JP4698025B2 - 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 - Google Patents
真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4698025B2 JP4698025B2 JP2000572927A JP2000572927A JP4698025B2 JP 4698025 B2 JP4698025 B2 JP 4698025B2 JP 2000572927 A JP2000572927 A JP 2000572927A JP 2000572927 A JP2000572927 A JP 2000572927A JP 4698025 B2 JP4698025 B2 JP 4698025B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- workpiece
- chuck
- voltage
- plasma
- glass
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/6831—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using electrostatic chucks
- H01L21/6833—Details of electrostatic chucks
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10T—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
- Y10T279/00—Chucks or sockets
- Y10T279/23—Chucks or sockets with magnetic or electrostatic means
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Chemical Vapour Deposition (AREA)
- Jigs For Machine Tools (AREA)
- Drying Of Semiconductors (AREA)
Description
(発明の分野)
本発明は、一般に、加工中に誘電体工作物を所定の位置に保持するための静電チャックを含む真空プラズマ・プロセッサに関し、より詳細には、複数のデチャッキング加工ステップの少なくとも1つが工作物のある決定された抵抗の範囲に応じて実行されるそのような方法に関する。
【0002】
本発明の追加の態様は、静電チャックによって誘電体工作物に印加される電圧が、加工される工作物を締め付けるために十分に高いが、チャックから工作物を解放するのを援助するために工作物加工中に時間に応じて低下するそのようなプロセッサに関する。
【0003】
本発明の別の態様は、誘電体ガラス工作物用に特に設計された静電チャックが、チャックから工作物を解放するのを援助するために工作物に印加される逆極性電圧を有するそのようなプロセッサに関する。
【0004】
本発明の別の態様は、静電チャックからの誘電体工作物のデチャッキングが、加工の完了時に工作物抵抗率の大きな増大を防ぐことによって容易になるそのようなプロセッサに関する。
【0005】
本発明の追加の態様は、誘電体チャックから誘電体工作物を取り外したときに得られる電流パルスの振幅が、チャックによって少なくとも1つの後で加工される工作物に印加される逆デチャッキング電圧の振幅および/または持続時間を制御するデチャッキング方法および装置に関する。
【0006】
(背景技術)
真空プラズマ・プロセッサは、プラズマ加工される露出表面、すなわちプラズマがエッチングしかつ/またはプラズマが材料を堆積させる表面を有する工作物を保持するための工作物ホルダ、すなわちチャックを含有する真空チャンバを含んでいる。エッチングおよび堆積は、とりわけ、1つまたは複数の適切なガスをチャンバ中に導入すること、およびガスに高周波電界を印加することによって生じるチャンバ中の低インピーダンス・プラズマ中のイオンによって達成される。
【0007】
工作物温度は、ヘリウムなど不活性伝熱ガスを工作物の裏面に当てることによって制御される。伝熱ガスは、工作物と、水によって冷却されるチャックとの間の熱接触を改善する。一般に、工作物は、電気伝導材料(すなわち金属)、半導体または誘電体ガラス・シートから製造された比較的薄い基板プレートである。工作物は、工作物裏面を押す伝熱ガスの圧力に対して工作物を所定の位置に保持するためにチャックに締め付けられなければならない。
【0008】
誘電体ガラス・シートの真空プラズマ加工は、フィートで測定される比較的大きい寸法をもつパネルを有するフラット・パネル・ディスプレイで大きな重要性を呈している。1995年10月13日出願のShufflebotham他の同時係属の共通に譲渡される出願第08/542,959号「Electrostatic Clamping Method and Apparatus for Dielectric Workpieces in Vacuum Proceessors」には、基準電位にある壁を有する真空プラズマ・プロセッサ・チャンバ中で誘電体工作物を静電チャックに締め付けることが開示されている。誘電体ガラス工作物を締め付けるために、低インピーダンス・プラズマは、比較的高い電圧がチャックの金属電極プレートに印加される間にプラズマに露出される工作物の表面上に入射しなければならない。電極は、ほぼ基準電位にある静電荷が低インピーダンス・プラズマによって工作物露出表面に当てられる間、プラズマとはかなり異なる電圧にある。それにより、静電力が工作物とチャックの間に生じて、工作物をホルダに締め付ける。
