JP5246215B2 - セラミック電子部品及び配線基板 - Google Patents

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Description

本発明は、セラミック電子部品及び配線基板に関する。特に、本発明は、配線基板に埋め込まれて好適に使用されるセラミック電子部品及びそれが埋め込まれたセラミック電子部品埋め込み型配線基板に関する。
近年、携帯電話機や携帯音楽プレイヤーなどの電子機器の小型化や薄型化に伴い、電子機器に搭載される配線基板の小型化が進んでいる。
配線基板を小型化する方法としては、例えば、下記の特許文献1において、チップコンデンサを配線基板の内部に埋め込み、配線基板のチップコンデンサの上に位置する部分にレーザーにより貫通孔を形成し、貫通孔内部にめっきを施すことにより、チップコンデンサへの配線を構成する方法が提案されている。この方法によれば、配線基板の表面における部品の実装面積を小さくすることが可能となり、配線基板を小型化することができる。
特開2001−352141号公報
しかしながら、特許文献1に記載のようにチップコンデンサを配線基板内部に埋め込んだ場合、基板全体として信頼性が低下することがあった。
本発明者らは、鋭意研究の結果、特許文献1に記載のチップコンデンサ埋め込み型配線基板が信頼性に欠けるのは、以下の理由によるものであることを見出した。すなわち、特許文献1に記載のチップコンデンサ埋め込み型配線基板では、ベース基板の上にチップコンデンサが配置されており、ベース基板とチップコンデンサとは、接着剤により接着されている。ここで、特許文献1では、外部電極の回り込み部全体がベース基板と接触してしまうため、外部電極とベース基板との間に接着剤が上手く入り込めず、外部電極とベース基板との間において、接着剤の厚みが薄くなりすぎて接着強度が低くなったり、部分的に接着剤が存在しなかったりする場合がある。この結果、外部電極とベース基板との間に隙間が生じることになる。
一方、チップコンデンサへの配線を形成する場合、レーザーにより貫通孔を形成した後、その際生じた配線基板を構成する樹脂の残滓を取り除くデスミア処理が行われることがある。デスミア処理において、配線基板は過酸化マンガン酸カリウムなどの強アルカリ溶液にさらされるが、その際に当該溶液が上記隙間に浸入して残留し、信頼性を低下させるものと考えられる。
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的は、セラミック電子部品埋め込み型配線基板の信頼性を向上し得るセラミック電子部品を提供することにある。
本発明に係るセラミック電子部品は、直方体状のセラミック素体と、第1及び第2の内部電極と、第1の外部電極と、第2の外部電極とを備えている。セラミック素体は、第1及び第2の主面と、第1及び第2の側面と、第1及び第2の端面とを有する。第1及び第2の主面は、長さ方向及び幅方向に沿って延びている。第1及び第2の主面は互いに対向している。第1及び第2の側面は、長さ方向及び厚み方向に沿って延びている。第1及び第2の側面は、互いに対向している。第1及び第2の端面は、幅方向及び厚み方向に沿って延びている。第1及び第2の端面は、互いに対向している。第1及び第2の内部電極は、セラミック素体の内部において、少なくとも一部同士が厚み方向に対向するように形成されている。第1の外部電極は、第1の主面上の長さ方向の一方側端部に形成されている。第1の外部電極は、第1の内部電極に電気的に接続されている。第2の外部電極は、第1の主面上の長さ方向の他方側端部に形成されている。第2の外部電極は、第2の内部電極に電気的に接続されている。第1及び第2の外部電極のそれぞれの一部は、第1及び第2の内部電極が厚み方向に対向している部分と、厚み方向に対向している。第1及び第2の外部電極のそれぞれの一部分が、他の部分よりも厚み方向に突出している。第1の外部電極の突出部が、第1の外部電極の長さ方向の一方側端部に設けられていると共に、第2の外部電極の突出部が、第2の外部電極の長さ方向の他方側端部に設けられていることにより、第1の外部電極の突出部と第2の外部電極の突出部との間に凹部が形成されている。第1の主面の第1の外部電極と第2の外部電極との間に位置する部分が露出している。
本発明に係るセラミック電子部品のある特定の局面では、第1及び第2の外部電極のそれぞれの最外層は、Cu、Al、Au及びAgのうちの一種の金属もしくは該金属を主体とする合金からなる。
本発明に係る配線基板は、上記本発明に係るセラミック電子部品と、セラミック電子部品が埋め込まれている配線基板本体とを備えている。
