JP5533387B2 - セラミック電子部品 - Google Patents

セラミック電子部品 Download PDF

Info

Publication number
JP5533387B2
JP5533387B2 JP2010164114A JP2010164114A JP5533387B2 JP 5533387 B2 JP5533387 B2 JP 5533387B2 JP 2010164114 A JP2010164114 A JP 2010164114A JP 2010164114 A JP2010164114 A JP 2010164114A JP 5533387 B2 JP5533387 B2 JP 5533387B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
ceramic
thickness
external electrodes
ceramic electronic
electronic component
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
JP2010164114A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2012028458A (ja
Inventor
浩司 佐藤
幸雄 眞田
康弘 西坂
雅樹 廣田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP2010164114A priority Critical patent/JP5533387B2/ja
Priority to KR20110070806A priority patent/KR101173420B1/ko
Priority to US13/187,617 priority patent/US8804302B2/en
Priority to CN2011102052863A priority patent/CN102347131B/zh
Publication of JP2012028458A publication Critical patent/JP2012028458A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5533387B2 publication Critical patent/JP5533387B2/ja
Priority to US14/320,770 priority patent/US9378874B2/en
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/008Thermistors
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01CRESISTORS
    • H01C7/00Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material
    • H01C7/13Non-adjustable resistors formed as one or more layers or coatings; Non-adjustable resistors made from powdered conducting material or powdered semi-conducting material with or without insulating material current responsive
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01FMAGNETS; INDUCTANCES; TRANSFORMERS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR MAGNETIC PROPERTIES
    • H01F17/00Fixed inductances of the signal type 
    • H01F17/0006Printed inductances
    • H01F17/0013Printed inductances with stacked layers
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/005Electrodes
    • H01G4/012Form of non-self-supporting electrodes
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/018Dielectrics
    • H01G4/06Solid dielectrics
    • H01G4/08Inorganic dielectrics
    • H01G4/12Ceramic dielectrics
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/002Details
    • H01G4/228Terminals
    • H01G4/232Terminals electrically connecting two or more layers of a stacked or rolled capacitor
    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES OR LIGHT-SENSITIVE DEVICES, OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G4/00Fixed capacitors; Processes of their manufacture
    • H01G4/30Stacked capacitors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure

Description

本発明は、セラミック電子部品に関する。
近年、携帯電話機や携帯音楽プレイヤーなどの電子機器の小型化や薄型化に伴い、電子機器に搭載される配線基板の小型化が進んでいる。これに伴って配線基板に実装されるセラミック電子部品に対する薄型化及び小型化の要請が高まってきている。
セラミック電子部品を薄型化する方法の一つとして、例えば、下記の特許文献1に記載されているように、主面上に形成されている外部電極をセラミック素体内部に埋め込む方法が挙げられる。このようにすることにより、外部電極をセラミック素体内部に埋め込まない場合よりもセラミック電子部品を薄型化することができる。
また、特許文献には、外部電極をセラミック素体内部に埋め込むことにより、外部電極の固着力が高められる旨が記載されている。
特開2005−44921号公報
しかしながら、特許文献1に記載のように、セラミック素体内部に外部電極を埋め込むことにより薄型化を図った場合、セラミック電子部品の信頼性が低下してしまう場合がある。
本発明は、係る点に鑑みてなされたものであり、その目的は、薄型であり、かつ、信頼性が高いセラミック電子部品を提供することにある。
本発明に係るセラミックコンデンサは、直方体状のセラミック素体と、第1及び第2の内部電極と、第1の外部電極と、第2の外部電極とを備えている。セラミック素体は、第1及び第2の主面と、第1及び第2の側面と、第1及び第2の端面とを有する。第1及び第2の主面は、長さ方向及び幅方向に沿って延びている。第1及び第2の主面は、互いに対向している。第1及び第2の側面は、長さ方向及び厚み方向に沿って延びている。第1及び第2の側面は、互いに対向している。第1及び第2の端面は、幅方向及び厚み方向に沿って延びている。第1及び第2の端面は、互いに対向している。第1及び第2の内部電極は、セラミック素体の内部において、少なくとも一部同士が厚み方向に対向するように形成されている。第1の外部電極は、第1の主面上の長さ方向の一方側端部に形成された第1の部分を有している。第1の外部電極は、第1の内部電極に電気的に接続されている。第2の外部電極は、第1の主面上の長さ方向の他方側端部に形成された第1の部分を有している。第2の外部電極は、第2の内部電極に電気的に接続されている。第1及び第2の外部電極上にはめっき層が形成されている。第1及び第2の内部電極が厚み方向に対向している部分により、所定の電気的特性を発現する有効部が構成されている。第1及び第2の外部電極のそれぞれの第1の部分は、有効部と厚み方向に対向している。第1及び第2の外部電極のそれぞれの第1の部分は、厚み方向に沿ってセラミック素体内部に埋め込まれている。第1及び第2の外部電極のそれぞれの第1の部分の厚みをtとし、第1及び第2の外部電極のそれぞれの第1の部分がセラミック素体内部に埋め込まれている部分の厚みをtとしたときに、(1/10)t≦t≦(2/5)tである。
本発明に係るセラミックコンデンサのある特定の局面において、セラミック素体の長さをLとし、セラミック素体の厚みをTとしたときに、L/T<0.22が満たされる。
また、第1及び第2の外部電極は無機結合材を含んでいる。
本発明では、(1/10)t≦t≦(2/5)tであるため、セラミック電子部品の薄型化と高い信頼性とを同時に実現することができる。
第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。 第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的側面図である。 図1の線III−IIIにおける略図的断面図である。 第1の実施形態に係るセラミック電子部品の一部分を拡大した略図的断面図である。 導電パターンが形成されたセラミックグリーンシートの略図的平面図である。 マザー積層体の略図的平面図である。 マザー積層体のプレス工程を説明するための略図的断面図である。 第2の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。 第3の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。 第1の比較例に係るセラミック電子部品の略図的断面図である。 第2の比較例に係るセラミック電子部品の略図的断面図である。
(第1の実施形態)
以下、本発明の好ましい実施形態について、図1に示すセラミック電子部品1を例に挙げて説明する。但し、セラミック電子部品1は、単なる例示である。本発明は、以下に示すセラミック電子部品1及びその製造方法に何ら限定されない。
図1は、第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。図2は、第1の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的側面図である。図3は、図1の線III−IIIにおける略図的断面図である。図4は、第1の実施形態に係るセラミック電子部品の一部分を拡大した略図的断面図である。
まず、図1〜図4を参照しながら、セラミック電子部品1の構成について説明する。
図1〜図3に示すように、セラミック電子部品1は、セラミック素体10を備えている。セラミック素体10は、セラミック電子部品1の機能に応じた適宜のセラミック材料からなる。具体的には、セラミック電子部品1がコンデンサである場合は、セラミック素体10を誘電体セラミック材料により形成することができる。誘電体セラミック材料の具体例としては、例えば、BaTiO、CaTiO、SrTiO、CaZrOなどが挙げられる。なお、セラミック素体10には、所望するセラミック電子部品1の特性に応じて、上記セラミック材料を主成分として、例えば、Mn化合物、Mg化合物、Si化合物、Fe化合物、Cr化合物、Co化合物、Ni化合物、希土類化合物などの副成分を適宜添加してもよい。
セラミック電子部品1がセラミック圧電素子である場合は、セラミック素体10を圧電セラミック材料により形成することができる。圧電セラミック材料の具体例としては、例えば、PZT(チタン酸ジルコン酸鉛)系セラミック材料などが挙げられる。
セラミック電子部品1がサーミスタ素子である場合は、セラミック素体10を半導体セラミック材料により形成することができる。半導体セラミック材料の具体例としては、例えば、スピネル系セラミック材料などが挙げられる。