【0009】
上述の出願に開示されているモノポーラ電極構成では、DC電圧(好ましくは負であるが、必ずしも必要ではない)が好ましくは金属電極プレート上の陽極処理層として形成される好ましくは薄い保護絶縁物を介して、金属プレートに、したがって工作物に印加される。負電圧は、ガラスの上面上に定着する正味の正電荷をプラズマから引き付ける。金属電極上の負電荷とガラス基板(すなわち工作物)上の正電荷との間の引き付け力は、ガラスを締め付ける。したがって、電極に印加されるDC電圧と、工作物露出面上のほぼDC基準電圧との間の電圧差によって、チャック上に基板を保持するのに十分な静電締め付け力が工作物の厚さを介して加えられる。
【0010】
上述の出願に開示されている方法および装置は、フラット・パネル・ディスプレイに使用されるパネルなど、ガラス誘電体工作物の多数の商業状況においてうまく使用されている。ただし、いくつかのフラット・パネル・ディスプレイ製造業者のガラス誘電体工作物を加工する際に、上述の出願の方法および装置を使用したとき、工作物が静電チャックに粘着し、解放すなわちデチャッキングができなかった。デチャッキングは、チャックを介して持ち上げられて工作物の底面に係合するピンを通常含んでいる機械式機構を用いて、チャックから工作物を持ち上げることによって実行される。この機構は、チャックから工作物を解放するためにチャックが工作物に加える力よりも大きい力を工作物に及ぼさなければならない。しかしながら、工作物によって及ぼされる力は、工作物破壊、例えば破断、割れまたは永久的曲げを防ぐために十分に小さくなければならない。
【0011】
元々、デチャッキングができないのは、静電チャックの誤動作に原因があると考えられていた。しかしながら、満足に機能することが分かっているチャックを有するプロセッサ中に同じガラス工作物を入れたとき、工作物はまだデチャッキングすることができなかった。我々の調査によって、デチャッキングすることができないガラス工作物は、従来技術の静電チャックからうまくデチャッキングされるガラス工作物とは異なる受動的電気特性を有することが分かった。本発明は、とりわけ、フラット・パネル・ディスプレイとして使用される異なるガラス工作物が異なる受動的電気特性、特に抵抗率を有しており、これが静電チャックからのデチャッキングに影響を及ぼすことが分かったことに基づくものである。
【0012】
過去において、静電チャックから半導体ウエハをデチャッキングする際に問題に遭遇している。ガラス工作物および半導体工作物のためのウエハ・チャッキング構造は、どちらも工作物を担持する絶縁体によって覆われた金属電極を含んでいるという点で類似している。工作物底面およびJohnsen−RahbekGap(ジョンソン−ラーベック・ギャップ)と呼ばれる絶縁体上面の非接触部分の間の真空中の空間は、異なるタイプの工作物をチャッキングするための機構の分析において考慮される。シリコン・ウエハが静電チャックに粘着された状態になり得るいくつかの状態があるが、ただ1つの方法(ウエハ底面と絶縁層の上面との間に形成されるコンデンサ上に残っている残留電荷)が本発明の背景の議論に関連すると考えられる。
【0013】
半導体工作物をチャッキングするための機構は、誘電体工作物のそれとはかなり異なる。その機構は、半導体ウエハ用の静電チャックに印加される電圧よりもかなり高い電圧を誘電体工作物用の静電チャックに印加しなければならないような機構である。シリコン・ウエハは電極の上面とウエハの底面の反対の極性の電荷の相互引き付けのために締め付けを行うので、高抵抗率ガラス基板用の静電チャックはシリコン・ウエハ用の静電チャックよりも高い電圧を必要とする。これらの電荷は、チャック電極上の比較的薄い誘電体層によって分離される。一方、ガラス・パネルは、チャック電極上とガラス・パネル上の電荷の相互引き付けによって所定の位置に保持される。これらの電荷は、電極上の誘電体コーティングの厚さよりもはるかに大きいガラス・パネルの厚さによって分離される。比較的低抵抗率の半導体ウエハの電極と底面との間のコンデンサの厚さよりも、電極とチャッキングされる誘電体シートの上面との間のコンデンサを形成する誘電体の厚さのほうが大きいので、ガラス・パネルはウエハよりも大きいチャッキング電圧を必要とする。
【0014】
半導体ウエハ用のチャックの金属電極に印加される負電圧はプラズマから正電荷を引き付ける。正電荷は、露出したウエハ上面上に止まる。半導体材料は、金属の抵抗率と比較して高い抵抗率を有するが、半導体材料の抵抗率は、フラット・パネル・ディスプレイのガラスなど、誘電体の抵抗率よりもはるかに低い。シリコン・ウエハの最大抵抗率は約1オーム・メートルであり、したがって正電荷がウエハの上面と底面の間を移動するための時定数は約1ミリ秒よりも小さい。1ミリはウエハ加工に必要な一般的な時間よりもはるかに短い時間であるので、ウエハ中のこの電荷移動は瞬時に起こると考えられる。
【0015】
同様に、高抵抗率ガラス誘電体シートの露出した上面上の電荷は、ガラス中をガラスの上面からガラス底面まで移動する傾向がある。高抵抗率ガラスの抵抗率は(約1オーム・メートルと比較して、約1015オーム・メートルよりも大きい)シリコン・ウエハの抵抗率よりもはるかに高いので、高抵抗率ガラス中の電荷移動の時間スケールは約1週間である。高抵抗率誘電体中の電荷移動時間はガラス工作物の代表的な加工時間よりもはるかに長いので、高抵抗率ガラス中の電荷移動は無視することができる。
【0016】
