JP5501618B2 - 高電子移動トランジスタ（ｈｅｍｔ）、半導体デバイスおよびその製造方法 - Google Patents

高電子移動トランジスタ（ｈｅｍｔ）、半導体デバイスおよびその製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP5501618B2
JP5501618B2 JP2008532215A JP2008532215A JP5501618B2 JP 5501618 B2 JP5501618 B2 JP 5501618B2 JP 2008532215 A JP2008532215 A JP 2008532215A JP 2008532215 A JP2008532215 A JP 2008532215A JP 5501618 B2 JP5501618 B2 JP 5501618B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
layer
gate
barrier layer
negative ion
hemt
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2008532215A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2009507396A (ja
Inventor
イーフォン ウー
ムーア マルシア
パリク プリミット
ウィスレーダー ティム
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Wolfspeed Inc
Original Assignee
Cree Inc
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Cree Inc filed Critical Cree Inc
Publication of JP2009507396A publication Critical patent/JP2009507396A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5501618B2 publication Critical patent/JP5501618B2/ja
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/68—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor controllable by only the electric current supplied, or only the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched
    • H01L29/76—Unipolar devices, e.g. field effect transistors
    • H01L29/772—Field effect transistors
    • H01L29/778—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface
    • H01L29/7782—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with confinement of carriers by at least two heterojunctions, e.g. DHHEMT, quantum well HEMT, DHMODFET
    • H01L29/7783—Field effect transistors with two-dimensional charge carrier gas channel, e.g. HEMT ; with two-dimensional charge-carrier layer formed at a heterojunction interface with confinement of carriers by at least two heterojunctions, e.g. DHHEMT, quantum well HEMT, DHMODFET using III-V semiconductor material
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
    • H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
    • H01L29/207—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds further characterised by the doping material
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66—Types of semiconductor device ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/66007—Multistep manufacturing processes
    • H01L29/66075—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials
    • H01L29/66227—Multistep manufacturing processes of devices having semiconductor bodies comprising group 14 or group 13/15 materials the devices being controllable only by the electric current supplied or the electric potential applied, to an electrode which does not carry the current to be rectified, amplified or switched, e.g. three-terminal devices
    • H01L29/66409—Unipolar field-effect transistors
    • H01L29/66446—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET]
    • H01L29/66462—Unipolar field-effect transistors with an active layer made of a group 13/15 material, e.g. group 13/15 velocity modulation transistor [VMT], group 13/15 negative resistance FET [NERFET] with a heterojunction interface channel or gate, e.g. HFET, HIGFET, SISFET, HJFET, HEMT
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/02—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/12—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed
    • H01L29/20—Semiconductor bodies ; Multistep manufacturing processes therefor characterised by the materials of which they are formed including, apart from doping materials or other impurities, only AIIIBV compounds
    • H01L29/2003—Nitride compounds
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L29/00—Semiconductor devices specially adapted for rectifying, amplifying, oscillating or switching and having potential barriers; Capacitors or resistors having potential barriers, e.g. a PN-junction depletion layer or carrier concentration layer; Details of semiconductor bodies or of electrodes thereof ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/40—Electrodes ; Multistep manufacturing processes therefor
    • H01L29/402—Field plates

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Junction Field-Effect Transistors (AREA)

