JP5427330B2 - 半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊 - Google Patents
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- 229910021420 polycrystalline silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 54
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims description 22
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims description 22
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims description 22
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 14
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 11
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 59
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 59
- XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N Iron Chemical compound [Fe] XEEYBQQBJWHFJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 44
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 22
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 22
- 229910052742 iron Inorganic materials 0.000 claims description 22
- 239000002253 acid Substances 0.000 claims description 17
- 238000001223 reverse osmosis Methods 0.000 claims description 12
- 238000005342 ion exchange Methods 0.000 claims description 11
- 238000000746 purification Methods 0.000 claims description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 claims description 10
- 238000000691 measurement method Methods 0.000 claims description 3
- 239000008213 purified water Substances 0.000 claims description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 34
- 229910021421 monocrystalline silicon Inorganic materials 0.000 description 11
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 8
- 239000002994 raw material Substances 0.000 description 8
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 6
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 5
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 229920005591 polysilicon Polymers 0.000 description 4
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000010419 fine particle Substances 0.000 description 3
- 229910021645 metal ion Inorganic materials 0.000 description 3
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000012498 ultrapure water Substances 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 2
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 2
- 229910000040 hydrogen fluoride Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 238000007670 refining Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N Chlorine atom Chemical compound [Cl] ZAMOUSCENKQFHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004698 Polyethylene Substances 0.000 description 1
- 150000001450 anions Chemical class 0.000 description 1
- 239000000460 chlorine Substances 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000002425 crystallisation Methods 0.000 description 1
- 230000008025 crystallization Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- -1 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 229920000573 polyethylene Polymers 0.000 description 1
- 238000011045 prefiltration Methods 0.000 description 1
- 239000007858 starting material Substances 0.000 description 1
- 238000000108 ultra-filtration Methods 0.000 description 1
- 239000002351 wastewater Substances 0.000 description 1
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/02—Elements
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- C30B15/00—Single-crystal growth by pulling from a melt, e.g. Czochralski method
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
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Description
〔1〕半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊であって、JEITAEM-3601の規格に従った測定方法で、表面に残留するアルミニウム濃度が0.034ppbw以下、残留鉄濃度が0.017ppbw以下であることを特徴とする多結晶シリコン塊。