セラミック電子部品1が、インダクタ素子である場合は、セラミック素体10を磁性体セラミック材料により形成することができる。磁性体セラミック材料の具体例としては、例えば、フェライトセラミック材料などが挙げられる。
セラミック素体10は、直方体状に形成されている。図1〜図3に示すように、セラミック素体10は、第1及び第2の主面10a、10bと、第1及び第2の側面10c、10dと、第1及び第2の端面10e、10fとを有する。図1〜図3に示すように、第1及び第2の主面10a、10bは、長さ方向L及び幅方向Wに沿って延びている。図1に示すように、第1及び第2の側面10c、10dは、厚み方向T及び長さ方向Lに沿って延びている。図3に示すように、第1及び第2の端面10e、10fは、厚み方向T及び幅方向Wに沿って延びている。
なお、本明細書において、「直方体状」には、角部や稜線部が面取り状またはR面取り状である直方体が含まれるものとする。すなわち、「直方体状」の部材とは、第1及び第2の主面、第1及び第2の側面並びに第1及び第2の端面とを有する部材全般を意味する。また、主面、側面、端面の一部または全部に凹凸などが形成されていてもよい。すなわち、主面、側面及び端面のそれぞれが平坦である必要は必ずしもない。
セラミック素体10の寸法は、特に限定されないが、セラミック素体10の厚み寸法をT、長さ寸法をL、幅寸法をWとしたときに、セラミック素体10は、T≦W<L、1/5W≦T≦1/2W、T≦0.3mmを満たす薄型のものであることが好ましい。具体的には、0.1mm≦T≦0.3mm、0.4mm≦L≦1mm、0.2mm≦W≦0.5mmであることが好ましい。
セラミック層10g(図3を参照)の厚さは、特に限定されない。セラミック層10gの厚さは、例えば、0.5μm〜10μm程度とすることができる。
図3に示すように、セラミック素体10の内部には、略矩形状の複数の第1及び第2の内部電極11,12が厚み方向Tに沿って等間隔に交互に配置されている。第1及び第2の内部電極11,12のそれぞれは、第1及び第2の主面10a、10bと平行である。
図3に示すように、第1の内部電極11は、長さ方向L及び幅方向Wに沿って延びるように形成されている。第1の内部電極11は、セラミック素体10の第1の端面10eに露出しており、第1の端面10eから第2の端面10f側に向かって延びている。第1の内部電極11は、第2の端面10f、第1及び第2の側面10c、10dのそれぞれには至っていない。一方、第2の内部電極12も、長さ方向L及び幅方向Wに沿って延びるように形成されている。第2の内部電極12は、図3に示すように、セラミック素体10の第2の端面10fに露出しており、第2の端面10fから第1の端面10e側に向かって延びている。第2の内部電極12は、第1の端面10e、第1及び第2の側面10c、10dのそれぞれには至っていない。第1及び第2の内部電極11,12は、幅方向Wにおいて同じ位置に形成されている。このため、第1の内部電極11と第2の内部電極12とは、セラミック素体10の長さ方向Lにおける中央部において、セラミック層10gを介して、互いに対向している。第1の内部電極11と第2の内部電極12とは、セラミック素体10の長さ方向Lにおける両端部においては、厚み方向Tに対向していない。
セラミック素体10のうち、第1及び第2の内部電極11,12が互いに対向している部分が、コンデンサとしての機能を発現している有効部10Aを構成している。
なお、第1及び第2の内部電極11,12の材質は、特に限定されない。第1及び第2の内部電極11,12は、例えば、Ni、Cu,Ag,Pd,Auなどの金属や、Ag−Pd合金などの、これらの金属の一種以上を含む合金により形成することができる。
第1及び第2の内部電極11,12の厚さも、特に限定されない。第1及び第2の内部電極11,12の厚さは、例えば、0.3μm〜2μm程度とすることができる。
図1〜図3に示すように、セラミック素体10の表面の上には、第1及び第2の外部電極13,14が形成されている。第1の外部電極13は、第1の内部電極11に電気的に接続されている。第1の外部電極13は、第1の主面10aの上に形成されている第1の部分13aと、第2の主面10bの上に形成されている第2の部分13bと、第1の端面10eの上に形成されている第3の部分13cとを備えている。本実施形態では、第1の外部電極13は、第1及び第2の側面10c、10dの端部に浅く回り込むように形成されている。具体的には、第1の外部電極13の第1及び第2の側面10c、10dにおける長さ方向Lに沿った長さは、第1の部分13aの長さ方向Lに沿った長さの半分よりも短い。そして、第1の外部電極13は、幅方向Wに沿って第1及び第2の側面10c、10dからほとんど突出していない。このようにすることで、セラミック電子部品1の幅方向W寸法を小さくすることができる。なお、第1の外部電極13は、第1及び第2の側面10c、10dに実質的に形成されないようにしてもよい。
一方、第2の外部電極14は、第2の内部電極12に電気的に接続されている。第2の外部電極14は、第1の主面10aの上に形成されている第1の部分14aと、第2の主面10bの上に形成されている第2の部分14bと、第2の端面10fの上に形成されている第3の部分14cとを備えている。本実施形態では、第2の外部電極14は、第1及び第2の側面10c、10dの長さ方向Lの端部に浅く回り込むように形成されている。具体的には、第2の外部電極14の第1及び第2の側面10c、10dにおける長さ方向Lに沿った長さは、第1の部分14aの長さ方向Lに沿った長さの半分よりも短い。そして、第2の外部電極14は、幅方向Wに沿って第1及び第2の側面10c、10dからほとんど突出していない。このようにすることで、セラミック電子部品1の幅方向W寸法を小さくすることができる。なお、第2の外部電極14は、第1及び第2の側面10c、10dに実質的に形成されないようにしてもよい。
なお、第1及び第2の外部電極13,14は、例えば、Ni、Cu,Ag,Pd,Auなどの金属や、Ag−Pd合金などの、これらの金属の一種以上を含む合金により形成することができる。
第1及び第2の外部電極13、14のそれぞれは、無機結合材を含んでいる。無機結合材は、セラミック素体10に対する密着強度を高めるための成分である。第1及び第2の外部電極13、14がコファイアにより形成される場合は、無機結合材は、共材とも呼ばれ、例えば、セラミック素体10に含まれるセラミック材料と同種のセラミック材料であってもよい。無機結合材は、例えば、セラミック素体10に含まれるセラミック材料と主成分が同じセラミック材料であってもよい。また、第1及び第2の外部電極13、14がポストファイアにより形成される場合は、無機結合材は、例えば、ガラス成分であってもよい。
