実施例３
のものはフェイス面の基板端面のアルミニウムの腐食も
なく、吐出特性も良好な結果となった。
【００１３】
【表１】
【００１４】
【表２】
【００１５】
【発明の効果】本発明は、以上のように、インクジェッ
ト記録装置の記録ヘッドにおいて、該記録ヘッドを構成
する金属を主成分とした基板の、少なくとも液滴吐出側
端面に酸化皮膜を設けることによって、インクによる腐
食で記録ヘッド性能が低下したり、腐食生成物で吐出口
が塞がれるようなことがなく、良好な印字を行うことが
できる。また本発明の記録ヘッド端面の酸化皮膜形成方
法によると、きわめて簡単な工程により低コストで上記
酸化皮膜を記録ヘッドの基板における液滴吐出側端面に
形成することができる。
ト記録装置の記録ヘッドにおいて、該記録ヘッドを構成
する金属を主成分とした基板の、少なくとも液滴吐出側
端面に酸化皮膜を設けることによって、インクによる腐
食で記録ヘッド性能が低下したり、腐食生成物で吐出口
が塞がれるようなことがなく、良好な印字を行うことが
できる。また本発明の記録ヘッド端面の酸化皮膜形成方
法によると、きわめて簡単な工程により低コストで上記
酸化皮膜を記録ヘッドの基板における液滴吐出側端面に
形成することができる。
【図１】図１（Ａ）は本発明に係るインクジェット記録
の記録ヘッドの一例である模式図の要部断面図であり、
図１（Ｂ）はその正面図である。
の記録ヘッドの一例である模式図の要部断面図であり、
図１（Ｂ）はその正面図である。
１ 基板 ２ 蓄熱層 ３ 発熱抵抗体層 ４ 電極 ５ 保護層 ６ 液路形成部材 ７ 天板 ８ 酸化皮膜 ９ 発熱ヘッド部 １０ 熱作用部 １１ 吐出口 １２ フリフィス面 １３ 小滴（インク） １４ 被記録部材
Claims (6)
- 【請求項１】熱エネルギーを利用して記録液を加熱・沸
騰させ液滴を吐出して記録を行うように構成されたイン
クジェット記録装置の記録ヘッドにおいて、該記録ヘッ
ドが金属を主成分とした基板で構成され、その基板の少
なくとも液滴吐出側端面に酸化皮膜が設けられているこ
とを特徴とするインクジェット記録装置の記録ヘッド。 - 【請求項２】前記酸化皮膜は、その膜厚が数十ｎｍ〜数
千ｎｍとされていることを特徴とする請求項１に記載の
インクジェット記録装置の記録ヘッド。 - 【請求項３】請求項１に記載の記録ヘッド基板端面の酸
化皮膜を、化成処理によって形成するようにしたことを
特徴とする記録ヘッド基板端面への酸化皮膜形成方法。 - 【請求項４】請求項１に記載の記録ヘッド基板端面の酸
化皮膜を、陽極酸化法によって形成するようにしたこと
を特徴とする記録ヘッド基板端面への酸化皮膜形成方
法。 - 【請求項５】前記酸化皮膜は、記録ヘッドのオリフィス
形成工程の後に形成されるようにしたことを特徴とする
請求項３または請求項４に記載の記録ヘッド基板端面へ
の酸化皮膜形成方法。 - 【請求項６】前記酸化皮膜は、記録ヘッドのインク通路
等に処理液が入らない処理を施して形成されるようにし
たことを特徴とする請求項３〜請求項５のいずれか１項
に記載の記録ヘッド基板端面への酸化皮膜形成方法。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6335709A JPH08174833A (ja) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | インクジェット記録装置の記録ヘッドおよびその基板端面への酸化皮膜形成方法 |
| US08/575,152 US5802717A (en) | 1994-12-21 | 1995-12-19 | Process for producing ink-jet head with a chemical change in the base plate surface |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6335709A JPH08174833A (ja) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | インクジェット記録装置の記録ヘッドおよびその基板端面への酸化皮膜形成方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08174833A true JPH08174833A (ja) | 1996-07-09 |
Family
ID=18291608
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6335709A Pending JPH08174833A (ja) | 1994-12-21 | 1994-12-21 | インクジェット記録装置の記録ヘッドおよびその基板端面への酸化皮膜形成方法 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5802717A (ja) |
| JP (1) | JPH08174833A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2845813B2 (ja) * | 1996-06-17 | 1999-01-13 | 新潟日本電気株式会社 | 静電式インクジェット記録ヘッドの製造方法 |
| JP5279686B2 (ja) * | 2009-11-11 | 2013-09-04 | キヤノン株式会社 | 液体吐出ヘッドの製造方法 |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5689569A (en) * | 1979-12-19 | 1981-07-20 | Canon Inc | Ink jet recording head |
| EP0490668B1 (en) * | 1990-12-12 | 1996-10-16 | Canon Kabushiki Kaisha | Ink jet recording |
| JP3134474B2 (ja) * | 1992-03-10 | 2001-02-13 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドの表面処理方法 |
| JP3094715B2 (ja) * | 1993-01-07 | 2000-10-03 | 富士ゼロックス株式会社 | インクジェット記録ヘッドの表面処理方法 |
-
1994
- 1994-12-21 JP JP6335709A patent/JPH08174833A/ja active Pending
-
1995
- 1995-12-19 US US08/575,152 patent/US5802717A/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US5802717A (en) | 1998-09-08 |
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