〔2〕酸洗浄後の純水リンス工程において、逆浸透による精製処理(RO処理と云う)の後にイオン交換による精製処理(EX処理と云う)を行って精製処理した純水を用いて洗浄することによって、残留アルミニウム濃度および残留鉄濃度を低減した半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊であって、EX処理のみ行った純水による洗浄処理における残留アルミニウム濃度および残留鉄濃度に対して、残留アルミニウム濃度が1/3以下、残留鉄濃度が1/9以下である上記[1]に記載する多結晶シリコン塊。
以下、本発明を具体的に説明する。
本発明の多結晶シリコン塊は、半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊であって、JEITAEM-3601の規格に従った測定方法で、表面に残留するアルミニウム濃度が0.034ppbw以下、残留鉄濃度が0.017ppbw以下であることを特徴とする多結晶シリコン塊である。
本発明の多結晶シリコン塊は、好ましくは、酸洗浄後の純水リンス工程において、逆浸透による精製処理(RO処理と云う)の後にイオン交換による精製処理(EX処理と云う)を行って精製処理した純水を用いて洗浄することによって、残留アルミニウム濃度および残留鉄濃度を低減した半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊であって、EX処理(比較例)のみ行った純水による洗浄処理における残留アルミニウム濃度および残留鉄濃度に対して、残留アルミニウム濃度が1/3以下、残留鉄濃度が1/9以下である多結晶シリコン塊である。
本発明の多結晶シリコン塊について、酸洗浄工程に続く純水リンス工程において上記洗浄方法を適用した。酸洗浄工程と純水洗浄工程は、図1に示すように連続して設けられている。各洗浄工程の洗浄槽10、20には、図示するように、槽底から洗浄排水を抜き出してフィルター処理した後に洗浄槽に戻す循環路が設けられている。この循環路にはプレフィルター、ポンプ、フィルターがおのおの介設されている。多結晶シリコン塊はポリエチレン製のバスケット1に収納された状態で、所定の浸漬時間ごとに酸洗浄槽10から純水リンス槽20に移動して洗浄処理される。なお、酸洗浄槽10、純水洗浄槽20は、おのおの複数の洗浄槽によって形成しても良い。
図示する洗浄工程において、RO装置を用いずにEX装置のみによって精製処理した純水を用いた他は実施例1と同様の条件下で多結晶シリコン塊を洗浄した。この結果を表1に示した。
表1の実施例1に示す多結晶シリコンを用い、CZ法によって8インチのシリコン単結晶を引上げた。1回に多結晶シリコン150kgをチャージし、同一条件で10回の引上げを行ったところ、無転位化率は平均98%であった。一方、表1の比較例に示す多結晶シリコンを用い、同条件でシリコン単結晶を引上げたところ、無転位化率は平均85%であった。
Claims (2)
- 半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊であって、JEITAEM-3601の規格に従った測定方法で、表面に残留するアルミニウム濃度が0.034ppbw以下、残留鉄濃度が0.017ppbw以下であることを特徴とする多結晶シリコン塊。
- 酸洗浄後の純水リンス工程において、逆浸透による精製処理(RO処理と云う)の後にイオン交換による精製処理(EX処理と云う)を行って精製処理した純水を用いて洗浄することによって、残留アルミニウム濃度および残留鉄濃度を低減した半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊であって、EX処理のみ行った純水による洗浄処理における残留アルミニウム濃度および残留鉄濃度に対して、残留アルミニウム濃度が1/3以下、残留鉄濃度が1/9以下である請求項1に記載する多結晶シリコン塊。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US10/928,682 US7223303B2 (en) | 2004-08-26 | 2004-08-26 | Silicon cleaning method for semiconductor materials and polycrystalline silicon chunk |
US10/928,682 | 2004-08-26 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200355A Division JP5071611B2 (ja) | 2004-08-26 | 2005-07-08 | 半導体材料用シリコンの洗浄方法とその多結晶シリコン塊、および洗浄装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012224541A JP2012224541A (ja) | 2012-11-15 |
JP5427330B2 true JP5427330B2 (ja) | 2014-02-26 |
Family
ID=35941240
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200355A Active JP5071611B2 (ja) | 2004-08-26 | 2005-07-08 | 半導体材料用シリコンの洗浄方法とその多結晶シリコン塊、および洗浄装置 |
JP2012138783A Active JP5427330B2 (ja) | 2004-08-26 | 2012-06-20 | 半導体材料用シリコンの多結晶シリコン塊 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005200355A Active JP5071611B2 (ja) | 2004-08-26 | 2005-07-08 | 半導体材料用シリコンの洗浄方法とその多結晶シリコン塊、および洗浄装置 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7223303B2 (ja) |
JP (2) | JP5071611B2 (ja) |
Families Citing this family (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4937930B2 (ja) * | 2006-01-23 | 2012-05-23 | 有限会社よつあみ | 釣糸とその製造方法 |
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DE102007040851A1 (de) | 2007-08-29 | 2009-03-05 | Wacker Chemie Ag | Verfahren zum Reinigen von polykristallinem Silicium |
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-
2004
- 2004-08-26 US US10/928,682 patent/US7223303B2/en active Active
-
2005
- 2005-07-08 JP JP2005200355A patent/JP5071611B2/ja active Active
-
2012
- 2012-06-20 JP JP2012138783A patent/JP5427330B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006062948A (ja) | 2006-03-09 |
US7223303B2 (en) | 2007-05-29 |
JP2012224541A (ja) | 2012-11-15 |
JP5071611B2 (ja) | 2012-11-14 |
US20060042539A1 (en) | 2006-03-02 |
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A521 | Request for written amendment filed |
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A977 | Report on retrieval |
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|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
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S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
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