第1及び第2の外部電極13、14における無機結合材の含有量は、例えば、40体積%〜60体積%の範囲内であることが好ましい。
また、第1及び第2の外部電極13,14の上にめっき層を形成してもよい。めっき層は複数層により形成されていてもよい。めっき層を構成する金属としては、例えば、Cu、Ni、Sn、Pb、Au、Ag、Pd、Al、BiおよびZnからなる群から選ばれる1種の金属または当該金属を含む合金を用いることが好ましい。
中でも、セラミック電子部品1を配線基板に埋め込む場合、めっき層の最外層を構成する金属としては、Cu、Au、Ag、及びAlからなる群から選ばれる1種の金属または当該金属を含む合金を用いることが好ましい。埋め込みの際には外部電極13、14を狙って配線基板を貫通するレーザー光を照射することがあり、これらの金属はレーザー光を効率よく反射するためである。
めっき層の1層あたりの厚みは1〜10μmであることが好ましい。
本実施形態では、第1及び第2の外部電極13,14の第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bの一部は、有効部10Aと厚み方向Tに対向している。
第1及び第2の外部電極13,14の第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bのそれぞれの一部は、第1及び第2の主面10a、10bのそれぞれに埋め込まれている。このため、第1及び第2の主面10a、10bのそれぞれのうち、第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bが上に位置している部分は、第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bが上に位置していない部分よりも厚み方向において中央寄りに位置している。
第1及び第2の外部電極13,14の第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bのそれぞれの厚みをt(めっき層の厚みは含まない)とし、第1及び第2の外部電極13,14の第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bのそれぞれの第1及び第2の主面10a、10bのそれぞれに埋め込まれている部分の厚みをtとすると、本実施形態では、tとtとは、(1/10)t≦t≦(2/5)tを満たしている。このため、セラミック電子部品の薄型化と高い信頼性との両立が図られている。
が(1/10)t未満であると、第1及び第2の外部電極13,14の第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bとセラミック素体10との密着性が低くなりすぎ、第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bの剥離が生じやすくなり、信頼性が低くなる場合がある。また、tが(1/10)t未満であると、第1及び第2の外部電極13,14の第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bの埋め込まれていない部分の厚みtが大きくなりすぎ、セラミック電子部品の薄型化を十分に図れない場合がある。
一方、tが(2/5)・tよりも大きい場合は、セラミック電子部品の信頼性が低下してしまう場合がある。これは、第1及び第2の部分13a、13b、14a、14bが第1及び第2の主面10a、10bに埋め込まれる際に第1及び第2の内部電極11,12に大きな応力が付与され、第1及び第2の内部電極11,12が損傷してしまい、所望の容量が得られなかったり、短絡が生じてしまったりする場合があるためであると考えられる。
なお、本実施形態において、tは、例えば、3μm〜20μm程度とすることができる。
次に、本実施形態のセラミック電子部品1の製造方法の一例について説明する。
まず、セラミック素体10を構成するためのセラミック材料を含むセラミックグリーンシート20(図5を参照)を用意する。次に、図5に示すように、そのセラミックグリーンシート20の上に、導電性ペーストを塗布することにより、導電パターン21を形成する。なお、導電パターンの塗布は、例えば、スクリーン印刷法などの各種印刷法により行うことができる。導電性ペーストは、導電性微粒子の他に、公知のバインダーや溶剤を含んでいてもよい。
次に、導電パターン21が形成されていないセラミックグリーンシート20と、導電パターン21が形成されているセラミックグリーンシート20とを長さ方向Lに沿って適宜ずらしながら積層し、静水圧プレスなどの手段で積層方向にプレスすることにより、図6に示すマザー積層体22を作製する。
次に、図6に示すように、マザー積層体22の上に、第1及び第2の外部電極13,14の第1の導電層15の第1及び第2の部分13a、13bを構成している部分に対応した形状の導電パターン23を、スクリーン印刷法などの適宜の印刷法により形成する。
次に、マザー積層体22を再び静水圧プレスなどの手段で積層方向にプレスする。このプレス工程によって、導電パターン23の一部が埋め込まれる。導電パターン23の埋め込み量は、例えば、プレス量、プレス圧や、プレス時にマザー積層体22に接触する部材の硬度や弾性率を調整することによって行うことができる。
具体的には、例えば、対向する金型とマザー積層体22の両主面との間に、ゴムなどの弾性体を介在させないでマザー積層体22をプレスした場合には、導電パターン23の埋め込み量が大きくなる。それに対して、図7に示すように、対向する金型とマザー積層体22の両主面との間にゴムなどの弾性体24a、24bを接触させた状態でプレスを行った場合は、埋め込み量が相対的に小さくなる。そして、弾性体24a、24bの弾性率などを調整することによって埋め込み量を調整することができる。
次に、仮想のカットラインCLに沿ってマザー積層体22をカッティングすることにより、マザー積層体22から複数の生のセラミック積層体を作製する。なお、マザー積層体22のカッティングは、ダイシングや押切により行うことができる。