Description

本発明は、トランジスタに関し、より詳細には、全体的な動作時の電界を低減する負イオン領域を有する高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ：high electron mobility transistor）に関する。
高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）は、ガリウムヒ素（ＧａＡｓ）等の半導体材料から製造することができる、一般的なタイプの固体トランジスタである。ＧａＡｓベースのＨＥＭＴは、民生用および軍事用レーダ、ハンドセットセルラ（handset cellular）、および衛星通信における高周波信号増幅に、一般的に用いられている。ＧａＡｓは、Ｓｉと比べて、高い電子移動度（約６０００ｃｍ2／Ｖ−ｓ）と、低いソース抵抗を持つ。それ故、ＧａＡｓベースのデバイスは、より高い周波数で動作することができる。しかしながら、ＧａＡｓは、比較的小さなバンドギャップ（室温で１．４２ｅＶ）と比較的低い降伏電圧を持ち、それ故に、ＧａＡｓベースのＨＥＭＴでは、高周波においては高い電力を得ることができない。
ＡｌＧａＮ／ＧａＮ等の広いバンドギャップの半導体材料の製造における進歩は、高周波、高温、および高電力応用のためのＡｌＧａＮ／ＧａＮのＨＥＭＴの開発に対する関心を集めている。ＡｌＧａＮ／ＧａＮは、大きなバンドギャップと、高いピークおよび飽和電子速度値を有する（非特許文献１参照）。ＡｌＧａＮ／ＧａＮのＨＥＭＴはまた、シート密度１０13／ｃｍ2以上の２次元電子ガス（２ＤＥＧ）、および、比較的高い電子移動度（最大２０１９ｃｍ2／Ｖｓ）を持つことができる（非特許文献２参照）。これらの特性によって、ＡｌＧａＮ／ＧａＮのＨＥＭＴは、無線周波数、マイクロ波周波数、およびミリメートル波周波数で、非常に高い電圧および高い電力での動作が可能となる。
ＡｌＧａＮ／ＧａＮのＨＥＭＴをサファイア基板上に成長させ、電力密度４．６Ｗ／ｍｍ、および、全電力７．６Ｗを得た（非特許文献３参照）。さらに最近、ＳｉＣの上に成長させたＡｌＧａＮ／ＧａＮのＨＥＭＴは、８ＧＨｚにおいて９．８Ｗ／ｍｍの電力密度（非特許文献４参照）、また、９ＧＨｚにおいて２２．９Ｗの全出力電力を示した（非特許文献５参照）。
特許文献１は、基板とバッファの上に成長させた、ＧａＮ／ＡｌＧａＮベースのＨＥＭＴを開示している。他のＡｌＧａＮ／ＧａＮのＨＥＭＴ、および、ＦＥＴ（field effect transistor）は、非特許文献６および７によって開示されている。これらのデバイスのいくつかは、６７ギガヘルツもの高い利得帯域幅積（ｆT）（非特許文献８参照）、および、１０ＧＨｚにおいて２．８４Ｗ／ｍｍもの高い電力密度を示した（非特許文献９および１０参照）。
米国特許第５，１９２，９８７号明細書 米国特許第６，５８６，７８１号明細書 米国特許第６，８４９，８８２号明細書 米国再発行特許第３４，８６１号明細書 米国特許第４，９４６，５４７号明細書 米国特許第５，２００，０２２号明細書 米国特許第５，２９０，３９３号明細書 米国特許第５，６８６，７３８号明細書 米国特許第５，３９３，９９３号明細書 米国特許第５，５２３，５８９号明細書 米国特許第５，７３９，５５４号明細書 米国特許第６，３１６，７９３号明細書 米国特許第６，５８６，７８１号明細書 米国特許第６，５４８，３３３号明細書 米国特許第６，８４９，８８２号明細書 米国特許出願公開第２００３／００２００９２号明細書 米国特許第５，１９２，９８７号明細書 米国特許第５，２９６，３９５号明細書 B. Belmont, K. Kim and M. Shur, J.Appl.Phys. 74, 1818 (1993) R. Gaska, J. W. Yang, A. Osinsky, Q. Chen, M. A. Khan, A. O. Orlov, G. L. Snider and M.S. Shur, Appl.Phys.Lett., 72, 707 (1998) Y. F. Wu et al . , IEICE Trans.Electron., E-82-C, 1895 (1999) Y. F. Wu, A. Saxler, M. Moore, R. P. Smith, S. Sheppard, P.M. Chavarkar, T. Wisleder, U.K.Mishra, and P. Parikh, "30W/mm GaN HEMTs by Field Plate Optimization", EDL, Vol. 25, pp. 117-119, Mar. 2004 M. Micovic, A Kurdoghlian, P. Janke, P. Hashimoto, D. W. S. Wong, J. S.Moon, L. McCray and C. Nguyen, IEEE Trans.Electron.Dev., 48, 591 (2001) Gaska et al., "High-Temperature Performance of AlGaN/GaN HFET 's on SiC Substrates," IEEE Electron Device Letters, Vol. 18, No 10, October 1997, Page 492 Ping et al . , "DC and Microwave Performance of High Current AlGaN Heterostructure Field Effect Transistors Grown on P-type SiC Substrates," IEEE Electron Devices Letters, Vol. 19, No. 2, February 1998, Page 54 K. Chu et al. WOCSEMMAD, Monterey, CA (February 1998) G. Sullivan et al., "High Power 10-GHz Operation of AlGaN HFET 's in Insulating SiC," IEEE Electron Device Letters, Vol. 19, No. 6, Page 198 (June 1998) Wu et al., IEEE Electron Device Letters, Volume 19, No. 2, Page 50 (February 1998)
電子のトラップと、それに起因するＤＣ特性とＲＦ特性との不一致が、ＡｌＧａＮ／ＧａＮのＨＥＭＴ等の、ＧａＮベースのトランジスタの動作における制限要因であった。窒化ケイ素（ＳｉＮ）パッシベーション（passivation）を用いることにより、このトラップの問題を軽減することができ、その結果、１０ＧＨｚにおいて１０Ｗ／ｍｍを超える電力密度を有する高い動作のデバイスが得られた。特許文献２は、ＧａＮベースのトランジスタの中のトラップ効果を低減する方法と構造を開示している。しかしながら、これらの構造の中には高い電界が存在するので、高電流の構造に対する電荷のトラップおよび低い降伏電圧は、今なお議論の対象であり得る。
簡単にかつ一般的な用語で言えば、本発明は、デバイスの動作時電界を打ち消すための負イオン領域を有する半導体デバイスと、そのデバイスを製造する方法に関する。本発明による半導体デバイスの一実施形態は、動作時電（Ｅ）界（operating electric (E) field）がかけられる、複数の活性な半導体層を備える。動作時電（Ｅ）界を打ち消すために、負イオン領域が複数の半導体層の中に含められる。
本発明による半導体デバイスの別の実施形態は、バッファ層と、バッファ層の上のバリア層とを有する高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）を備える。２次元電子ガス（２ＤＥＧ）は、バッファ層とバリア層との界面にあり、負イオン領域は、バッファ層の中にある。
本発明によるＨＥＭＴの別の実施形態は、ＩＩＩ族窒化物ベースのバッファ層と、バッファ層上のＩＩＩ族窒化物ベースのバリア層とを備える。２次元電子ガス（２ＤＥＧ）は、バッファ層とバリア層との間のヘテロ界面にあり、ソースコンタクトとドレインコンタクトはバリア層の上にある。ゲートは、バリア層上で、ソースコンタクトとドレインコンタクトとの間にある。動作時電（Ｅ）界を打ち消す（counter）ために、フッ素負イオン領域がＨＥＭＴの中に含められる。
本発明による、半導体デバイスを製造する１つの方法は、基板を設けるステップと、基板の上にエピタキシャル層を成長させるステップとを備える。負イオンがエピタキシャル層の中に導入されて、半導体デバイスの中の動作時電（Ｅ）界を打ち消すための負イオン領域を形成する。
本発明による、高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）を製造する１つの方法は、基板を設けるステップと、基板の上にＩＩＩ族窒化物のバッファ層とバリア層とを成長させるステップとを備える。負イオン領域がバリア層の中に形成されて、ＨＥＭＴの中の動作時電（Ｅ）界を打ち消す働きをする。
以下の詳細な説明と、本発明の実施形態および特徴を示す添付の図面とから、本発明の種々の態様と利点が明らかになるであろう。
本発明は、半導体デバイスに関し、より詳細には、動作時に電（Ｅ）界（electric (E) field）がかけられるトランジスタに関する。本発明によると、トランジスタの動作時電界を打ち消して低減するために、１つまたはそれ以上の負イオン領域をデバイス中に含めることができ、それにより、動作が改善される。
トランジスタは一般的に、活性領域を含み、活性領域と電気的に接触するように形成された金属のソース電極とドレイン電極、および、活性領域の中の電界を変調（modulate）するためにソース電極とドレイン電極との間に形成されたゲートとを含む。本発明によれば、特許文献３の中で説明されるものを含み、多くの異なるＨＥＭＴ構造が可能である。なお、特許文献３は、参照により、全て記載が本明細書に組み込まれる。ＨＥＭＴは、典型的に、バッファ層と、バッファ層の上のバリア層とを含む。２次元電子ガス（２ＤＥＧ）層／チャネルが、バッファ層とバリア層とのヘテロ界面に形成される。ゲート電極は、バリア層の上で、ソース電極とドレイン電極との間に形成される。
ＨＥＭＴは、高電力デバイスとして動作しているときに、あり得る１つの原因として、バッファとバリア層との界面のところの分極電荷によって誘起される高い電荷密度により、ゲートからドレインのところの領域で高い電界がかかることがある。フィールドプレートを用いれば、高い電界領域を調整し、デバイス動作を改善することができる。しかし、フィールドプレートは、典型的には、デバイスの最上部にしか置くことができないので、この技術には限界がある。
本発明は、各所の電界を低減するために、高い電荷密度を打ち消す負イオン領域を用いる。負イオン領域は、トランジスタのエピタキシャル層の中に負イオンを注入することにより形成される。負イオン領域を形成するための負イオン源（source for negative ions）として、多くの異なる材料を用いることができるが、１つの適した材料は、フッ素である。ドーピングは、多くの異なる方法によって行うことができるが、プラズマ処理を用いる方法、および、エッチングシステムを用いて処理する方法が適当である。フッ素イオンは、ある種のエピタキシャル層、特に、ＩＩＩ族窒化物のエピタキシャル層では、内部に浸透することができる。負イオン領域は、エピタキシャル層の中で、イオン濃度が深さにより異なる領域を持つ種々のプロファイルを有する。
本発明は、電界の調整におけるより高い柔軟性を提供し、性能を向上させる。例えば、負イオン領域は、デバイス中のピーク電界を低減することができ、その結果、降伏電圧が上昇し、トラップが減少する。電界の低減は、漏れ電流の低減および信頼度の向上等の、他の利益をもたらすこともできる。
素子または層が、別の素子または層、「の上にある（on）」、「に接続されている（connected to）」、「に結合している（coupled to）」、または、「と接触している（in contact with）」と表現される場合、直接、他の素子または層の上にある、他の素子または層に接続または結合している、または、他の素子または層と接触していてもよいし、介在する素子または層があってもよいということが理解されるであろう。一方、素子が、別の素子または層、「の直接上にある（directly on）」、「に直接接続されている（directly connected to）」、「に直接結合している（directly coupled to）」、または、「と直接接触している（directly in contact with）」と表現される場合、介在する素子または層はない。同様に、第１の素子または層が、第２の素子または層に、「電気的に接触している」、または、「電気的に結合している」と表現される場合、第１の素子または層と第２の素子または層との間に、電流を流すことができる電気的経路があることを意味する。電気的経路は、キャパシタ、結合インダクタ、および／または、素子間の直接の接触がなくても電流を流すことができる他の素子を含むことができる。
図１は、本発明によるトランジスタ１０の一実施形態を示す。トランジスタ１０は、ＩＩＩ族窒化物ベースのＨＥＭＴであることが望ましい。本発明は他の半導体デバイスとともに用いることができること、および、他の材料系も用いることができることが理解されるだろう。ＩＩＩ族窒化物とは、窒素と、周期律表のＩＩＩ族の中の元素との間で形成される半導体化合物のことである。ＩＩＩ族の中の元素とは、通常、アルミニウム（Ａｌ）、ガリウム（Ｇａ）、およびインジウム（Ｉｎ）である。この用語は、また、ＡｌＧａＮおよびＡｌＩｎＧａＮ等の、３元化合物にも用いられる。好ましい一実施形態では、バリア層を形成する材料はＡｌＧａＮであり、バッファ層を形成する材料はＧａＮである。代替的実施形態では、これらの層の材料は、ＧａＮ、ＡｌＧａＮ、ＡｌＧａＡｓ、または、ＡｌＧａＩｎＰであってもよいし、他の材料であってもよい。
ＨＥＭＴ１０は、炭化ケイ素、サファイア、スピネット（spinet）、ＺｎＯ、ケイ素、窒化ガリウム、窒化アルミニウム、または、ＩＩＩ族窒化物材料の成長をサポートすることができる任意の他の材料、または、それらの材料の組み合わせから作ることができる基板１２を備える。適切な炭化ケイ素基板は、４Ｈポリタイプの炭化ケイ素であるが、３Ｃ、６Ｈ、および１５Ｒポリタイプを含む、他の炭化ケイ素ポリタイプも用いることができる。炭化ケイ素は、他の基板材料と比べて、ＩＩＩ族窒化物に整合したより近い結晶格子を持つことができ、その結果、より品質のよいＩＩＩ族窒化物フィルムを作ることができる。炭化ケイ素はまた、非常に高い熱伝導率を持ち、エミッティングデバイス（emitting device）の熱放散を高めることができる。ＳｉＣ基板は、ノースカロライナ州ダラム（Durham）在の本件特許出願人より入手可能である。また、ＳｉＣ基板を製作する方法は、科学文献や特許文献４〜６に開示されている。さらに他の実施形態では、ＨＥＭＴ１０は、基板を用いずに形成することもできるし、基板は、エミッタ層を形成した後に取り除かれてもよい。
核生成層（nucleation layer）１４は、基板１２の上に形成されて、ＨＥＭＴ１０の中の基板１２と次の層との間の格子不整合を低減することができる。核生成層１４の厚さは、約１０００オングストローム（Å）であるべきだが、他の厚さを用いることもできる。核生成層１４は、多くの異なる材料を備えることができるが、適した材料は、ＡｌzＧａ1-zＮ（０＜＝ｚ＜＝１）である。また、層１４は、基板１２の上に、有機金属化学気相成長法（ＭＯＣＶＤ）、ハイドライド気相成長法（ＨＶＰＥ）、または分子線エピタキシ法（ＭＢＥ）等の、公知の半導体成長技術を用いて形成することができる。
核生成層１４の形成は、基板１２に用いられる材料に依存する場合がある。例えば、種々の基板の上に核生成層１４を形成する方法は、特許文献７および８で教示されている。なお、いずれの文献も、参照により、全ての記載が本明細書に組み込まれる。炭化ケイ素基板の上に核生成層を形成する方法は、特許文献９〜１１で開示されている。なお、いずれの文献も、参照により、全て記載が本明細書に組み込まれる。
ＨＥＭＴ１０は、核生成層１４の上に形成された高抵抗率のバッファ層１６をさらに備える。バッファ層１６は、ＩＩＩ族窒化物材料の、ドープしたまたはドープしない層を備えることができ、ＡｌxＧａyＩｎ(1-x-y)Ｎ（０＜＝ｘ＜＝１、０＜＝ｙ＜＝１、ｘ＋ｙ＜＝１）等の、ＩＩＩ族窒化物材料によって作られることが望ましい。ＧａＮ等の、その他の材料もまた、バッファ層１６のために用いることができる。この場合、バッファ層の厚さは、約２μｍであり、バッファ層の一部にはＦｅがドープされる。
バリア層１８はバッファ層１６の上に生成され、バッファ層１６は、バリア層１８と核生成層１４との間にサンドイッチされる。バッファ層１６と同様に、バリア層１８は、ＩＩＩ族窒化物材料のドープまたはドープなしの層と、好ましくはＡｌＧａＮ／ＧａＮ材料とを備えることができる。典型的なＨＥＭＴ構造は、特許文献１２〜１６に示されている。これらの文献は、参照により、全て記載が本明細書に組み込まれる。この他の窒化物ベースのＨＥＭＴ構造は、特許文献１７および１８に示されている。これらの文献は、参照により、全て記載が本明細書に組み込まれる。バッファ層１６とバリア層１８は、核生成層１４を成長させるために用いる方法と同じ方法を用いて形成することができる。デバイス間の電気的なアイソレーションは、活性なＨＥＭＴの外側をメサエッチするかまたはイオン注入をするかによって形成することができる。
