JP5899093B2 - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 19
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 50
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 claims description 39
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 claims description 39
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 38
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 14
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 9
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 8
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 238000000137 annealing Methods 0.000 claims 1
- 230000005669 field effect Effects 0.000 description 26
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 15
- 230000005533 two-dimensional electron gas Effects 0.000 description 11
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 9
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 9
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 7
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 3
- 238000001039 wet etching Methods 0.000 description 3
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005468 ion implantation Methods 0.000 description 2
- 229910052759 nickel Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 2
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 2
- VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 4-methyl-n-(oxomethylidene)benzenesulfonamide Chemical compound CC1=CC=C(S(=O)(=O)N=C=O)C=C1 VLJQDHDVZJXNQL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- -1 IrSi Chemical compound 0.000 description 1
- 229910005881 NiSi 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 1
- 150000002221 fluorine Chemical class 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052735 hafnium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004050 hot filament vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 description 1
- 238000002488 metal-organic chemical vapour deposition Methods 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 229910052758 niobium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052763 palladium Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 229910052697 platinum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910021340 platinum monosilicide Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 description 1
- 238000001004 secondary ion mass spectrometry Methods 0.000 description 1
- 229910021332 silicide Inorganic materials 0.000 description 1
- FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N silicide(4-) Chemical compound [Si-4] FVBUAEGBCNSCDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052712 strontium Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052715 tantalum Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052721 tungsten Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
- 229910052726 zirconium Inorganic materials 0.000 description 1
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- Electrodes Of Semiconductors (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
- Junction Field-Effect Transistors (AREA)
Description
Claims (3)
- ヘテロ接合型半導体装置の製造方法であって、
基板を準備する工程と、
該基板の上にノンドープのGaNからなるチャネル層を形成する工程と、
該チャネル層の上にnドープのAlGaNからなるバリア層を形成し、該チャネル層と該バリア層との間にヘテロ接合を形成する工程と、
該バリア層の上にソース電極およびドレイン電極を形成する工程と、
該バリア層の上に誘電体膜を形成する工程と、
該誘電体層をエッチングして開口部を形成し、該開口部の底に該バリア層を露出させるエッチング工程と、
該開口部内の該バリア層と接続し、該誘電体膜の上まで延在するゲート電極を形成する工程と、を含み、
該エッチング工程は、フッ素系ガスを用いたプラズマで該誘電体膜をエッチングして該開口部を形成し、該開口部の底と該へテロ界面とに挟まれた該バリア層に含まれるフッ素量を7.6×109cm−2以下に抑制する工程であることを特徴とする製造方法。 - 上記フッ素量は、6.1×109cm−2以上であることを特徴とする請求項1に記載の製造方法。
- 上記エッチング工程は、上記誘電体層をエッチングした後で、上記ゲート電極を形成する前に、更に上記バリア層をアニールする工程を含むことを特徴とする請求項1または2に記載の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012204438A JP5899093B2 (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 半導体装置の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012204438A JP5899093B2 (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 半導体装置の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014060268A JP2014060268A (ja) | 2014-04-03 |
JP5899093B2 true JP5899093B2 (ja) | 2016-04-06 |
Family
ID=50616487
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012204438A Active JP5899093B2 (ja) | 2012-09-18 | 2012-09-18 | 半導体装置の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5899093B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7323476B2 (ja) | 2020-02-19 | 2023-08-08 | 住友電気工業株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3226666B2 (ja) * | 1993-07-09 | 2001-11-05 | 富士通株式会社 | 半導体装置の製造方法 |
JP4385205B2 (ja) * | 2002-12-16 | 2009-12-16 | 日本電気株式会社 | 電界効果トランジスタ |
EP1938385B1 (en) * | 2005-09-07 | 2014-12-03 | Cree, Inc. | Transistors with fluorine treatment |
JP5337415B2 (ja) * | 2008-06-30 | 2013-11-06 | シャープ株式会社 | ヘテロ接合電界効果トランジスタおよびヘテロ接合電界効果トランジスタの製造方法 |
JP2010098076A (ja) * | 2008-10-15 | 2010-04-30 | Sumitomo Electric Device Innovations Inc | 半導体装置の製造方法 |
-
2012
- 2012-09-18 JP JP2012204438A patent/JP5899093B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014060268A (ja) | 2014-04-03 |
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