生のセラミック積層体作成後、バレル研磨などにより、生のセラミック積層体の稜線部及び稜線部の面取りまたはR面取り及び表層の研磨を行うようにしてもよい。
その後、生のセラミック積層体の両端面に、例えば、ディップ法などにより、導電性ペーストを塗布する。これにより、セラミック積層体の両端面にも導電性ペースト層を形成する。
次に、生のセラミック積層体の焼成を行う。この焼成工程において、上記形成の導電性ペースト層が同時焼成される(コファイア)。なお、焼成温度は、使用するセラミック材料や導電性ペーストの種類により適宜設定することができる。焼成温度は、例えば、900℃〜1300℃程度とすることができる。
その後、必要に応じて、バレル研磨などの研磨を行う。
同時焼成された導電性ペースト層の上にめっきを施すことにより第1及び第2の外部電極13,14を完成させる。
以下、本発明を実施した好ましい形態の他の例について説明する。以下の説明において、上記第1の実施形態と実質的に同様の機能を有する部材を同じ符号で参照し、説明を省略する。
(第2の実施形態)
図8は、第2の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。
上記第1の実施形態では、第1及び第2の主面10a、10bのそれぞれの上に第1及び第2の外部電極13,14が形成されている例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。本発明においては、少なくとも一つの外部電極が第1の主面10aの上に形成されていればよい。
例えば、図8に示すように、第1及び第2の外部電極13,14は、第1または第2の端面10e、10fと、第1の主面10aとを覆うように形成されていてもよい。すなわち、第1及び第2の外部電極13,14は、第1の部分13a、14aを有しており、かつ第1または第2の内部電極11,12に電気的に接続されている限りにおいて、その形状は特に限定されない。
(第3の実施形態)
図9は、第3の実施形態に係るセラミック電子部品の略図的斜視図である。
上記第1の実施形態では、第1及び第2の内部電極11,12を第1または第2の端面10e、10fに引き出すと共に、第1及び第2の端面10e、10fの上に、第1または第2の外部電極13,14を形成することにより、第1及び第2の内部電極11,12を第1または第2の外部電極13,14と電気的に接続する例について説明した。但し、本発明は、この構成に限定されない。
例えば、図9に示すように、ビアホール電極25a、25bを形成し、第1及び第2の内部電極11,12を第1及び第2の主面10a、10bに引き出し、第1及び第2の主面10a、10bにおいて、第1及び第2の外部電極13,14と電気的に接続させてもよい。この場合は、第1及び第2の外部電極13,14は、第1及び第2の主面10a、10bの少なくとも一方に形成されていればよく、第1及び第2の側面10c、10dや第1及び第2の端面10e、10fの上には、第1及び第2の外部電極13,14は、必ずしも形成されていなくてもよい。
(実施例1)
下記の条件で、上記第1の実施形態のセラミック電子部品1と同様の構成を有する、セラミックコンデンサとしてのセラミック電子部品を、上記第1の実施形態に記載の製造方法で、100個作製した。本実施例では、t=1.4μm、t=1/10tとした。
(実施例1の条件)
セラミック電子部品の寸法:長さ1mm、幅0.5mm、厚み0.15mm
セラミック電子部品の容量:100pF
セラミック素体の組成:BaTiO
外部電極:厚み14μmのNiからなる膜(t=14μm)
第1のめっき膜:厚み4μmのCuからなるめっき膜(外部電極上に形成)
第2のめっき膜:厚み3.5μmのCuからなるめっき膜(第1のめっき膜上に形成) 焼成最高温度:1200℃
弾性体24a、24bの厚み:0.1mm
プレス圧:70MPa
(実施例2)
弾性体24a、24bの厚みを0.1mmとし、プレス圧を77.2MPaとし、t=3.5μm、t=(1/4)tとしたこと以外は、上記実施例1と同様にしてセラミック電子部品を100個作製した。
(実施例3)
弾性体24a、24bの厚みを0.1mmとし、プレス圧を100MPaとし、t=5.6μm、t=(2/5)・tとしたこと以外は、上記実施例1と同様にしてセラミック電子部品を100個作製した。
(比較例1)
弾性体24a、24bの厚みを0.2mmとし、プレス圧を50MPaとし、図10に示すように、外部電極を埋め込まず、t=0としたこと以外は、上記実施例1と同様にしてセラミック電子部品を100個作製した。
(比較例2)
弾性体24a、24bに替えて剛体を用い、プレス圧を77.2MPaとし、t=7.0μm、t=(1/2)tとしたこと以外は、上記実施例1と同様にしてセラミック電子部品を100個作製した。
なお、比較例の説明において、説明の便宜上、上記第1の実施形態と実質的に共通の機能を有する部材を共通の符号で参照している。
(接合強度試験)
上記実施例1〜4及び比較例1〜3のそれぞれにおいて作製した100個のセラミック電子部品について、第1及び第2の外部電極の第1及び第2の部分のそれぞれを、光学顕微鏡を用いて観察し、剥離の有無を検査した。下記の表1に、剥離が観察されたサンプルの個数を示す。
(静電容量試験)
上記実施例1〜4及び非隔離1〜3のそれぞれにおいて作製した100個のセラミック電子部品から任意に抽出した各30個について、アジレント社製Cメーター4278Aを用いて静電容量を測定し、静電容量が狙いの静電容量(100pF)に達しているか否かを検査した。下記の表1に、静電容量が狙いの静電容量(100pF)に達していなかったサンプルの個数を示す。
Figure 0005533387
上記表1に示す結果から、(1/10)t≦t≦(2/5)tとすることにより、高い信頼性が得られることがわかる。
1…セラミック電子部品
10…セラミック素体
10A…有効部
10a…第1の主面
10b…第2の主面
10c…第1の側面
10d…第2の側面
10e…第1の端面
10f…第2の端面
10g…セラミック層
11…第1の内部電極
12…第2の内部電極
13…第1の外部電極
13a…第1の部分
13b…第2の部分
13c…第3の部分
14…第2の外部電極
14a…第1の部分
14b…第2の部分
14c…第3の部分
15…第1の導電層
20…セラミックグリーンシート
21…導電パターン
22…マザー積層体
23…導電パターン
24a、24b…弾性体
25a、25b…ビアホール電極