本発明に係る配線基板のある特定の局面では、配線基板本体は、ベース基板と、セラミック電子部品との間に位置しており、セラミック電子部品とベース基板とを接着している接着剤とを有する。
本発明に係る配線基板の他の特定の局面では、ベース基板には、セラミック電子部品の外部電極に向かって開口する貫通孔が形成されている。
本発明では、外部電極の一部分が他の部分よりも厚み方向に突出しているため、セラミック電子部品を接着剤を用いてベース基板の上に接着した際に、外部電極とベース基板との間に接着剤が入り込む空間を確保することで、確実に、かつ高い接着強度で接着することができる。このため、外部電極とベース基板との間に処理液等が浸入することを抑制することができる。従って、優れた信頼性を実現することができる。
第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。 第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的側面図である。 図1の線III−IIIにおける略図的断面図である。 図3の線IV−IVにおける略図的断面図である。 図3の線V−Vにおける略図的断面図である。 導電パターンが形成されたセラミックグリーンシートの略図的平面図である。 マザー積層体の略図的平面図である。 ベース基板に接着剤を塗布する工程を説明するための略図的断面図である。 セラミック電子部品をベース基板に接着する工程を説明するための略図的断面図である。 配線基板本体を形成する工程を説明するための略図的断面図である。 ビアホールを形成する工程を説明するための略図的断面図である。 配線基板の一部分の略図的拡大断面図である。 第2の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。 図13の線XIV−XIVにおける略図的断面図である。 第3の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的断面図である。
(第1の実施形態)
以下、本発明を実施した好ましい形態について、図1に示すセラミック電子部品1を例に挙げて説明する。但し、セラミック電子部品1は単なる例示である。本発明に係るセラミック電子部品は、セラミック電子部品1に何ら限定されない。
図1は、第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。図2は、第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的側面図である。図3は、図1の線III−IIIにおける略図的断面図である。図4は、図3の線IV−IVにおける略図的断面図である。図5は、図3の線V−Vにおける略図的断面図である。
まず、図1〜図5を参照しながら、セラミック電子部品1の構成について説明する。
図1〜図5に示すように、セラミック電子部品1は、セラミック素体10を備えている。セラミック素体10は、セラミック電子部品1の機能に応じた適宜のセラミック材料からなる。具体的には、セラミック電子部品1がコンデンサである場合は、セラミック素体10を誘電体セラミック材料により形成することができる。誘電体セラミック材料の具体例としては、例えば、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrOなどが挙げられる。なお、セラミック素体10には、所望するセラミック電子部品1の特性に応じて、上記セラミック材料を主成分として、例えば、Mn化合物、Mg化合物、Si化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物、希土類化合物などの副成分を適宜添加してもよい。
セラミック電子部品1がセラミック圧電素子である場合は、セラミック素体10を圧電セラミック材料により形成することができる。圧電セラミック材料の具体例としては、例えば、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)系セラミック材料などが挙げられる。
セラミック電子部品1がサーミスタ素子である場合は、セラミック素体10を半導体セラミック材料により形成することができる。半導体セラミック材料の具体例としては、例えば、スピネル系セラミック材料などが挙げられる。
セラミック電子部品1が、インダクタ素子である場合は、セラミック素体10を磁性体セラミック材料により形成することができる。磁性体セラミック材料の具体例としては、例えば、フェライトセラミック材料などが挙げられる。