これらの状況(半導体ウエハと高抵抗率誘電体工作物)の両方において、工作物のチャッキングおよびデチャッキングは、必要な電荷を得るためにチャック電極に印加されるDC電圧の発生源の能力によって決定される(一般に1または2秒未満)時間スケールで行われる。したがって、半導体工作物と高抵抗率ガラス工作物のチャッキングおよびデチャッキングは、工作物の上面と底面の間を移動する電荷の非常に速いまたは非常に遅い時間スケールに依存しない。どちらの場合も、工作物の上面と底面の間の電荷分布は工作物加工時間中に固定であると考えることができる。以下で論じるように、低および中抵抗率(すなわち約108オーム・メートルと1014オーム・メートルの間)を有する誘電体工作物の上面と底面の間の電荷分布は、工作物加工中に固定であると考えることができない。
【0017】
Birangらの5,612,850と同じ開示を有すると思われるBirangらの5,459,632には、モノポーラ・チャック電極に印加されるデチャッキング電圧が、工作物をチャック位置に維持するために使用される電圧の極性と同じ極性を有する半導体ウエハ・デチャッキング方法が開示されている。デチャッキング電圧は、チャックと工作物の間の静電引き付け力を最小限に抑えるためにチャッキング電圧とは異なる大きさを有する。デチャッキング電圧の「最適な」値は経験的に決定される、すなわち工作物が最初にチャックに取り付けられるときに生成される電流パルスの振幅を監視することによって決定される。
【0018】
工作物を最初にチャックに付けるときに工作物および誘電体の中を流れる電流パルスの振幅を監視することは、ガラス誘電体工作物の加工には適用できない。これは、工作物が最初にチャックに置かれるときに静電チャックと誘電体工作物の間に電流が流れないためである。ガラス・パネルの場合、新しいパネルを最初に静電チャック上に下げたときに、電流パルスは生じない。これは、前に加工された誘電体工作物を静電チャックから取り外したときに、残留粘着電荷がその誘電体工作物とともに離れたためである。
【0019】
Birangらの米国特許第5,491,603に指摘されているように、他の2つのBirangらの特許に開示されている方法は、持続時間の非常に短い電気パルスの精密な測定を必要とする。そのような精密な測定手順を回避するために、’603特許には、チャックに静電電位を印加し、次いでウエハとチャックの間にガスを導入し、次いでウエハとチャックの間からのガス漏れ率を観測しながらチャックの静電電位を下げることによって、「最適な」電圧を計算する若干複雑な方法が開示されている。最適なデチャッキング電圧は、漏れ率が所定のしきい値を超えたときに起こる静電電位の値としてメモリに記憶される。計算された最適な電圧は、プラズマがオフにされたときかまたはその後にチャックに見かけ上印加される。プラズマがオフにされた後、ウエハがチャックから持ち上げられる。’603特許には、加工中にチャックを介して工作物に当てられるガスの流量に応答して、ウエハ加工中にチャックに印加されるチャッキング電圧を制御することは開示されていない。’603特許には、チャックによってウエハに加えられる力をプラズマによるウエハ加工中にほぼ一定に維持することは開示されていない。
【0020】
半導体ウエハ用のモノポーラ・チャックを対象としたBirangらの3つのすべての特許では、半導体ウエハは電流を伝導し、工作物と静電チャックの間の残留締め付け力を引き起こす捕獲電荷は、工作物とチャック誘電体層の上面との間の真空ギャップ中に伝導される。半導体ウエハ伝導特性のために、工作物をチャックに保持する捕獲電荷は工作物底面とチャック電極の間に存在する。反対に、ガラス誘電体工作物では、電荷の大部分は、ガラス誘電体工作物の上面と底面の間で、工作物自体の中に捕獲される。
【0021】
Watanabeらの米国特許第5,117,121号には、バイポーラ静電チャックから半導体ウエハを解放する方法が開示されている。半導体ウエハ工作物をバイポーラ・チャックに締め付けるために、所定の振幅と極性とを有するDC電圧を2つのチャック電極の間に印加する。Watanabeらの工作物は半導体ウエハであるので、捕獲電荷の大部分はウエハ底面とチャック電極の間にある。工作物の対向する面の間に捕獲される電荷はほとんどない。
【0022】
DC電圧による締め付けの後、そして工作物をチャックから取り外す前に、第1の電圧の極性と反対の極性を有する第2の電圧をチャック電極に印加して、チャックが半導体工作物に加えている残留引き付け力をなくす。第2の電圧は、第1の極性の電圧の振幅よりも1.5倍から2倍大きい振幅を有する。第2の電圧は、第2の電圧の振幅に反比例する時間期間の間、バイポーラ電極に連続的に印加される。見かけ上、第1および第2の電圧の振幅は経験的に決定される。いずれにせよ、第1および第2の電圧の振幅は、誘電体ガラス工作物の受動的電気インピーダンス特性の分析によっては決定されない。
【0023】
したがって、本発明の目的は、真空プラズマ・プロセッサ中で工作物を静電的にチャッキングおよびデチャッキングするための新規の改善された方法および装置を提供することである。
【0024】
本発明の他の目的は、加工中に、チャックが工作物に及ぼす締め付け力が、チャック内をワークピースまで流れる冷却ガスによってワークピースがチャックに対して移動する傾向を克服するのに十分である真空プラズマ・プロセッサ中で、特にフラット・パネル・ディスプレイとして使用されるように構成された誘電体ガラス工作物を静電的にチャッキングおよびデチャッキングするための新規の改善された方法および装置を提供することである。
【0025】