Claims (2)

  1. 長さ方向及び幅方向に沿って延びており、互いに対向する第1及び第2の主面と、長さ方向及び厚み方向に沿って延びており、互いに対向する第1及び第2の側面と、幅方向及び厚み方向に沿って延びており、互いに対向する第1及び第2の端面とを有する直方体状のセラミック素体と、
    前記セラミック素体の内部において、少なくとも一部同士が厚み方向に対向するように形成されている第1及び第2の内部電極と、
    前記第1の主面上の長さ方向の一方側端部に形成された第1の部分を有し、前記第1の内部電極に電気的に接続されている第1の外部電極と、
    前記第1の主面上の長さ方向の他方側端部に形成された第1の部分を有し、前記第2の内部電極に電気的に接続されている第2の外部電極と、
    を備え、
    前記第1及び第2の外部電極上にはめっき層が形成されており、
    前記第1及び第2の内部電極が厚み方向に対向している部分により、所定の電気的特性を発現する有効部が構成され、
    前記第1及び第2の外部電極のそれぞれの前記第1の部分は、前記有効部と厚み方向に対向しており、
    前記第1及び第2の外部電極のそれぞれの前記第1の部分は、厚み方向に沿って前記セラミック素体内部に埋め込まれており、
    前記第1及び第2の外部電極のそれぞれの前記第1の部分の厚みをtとし、前記第1及び第2の外部電極のそれぞれの前記第1の部分が前記セラミック素体内部に埋め込まれている部分の厚みをtとしたときに、(1/10)t≦t≦(2/5)tである、セラミックコンデンサ
  2. 前期第1及び第2の外部電極が無機結合材を含んでいることを特徴とする、請求項1に記載のセラミックコンデンサ。
JP2010164114A 2010-07-21 2010-07-21 セラミック電子部品 Active JP5533387B2 (ja)

Priority Applications (5)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010164114A JP5533387B2 (ja) 2010-07-21 2010-07-21 セラミック電子部品
KR20110070806A KR101173420B1 (ko) 2010-07-21 2011-07-18 세라믹 전자부품
US13/187,617 US8804302B2 (en) 2010-07-21 2011-07-21 Ceramic electronic component
CN2011102052863A CN102347131B (zh) 2010-07-21 2011-07-21 陶瓷电子零件
US14/320,770 US9378874B2 (en) 2010-07-21 2014-07-01 Ceramic electronic component