金属ソース電極２０と金属ドレイン電極２２は、バリア層１８にオーム接触を作ることにより形成される。ゲート２４は、バリア層１８の上でソース電極２０とドレイン電極２２との間に形成される。当技術分野において知られているように、２次元電子ガス（２ＤＥＧ）１７は、バッファ層１６とバリア層１８とのヘテロ界面のところに誘起され、形成される。電流は、ゲート２４が適当なレベルにバイアスされた場合に、ソース電極２０とドレイン電極２２との間を、２ＤＥＧ１７を介して流れることができる。ソース電極２０およびドレイン電極２２の形成は、上述した特許文献および刊行物の中で詳しく説明されている。
ソース電極２０とドレイン電極２２は、種々の材料で作ることができ、その材料は、チタン、アルミニウム、金、またはニッケルの合金を含むが、これらには限定されない。ゲート２４も同様に、種々の材料で作ることができ、その材料は、金、ニッケル、ニッケル−クローム、白金、チタン、クローム、チタンとタングステンの合金、または、白金シリサイドを含むが、これらには限定されない。ゲート２４は、多くの異なる長さ（Ｌg）を取ることができ、適したゲート長は、０．１ミクロンから０．２ミクロンの範囲にあるが、他のゲート長も用いることができる。本発明による一実施形態では、好ましいゲート長（Ｌg）は約０．５ミクロンである。
負イオン領域２６は、バリア層１８の中に含まれるが、他の実施形態では、バッファ層１６の中に広がることもできる。負イオン領域は、導入されたまたは埋め込まれた負イオンを中に有する、デバイスのエピタキシャル層の領域であり、周囲の材料と比較して、より多くの負イオンを有する領域を形成する。図示したように、負イオン領域２６は、主にゲート２４の下にあり、電界を調整するために、希望に応じて、外に広がっている。上述したように、領域２６の中の負イオンは、全体的な電界（Ｅ）を低減することにより、ＨＥＭＴ１０の中の電界を低減する。例えば、負イオンは、バッファ層１６とバリア層１８との間のＡｌＧａＮ／ＧａＮ界面のところの分極に由来する正の電荷に対して、反対に作用するように配置することができ、それにより、ＨＥＭＴの正味の電荷を減少させることができる。
上記でも述べたように、領域２６の中の負イオンは、ＩＩＩ族窒化物半導体材料の種々のレベルに浸透することができるフッ素イオンであることが望ましい。上記で示したように、フッ素イオンは、ＡｌＧａＮ／ＧａＮバリア層１８の中に浸透するが、他の実施形態では、フッ素イオンは、バッファ層１６または核生成層等の下の層の中にも浸透することができる。フッ素イオンは、多くの異なる方法を用いて導入し、層１６および層１８の中に浸透させることができるが、好ましい方法は、エッチングシステムにおけるフッ素プラズマ処理である。適したエッチングシステムは、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）処理または誘導結合プラズマエッチング（ＩＣＰ）処理を用いた、フッ素ベースのドライエッチを含む。その他の実施形態では、イオン注入処理を用いることができる。種々の異なる材料を、エッチング処理に用いることができる。これらは、ＣＦ4、ＳＦ6、または、ＣＨＦ3のプラズマガス化学処理を含むが、それに限定はされない。好ましい実施形態においては、エッチングの方法は、エッチングを行っている間にＡｌＧａＮ／ＧａＮ材料に損傷を与えてはならず、ＡｌＧａＮ／ＧａＮに浸透するフッ素イオンのソースを設けなければならない。
希望する深さの浸透を達成するために必要な時間は、いくつかの異なる要因に依存する。フッ素イオンがバリア層１８の中に注入されて、バリア層１８またはバッファ層１６の中に広がる速度は、一般に、エッチング処理に用いる電圧（電力）レベル、エッチング処理を行っている間のガスの流量、ガス濃度、および、表面に対してエッチを行う時間に依存する。電圧レベル、ガス濃度、およびガスの流量が高ければ、浸透が希望のレベルに達するまでの時間は短くなるであろう。フッ素イオンの浸透が希望する区画だけに起きて、希望する負イオン領域が形成されるように、マスクを含むこができる。
種々の負イオン領域の深さと幅とを有する負イオンプロファイルを得るために、エッチング処理はカスタマイズすることができる。また、領域の異なる部分は、異なるイオン濃度、または異なる深さにすることができる。限定的でない例として、公知の複数のマスキング技術を含む多くの異なる方法が、このプロファイルを形成するために用いることができる。ＡｌＧａＮ／ＧａＮと異なる材料系で作られるＨＥＭＴでは、その材料系に損傷を与えない種々のエッチング処理を、負イオンを導入するために用いることができる。
フッ素イオンは、トランジスタの電界の高い他の領域に負イオン領域を設けるために、エピタキシャル層の他の区画にさらに導入することができる。電界の高い領域の別の例は、メサアイソレーションの端の部分である。負イオン領域を設けて、ゲート金属がメサの端を横切る場所における漏れ電流と、ゲート金属パッドの下の漏れ電流とを低減するように、メサアイソレーション処理のフォロウアップ（follow-up）ステップとして、フッ素処理を用いることができる。
ＨＥＭＴ１０の動作時に、電界は、ゲートからドレインまでの領域２８と、その周囲に広がって行く。負イオン領域２６は、この電界を打ち消して低減するように配置され、その結果、降伏電圧が上昇してトラップが減少する。電界の低減は、漏れ電流の低減および信頼度の向上等の、その他の利益ももたらすことができる。
本発明は、フィールドプレート等の、電界を調整するための他の構造／特徴を有するデバイスの中で用いることができる。図２は、本発明によるＨＥＭＴ４０の別の実施形態を示す。ＨＥＭＴ４０も、基板１２、ＡｌＧａＮ／ＧａＮ核生成層１４、ＡｌＧａＮ／ＧａＮバッファ層１６、ＡｌＧａＮ／ＧａＮバリア層１８、ソース電極２０、ドレイン電極２２、および、ゲート２４を有する。第１の非導電性スペーサ層４２が、ゲート２４とソース電極２０との間およびゲート２４とドレイン電極２２との間のバリア層１８の表面を覆って形成される。第１のスペーサ層４２は、誘電体層、または、複数の誘電体層の組み合わせを備えることができる。ＳｉＮ、ＳｉＯ２、Ｓｉ、Ｇｅ、ＭｇＯｘ、ＭｇＮｘ、ＺｎＯ、ＳｉＮｘ、ＳｉＯｘ、これらの混合または順番に重ねた層等の、種々の誘電体材料が使用可能である。スペーサ層は、多くの異なる厚さであってよいが、適した厚さの範囲は、約０．０５ミクロンから２ミクロンである。
デバイスのメタライゼーション（metallization）の前にスペーサ層４２が形成される場合には、スペーサ層はまた、Ａｌ、Ｇａ、または、Ｉｎの合金等の、ＩＩＩ族元素を有するＩＩＩ族窒化物材料等の、エピタキシャル材料を備えることができるが、適したスペーサ層材料は、ＡｌxＧａ1-xＮ（０≦ｘ≦１）である。バリア層１８をエピタキシャル成長させた後に、同じエピタキシャル成長の方法を用いて、第１のスペーサ層４２を成長させることができる。適した誘電体スペーサ層はまた、バリア層のエピタキシャル成長の後に、同じエピタキシャル成長の方法を用いて成長させることができる。
次いで、第１のスペーサ層４２がエッチングされ、ゲート２４、ソース電極２０、およびドレイン電極２２は、２ＤＥＧ１７と電気的に接触するように適切に形成することができる。フッ素（負）イオンをバリア層１８の中に注入し、希望に応じて、バッファ層１６の中に広げることができるのは、このエッチング処理の間である。ゲート線は、典型的に、スペーサ層の中で確定され、ゲートのための空間は、エッチングにより空けられる。典型的には、スペーサ層４２は、フッ素ベースのＲＩＥを用いてエッチングされる。スペーサ層４２のエッチングに続いて、バリア層１８は、さらにフッ素暴露処理を行い、バリア層１８のＡｌＧａＮ／ＧａＮの中に、希望するフッ素イオンを浸透させることができる。他の実施形態では、スペーサ層４２の堆積（deposition）およびエッチングの前に、フッ素イオンをバリア層の中に注入することができる。フッ素イオンは負電荷を帯びており、ＡｌＧａＮ／ＧａＮ材料系の中の正の分極電荷を打ち消すドープ剤として働く。
第１のフィールドプレート４４は、スペーサ層４２の上に形成され、ゲート２４からドレイン電極２２の方に向かって広がる。フィールドプレートはまた、ソース電極２０の方に向かって広がる部分を有することができる。スペーサ層４２は、第１のフィールドプレート４４と下の層との間のアイソレーションを与えるように配置される。図に示すように、フィールドプレート４４は、ゲート２４に集積されているが、他の実施形態ではゲート２４から分離されていてもよく、ゲート２４またはソース電極２０と電気的に結合する。
フィールドプレート４４は、ゲート２４の端からバリア層の上に種々の距離Ｌfにわたり広がることができ、適した距離の範囲は、０．１ミクロンから１．０ミクロンであるが、異なる距離であってもよい。フィールドプレート４４は、多くの異なる導電性材料を備えてよいが、適した材料は、標準的なメタライゼーションの方法を用いた金属堆積である。このフィールドプレート配置は、デバイスの中のピーク電界を低減し、その結果、降伏電圧の上昇、漏れ電流の低減、および、信頼度の向上を得ることができる。ソースに結合したフィールドプレートのシールド効果はまた、Ｃgdを減少させることができ、それにより、入力−出力のアイソレーションを増すことができる。このフィールドプレートの配置は、上述したように、負イオン領域２６と一緒に用いることができ、デバイスの動作をさらに向上させる。
図３は、本発明によるＨＥＭＴ５０の別の実施形態を示す。ＨＥＭＴ５０も、基板１２、核生成層１４、バッファ層１６、バリア層１８、ソース電極２０、ドレイン電極２２、および、ゲート２４を有する。スペーサ層４２は、バリア層１８の上で、ゲート２４とソース電極２０との間、およびゲート２４とドレイン電極２２との間に含まれる。スペーサ層４２は、ゲート２４に対する開口を設け、負イオンを注入するために、上述したようにエッチングされる。フィールドプレート４４は、スペーサ層４２の上に形成され、ゲート２４に集積される。他の実施形態では、フィールドプレート４４は、ゲート２４から分離された形で、ゲート２４またはソース電極２０と電気的に結合されてもよい。
ＨＥＭＴ５０は、スペーサ層４２と同じ材料で作ることができる、第２の非導電性スペーサ層５２をさらに備える。第２のフィールドプレート５４は、スペーサ層４２の上にあって、第１のフィールドプレート４４およびゲート２４と重なっている。しかし、他の実施形態では、フィールドプレート４４とだけ重なっていてもよいし、またはどちらとも重なっていなくてもよい。第２のフィールドプレート５４は、典型的には、ソース電極２０と電気的に接続される。上記の実施形態は、マイクロ波周波数およびミリメートル波周波数において電力を向上させたワイドバンドギャップトランジスタを与える。複数個のフィールドプレートを有するトランジスタは、入力と出力との間の高いアイソレーションによって、高利得、高電力、およびより安定的な動作を同時に実現する。
複数のフィールドプレートの配置は、上述した方法を用いてバリア層１８の中に注入されたフッ素イオンを備えることが望ましい、負イオン領域５６と一緒に用いることもできる。図示したように、領域５６は、バッファ層１６の中に広がることができる、異なる厚さの部分を備えることができる。第１の領域５８は、主にゲート２４の下にあり、バッファ層１６の中には広がらない。部分５８は、典型的には、スペーサ層４２のエッチング時に形成される。第２の部分６０は、おもに、第１のフィールドプレート４４の下方にあり、バッファ層１６の中に広がる。第３の部分６２は、おもに、第２のフィールドプレート５４の一部の下方にあり、ドレイン２２の方に向かって広がっている。第２の部分６０と第３の部分６２は、典型的には、スペーサ層４２の堆積を行う前に形成される。この調整された負イオン領域５６は、フィールドプレート４４およびフィールドプレート５４と一緒に働き、電界を低減してデバイス動作を向上させる。
図４は、図２に示して上述したＨＥＭＴ１０と同様な、幅２４６μｍのデバイスの動作を示すグラフ７０である。デバイスは、ドレインバイアス５０Ｖ、ベース電極温度２００℃、連続出力電力８．３Ｗ／ｍｍの１００時間動作の後で、何も劣化を示さない。
図５は、２つのデバイスの動作を示すグラフ８０であり、一方は低いフッ素ドーズ量を有し、もう一方は高いドーズ量を有する。どちらのデバイスも高温高電界ストレス試験を行い、高フッ素デバイスの方が低ドーズデバイスと比較して、より低いゲート漏れ電流を示した。これらの結果は、フッ素イオンのレベルが全体的な電界を低減して、それによりデバイス動作が改善されるという事実をサポートしている。
いくつかの半導体材料では、高い温度、または高い電界のもとでは、負イオンが、半導体材料の中でマイグレーションを起こす（migrate）、または、材料から散逸（dissipate）することがある。高温下でのマイグレーション／散逸（dissipation）を減少させるため、負イオンプロファイルを有する半導体デバイスは、熱処理を行って、注入されたイオンを安定化させることができる。多くの異なる熱処理温度と熱処理時間とが可能であるが、適した熱処理温度の範囲は、２００°から１０００°である。高電界下でのマイグレーション／散逸を減少させるために、負イオンプロファイルを有する半導体デバイスには、「バーンイン（burn in）」処理として知られる、デバイスにある期間バイアスをかける処理を施すことができる。
図６は、本発明による半導体デバイスを製造するための、特に、ＩＩＩ族窒化物ＨＥＭＴを製造するための、本発明による方法９０の一実施形態である。方法９０は、一連のステップとして示されているが、本発明によれば、方法の中で、異なるステップが異なる順序で行われてもよいことが理解されるだろう。
ステップ９２において、基板が設けられる。基板は、多くの異なる材料によって作られたものでよいが、図１に示した基板１２のために列挙され、上記で詳しく説明した任意の材料が適した材料である。ステップ９４において、ＭＯＣＶＤ、ＨＶＰＥ、または、ＭＢＥ等による公知の半導体のいずれかを用いて、基板の上にエピタキシャル層を成長させる。ＨＥＭＴについては、エピタキシャル層は、少なくともバッファとバリア層とを含み、２つの層の間のヘテロ界面の中に２ＤＥＧを有する、ＩＩＩ族窒化物層であることが望ましい。
ステップ９６において、負イオンがエピタキシャル層の中に導入され、負イオンは浸透して負イオン領域を形成することができる。負イオンの導入には多くの異なる方法を用いることができるが、上述したように、好ましい方法は、リアクティブイオンエッチング（ＲＩＥ）か、誘導結合プラズマエッチング（ＩＣＰ）処理を用いた、フッ素ベースのドライエッチングである。上述したように、エッチング処理には種々の材料を用いることができ、エッチング処理により、エピタキシャル層は本質的に無損傷でなければならない。負イオン領域は、ＨＥＭＴの完成品の動作時電界を打ち消す位置に形成されるべきである。
負イオン領域が、ある特定の深さまたは濃度プロファイルを有する実施形態に対しては、さらに付加的な負イオン導入のステップを実行することができる。当技術分野において公知のステップを用いた公知のマスキング方法を用いることができる。ステップ９８において、ソース電極（コンタクト）とドレイン電極（コンタクト）は、バリア層とオーミック接触を作るように形成され、ゲート２４が、バリア層の上でソース電極とドレイン電極との間に形成される。それぞれは、上述した材料によって作ることができ、公知の処理を用いて形成される。他の実施形態においては、ソースコンタクトおよびドレインコンタクトは、そのどちらか、またはいずれも、負イオン領域の形成の前に形成することができる。ゲートは、負イオン領域を形成した後に、形成することができる。
本発明による方法は、付加的なデバイス処理のステップ１００を含むことができると理解されるだろう。たとえば、上述したように、負イオン領域を安定化させるための、熱処理またはバーンインのステップが含まれてもよい。上記で説明し、図２および図３に示されているフィールドプレートデバイスを形成するために、デバイスの上に１つまたはそれ以上のフィールドプレートを形成するための付加的なステップが、さらに実行されてもよい。
本発明が、いくつかの好ましい構成を参照して詳しく説明されたが、他の形態も可能である。負イオン領域は、本発明による多くの異なるデバイスの中で用いること、多くの異なる形状をもつこと、および、多くの異なる位置に置かれることが可能である。従って、本発明の趣旨と範囲は、上述した形態に限定されるべきではない。
本発明によるＨＥＭＴの一実施形態を示す図である。 本発明による、１つのフィールドプレートを有するＨＥＭＴの別の実施形態を示す図である。 本発明による、複数のフィールドプレートを有するＨＥＭＴの別の実施形態を示す図である。 本発明によるＨＥＭＴに対し、ベースプレート温度２００℃およびドレインバイアス５０Ｖで、１００時間の無線周波数ＨＴＯＬ寿命試験を行った結果のグラフを示す図である。 本発明によるＨＥＭＴに対し、Ｖds＝９６Ｖ、Ｖgs＝−８Ｖ、温度２００℃で、高電界高温ストレス試験を行った結果のグラフを示す図である。 負イオン領域を有する半導体デバイスを製造するための、本発明の一実施形態を示す図である。