本発明のさらに他の目的は、工作物が迅速にデチャッキングされるために工作物を処理する能力が増大する、すべてのタイプの誘電体ガラス工作物用の真空プラズマ・プロセッサ中で使用される新規の改善された方法および装置を提供することである。
【0026】
本発明のさらに他の目的は、工作物の受動的な電気パラメータの分析的分析に基づいて静電チャックからガラス誘電体工作物をデチャッキングする新規の改善された方法および装置を提供することである。
【0027】
さらに本発明の追加の目的は、静電チャックからのデチャッキング中に工作物から取り除かれるべき電荷の量を決定する新規の改善された方法および装置を提供することである。
【0028】
(発明の概要)
本発明は、基準電位の金属壁と、電気絶縁体によって覆われた面を有する電極を備える静電チャックを有する真空プラズマ・プロセッサ・チャンバのプラズマによる誘電体工作物の処理に適用可能である。処理は、工作物がチャック上にある間、DCチャッキング電圧を電極に印加した後、実施される。プラズマは、プラズマが照射する工作物の前面が、基準電位とほぼ同じ電位であるように、十分に低い電気インピーダンスを有する。気体ヘリウムなど、プラズマに曝露されていない工作物の背面に供給された熱交換流体は、工作物がプラズマで処理されている間、工作物の温度を制御することを支援する。一般に、熱交換流体は、工作物と、比較的温度の低いチャック(これは流体によって冷却される)の間で、熱を伝導することによって工作物を冷却する。流体は、工作物をチャックに対して移動させる傾向を有する。チャッキング電圧は、工作物に対してチャッキング力を生成し、工作物をチャックに対して移動させる流体の傾向を克服する。
【0029】
抵抗率を含む、加工物および絶縁体の受動的電気特性は、測定またはサプライヤによって決定され、工作物の加工中に一定なDCチャッキング電圧が電極に印加される場合、増大するチャッキング力が工作物に供給される、というものである。チャッキング力は、工作物の照射されている面とチャック電極の間で泳動するプラズマの電荷から生じる。電荷は、工作物の中を通過し、工作物、ジョンソン−ラーベック・ギャップ、および絶縁層に蓄えられる。
【0030】
本発明のある態様によれば、抵抗率を含む、決定された受動電気特性に依存する1つまたは複数のデチャッキング・プロセスのステップが選択される。選択した1つまたは複数のプロセス・ステップは、加工物に対して増大するチャッキング力を生成する傾向を克服する。次いで、加工物の処理が完了したとき、チャックから加工物を除去することを支援するように、選択した1つまたは複数のデチャッキング・プロセス・ステップが実行される。
【0031】
誘電体加工物が、低抵抗率または中間抵抗率を有する場合、前記デチャッキング・ステップは、それに応じて選択されなければならない。シリコン・ウエハおよび高抵抗率ガラスの場合のように、チャックの電極電圧は(通常の状況では負であるが、正であることも可能である)、反対の極性の電荷を、プラズマから低抵抗率または中間抵抗率ガラスの照射された上面に引きつける。チャック電極上の電荷と誘電体工作物の間の引力は、工作物の処理中、工作物を適切な位置に保持する。シリコン・ウエハおよび高抵抗率ガラスの場合のように、低抵抗率または中間抵抗率ガラス上の電荷は、ガラスを通過して、上面から底面に移動する傾向を有する。
【0032】
低抵抗率および中間抵抗率ガラスの抵抗率は、約108から1014オーム・メートルの範囲にあるので、電荷の時定数は、約1から5000秒の範囲にある。この時定数の範囲は、作業処理時間のおよその長さを含むので、低抵抗率および中間抵抗率ガラス工作物の上面および底面上の電荷分布は、工作物の処理中に変化する可能性がある。
【0033】
低抵抗率および中間抵抗率ガラス工作物をチャックするために、DC電圧を初めに静電チャックの電極に印加した直後には、曝露されたガラス面上に堆積したプラズマの電荷は、基本的に依然として上面上にあり、クランピングは、高抵抗率ガラスのものに類似している。例えば低抵抗率および中間抵抗率ガラス工作物の処理に必要な時間の長さなど、十分に長い時間電圧を電極に印加した後、ガラス工作物の上面と底面の間に、電荷分布のある定常状態が存在する。しかし、チャック絶縁層とジョンソン−ラーベック・ギャップの組み合わせた抵抗が(絶縁層とギャップは、直列回路にあると見なすことができる)、ガラスの抵抗より大きいという我々の観察に基づくと、ほとんどの電荷は工作物の底面にある。したがって、同じ印加チャッキング電圧に対して、長時間電極に通電した後では、短時間電極に通電したときの状況より、クランピング力は大きくなる。これは、長時間電極に通電した後では、短時間電極に通電した状況より、電荷の全量(ガラス上では負、電極上では正)が多いからである。
【0034】
チャックのクランピング力は、2乗した電荷の量にほぼ比例するので、時間の経過と共に増大するクランピングの効果(すなわち力)は相当なものである。低抵抗率または中間抵抗率ガラスの底面上の電荷の量は、高抵抗率ガラスより大きい。これは、そのような低抵抗率および中間抵抗率ガラスでは、電極とガラスの底面との間の静電容量は、電極とガラスの上面との間の静電容量より大きいという我々の観察による。キャパシタに蓄えられた電荷の量は、キャパシタの静電容量に比例するので(同じ印加された電圧に対し)、初めにチャックの電極に電圧を印加してから、時間が経過するにつれて、低抵抗率または中間抵抗率ガラス工作物に対するクランピング力は、高抵抗率ガラス工作物よりかなり大きくなる。
【0035】