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2010164114A JP5533387B2 (ja) 2010-07-21 2010-07-21 セラミック電子部品

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012028458A JP2012028458A (ja) 2012-02-09
JP5533387B2 true JP5533387B2 (ja) 2014-06-25

Family

ID=45493031

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2010164114A Active JP5533387B2 (ja) 2010-07-21 2010-07-21 セラミック電子部品

Country Status (4)

Country Link
US (2) US8804302B2 (ja)
JP (1) JP5533387B2 (ja)
KR (1) KR101173420B1 (ja)
CN (1) CN102347131B (ja)

Families Citing this family (33)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE102011010611A1 (de) * 2011-02-08 2012-08-09 Epcos Ag Elektrisches Keramikbauelement mit elektrischer Abschirmung
JP5929279B2 (ja) * 2012-02-10 2016-06-01 Tdk株式会社 積層コンデンサ
KR102029469B1 (ko) * 2012-02-17 2019-10-07 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자 부품 및 그 제조 방법
JP2013183029A (ja) * 2012-03-01 2013-09-12 Ibiden Co Ltd 電子部品内蔵配線板及びその製造方法
JP5765318B2 (ja) 2012-11-07 2015-08-19 株式会社村田製作所 セラミック電子部品
KR20140085097A (ko) 2012-12-27 2014-07-07 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터 및 그 제조 방법
US9287049B2 (en) * 2013-02-01 2016-03-15 Apple Inc. Low acoustic noise capacitors
JP5689143B2 (ja) 2013-03-19 2015-03-25 太陽誘電株式会社 低背型積層セラミックコンデンサ
JP6112027B2 (ja) 2013-03-26 2017-04-12 株式会社村田製作所 セラミック電子部品及びセラミック電子部品内蔵配線基板
JP2014207254A (ja) * 2013-04-10 2014-10-30 株式会社村田製作所 セラミック電子部品
KR101525662B1 (ko) 2013-04-26 2015-06-03 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품 및 적층 세라믹 전자부품 실장 기판
KR102061507B1 (ko) * 2013-05-31 2020-01-02 삼성전기주식회사 적층 세라믹 전자부품 및 적층 세라믹 전자부품 실장 기판
KR101508540B1 (ko) 2013-08-09 2015-04-06 삼성전기주식회사 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품 및 적층 세라믹 전자부품 내장형 인쇄회로기판
KR101499726B1 (ko) 2014-01-24 2015-03-06 삼성전기주식회사 적층 세라믹 커패시터 및 그 실장 기판
KR101641574B1 (ko) * 2014-02-03 2016-07-22 삼성전기주식회사 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품, 그 제조방법 및 적층 세라믹 전자부품 내장형 인쇄회로기판
JP6380162B2 (ja) 2014-05-09 2018-08-29 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品
JP2015228482A (ja) 2014-05-09 2015-12-17 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品の実装構造体
KR101630043B1 (ko) * 2014-06-26 2016-06-13 삼성전기주식회사 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품, 그 제조방법 및 적층 세라믹 전자부품 내장형 인쇄회로기판
DE102014112678A1 (de) * 2014-09-03 2016-03-03 Epcos Ag Elektrisches Bauelement, Bauelementanordnung und Verfahren zur Herstellung eines elektrischen Bauelements sowie einer Bauelementanordnung
JP6378122B2 (ja) * 2014-12-05 2018-08-22 太陽誘電株式会社 積層セラミック電子部品
JP2016181597A (ja) * 2015-03-24 2016-10-13 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
KR101884392B1 (ko) * 2015-03-30 2018-08-02 다이요 유덴 가부시키가이샤 적층 세라믹 콘덴서
JP6436921B2 (ja) * 2015-03-30 2018-12-12 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
JP6632808B2 (ja) 2015-03-30 2020-01-22 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
JP2018098327A (ja) * 2016-12-13 2018-06-21 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法
JP7302940B2 (ja) * 2017-01-27 2023-07-04 太陽誘電株式会社 積層セラミック電子部品
JP7043743B2 (ja) * 2017-05-29 2022-03-30 Tdk株式会社 積層電子部品
KR102059443B1 (ko) * 2017-09-06 2019-12-27 삼성전기주식회사 적층형 커패시터 및 그 실장 기판
JP2020021930A (ja) * 2018-07-24 2020-02-06 Tdk株式会社 積層セラミック電子部品
KR102109637B1 (ko) * 2018-08-21 2020-05-12 삼성전기주식회사 적층형 커패시터
JP2019009463A (ja) * 2018-09-14 2019-01-17 太陽誘電株式会社 積層セラミックコンデンサ
JP7425959B2 (ja) 2019-07-09 2024-02-01 Tdk株式会社 電子部品
JP7099434B2 (ja) * 2019-11-29 2022-07-12 株式会社村田製作所 コイル部品