Claims (12)

  1. バッファ層と、
    前記バッファ層の上のバリア層と、
    前記バッファ層と前記バリア層との界面における２次元電子ガス（２ＤＥＧ）と、
    ゲート、ソースコンタクトおよびドレインコンタクトと、
    前記バリア層の中の負イオン領域と
    を備え、
    前記ソースコンタクトと前記ドレインコンタクトの間に前記ゲートがあり、
    前記負イオン領域は、主として前記ゲートの下方において存在するとともに、前記ゲートの端を超えて存在するように、前記バッファ層の中に広がっていることを特徴とする高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）。
  2. 前記バッファ層および前記バリア層は、ＩＩＩ族窒化物材料により作られ、
    前記負イオン領域は、フッ素イオンを備えることを特徴とする請求項１に記載のＨＥＭＴ。
  3. 前記負イオン領域は、前記ゲートおよび前記ドレインコンタクトの間の位置に置かれることを特徴とする請求項１に記載のＨＥＭＴ。
  4. 前記負イオン領域には、負イオン濃度が異なる部分がある請求項１に記載のＨＥＭＴ。
  5. フィールドプレートをさらに備えることを特徴とする請求項１に記載のＨＥＭＴ。
  6. 半導体ベースのデバイスであって、
    動作時電（Ｅ）界がかかる複数の活性半導体層であって、バッファ層の上のバリア層を含む複数の活性半導体層と、
    少なくとも前記バリア層の中に存在する負イオン領域であって、主としてゲートの下方において存在するとともに、前記ゲートの端を超えて存在する負イオン領域と
    を備えることを特徴とする半導体デバイス。
  7. ＩＩＩ族窒化物ベースのバッファ層と、
    前記バッファ層の上の、ＩＩＩ族窒化物ベースのバリア層と、
    前記バッファ層と前記バリア層とのヘテロ界面における２次元電子ガス（２ＤＥＧ）と、
    前記バリア層の上のソースコンタクトおよびドレインコンタクトと、
    前記ソースコンタクトと前記ドレインコンタクトとの間の前記バリア層の上のゲートと、
    前記バリア層の下に配置されており、前記バリア層の中に広がっており、かつ前記ゲートの端から前記ドレインへ広がっている、ＨＥＭＴの中のフッ素負イオン領域と
    を備えることを特徴とする高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）。
  8. 半導体デバイスを製造する方法であって、
    基板を設けるステップと、
    前記基板の上に、バッファ層とバリア層とを含むエピタキシャル層を成長させるステップと、
    前記エピタキシャル層の中に負イオンを導入し、前記バッファ層及び前記バリア層の中に負イオン領域を形成するステップと、
    前記バリア層上及び前記負イオン領域の少なくとも一部分の上にゲートを形成するステップであって、前記負イオン領域が、少なくとも部分的に、前記ゲートの下方において及び前記ゲートの端を超えて存在するステップと
    を備えることを特徴とする方法。
  9. 前記エピタキシャル層の上にコンタクトを堆積させるステップをさらに備えることを特徴とする請求項８に記載の方法。
  10. 前記負イオンは、エッチングシステムにおけるプラズマ処理を用いて前記エピタキシャル層の中に導入されることを特徴とする請求項８に記載の方法。
  11. 前記エピタキシャル層は、ＩＩＩ族窒化物材料により作られ、
    前記負イオンは、フッ素イオンを備えることを特徴とする請求項８に記載の方法。
  12. 前記半導体デバイスは、高電子移動度トランジスタ（ＨＥＭＴ）を備えることを特徴とする請求項８に記載の方法。
JP2008532215A 2005-09-07 2006-07-07 高電子移動トランジスタ（ｈｅｍｔ）、半導体デバイスおよびその製造方法 Active JP5501618B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
US71505705P 2005-09-07 2005-09-07
US60/715,057 2005-09-07
PCT/US2006/026405 WO2008027027A2 (en) 2005-09-07 2006-07-07 Transistor with fluorine treatment