電荷分布は、低抵抗率または中間抵抗率ガラス工作物の処理中に、はっきり認識できる程度に変化するので、一定のDC電圧を静電チャックに印加する場合、クランピング力は処理中に増大する。高抵抗率ガラス、すなわち1015オーム・メートルを超える抵抗率を有するガラスに対しては、チャッキング電圧が電極に印加されるときにプラズマによって照射されたガラスの上面上に堆積した電荷は、電圧をオフにするとき、プラズマによって容易におよび迅速に除去される。したがって、高抵抗率ガラス工作物は、容易におよび迅速にデチャックされる。しかし、低抵抗率および中間抵抗率のガラスに対しては、電極の上面と工作物の底面との間の静電容量および工作物の上面と底面との間の抵抗によって決定された時定数で、工作物の上面から工作物の底面にガラス工作物を通過して伝導された電荷は、通常、同じ時定数で、逆方向にガラスから離れるように伝導される。この時定数は、通常1と5000秒の間であり、チャックの電極に印加されていた電圧をオフにした後、認識可能な時間の間、低抵抗率および中間抵抗率ガラス工作物を静電チャックに固着させるのに十分な長さである。
【0036】
可能なデチャッキング・プロセスのステップの1つは、工作物の処理中に、電極と絶縁体を介して誘電体工作物に印加する電圧を、(電圧の極性を反転せずに)低減することを含む。流体が工作物をチャックに対して移動させる傾向を克服するように、電極によって絶縁体を経て工作物に印加される静電力が処理中にかなり高くなるように、電圧は低減される。チャッキング電圧の低減は、複数の決められた時間ごとの複数のステップ、または連続的で、指数関数的であることが好ましく、あるいは冷却流体のフロー・レートをほぼ一定に維持する制御した方式で行われ、これにより、誘電体工作物に印加される静電力は、工作物の処理中、ほぼ一定に維持される。
【0037】
他のデチャッキング・プロセスのステップは、工作物の処理の完了時に、電極に印加されているDC電圧の極性を反転することを含む。それにより、チャッキング力は、十分に低い値まで低減し、損傷なしにチャックから工作物を取り除くことを可能とする。
【0038】
第1実施形態によれば、処理が完了したとき、すなわち、処理後にチャックに印加されるDC電圧の極性が、処理中にチャックに印加されていたDC電圧の極性と反対であるとき、チャックに極性を反転した電圧を印加することによって、工作物はデチャックされる。反転電圧の大きさと、反転DC電圧をチャックに印加する持続期間は、反転電圧がオフになった後は、工作物に対する静電力は十分に低減され、(1)再び工作物をチャックに固着させる、または(2)工作物を損傷する、ということなく、リフティングメカニズムがチャックからガラス工作物を除去することを可能にするというものである。第1実施形態では、第1工作物をチャックから除去するときに、チャックを通って流れる電流の大きさが、1つまたは複数の続いて処理する工作物のために、電極に印加される反転極性電圧の大きさ、および/または反転極性電圧を電極に印加する時間の長さを制御することが好ましい。そのような電流の流れを可能にするために、第1工作物が除去される際に、プラズマがチャンバ内に存在しなければならない。
【0039】
第2実施形態によれば、処理が完了したとき、反転極性DC電圧がチャックに印可され、したがって、電圧が依然として印加されている間に、工作物に対する静電力はゼロまで減少し、工作物はチャックから除去される。以下のステップは、工作物に加えられた静電力が十分に減少し、リフティングメカニズムによって工作物をチャックから除去することが可能となった後に実施されることが好ましい:(1)プラズマを消去する、(2)次いでチャンバを真空にする、(3)次いで工作物をチャックから除去する、(4)チャックに印加されていた電圧をほぼゼロまで低減する。チャックに印加されていた電圧をほぼゼロまで低減し、その後、工作物をチャックから除去して、工作物を損傷することを回避することが好ましい。
【0040】
工作物がチャンバにある間に、r.f.プラズマまたはDCタウンセンド放電まで励起されたアルゴンなどの不活性プラズマをチャンバに加えることによって、工作物をチャックから除去した後、誘電体工作物上の電荷を、ほぼゼロまで低減することが好ましい。
【0041】
誘電体工作物をチャックから除去することは、工作物の処理の完了時に、処理用のプラズマを消去した後、誘電体の抵抗率が著しく増大することを防ぐことによって容易になる。工作物から電荷を除去する比較的短い時定数は、工作物を除去する直前に、誘電体の抵抗率が増大することを防ぐことによって達成される。このために、工作物の処理が完了した後、チャックを介して工作物に伝熱ガスが流れることを停止することによって、工作物の温度が著しく減少することを回避する。
【0042】
上記および本発明のさらに他の目的、特徴、および利点は、いくつかの特定の実施形態に関する以下の詳細な説明を考慮することによって、特に添付の図面に関連して取り入れられているとき、明らかになるであろう。
【0043】
(好ましい実施形態の説明)
そこで、図1を参照すると、誘電性基板をエッチングするか、または膜を誘電性基板上に堆積するのに使用できるプラズマ・プロセッサが、電気的に接地される、かつ方形の金属の、できれば陽極酸化アルミニウムの側壁12によって形成される封止された外面を有するとともに、平行に配管されて構成されることが好ましい真空チャンバ10を含んで示される。また、真空チャンバ10は、方形の金属の、できれば陽極酸化アルミニウムの底板16、および方形の上板構造18、ならびに誘電性窓構造19を含む。チャンバ10のこれらの外面の封止が、従来のガスケット(示されない)によって施される。
【0044】