Family Cites Families (17)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH10112417A (ja) * 1996-10-07 1998-04-28 Murata Mfg Co Ltd 積層セラミック電子部品及びその製造方法
JPH11195554A (ja) * 1997-10-02 1999-07-21 Matsushita Electric Ind Co Ltd 積層型セラミック電子デバイス及びその製造方法
JP3956703B2 (ja) * 2002-01-07 2007-08-08 株式会社村田製作所 積層型セラミック電子部品の製造方法
JP4547876B2 (ja) * 2003-07-25 2010-09-22 株式会社村田製作所 積層型セラミック電子部品の製造方法
US7206187B2 (en) * 2004-08-23 2007-04-17 Kyocera Corporation Ceramic electronic component and its manufacturing method
TWI287811B (en) * 2005-02-04 2007-10-01 Murata Manufacturing Co Multilayer ceramic capacitor and method for manufacturing the same
CN102290174A (zh) * 2005-02-08 2011-12-21 株式会社村田制作所 表面安装型负特性热敏电阻
TWI245323B (en) * 2005-04-15 2005-12-11 Inpaq Technology Co Ltd Glaze cladding structure of chip device and its formation method
JP2007042743A (ja) * 2005-08-01 2007-02-15 Tdk Corp 積層電子部品
JP2008205073A (ja) * 2007-02-19 2008-09-04 Matsushita Electric Ind Co Ltd セラミックコンデンサ
KR101229823B1 (ko) * 2007-02-26 2013-02-05 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 유전체 세라믹, 및 적층 세라믹 콘덴서
JP2009246052A (ja) 2008-03-29 2009-10-22 Taiyo Yuden Co Ltd 積層電子部品及びその製造方法
JP5217584B2 (ja) 2008-04-07 2013-06-19 株式会社村田製作所 積層セラミック電子部品
JP5287658B2 (ja) * 2008-11-14 2013-09-11 株式会社村田製作所 セラミック電子部品
JP4752901B2 (ja) 2008-11-27 2011-08-17 株式会社村田製作所 電子部品及び電子部品内蔵基板
JP4962593B2 (ja) 2010-04-22 2012-06-27 株式会社村田製作所 積層型セラミック電子部品
JP2012164966A (ja) * 2011-01-21 2012-08-30 Murata Mfg Co Ltd セラミック電子部品

Also Published As

Publication number Publication date
US20140312743A1 (en) 2014-10-23
US8804302B2 (en) 2014-08-12
CN102347131B (zh) 2013-08-28
CN102347131A (zh) 2012-02-08
US20120019099A1 (en) 2012-01-26
KR101173420B1 (ko) 2012-08-10
KR20120010148A (ko) 2012-02-02
US9378874B2 (en) 2016-06-28
JP2012028458A (ja) 2012-02-09

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5533387B2 (ja) セラミック電子部品
TWI501272B (zh) 陶瓷電子零件
JP5736982B2 (ja) セラミック電子部品
JP5777302B2 (ja) セラミック電子部品の製造方法、セラミック電子部品及び配線基板
JP5423586B2 (ja) セラミック電子部品
JP5246215B2 (ja) セラミック電子部品及び配線基板
KR102077617B1 (ko) 적층 세라믹 콘덴서
JP5362033B2 (ja) 積層型セラミックコンデンサ
JP2015109410A (ja) セラミック電子部品及びセラミック電子部品の製造方法
KR101565645B1 (ko) 적층 커패시터 소자
JP2015026840A (ja) セラミック電子部品及びテーピング電子部品連
JP2010165910A (ja) セラミック電子部品
JP2011135036A (ja) 積層セラミックキャパシタ及びその製造方法
JP5811114B2 (ja) 電子部品
JP2014207254A (ja) セラミック電子部品
JP2015111652A (ja) 電子部品
JP5724262B2 (ja) 電子部品
JP2016072485A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2019040943A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP6301629B2 (ja) 積層型電子部品
JP2008166301A (ja) 電子部品及びその実装構造
JP6029491B2 (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法
JP2016072487A (ja) 積層セラミックコンデンサ
JP2013070024A (ja) 積層セラミック電子部品の製造方法

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20130517

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20140121

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20140122

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20140313

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140401

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5533387

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140414