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2009507396A JP2009507396A (ja) 2009-02-19
JP5501618B2 true JP5501618B2 (ja) 2014-05-28

Family

ID=39136403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2008532215A Active JP5501618B2 (ja) 2005-09-07 2006-07-07 高電子移動トランジスタ（ｈｅｍｔ）、半導体デバイスおよびその製造方法

Country Status (5)

Country Link
US (3) US7638818B2 (ja)
EP (3) EP2312635B1 (ja)
JP (1) JP5501618B2 (ja)
TW (1) TW200715570A (ja)
WO (1) WO2008027027A2 (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022120072A1 (en) * 2020-12-02 2022-06-09 Analog Devices, Inc. Compound semiconductor devices with a conductive component to control electrical characteristics

Families Citing this family (169)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005527102A (ja) 2001-07-24 2005-09-08 クリー　インコーポレイテッド 高電子移動度トランジスタ及びその製造方法
US7417266B1 (en) 2004-06-10 2008-08-26 Qspeed Semiconductor Inc. MOSFET having a JFET embedded as a body diode
CN101976686A (zh) * 2005-06-10 2011-02-16 日本电气株式会社 场效应晶体管
US8183595B2 (en) * 2005-07-29 2012-05-22 International Rectifier Corporation Normally off III-nitride semiconductor device having a programmable gate
WO2008027027A2 (en) 2005-09-07 2008-03-06 Cree, Inc Transistor with fluorine treatment
WO2007059220A2 (en) * 2005-11-15 2007-05-24 The Regents Of The University Of California Methods to shape the electric field in electron devices, passivate dislocations and point defects, and enhance the luminescence efficiency of optical devices
US8044432B2 (en) * 2005-11-29 2011-10-25 The Hong Kong University Of Science And Technology Low density drain HEMTs
US7972915B2 (en) * 2005-11-29 2011-07-05 The Hong Kong University Of Science And Technology Monolithic integration of enhancement- and depletion-mode AlGaN/GaN HFETs
US7932539B2 (en) * 2005-11-29 2011-04-26 The Hong Kong University Of Science And Technology Enhancement-mode III-N devices, circuits, and methods
JP4989085B2 (ja) * 2006-02-24 2012-08-01 オンセミコンダクター・トレーディング・リミテッド 半導体装置及びその製造方法
JP5307973B2 (ja) * 2006-02-24 2013-10-02 セミコンダクター・コンポーネンツ・インダストリーズ・リミテッド・ライアビリティ・カンパニー 半導体装置
JP5065616B2 (ja) * 2006-04-21 2012-11-07 株式会社東芝 窒化物半導体素子
US7692263B2 (en) 2006-11-21 2010-04-06 Cree, Inc. High voltage GaN transistors
JP5512287B2 (ja) * 2007-02-22 2014-06-04 フォルシュングスフェアブント ベルリン エー ファウ 半導体素子およびその製造方法
US9147644B2 (en) * 2008-02-26 2015-09-29 International Rectifier Corporation Semiconductor device and passive component integration in a semiconductor package
US20080203433A1 (en) * 2007-02-27 2008-08-28 Sanken Electric Co., Ltd. High electron mobility transistor and method of forming the same
US8786072B2 (en) 2007-02-27 2014-07-22 International Rectifier Corporation Semiconductor package
US7939853B2 (en) * 2007-03-20 2011-05-10 Power Integrations, Inc. Termination and contact structures for a high voltage GaN-based heterojunction transistor
JP4691060B2 (ja) * 2007-03-23 2011-06-01 古河電気工業株式会社 ＧａＮ系半導体素子
US8212290B2 (en) 2007-03-23 2012-07-03 Cree, Inc. High temperature performance capable gallium nitride transistor
JP2008277604A (ja) * 2007-05-01 2008-11-13 Oki Electric Ind Co Ltd 電界効果トランジスタ
EP2165366B8 (en) * 2007-07-04 2018-12-26 Beijing Xiaomi Mobile Software Co., Ltd. A method for forming a patterned layer on a substrate
CN101689564B (zh) * 2007-07-09 2012-01-18 飞思卡尔半导体公司 异质结构场效应晶体管及其制造方法和集成电路
TWI460857B (zh) * 2007-08-03 2014-11-11 Univ Hong Kong Science & Techn 可靠之常關型iii族－氮化物主動裝置結構，以及相關方法與系統
US7745849B2 (en) * 2007-09-20 2010-06-29 International Rectifier Corporation Enhancement mode III-nitride semiconductor device with reduced electric field between the gate and the drain
FR2924271B1 (fr) * 2007-11-27 2010-09-03 Picogiga Internat Dispositif electronique a champ electrique controle
JP5416399B2 (ja) * 2008-02-13 2014-02-12 株式会社東芝 半導体装置
JP5671100B2 (ja) * 2008-02-13 2015-02-18 株式会社東芝 半導体装置
US8497527B2 (en) * 2008-03-12 2013-07-30 Sensor Electronic Technology, Inc. Device having active region with lower electron concentration
US8076699B2 (en) * 2008-04-02 2011-12-13 The Hong Kong Univ. Of Science And Technology Integrated HEMT and lateral field-effect rectifier combinations, methods, and systems
US8519438B2 (en) 2008-04-23 2013-08-27 Transphorm Inc. Enhancement mode III-N HEMTs
US9157167B1 (en) 2008-06-05 2015-10-13 Soraa, Inc. High pressure apparatus and method for nitride crystal growth
US20090301388A1 (en) * 2008-06-05 2009-12-10 Soraa Inc. Capsule for high pressure processing and method of use for supercritical fluids
US8097081B2 (en) 2008-06-05 2012-01-17 Soraa, Inc. High pressure apparatus and method for nitride crystal growth
US8871024B2 (en) * 2008-06-05 2014-10-28 Soraa, Inc. High pressure apparatus and method for nitride crystal growth
US7985986B2 (en) * 2008-07-31 2011-07-26 Cree, Inc. Normally-off semiconductor devices
US8430958B2 (en) * 2008-08-07 2013-04-30 Soraa, Inc. Apparatus and method for seed crystal utilization in large-scale manufacturing of gallium nitride
US8979999B2 (en) 2008-08-07 2015-03-17 Soraa, Inc. Process for large-scale ammonothermal manufacturing of gallium nitride boules
US8021481B2 (en) 2008-08-07 2011-09-20 Soraa, Inc. Process and apparatus for large-scale manufacturing of bulk monocrystalline gallium-containing nitride
US10036099B2 (en) 2008-08-07 2018-07-31 Slt Technologies, Inc. Process for large-scale ammonothermal manufacturing of gallium nitride boules
US7976630B2 (en) 2008-09-11 2011-07-12 Soraa, Inc. Large-area seed for ammonothermal growth of bulk gallium nitride and method of manufacture
US8289065B2 (en) 2008-09-23 2012-10-16 Transphorm Inc. Inductive load power switching circuits
US20100295088A1 (en) * 2008-10-02 2010-11-25 Soraa, Inc. Textured-surface light emitting diode and method of manufacture
US8354679B1 (en) 2008-10-02 2013-01-15 Soraa, Inc. Microcavity light emitting diode method of manufacture
US20100084687A1 (en) * 2008-10-03 2010-04-08 The Hong Kong University Of Science And Technology Aluminum gallium nitride/gallium nitride high electron mobility transistors
US8455894B1 (en) 2008-10-17 2013-06-04 Soraa, Inc. Photonic-crystal light emitting diode and method of manufacture
US7898004B2 (en) 2008-12-10 2011-03-01 Transphorm Inc. Semiconductor heterostructure diodes
US8987156B2 (en) 2008-12-12 2015-03-24 Soraa, Inc. Polycrystalline group III metal nitride with getter and method of making
US9543392B1 (en) 2008-12-12 2017-01-10 Soraa, Inc. Transparent group III metal nitride and method of manufacture
USRE47114E1 (en) 2008-12-12 2018-11-06 Slt Technologies, Inc. Polycrystalline group III metal nitride with getter and method of making
US8878230B2 (en) * 2010-03-11 2014-11-04 Soraa, Inc. Semi-insulating group III metal nitride and method of manufacture
US8461071B2 (en) * 2008-12-12 2013-06-11 Soraa, Inc. Polycrystalline group III metal nitride with getter and method of making
US20110100291A1 (en) * 2009-01-29 2011-05-05 Soraa, Inc. Plant and method for large-scale ammonothermal manufacturing of gallium nitride boules
JP2010186943A (ja) * 2009-02-13 2010-08-26 Sharp Corp 窒化物半導体装置
US8247886B1 (en) 2009-03-09 2012-08-21 Soraa, Inc. Polarization direction of optical devices using selected spatial configurations
US8299473B1 (en) 2009-04-07 2012-10-30 Soraa, Inc. Polarized white light devices using non-polar or semipolar gallium containing materials and transparent phosphors
US8008977B2 (en) * 2009-04-14 2011-08-30 Triquint Semiconductor, Inc. Field-plated transistor including feedback resistor
US8754496B2 (en) * 2009-04-14 2014-06-17 Triquint Semiconductor, Inc. Field effect transistor having a plurality of field plates
JP5472293B2 (ja) 2009-04-20 2014-04-16 富士通株式会社 化合物半導体装置及びその製造方法
US8742459B2 (en) 2009-05-14 2014-06-03 Transphorm Inc. High voltage III-nitride semiconductor devices
US8791499B1 (en) 2009-05-27 2014-07-29 Soraa, Inc. GaN containing optical devices and method with ESD stability
US8728884B1 (en) 2009-07-28 2014-05-20 Hrl Laboratories, Llc Enhancement mode normally-off gallium nitride heterostructure field effect transistor
US9000466B1 (en) 2010-08-23 2015-04-07 Soraa, Inc. Methods and devices for light extraction from a group III-nitride volumetric LED using surface and sidewall roughening
US8390000B2 (en) 2009-08-28 2013-03-05 Transphorm Inc. Semiconductor devices with field plates
US9583678B2 (en) 2009-09-18 2017-02-28 Soraa, Inc. High-performance LED fabrication
US9293644B2 (en) 2009-09-18 2016-03-22 Soraa, Inc. Power light emitting diode and method with uniform current density operation
US8933644B2 (en) 2009-09-18 2015-01-13 Soraa, Inc. LED lamps with improved quality of light
WO2011035265A1 (en) 2009-09-18 2011-03-24 Soraa, Inc. Power light emitting diode and method with current density operation
KR20110032845A (ko) * 2009-09-24 2011-03-30 삼성전자주식회사 전력 전자소자 및 그 제조방법
US8435347B2 (en) 2009-09-29 2013-05-07 Soraa, Inc. High pressure apparatus with stackable rings
US9175418B2 (en) 2009-10-09 2015-11-03 Soraa, Inc. Method for synthesis of high quality large area bulk gallium based crystals
JP5037594B2 (ja) * 2009-12-08 2012-09-26 シャープ株式会社 電界効果トランジスタ
US8389977B2 (en) 2009-12-10 2013-03-05 Transphorm Inc. Reverse side engineered III-nitride devices
US20110186874A1 (en) * 2010-02-03 2011-08-04 Soraa, Inc. White Light Apparatus and Method
US8905588B2 (en) 2010-02-03 2014-12-09 Sorra, Inc. System and method for providing color light sources in proximity to predetermined wavelength conversion structures
US8740413B1 (en) 2010-02-03 2014-06-03 Soraa, Inc. System and method for providing color light sources in proximity to predetermined wavelength conversion structures