セラミック素体10は、直方体状に形成されている。図1〜図3に示すように、セラミック素体10は、長さ方向L及び幅方向Wに沿って延びる第1及び第2の主面10a、10bを有する。セラミック素体10は、図1、図2、図4、図5に示すように、厚み方向T及び長さ方向Lに沿って延びる第1及び第2の側面10c、10dを有する。また、図1〜図5に示すように、厚み方向T及び幅方向Wに沿って延びる第1及び第2の端面10e、10fを備えている。
なお、本明細書において、「直方体状」には、角部や稜線部が面取り状またはR面取り状である直方体が含まれるものとする。すなわち、「直方体状」の部材とは、第1及び第2の主面、第1及び第2の側面並びに第1及び第2の端面とを有する部材全般を意味する。また、主面、側面、端面の一部または全部に凹凸などが形成されていてもよい。
セラミック素体10の寸法は、特に限定されないが、セラミック素体10の厚み寸法をT、長さ寸法をL、幅寸法をWとしたときに、セラミック素体10は、T≦W<L、1/5W≦T≦1/2W、T≦0.3mmを満たす薄型のものであることが好ましい。具体的には、0.1mm≦T≦0.4mm、0.4mm≦L≦1mm、0.2mm≦W≦0.5mmであることが好ましい。
図3に示すように、セラミック素体10の内部には、略矩形状の複数の第1及び第2の内部電極11,12が厚み方向Tに沿って等間隔に交互に配置されている。第1及び第2の内部電極11,12のそれぞれは、第1及び第2の主面10a、10bと平行である。第1及び第2の内部電極11,12は、厚み方向Tにおいて、セラミック層10gを介して、互いに対向している。第1及び第2の内部電極11,12のそれぞれは、第1及び第2の主面10a、10b、第1及び第2の側面10c、10d並びに第1及び第2の端面10e、10fのいずれにも露出していない。
なお、セラミック層10gの厚さは、特に限定されない。セラミック層10gの厚さは、例えば、0.5μm〜10μm程度とすることができる。第1及び第2の内部電極11,12のそれぞれの厚さも、特に限定されない。第1及び第2の内部電極11,12のそれぞれの厚さは、例えば、0.3μm〜2μm程度とすることができる。
第1及び第2の内部電極11,12は、適宜の導電材料により形成することができる。第1及び第2の内部電極11,12は、例えば、Ni、Cu,Ag,Pd,Auなどの金属や、Ag−Pd合金などの、これらの金属の一種以上を含む合金により形成することができる。
セラミック素体10の第1及び第2の主面10a、10bのそれぞれの上には、第1及び第2の外部電極13,14が形成されている。図3に示すように、第1の外部電極13には、ビアホール電極18を介して第1の内部電極11が電気的に接続されている。第2の内部電極12は、第1の外部電極13には電気的に接続されていない。一方、第2の外部電極14には、ビアホール電極19を介して第2の内部電極12が電気的に接続されている。第1の内部電極11は、第2の外部電極14には電気的に接続されていない。
図1〜図3に示すように、第1の外部電極13は、第1,第2の主面10a、10bの長さ方向LのL1側端部の上に形成されている。一方、第2の外部電極14は、第1,第2の主面10a、10bの長さ方向LのL2側端部の上に形成されている。第1,第2の主面10a、10bの第1及び第2の外部電極13,14の間の部分は、露出している。すなわち、第1,第2の主面10a、10bの第1及び第2の外部電極13,14の間の部分の上には、何も形成されていない。
第1及び第2の外部電極13,14のそれぞれの長さ方向Lに沿った長さは、230μm〜330μmであることが好ましい。
第1及び第2の外部電極13,14は、第1〜第3の導電層15〜17の積層体により形成されている。第1の導電層15は、第1または第2の主面10a、10bの上に形成されている。第1の導電層15は、第1または第2の主面10a、10bの幅方向Wにおける一方側端部から他方側端部にわたって形成されている。第2の導電層16は、第1の導電層15の一部分の上に形成されている。具体的には、第2の導電層16は、第1の導電層15の長さ方向LのL1またはL2側端部の上にのみ形成されている。第2の導電層16は、第1または第2の主面10a、10bの幅方向Wにおける一方側端部から他方側端部にわたって形成されている。第3の導電層17は、第1または第2の外部電極13,14の最外層を形成しており、第1及び第2の導電層15,16を覆うように形成されている。このため、本実施形態においては、第1及び第2の外部電極13,14のそれぞれの側端部において、他の部分よりも厚み方向Tに突出した突出部13a,14aが形成されている。そして、図2及び図3に示すように、長さ方向Lにおける突出部13a,14aの間に、凹部1a、1bが形成されている。凹部1a、1bは、露出している第1、第2の主面10a、10bを底面とし、突出部13a、14aを上段部とし、突出部13a、14a以外の部分を下段部とする階段状の窪みである。下段部の表面は比較的平坦であり、この部分がレーザー照射領域となる。