プラズマに励起され得る適当なガスが、ガス源(示されない)からライン15、管接続口20、および弁21を経由してチャンバ10の内部に供給される。チャンバ10の内部は、側壁12内の管接続口22に接続される真空ポンプ(示されない)によって、通常0.5〜100ミリトルの範囲の圧力で真空状態に維持される。真空チャンバ10内のガスは、窓19の直ぐ上に取付けられて、自動的に制御されるリアクタンス(示されない)を含む整合ネットワーク28を経由してr.f.源26によって励起される、実質的に平らなコイル24のような適当な電源によってプラズマ状態に励起される。しかし、プラズマ発生のどんな適当な方法でも用いることができることが理解されるべきである。
【0045】
静電チャック30が、チャンバ10内の電気的絶縁シート29によってチャックから電気的に絶縁された接地金属ベース27を含む支持構造上に固定されている。ベース27は底板16に固定される。チャック30は、非プラスチック誘電性基板を含む工作物32、典型としては、フラットパネルディスプレイ装置を形成するために使用される平らなガラス基板シートを選択的に保持するように特別に設計されている。ガラスは、限定された受動的な電気的特徴、例えば限定された誘電率および抵抗率を有するいくつかの異なるタイプのどれかであり得る。ガラスの抵抗率は、小さい、中間の、または大きい範囲のどれかを有することによって特徴づけられて、小さい抵抗率は約1×108〜約1×1011オーム・メートル(Ω・m)、中間の抵抗率は約2×1011〜約1×1015Ω・m、そして大きい抵抗率は約1×1015Ω・mを超える。
【0046】
抵抗率はガラスの化学的組成および温度に依存し、温度が上昇するにつれて、抵抗率は小さくなる。すべてのガラス工作物の抵抗率は、温度が10℃上昇する毎に、約2.5分の1になる。ガラス工作物の誘電率は約5.6と7.7の間の範囲にあり、例えば約6.5である。小さい、中間の、または大きい抵抗率範囲におけるガラスの3つの典型的なタイプの誘電率および抵抗率が、表Iの3つの行にそれぞれ記載される。
【0047】
【表1】
【0048】
通常、ガラス・シートは、1.1mmの公称厚さ、±0.1mmの厚さ許容差、および非常に滑らかな面を有し、最大ピーク・ツー・ピーク粗さが0.02ミクロンである。ガラス・シートは、生成された時に、少しそっているか、または波打っていることがある。様々な処理工程、特に堆積を経た後に、ガラス・シートはよりひどくそったり波打ったりするので、チャンバ10内で基板シート32をプラズマ処理する間にそれを平らにすることがより必要となる。
【0049】
通常、工作物32の温度が、ヘリウム・ガスを適当な源(示されない)から管路34と弁35を経てチャック30を通って工作物の背面、すなわち処理チャンバ10内でイオンに曝されないガラス基板の面に供給することによって、そして冷却液、例えば水とエチレン・グリコールの混合液を適当な源(示されない)から管路37と弁39を経てチャック30に供給することによって、25℃と100℃の間にあるように制御される。通常、工作物32の背面に加えられるヘリウム・ガスの圧力が5〜15トルの範囲内に在り、管路34を通るヘリウム流量が5〜70sccmの範囲内にある。ヘリウムは、源から、ステムとТ形接続の1つのアームを経て、圧力変換器を通って管路34中に流れる。Т形接続の他方のアームが、制御開口を有するオリフィスを通してポンプに接続される。すべての実施形態において、工作物の背面に加えられるヘリウムの圧力は、管路34内の流量調整器によって実質上一定に維持される。すべての冷却液の流量に対して、工作物32の背面に加えられるガスの圧力は、チャックが静電力を工作物に加えていない場合は、ガラス・シート32をチャック30からはがすのに、すなわちチャックに対してシートを動かすのに十分である。ヘリウム・ガスは、工作物とチャック30の間を伝わる伝導熱によって、工作物32を冷却する。冷却液が管路34を経てチャックに流れるので、チャック30は比較的冷たいヒート・シンクとして作用する。
【0050】
管路37を通して流れる冷却液によって、チャックを通って基板32へ至る熱伝導度が大きい経路が設けられるように、チャック30は構成される。
【0051】
工作物32の背面は、溝のあるチャック面の部分を除いて、チャック30の平らな面に接する。工作物の露出面が平らになってチャックの平らな面に実質的に平行な面内にあるように、チャック30は力を工作物に加える。チャックの上に置いた場合に工作物32がそったり波打ったりしても、そして工作物をチャック30の平らな面から離れてチャンバ10内の上方へ曲げようとする管路34を通って流れるヘリウム・ガスの傾向にもかかわらず、この結果は達成される。また、たとえ工作物の背面がチャック30の平らな面の溝のない部分に接していても、ヘリウム・ガスが工作物32の背面のかなりの部分に接するように、チャック30は構成される。
【0052】
図2および3に示されるように、静電チャック30は、導電度の大きい金属(できれば、アルミニューム)板36として形成される唯一の電極を有し、プログラムによるDC電源38の高電圧端子40に接続されて、低域r.f.阻止フィルタ(示されない)を含むモノポーラ・デバイスである。チャンバ10内のプラズマによる工作物32の最初の処理中に、端子40の電圧は、筐体10の金属壁に接続される電源38の接地端子42における電圧に対して、通常数千ボルト、例えば5000ボルトである。端子42、チャンバ10、およびチャンバ内のプラズマは、すべてほぼ同じDC接地(すなわち、基準)電位である。端子40は接地端子42の電圧に対して負または正の電圧のいずれかであるように、電圧源38は構成され得る。チャンバ10内のプラズマによる工作物32の処理中に、端子40の電圧は端子42に対して負であって、移動度が比較的小さい正イオンを工作物32の露出面の方へ引き付けることが好ましい。負極性が電源38に及ぼす有害な影響の可能性を小さくするので、負極性が有利である。