US10147850B1 (en) 2010-02-03 2018-12-04 Soraa, Inc. System and method for providing color light sources in proximity to predetermined wavelength conversion structures
US9450143B2 (en) 2010-06-18 2016-09-20 Soraa, Inc. Gallium and nitrogen containing triangular or diamond-shaped configuration for optical devices
US9564320B2 (en) 2010-06-18 2017-02-07 Soraa, Inc. Large area nitride crystal and method for making it
US20120007102A1 (en) * 2010-07-08 2012-01-12 Soraa, Inc. High Voltage Device and Method for Optical Devices
JP5655424B2 (ja) * 2010-08-09 2015-01-21 サンケン電気株式会社 化合物半導体装置
US8729559B2 (en) 2010-10-13 2014-05-20 Soraa, Inc. Method of making bulk InGaN substrates and devices thereon
TWI421947B (zh) * 2010-11-12 2014-01-01 Univ Nat Chiao Tung 氮化鎵電晶體的製作方法
JP5707903B2 (ja) * 2010-12-02 2015-04-30 富士通株式会社 化合物半導体装置及びその製造方法
JP5786323B2 (ja) * 2010-12-03 2015-09-30 富士通株式会社 化合物半導体装置の製造方法
US8742460B2 (en) 2010-12-15 2014-06-03 Transphorm Inc. Transistors with isolation regions
US8786053B2 (en) 2011-01-24 2014-07-22 Soraa, Inc. Gallium-nitride-on-handle substrate materials and devices and method of manufacture
US8643062B2 (en) 2011-02-02 2014-02-04 Transphorm Inc. III-N device structures and methods
JP5857415B2 (ja) * 2011-02-24 2016-02-10 富士通株式会社 半導体装置の製造方法
US8772842B2 (en) 2011-03-04 2014-07-08 Transphorm, Inc. Semiconductor diodes with low reverse bias currents
US8716141B2 (en) 2011-03-04 2014-05-06 Transphorm Inc. Electrode configurations for semiconductor devices
US9631620B2 (en) * 2011-03-11 2017-04-25 Johnson Controls Technology Company Stationary volume ratio adjustment mechanism
CN102184943A (zh) * 2011-04-18 2011-09-14 电子科技大学 一种增强型AlGaN/GaN HEMT器件及其制备方法
US8492185B1 (en) 2011-07-14 2013-07-23 Soraa, Inc. Large area nonpolar or semipolar gallium and nitrogen containing substrate and resulting devices
US8686431B2 (en) 2011-08-22 2014-04-01 Soraa, Inc. Gallium and nitrogen containing trilateral configuration for optical devices
US8901604B2 (en) 2011-09-06 2014-12-02 Transphorm Inc. Semiconductor devices with guard rings
US9257547B2 (en) 2011-09-13 2016-02-09 Transphorm Inc. III-N device structures having a non-insulating substrate
JP5782947B2 (ja) * 2011-09-15 2015-09-24 富士通株式会社 半導体装置及びその製造方法、電源装置、高周波増幅器
JP5765171B2 (ja) * 2011-09-29 2015-08-19 富士通株式会社 化合物半導体装置の製造方法
US8598937B2 (en) 2011-10-07 2013-12-03 Transphorm Inc. High power semiconductor electronic components with increased reliability
US9694158B2 (en) 2011-10-21 2017-07-04 Ahmad Mohamad Slim Torque for incrementally advancing a catheter during right heart catheterization
US10029955B1 (en) 2011-10-24 2018-07-24 Slt Technologies, Inc. Capsule for high pressure, high temperature processing of materials and methods of use
US20130105817A1 (en) 2011-10-26 2013-05-02 Triquint Semiconductor, Inc. High electron mobility transistor structure and method
US8912025B2 (en) 2011-11-23 2014-12-16 Soraa, Inc. Method for manufacture of bright GaN LEDs using a selective removal process
US8633094B2 (en) 2011-12-01 2014-01-21 Power Integrations, Inc. GaN high voltage HFET with passivation plus gate dielectric multilayer structure
US8940620B2 (en) 2011-12-15 2015-01-27 Power Integrations, Inc. Composite wafer for fabrication of semiconductor devices
US8482104B2 (en) 2012-01-09 2013-07-09 Soraa, Inc. Method for growth of indium-containing nitride films
KR101869045B1 (ko) * 2012-01-11 2018-06-19 삼성전자 주식회사 고전자이동도 트랜지스터 및 그 제조방법
US9165766B2 (en) 2012-02-03 2015-10-20 Transphorm Inc. Buffer layer structures suited for III-nitride devices with foreign substrates
EP2823515A4 (en) 2012-03-06 2015-08-19 Soraa Inc LIGHT-EMITTING DIODES WITH MATERIAL LAYERS WITH LOW BREAKING INDEX TO REDUCE LIGHT PIPE EFFECTS
JP5701805B2 (ja) * 2012-03-28 2015-04-15 株式会社東芝 窒化物半導体ショットキダイオードの製造方法
JP5715588B2 (ja) 2012-03-28 2015-05-07 株式会社東芝 半導体装置およびその製造方法
JP5995309B2 (ja) * 2012-03-28 2016-09-21 住友電工デバイス・イノベーション株式会社 半導体装置及びその製造方法
WO2013155108A1 (en) 2012-04-09 2013-10-17 Transphorm Inc. N-polar iii-nitride transistors
US20130328061A1 (en) * 2012-06-07 2013-12-12 Hrl Laboratories, Llc. Normally-off gallium nitride transistor with insulating gate and method of making the same
US8975664B2 (en) * 2012-06-27 2015-03-10 Triquint Semiconductor, Inc. Group III-nitride transistor using a regrown structure
US9184275B2 (en) 2012-06-27 2015-11-10 Transphorm Inc. Semiconductor devices with integrated hole collectors
US8971368B1 (en) 2012-08-16 2015-03-03 Soraa Laser Diode, Inc. Laser devices having a gallium and nitrogen containing semipolar surface orientation
WO2014043187A1 (en) * 2012-09-11 2014-03-20 University Of Florida Research Foundation, Incorporated High electron mobility transistors having improved reliability
US20140077266A1 (en) * 2012-09-14 2014-03-20 Power Integrations, Inc. Heterostructure Transistor with Multiple Gate Dielectric Layers
JP5899093B2 (ja) * 2012-09-18 2016-04-06 三菱電機株式会社 半導体装置の製造方法
US9099490B2 (en) * 2012-09-28 2015-08-04 Intel Corporation Self-aligned structures and methods for asymmetric GaN transistors and enhancement mode operation
US9978904B2 (en) 2012-10-16 2018-05-22 Soraa, Inc. Indium gallium nitride light emitting devices
US8802471B1 (en) 2012-12-21 2014-08-12 Soraa, Inc. Contacts for an n-type gallium and nitrogen substrate for optical devices
US9171730B2 (en) 2013-02-15 2015-10-27 Transphorm Inc. Electrodes for semiconductor devices and methods of forming the same
US8928037B2 (en) 2013-02-28 2015-01-06 Power Integrations, Inc. Heterostructure power transistor with AlSiN passivation layer
US9087718B2 (en) 2013-03-13 2015-07-21 Transphorm Inc. Enhancement-mode III-nitride devices
US9245993B2 (en) 2013-03-15 2016-01-26 Transphorm Inc. Carbon doping semiconductor devices
JP6179158B2 (ja) 2013-03-27 2017-08-16 三菱電機株式会社 トランジスタの製造方法、増幅器の製造方法
US9443737B2 (en) * 2013-04-03 2016-09-13 Texas Instruments Incorporated Method of forming metal contacts in the barrier layer of a group III-N HEMT
JP6111821B2 (ja) * 2013-04-25 2017-04-12 三菱電機株式会社 電界効果トランジスタ
US9704959B2 (en) 2013-05-21 2017-07-11 Massachusetts Institute Of Technology Enhancement-mode transistors with increased threshold voltage
US9231094B2 (en) 2013-05-21 2016-01-05 Globalfoundries Inc. Elemental semiconductor material contact for high electron mobility transistor
US9276077B2 (en) 2013-05-21 2016-03-01 Globalfoundries Inc. Contact metallurgy for self-aligned high electron mobility transistor
US8994033B2 (en) 2013-07-09 2015-03-31 Soraa, Inc. Contacts for an n-type gallium and nitrogen substrate for optical devices
WO2015009514A1 (en) 2013-07-19 2015-01-22 Transphorm Inc. Iii-nitride transistor including a p-type depleting layer
JP6299117B2 (ja) 2013-08-30 2018-03-28 三菱電機株式会社 窒化物半導体デバイスの製造方法、バーンイン装置
KR102100928B1 (ko) * 2013-10-17 2020-05-15 삼성전자주식회사 고전자 이동도 트랜지스터
US9419189B1 (en) 2013-11-04 2016-08-16 Soraa, Inc. Small LED source with high brightness and high efficiency
KR102163725B1 (ko) * 2013-12-03 2020-10-08 삼성전자주식회사 반도체 소자 및 그 제조방법
US9437724B2 (en) * 2014-04-21 2016-09-06 Panasonic Intellectual Property Management Co., Ltd. Semiconductor device and method of manufacturing the semiconductor device
US20150372096A1 (en) * 2014-06-20 2015-12-24 Ishiang Shih High Electron Mobility Transistors and Integrated Circuits with Improved Feature Uniformity and Reduced defects for Microwave and Millimetre Wave Applications
US9318593B2 (en) 2014-07-21 2016-04-19 Transphorm Inc. Forming enhancement mode III-nitride devices
CN104201202B (zh) * 2014-09-17 2017-01-25 电子科技大学 一种具有复合势垒层的氮化镓基异质结场效应管
CN104282735A (zh) * 2014-09-17 2015-01-14 电子科技大学 一种具有负离子注入钝化层的场效应晶体管
JP6292104B2 (ja) * 2014-11-17 2018-03-14 三菱電機株式会社 窒化物半導体装置の製造方法
US9536967B2 (en) 2014-12-16 2017-01-03 Transphorm Inc. Recessed ohmic contacts in a III-N device
US9536966B2 (en) 2014-12-16 2017-01-03 Transphorm Inc. Gate structures for III-N devices
US9553155B2 (en) * 2015-02-04 2017-01-24 Infineon Technologies Austria Ag Semiconductor device and method
TWI626742B (zh) 2015-06-18 2018-06-11 台達電子工業股份有限公司 半導體裝置
JP2017092083A (ja) 2015-11-02 2017-05-25 富士通株式会社 化合物半導体装置及びその製造方法
ITUB20155862A1 (it) * 2015-11-24 2017-05-24 St Microelectronics Srl Transistore di tipo normalmente spento con ridotta resistenza in stato acceso e relativo metodo di fabbricazione
WO2017123999A1 (en) 2016-01-15 2017-07-20 Transphorm Inc. Enhancement mode iii-nitride devices having an al(1-x)sixo gate insulator
TWI762486B (zh) 2016-05-31 2022-05-01 美商創世舫科技有限公司 包含漸變空乏層的三族氮化物裝置
JP2018026431A (ja) 2016-08-09 2018-02-15 株式会社東芝 窒化物半導体装置
JP6885710B2 (ja) 2016-11-16 2021-06-16 株式会社アドバンテスト 化合物半導体装置およびその製造方法
US10174438B2 (en) 2017-03-30 2019-01-08 Slt Technologies, Inc. Apparatus for high pressure reaction
TWI736600B (zh) 2017-03-31 2021-08-21 聯穎光電股份有限公司 高電子遷移率電晶體
TWI722166B (zh) * 2017-04-10 2021-03-21 聯穎光電股份有限公司 高電子遷移率電晶體
TWI618244B (zh) * 2017-06-06 2018-03-11 Huang Zhi Shu N-face III族/氮化物磊晶結構及其主動元件與其積體化之極性反轉製作方法
TWI649873B (zh) 2017-07-26 2019-02-01 財團法人工業技術研究院 三族氮化物半導體結構
CN109659361B (zh) 2017-10-12 2022-03-04 电力集成公司 用于异质结器件的栅极堆叠体
TWI661555B (zh) * 2017-12-28 2019-06-01 新唐科技股份有限公司 增強型高電子遷移率電晶體元件
CN111092118B (zh) * 2018-10-23 2023-03-24 世界先进积体电路股份有限公司 半导体装置及其制造方法
CN112599586B (zh) * 2020-11-24 2022-11-29 上海工程技术大学 一种高可靠性氮化镓基功率器件及制备方法
WO2022126353A1 (zh) * 2020-12-15 2022-06-23 华为技术有限公司 高电子迁移率晶体管及其制作方法、芯片和电子设备
KR20230000718A (ko) * 2021-06-25 2023-01-03 삼성전자주식회사 고전자이동도 트랜지스터 및 그 제조 방법
EP4213215A1 (en) * 2022-01-12 2023-07-19 Nexperia B.V. Multi-finger high-electron mobility transistor
CN115588616B (zh) * 2022-12-12 2023-03-28 江苏长晶科技股份有限公司 一种增强型氮化镓高电子迁移率晶体管制造方法及器件