なお、第1及び第2の外部電極13,14の突出部13a,14a以外の部分の厚みは、例えば、3μm〜20μm程度であることが好ましい。突出部13a,14aの最大厚みは、例えば、2〜10μm程度であることが好ましい。
第1及び第2の導電層15,16のそれぞれは、適宜の導電材料により形成することができる。第1及び第2の導電層15,16のそれぞれは、例えば、Ni、Cu,Ag,Pd,Auなどの金属や、Ag−Pd合金などの、これらの金属の一種以上を含む合金により形成することができる。第1及び第2の導電層15,16のそれぞれの厚みは、例えば、3〜20μm程度とすることができる。
第1及び第2の導電層15、16のそれぞれは、無機結合材を含んでいる。無機結合材は、セラミック素体10に対する密着強度を高めるための成分である。第1及び第2の導電層15、16がコファイアにより形成される場合は、無機結合材は、共材とも呼ばれ、例えば、セラミック素体10に含まれるセラミック材料と同種のセラミック材料であってもよい。無機結合材は、例えば、セラミック素体10に含まれるセラミック材料と主成分が同じセラミック材料であってもよい。また、第1及び第2の導電層15、16がポストファイアにより形成される場合は、無機結合材は、例えば、ガラス成分であってもよい。
第1及び第2の導電層15,16における無機結合材の含有量は、例えば、40体積%〜60体積%の範囲内であることが好ましい。
第3の導電層17は、例えば、Cu、Ni、Sn、Pb、Au、Ag、Pd、BiおよびZnからなる群から選ばれる1種の金属または当該金属を含む合金のめっきからなることが好ましい。なかでもCuおよびAlのうちの一方の金属もしくはCu及びAlのうちの少なくとも一方を含む合金により形成されていることが好ましい。このため、本実施形態においては、第1及び第2の外部電極13,14のそれぞれの最外層は、Cu、Al、Au及びAgのうちの一種の金属もしくは該金属を主体とする合金からなる。Cu、Al、Au及びAgのうちの一種の金属もしくは該金属を主体とする合金からなる第1及び第2の外部電極13,14は、レーザー光の反射率が高いものであり、例えば、このセラミック電子部品1を配線基板に埋め混んだ後に、配線基板に第1,第2の外部電極13,14に開口するビアホールを、レーザー光を用いて形成することができる。
第3の導電層17は、めっき膜により構成されていることが好ましく、厚みは、1μm〜15μm程度であることが好ましい。
また、第3の導電層17は、第1及び第2の導電層15、16を完全に被覆するように形成されていることが好ましい。
更に、第3の導電層17と第1,第2の導電層15,16との間に、例えばめっき膜などのさらなる導電層が設けられていてもよい。
次に、本実施形態のセラミック電子部品1の製造方法について説明する。
まず、セラミック素体10を構成するためのセラミック材料を含むセラミックグリーンシート20(図6を参照)を用意する。次に、図6に示すように、そのセラミックグリーンシート20の上に、導電性ペーストを塗布することにより、導電パターン21を形成する。なお、導電ペーストの塗布は、例えば、スクリーン印刷法などの各種印刷法により行うことができる。導電性ペーストは、導電性微粒子の他に、公知のバインダーや溶剤を含んでいてもよい。
次に、導電パターン21が形成されていない複数枚のセラミックグリーンシート20、第1または第2の内部電極11,12に対応した形状の導電パターン21が形成されているセラミックグリーンシート20、及び導電パターン21が形成されていない複数枚のセラミックグリーンシート20をこの順番で積層し、積層方向に静水圧プレスすることにより、図7に示すマザー積層体22を作製する。
次に、マザー積層体22の上に、第1及び第2の外部電極13,14の第1の導電層15を形成するための導電パターン23を、スクリーン印刷法などの適宜の印刷法により形成する。さらに、導電パターン23の上に、第2の導電層16を形成するための導電パターン24を、スクリーン印刷法などの適宜の印刷法により形成する。
次に、仮想のカットラインCLに沿ってマザー積層体22をカッティングすることにより、マザー積層体22から複数の生のセラミック積層体を作製する。なお、マザー積層体22のカッティングは、ダイシングや押切により行うことができる。
生のセラミック積層体作成後、バレル研磨などにより、生のセラミック積層体の稜線部及び稜線部の面取りまたはR面取り及び表層の研磨を行うようにしてもよい。