【0053】
r.f.バイアス電圧が、イオン・エネルギーを制御するためにチャック30に供給される。この目的のために、r.f.源60が整合ネットワーク62および直列DC阻止コンデンサ164を通してチャック30の板36に接続される。非常に動かしやすいプラズマ電子が移動度が小さくかつ重いプラズマ・イオンより大いにチャックに引き付けられるので、ACバイアス電圧によって、チャック30は負のDC電圧に充電される。
【0054】
板36の前面、すなわちガラス工作物32に最も近い板の表面が、できれば板36の前面を完全に覆う陽極酸化された非脱ガス層として形成される、保護のための電気絶縁体59によって覆われる。通常、絶縁層59は、約0.1mmの厚さ、および決定された受動的電気パラメータ、例えば決定されたコンデンサおよび抵抗につながる決定された誘電率および抵抗率を有する。
【0055】
板36の残りは、脱ガスしない材料(通常プラスチックではなく、できればセラミック)から作られる誘電性電気絶縁体ボデー44によって囲まれる。ボデー44は電極板36がイオンとチャンバ10内で電気的に接触するのを防止するので、チャンバ内の電極とイオンの間にかなりのDC電位差がある。この目的のために、絶縁体ボデー44はくぼみ46を有する板として成形される。金属板36は、板の周端がボデー44のフランジ48の内壁47に接するようにくぼみ46内に配置されて、工作物32は、基板が板36の上面を完全に覆うように板36に対して大きさが調整される。
【0056】
ヘリウム・ガスがガラス工作物32の背面のかなりの部分と接触することを可能にするために、板36の滑らかで平らな上面53に間隔をおいて配置されて相互に連結した溝54(図3)が設けられて、これらのすべてはお互いに、かつ管路34とも流体が流れる関係にある。管路34は、管路および溝が接続されている中心穴55を含むチャックによってチャック30を通して有効に延びる。工作物32がチャック30上の所定の位置に締め付けられる場合に、工作物の露出された平らな上面は上面53に平行な面内で延びる。絶縁体ボデー44は管路37に流体の流れが通ずる通路65を含むので、冷却液は通路を通って流れる。絶縁体ボデー44および金属板36は大きい熱伝導度を有し、通路と工作物32の間の距離が短いので、熱が工作物32から通路65内の冷却液に簡単に伝えられる。
【0057】
動作時、電極36に接続されるDC電源38の電圧が、DC電源がそれに電圧を与える電源(示されない)から切り離されることによって、ゼロである場合に、上述のタイプのガラス誘電性基板工作物32は絶縁層59上に配置される。工作物32は誘電性ボデー44によって完全に囲まれる層59上に配置された後に、電源38はそれに電圧を与える電源に接続される。そして、冷却ガスが、弁35を開くことによって管路34に供給される。
【0058】
工作物32は、チャック電極36に電気的に接続されて、チャックを通して縦方向に延びて、チャックの上面より上に揚げられる1組の金属製の縦方向に駆動される持ち上げピン(示されない)に工作物を送り出すロボット・アーム(示されない)によって、チャック30上に配置される。工作物32はガラスなので、工作物の底面の電圧は電極36と持ち上げピンの電圧と関係が無い。ピンが下げられた場合に、工作物32はそのまま絶縁体59上にあり、ピンから隔てられる。処理完了後に、小さい締め付け力がチャック30によって工作物32に加えられる間に時として、工作物に対してピンを揚げることによって、工作物はチャックから除かれる。そして、ピンは処理された工作物をロボット・アームに戻す。
【0059】
露出面はチャンバ10内の実質上基準電位のイオンと接するので、電荷層58がガラス工作物32の露出された上面に生ずる。その結果、層58はチャンバ10の接地電圧に近い基準電位にある。電源38がオンされて、スイッチ61が閉じられる場合に、電流が端子40から電極36へ流れて、変位電流が電極36から絶縁層59とガラス工作物32を通って流れて、電流が工作物32の露出された上面からチャンバ10内のプラズマを通ってチャンバ壁へ、したがって電源38の接地端子42へ流れて、回路を完結する。この電流の流れは、電極36と工作物32の上面の間に形成されるコンデンサの誘電体の充電をもたらす。電源38の電圧は十分に高いので、電極36と工作物32の上面の間に形成されるコンデンサの誘電体の電荷が、工作物32をチャック30に締め付けるのに十分な工作物32と電極36の間の引付け力を生成する。
【0060】
電源38の電圧は十分に高いので、工作物32の厚みを横切る電荷が工作物を横切る誘引力を生成して、工作物(すなわち、基板)を絶縁層59の上面53に締め付ける。ガラス誘電性工作物32を締め付けるのに必要な電源38の電圧値(通常、5000ボルトの程度)は、半導体または金属の工作物をモノポーラ静電クランプに締め付けるのに必要な電圧よりかなり大きい。電極板36から工作物32と絶縁層59の厚みを横切って工作物の露出面上の電荷層に至る締め付け圧力を設定するために、高い電圧が必要である。通常、工作物32に加えられる締め付け力は、管路34を通して流れるヘリウムによって工作物の背面に加えられる力の約2倍である。
【0061】
抵抗率が小さい、および中間のガラス工作物の場合は、処理が完了された場合に、電荷および電圧が工作物32に留まる傾向があり、ピンが工作物をチャック30から揚げる時に、電荷および電圧は、ガラス工作物に留まる。ガラス工作物32がチャック30から完全に離されない時に、そして処理プラズマが電気回路を完結するために存在している時に、電荷はガラス工作物の底面にトラップされて、イメージ電荷がガラス工作物の上面および電極36の上に生ずる。イメージ電荷は、工作物32の底面にトラップされた電荷に引付けられるので、イメージ電荷は電極36上にある。