Family Cites Families (91)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS51129173A (en) 1974-02-01 1976-11-10 Chisso Corp Semi conductor with high voltage proof schottky electrode and it's man uacturing method.
JPS5539636A (en) 1978-09-13 1980-03-19 Nec Corp Composite semiconductor
JPS62136881A (ja) 1985-12-11 1987-06-19 Fujitsu Ltd 半導体装置
US4866005A (en) 1987-10-26 1989-09-12 North Carolina State University Sublimation of silicon carbide to produce large, device quality single crystals of silicon carbide
DE3823347A1 (de) 1988-07-09 1990-01-11 Semikron Elektronik Gmbh Leistungs-halbleiterelement
JP2697111B2 (ja) 1989-04-06 1998-01-14 三菱化学株式会社 ４―アルコキシピラゾール類およびこれを有効成分とする殺虫、殺ダニ剤
US4946547A (en) 1989-10-13 1990-08-07 Cree Research, Inc. Method of preparing silicon carbide surfaces for crystal growth
US5200022A (en) 1990-10-03 1993-04-06 Cree Research, Inc. Method of improving mechanically prepared substrate surfaces of alpha silicon carbide for deposition of beta silicon carbide thereon and resulting product
US5128729A (en) * 1990-11-13 1992-07-07 Motorola, Inc. Complex opto-isolator with improved stand-off voltage stability
US5290393A (en) 1991-01-31 1994-03-01 Nichia Kagaku Kogyo K.K. Crystal growth method for gallium nitride-based compound semiconductor
DE69229265T2 (de) 1991-03-18 1999-09-23 Trustees Of Boston University, Boston Verfahren zur herstellung und dotierung hochisolierender dünner schichten aus monokristallinem galliumnitrid
US5192987A (en) 1991-05-17 1993-03-09 Apa Optics, Inc. High electron mobility transistor with GaN/Alx Ga1-x N heterojunctions
US5488237A (en) * 1992-02-14 1996-01-30 Sumitomo Electric Industries, Ltd. Semiconductor device with delta-doped layer in channel region
JPH05326890A (ja) * 1992-05-07 1993-12-10 Nec Corp 出力バッファ回路
US5393993A (en) 1993-12-13 1995-02-28 Cree Research, Inc. Buffer structure between silicon carbide and gallium nitride and resulting semiconductor devices
JPH07283140A (ja) 1994-04-05 1995-10-27 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 活性原子の供給制御方法
JPH07326737A (ja) * 1994-05-31 1995-12-12 Nippon Steel Corp インピーダンス線路、フィルタ素子、遅延素子および半導体装置
US5523589A (en) 1994-09-20 1996-06-04 Cree Research, Inc. Vertical geometry light emitting diode with group III nitride active layer and extended lifetime
GB2296373B (en) 1994-12-14 1997-09-10 Toshiba Cambridge Res Center Semiconductor device
JPH08264760A (ja) * 1995-03-23 1996-10-11 Mitsubishi Electric Corp ヘテロ接合電界効果型トランジスタとその製造方法
US5670798A (en) 1995-03-29 1997-09-23 North Carolina State University Integrated heterostructures of Group III-V nitride semiconductor materials including epitaxial ohmic contact non-nitride buffer layer and methods of fabricating same
US5739554A (en) 1995-05-08 1998-04-14 Cree Research, Inc. Double heterojunction light emitting diode with gallium nitride active layer
JPH09246527A (ja) * 1996-03-08 1997-09-19 Toshiba Corp 半導体装置
JP3449116B2 (ja) 1996-05-16 2003-09-22 ソニー株式会社 半導体装置
JP3376211B2 (ja) 1996-05-29 2003-02-10 株式会社東芝 半導体装置、半導体基板の製造方法及び半導体装置の製造方法
US5920105A (en) 1996-09-19 1999-07-06 Fujitsu Limited Compound semiconductor field effect transistor having an amorphous gas gate insulation layer
US5930656A (en) * 1996-10-21 1999-07-27 Kabushiki Kaisha Toshiba Method of fabricating a compound semiconductor device
JPH10173036A (ja) * 1996-12-11 1998-06-26 Nec Corp 半導体装置および半導体の高抵抗化方法
JPH10189565A (ja) 1996-12-26 1998-07-21 Tokyo Electron Ltd ウエハボート
JPH10326890A (ja) * 1997-03-21 1998-12-08 Matsushita Electric Ind Co Ltd 半導体装置及びその製造方法
JPH10335637A (ja) 1997-05-30 1998-12-18 Sony Corp ヘテロ接合電界効果トランジスタ
US6316820B1 (en) 1997-07-25 2001-11-13 Hughes Electronics Corporation Passivation layer and process for semiconductor devices
JP3161516B2 (ja) * 1997-10-03 2001-04-25 日本電気株式会社 半導体装置の製造方法
JP3439111B2 (ja) 1998-03-09 2003-08-25 古河電気工業株式会社 高移動度トランジスタ
JPH11261051A (ja) 1998-03-09 1999-09-24 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 半導体装置
US6316793B1 (en) 1998-06-12 2001-11-13 Cree, Inc. Nitride based transistors on semi-insulating silicon carbide substrates
JP2000068498A (ja) 1998-08-21 2000-03-03 Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> 絶縁性窒化物膜およびそれを用いた半導体装置
JP3209270B2 (ja) 1999-01-29 2001-09-17 日本電気株式会社 ヘテロ接合電界効果トランジスタ
JP3159198B2 (ja) * 1999-02-19 2001-04-23 住友電気工業株式会社 電界効果トランジスタ
JP4224737B2 (ja) 1999-03-04 2009-02-18 ソニー株式会社 半導体素子
JP2000266117A (ja) 1999-03-15 2000-09-26 Kosuke Nagaya 回転磁気ダンパ
JP3710339B2 (ja) 1999-08-31 2005-10-26 シャープ株式会社 ＧａＮ系化合物半導体発光素子の製造方法
JP2001085670A (ja) 1999-09-14 2001-03-30 Nec Corp 電界効果型トランジスタ及びその製造方法
JP3414678B2 (ja) 1999-09-29 2003-06-09 三容真空工業株式会社 スパッタによる成膜方法とその装置
US6414340B1 (en) * 1999-11-04 2002-07-02 Raytheon Company Field effect transistor and method for making the same
US6586781B2 (en) 2000-02-04 2003-07-01 Cree Lighting Company Group III nitride based FETs and HEMTs with reduced trapping and method for producing the same
JP3944341B2 (ja) * 2000-03-28 2007-07-11 株式会社東芝 酸化物エピタキシャル歪格子膜の製造法
JP3708810B2 (ja) 2000-09-01 2005-10-19 シャープ株式会社 窒化物系ｉｉｉ−ｖ族化合物半導体装置
US6452221B1 (en) * 2000-09-21 2002-09-17 Trw Inc. Enhancement mode device
US6690042B2 (en) * 2000-09-27 2004-02-10 Sensor Electronic Technology, Inc. Metal oxide semiconductor heterostructure field effect transistor
US6548333B2 (en) 2000-12-01 2003-04-15 Cree, Inc. Aluminum gallium nitride/gallium nitride high electron mobility transistors having a gate contact on a gallium nitride based cap segment
US6849882B2 (en) * 2001-05-11 2005-02-01 Cree Inc. Group-III nitride based high electron mobility transistor (HEMT) with barrier/spacer layer
US20020173062A1 (en) * 2001-05-17 2002-11-21 Lung-Chien Chen Method for manufacturing GaN-based LED
US6794719B2 (en) * 2001-06-28 2004-09-21 Koninklijke Philips Electronics N.V. HV-SOI LDMOS device with integrated diode to improve reliability and avalanche ruggedness
JP2005527102A (ja) * 2001-07-24 2005-09-08 クリー　インコーポレイテッド 高電子移動度トランジスタ及びその製造方法
CA2456662A1 (en) * 2001-08-07 2003-02-20 Jan Kuzmik High electron mobility devices
US6833564B2 (en) 2001-11-02 2004-12-21 Lumileds Lighting U.S., Llc Indium gallium nitride separate confinement heterostructure light emitting devices
JP2003209124A (ja) 2001-11-06 2003-07-25 Sony Corp 電界効果半導体素子の製造方法及び電界効果半導体素子
US7030428B2 (en) * 2001-12-03 2006-04-18 Cree, Inc. Strain balanced nitride heterojunction transistors
JP3705431B2 (ja) * 2002-03-28 2005-10-12 ユーディナデバイス株式会社 半導体装置及びその製造方法
JP2004055788A (ja) * 2002-07-19 2004-02-19 Sony Corp 半導体装置
US20040021152A1 (en) * 2002-08-05 2004-02-05 Chanh Nguyen Ga/A1GaN Heterostructure Field Effect Transistor with dielectric recessed gate
US8089097B2 (en) * 2002-12-27 2012-01-03 Momentive Performance Materials Inc. Homoepitaxial gallium-nitride-based electronic devices and method for producing same
US6933544B2 (en) * 2003-01-29 2005-08-23 Kabushiki Kaisha Toshiba Power semiconductor device
WO2004068590A1 (en) * 2003-01-29 2004-08-12 Kabushiki Kaisha Toshiba Power semiconductor device
US7078743B2 (en) * 2003-05-15 2006-07-18 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. Field effect transistor semiconductor device
US7501669B2 (en) 2003-09-09 2009-03-10 Cree, Inc. Wide bandgap transistor devices with field plates
JP2005086171A (ja) 2003-09-11 2005-03-31 Fujitsu Ltd 半導体装置及びその製造方法
JP4417677B2 (ja) * 2003-09-19 2010-02-17 株式会社東芝 電力用半導体装置
US7052942B1 (en) * 2003-09-19 2006-05-30 Rf Micro Devices, Inc. Surface passivation of GaN devices in epitaxial growth chamber
US7071498B2 (en) * 2003-12-17 2006-07-04 Nitronex Corporation Gallium nitride material devices including an electrode-defining layer and methods of forming the same
US20050133816A1 (en) * 2003-12-19 2005-06-23 Zhaoyang Fan III-nitride quantum-well field effect transistors
US7045404B2 (en) * 2004-01-16 2006-05-16 Cree, Inc. Nitride-based transistors with a protective layer and a low-damage recess and methods of fabrication thereof
US7170111B2 (en) * 2004-02-05 2007-01-30 Cree, Inc. Nitride heterojunction transistors having charge-transfer induced energy barriers and methods of fabricating the same
GB2412009B (en) 2004-03-11 2006-01-25 Toshiba Research Europ Limited A semiconductor device and method of its manufacture
US7354532B2 (en) * 2004-04-13 2008-04-08 E.I. Du Pont De Nemours And Company Compositions of electrically conductive polymers and non-polymeric fluorinated organic acids
US7550783B2 (en) * 2004-05-11 2009-06-23 Cree, Inc. Wide bandgap HEMTs with source connected field plates
US7573078B2 (en) 2004-05-11 2009-08-11 Cree, Inc. Wide bandgap transistors with multiple field plates
JP2005340417A (ja) * 2004-05-26 2005-12-08 Mitsubishi Electric Corp ヘテロ接合電界効果型半導体装置
JP4682541B2 (ja) 2004-06-15 2011-05-11 豊田合成株式会社 半導体の結晶成長方法
WO2006083383A2 (en) * 2004-12-01 2006-08-10 Bae Systems Information And Electronic Systems Integration, Inc. Low temperature grown insulated gate phemt device
US7161194B2 (en) * 2004-12-06 2007-01-09 Cree, Inc. High power density and/or linearity transistors
US11791385B2 (en) * 2005-03-11 2023-10-17 Wolfspeed, Inc. Wide bandgap transistors with gate-source field plates
US7253455B2 (en) * 2005-04-05 2007-08-07 Freescale Semiconductor, Inc. pHEMT with barrier optimized for low temperature operation
US20060226442A1 (en) * 2005-04-07 2006-10-12 An-Ping Zhang GaN-based high electron mobility transistor and method for making the same
US7800131B2 (en) 2005-06-10 2010-09-21 Nec Corporation Field effect transistor
CN101976686A (zh) 2005-06-10 2011-02-16 日本电气株式会社 场效应晶体管
US20070018198A1 (en) * 2005-07-20 2007-01-25 Brandes George R High electron mobility electronic device structures comprising native substrates and methods for making the same
WO2008027027A2 (en) 2005-09-07 2008-03-06 Cree, Inc Transistor with fluorine treatment
US7585329B2 (en) * 2006-11-28 2009-09-08 Depuy Products, Inc. Modular proximal body trial
US8176696B2 (en) * 2007-10-24 2012-05-15 Leblang Dennis William Building construction for forming columns and beams within a wall mold