次に、生のセラミック積層体の焼成を行う。焼成温度は、使用するセラミック材料や導電性ペーストの種類により適宜設定することができる。焼成温度は、例えば、900℃〜1300℃程度とすることができる。
最後に、めっきにより、第3の導電層17を形成することにより、セラミック電子部品1を完成させることができる。
本実施形態のセラミック電子部品1は、配線基板に埋め込まれて好適に使用されるものである。次に、セラミック電子部品1が埋め込まれたセラミック電子部品埋め込み型配線基板の製造方法について、主として図8〜図12を参照しながら説明する。
まず、図8に示すように、ベース基板30の上に、接着剤31を塗布する。ベース基板30は、特に限定されない。ベース基板30は、例えば、ガラスエポキシ樹脂などの樹脂基板などにより形成することができる。また、ベース基板30の厚みも特に限定されず、例えば、25μm〜50μm程度とすることができる。接着剤31としては、例えば、エポキシ樹脂系接着剤を用いることができる。接着剤31は、例えば、熱硬化型の樹脂接着剤であってもよいし、光硬化型の樹脂接着剤であってもよい。
次に、接着剤31の上にセラミック電子部品1を配置し、接着剤31を硬化させ、図9に示すように、接着剤32を形成することにより、セラミック電子部品1をベース基板30に対して接着させる。
次に、図10に示すように、ベース基板30のセラミック電子部品1が配置されていない部分の上に、コア材33を配置する。そして、コア材33及びセラミック電子部品1の上に、半硬化状態の硬化型樹脂を含むシート34を押し当ててプレスし、その状態でシート34を本硬化させる。これにより、図11に示すように、ベース基板30、コア材33及びシート34からなる配線基板本体35内にセラミック電子部品1が埋め込まれてなる配線基板37を完成させることができる。なお、コア材33は、例えば、ガラスエポキシ樹脂など樹脂基板などにより形成することができる。
次に、ベース基板30の上に、パターニングされたCu層36の上から配線基板37にレーザー光線を照射する(コンフォーマルマスク法)。これにより、配線基板37に第1,第2の外部電極13,14に開口するビアホール39(図12を参照)が形成される。なお、通常は、レーザー光線のスポット径が100μm程度であるため、第1の導電層15の第2の導電層16に覆われていない部分の長さ方向Lに沿った長さは、170μm〜250μm程度であることが好ましい。
その後、ビアホール39の側壁などに付着したスミアを除去するデスミア処理を行う。具体的には、過マンガン酸カリウムなどの強アルカリで処理することによりスミアを除去した後に、酸リンスを施す。
なお、ビアホール39内に第1,第2の外部電極13,14に接続された導体を形成するために、無電解めっきなどのめっきをさらに行ってもよい。
以上説明したように、本実施形態では、第1,第2の外部電極13,14に突出部13a,14aが形成されている。このため、突出部13a,14aが形成されていない場合と比較して接着剤32を厚く形成することができる。特に、接着剤32のうち、第1,第2の外部電極13,14とベース基板30との間に位置する部分の厚みを大きくすることができる。このため、外部電極とベース基板との間に接着剤が入り込む空間を確保することができるので、第1,第2の外部電極13,14とベース基板30とを強固に接着することができる。従って、第1,第2の外部電極13,14とベース基板30との間に水分等が侵入しにくく、第1,第2の外部電極13,14が劣化することを効果的に抑制することができる。また、上述のように、接着剤32によって第1,第2の外部電極13,14とベース基板30が強固に接着しているため、デスミア処理に用いる溶剤やめっき液などが第1,第2の外部電極13,14と接着剤32との間に浸入しにくい。従って、第1,第2の外部電極13,14の劣化が効果的に抑制されている。その結果、高い信頼性を実現することができる。
以下、本発明の好ましい実施形態の他の例について説明する。但し、以下の説明において、上記第1の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の機能で参照し、説明を省略する。
(第2及び第3の実施形態)
図13は、第2の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。図14は、図13の線XIV−XIVにおける略図的断面図である。図15は、第3の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的断面図である。
上記第1の実施形態では、第1及び第2の主面10a、10bのそれぞれに第1及び第2の外部電極13,14が形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。本発明においては、少なくとも一つの外部電極が第1の主面10aの上に形成されていればよい。