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
WO2022120072A1 (en) * 2020-12-02 2022-06-09 Analog Devices, Inc. Compound semiconductor devices with a conductive component to control electrical characteristics

Also Published As

Publication number Publication date
US20100041188A1 (en) 2010-02-18
EP2312634B1 (en) 2019-12-25
WO2008027027A3 (en) 2008-05-15
TW200715570A (en) 2007-04-16
US20070114569A1 (en) 2007-05-24
EP2312635A3 (en) 2011-05-25
EP1938385A2 (en) 2008-07-02
US7638818B2 (en) 2009-12-29
EP2312635B1 (en) 2020-04-01
US7955918B2 (en) 2011-06-07
EP2312635A2 (en) 2011-04-20
EP1938385B1 (en) 2014-12-03
US20110220966A1 (en) 2011-09-15
WO2008027027A2 (en) 2008-03-06
US8669589B2 (en) 2014-03-11
EP2312634A3 (en) 2011-05-25
EP2312634A2 (en) 2011-04-20
JP2009507396A (ja) 2009-02-19

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5501618B2 (ja) 高電子移動トランジスタ（ｈｅｍｔ）、半導体デバイスおよびその製造方法
US7501669B2 (en) Wide bandgap transistor devices with field plates
US9240473B2 (en) High temperature performance capable gallium nitride transistor
US7592211B2 (en) Methods of fabricating transistors including supported gate electrodes
KR101124937B1 (ko) 질화물계 트랜지스터를 위한 캡층 및/또는 패시베이션층,트랜지스터 구조 및 그 제조방법
JP2009283915A (ja) 浅いイオン注入された領域を含む半導体デバイスとその形成方法
JP2007535138A (ja) 電荷移動誘起エネルギー障壁を有する窒化物へテロ接合トランジスタおよびその製造方法
US20100038680A1 (en) Iii-nitride semiconductor field effect transistor
JP2007537580A (ja) 絶縁体構造を強化した電界効果トランジスタ
Chini et al. Power and linearity characteristics of GaN MISFETs on sapphire substrate
JP5509544B2 (ja) 半導体装置及びその製造方法
CN112201689B (zh) 基于ⅲ族氮化物异质结的场效应晶体管及其制备方法

Legal Events

Date Code Title Description
RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20100928

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20101012

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20120224

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20120228

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120528

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120604

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120628

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120705

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20120727

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20120803

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20120828

RD02 Notification of acceptance of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7422

Effective date: 20121001

RD04 Notification of resignation of power of attorney

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424

Effective date: 20121022

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20130422

A02 Decision of refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02

Effective date: 20130723

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131125

A911 Transfer to examiner for re-examination before appeal (zenchi)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911

Effective date: 20140110

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140212

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140312

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5501618

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250