例えば、図13及び図14に示すように、第1及び第2の外部電極13,14は、第1または第2の端面10e、10fと、第1及び第2の主面10a、10bのL1またはL2側部分とを覆うように形成されていてもよい。この場合において、第2の導電層16は、第1の導電層15のL1またはL2側端部のみならず、第1または第2の端面10e、10fを覆うように形成することが好ましい。そうすることによって、めっき膜により構成されている第3の導電層17を第1または第2の端面10e、10fの上にも形成することができる。このような第2の導電層16は、例えば、スクリーン印刷法などによって形成することができるし、導電ペーストにセラミック素体10の端部を浸漬する所謂ディップ法によっても形成することができる。
また、例えば、図15に示すように、第1及び第2の外部電極13,14を第1の主面10aのL1またはl2側端部と第1または第2の端面10e、10fとを覆うように形成し、第2の主面10bの上に第1及び第2の外部電極13,14を形成しないようにしてもよい。
また、外部電極の一部がセラミック素体に埋め込まれていてもよい。その際、第1の導電層はセラミック素体から2〜10μm飛び出していることが好ましい。
1…セラミック電子部品
1a、1b…凹部
10…セラミック素体
10a…セラミック素体の第1の主面
10b…セラミック素体の第2の主面
10c…セラミック素体の第1の側面
10d…セラミック素体の第2の側面
10e…セラミック素体の第1の端面
10f…セラミック素体の第2の端面
10g…セラミック層
11…第1の内部電極
12…第2の内部電極
13…第1の外部電極
14…第2の外部電極
13a,14a…突出部
15…第1の導電層
16…第2の導電層
17…第3の導電層
18,19…ビアホール電極
20…セラミックグリーンシート
21…導電パターン
22…マザー積層体
23,24…導電パターン
30…ベース基板
31…接着剤
32…接着剤
33…コア材
34…シート
35…配線基板本体
36…Cu層
37…配線基板
39…ビアホール

Claims (5)

  1. 長さ方向及び幅方向に沿って延びており、互いに対向する第1及び第2の主面と、長さ方向及び厚み方向に沿って延びており、互いに対向する第1及び第2の側面と、幅方向及び厚み方向に沿って延びており、互いに対向する第1及び第2の端面とを有する直方体状のセラミック素体と、
    前記セラミック素体の内部において、少なくとも一部同士が厚み方向に対向するように形成されている第1及び第2の内部電極と、
    前記第1の主面上の長さ方向の一方側端部に形成されており、前記第1の内部電極に電気的に接続されている第1の外部電極と、
    前記第1の主面上の長さ方向の他方側端部に形成されており、前記第2の内部電極に電気的に接続されている第2の外部電極と、
    を備え、
    前記第1及び第2の外部電極のそれぞれの一部は、前記第1及び第2の内部電極が厚み方向に対向している部分と、厚み方向に対向しており、
    前記第1及び第2の外部電極のそれぞれの一部分が、前記第1の主面上に導電ペーストが複数回塗布されることにより形成されており、他の部分よりも厚み方向に突出しており、
    前記第1の外部電極の前記突出部が、前記第1の外部電極の長さ方向の一方側端部に設けられていると共に、前記第2の外部電極の前記突出部が、前記第2の外部電極の長さ方向の他方側端部に設けられていることにより、前記第1の外部電極の前記突出部と前記第2の外部電極の前記突出部との間に凹部が形成されており、かつ、前記第1の主面の前記第1の外部電極と前記第2の外部電極との間に位置する部分が露出している、セラミック電子部品。
  2. 前記第1及び第2の外部電極のそれぞれの最外層は、Cu、Al、Au及びAgのうちの一種の金属もしくは該金属を主体とする合金からなる、請求項1に記載のセラミック電子部品。
  3. 請求項1または2に記載のセラミック電子部品と、
    前記セラミック電子部品が埋め込まれている配線基板本体と、
    を備える、配線基板。
  4. 前記配線基板本体は、ベース基板と、前記セラミック電子部品との間に位置しており、前記セラミック電子部品と前記ベース基板とを接着している接着剤とを有する、請求項3に記載の配線基板。
  5. 前記ベース基板には、前記セラミック電子部品の前記外部電極に向かって開口する貫通孔が形成されている、請求項4に記載の配線基板。
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