【0062】
プラズマがチャンバ10内にあって工作物の上面を基準電圧に維持する間に、工作物32はチャック30から揚げられるにつれて、電極と工作物の底面の間の静電容量が減少するので、電荷は電極36と工作物の上面の間で移動させられる。その結果、ピンがガラス工作物をチャック30から揚げた時に、電流パルスが電極36とガラス工作物32の底面の間を流れる。
【0063】
電流パルスの振幅が、板36と電源38の端子40の間に接続される電流計61によって監視される。ピンが工作物をチャック30から揚げる時、メータ61のピーク測定値は工作物32上の残留電圧および電荷に正比例する。一方、メータ61によって検知される電流の瞬時振幅が、ピンが工作物32を揚げ始めてから数マイクロ秒後に開始してパルスが終わる前に終結する所定期間中の間検出される。メータ61の瞬時出力はこの期間中に積分される。コンピュータ・システム64はピーク振幅を測定するか、またはメータ61によって検知される電流の値を積分する。後述のように、コンピュータ・システム64はメータ61の測定値に応答して、少なくとも1つの続いて処理される工作物がチャックから除かれる間に、そのようなガラス工作物32にチャック30が適用する締め付け力を制御する。
【0064】
マイクロプロセッサ66、ランダム・アクセス・メモリ(RAM)67、およびリード・オンリー・メモリ(RОM)68を含むコンピュータ・システム64は、電源38によって導出される経時変化する電圧の振幅、弁21、35、および39の開閉、ならびにr.f.電源26のオン・オフ、および整合ネットワーク28の無効インピーダンスを制御する。マイクロプロセッサ66は、RОM68に格納されるプログラム、RAM67に格納される信号値、および電流計61によって検知されるパルスにおける電流の振幅に応答して、弁21、35、および39、高電圧源38、ならびにr.f.源26を制御する。さらに、マイクロプロセッサ66は、適当な変換器(示されない)から導出されるような(1)源26の出力電力、および(2)源に反射されて戻ってくる電力の値に応答して、整合ネットワーク69のリアクタンスを制御する。源38、弁21、35、および39、ならびに源26への電圧の印加を制御するためにROM68へ格納される動作が、下に述べられる。マイクロプロセッサ66によって実行される動作が、整合ネットワーク28のリアクタンスの制御を除いて、手動でも実行され得る。
【0065】
フラットパネルディスプレイ用に使用される様々なタイプのガラス工作物は、ガラス基板32をチャック30からデチャックするのに影響を及ぼす様々な受動的な電気特性、例えば、抵抗率および容量を有する。抵抗率が大きいガラス誘電性基板32は、チャック30に締め付けられる場合に、源38によってチャックに印加される電圧がゼロに減少された時、基板から容易に離される。上に示されたように、チャックに印加される高電圧がゼロに減少される場合に、抵抗率が小さい、および中間の誘電性工作物32がチャック30から離されないことが分かった。異なる抵抗率が、特にガラス誘電性工作物内に蓄積される電荷に影響を及ぼし、工作物をチャック30から速やかに除く機能に悪影響を及ぼす。
【0066】
図4a、4bおよび4cはそれぞれ(a)チャック30(金属プレート36および絶縁層59を含む)およびクランプされたガラス誘電体工作物32の断面図、(b)図4aの構造の近似等価回路図および(c)図4aの構造の近似回路図である。図4aに描かれた構造は、金属プレート36とガラス32との間にある包含絶縁体59に加えて絶縁体の上面とガラス工作物32の底面との間に真空ギャップを含んでいる。このギャップは、しばしばジョンソン−ラーベック・ギャップと呼ばれるものである。絶縁体59、ギャップおよびガラス工作物32はそれぞれdA、dJRおよびdGのよく知られている厚さを有している。絶縁体59、ギャップおよびガラス工作物32それぞれのDC電源38に対するインピーダンスは抵抗と並列になったキャパシタとして表わすことができる。このキャパシタと抵抗は図4bにおいて、電極プレート36の上面と絶縁層59の上面の間のキャパシタンスと抵抗値についてはCA、RAにより、絶縁層59の上面とガラス工作物38の底面の間、すなわちジョンソン−ラーベック・ギャップのキャパシタンスと抵抗値についてはCJR、RJRにより、そしてガラス工作物32の上面と底面間のキャパシタンスと抵抗値についてはCG、RGによりそれぞれ表わされる。これらの絶縁体59、ジョンソン−ラーベック・ギャップおよびガラス工作物32の並列等価受動回路成分は互いに直列に接続されている。ガラス工作物32の上面はチャンバ10においてプラズマのほぼ基準(すなわち接地)電位とされている。絶縁層59の底面は電極プレート36および電源の抵抗値に等しい抵抗R0を経由してDC電源38の電源供給電圧(VESC)に接続されている。工作物32の底面は、処理の間、電源38の電圧と工作物の暴露表面との間の電圧である。
【0067】
表Iと関連して前述したように、中程度および低い抵抗値のガラス工作物については、ジョンソン−ラーベック・ギャップ抵抗値は絶縁層59の抵抗値、これは誘電体ガラス工作物32の抵抗値よりも大きいのであるが、よりもはるかに大きくなる。低および中間抵抗値ガラス誘電体工作物をチャック30からデチャッキングする時間を含めた対象となる時間規模において、絶縁層59とジョンソン−ラーベック・ギャップ30の組合せは絶縁体抵抗値(RA)と絶縁体キャパシタンス(CA)とほぼ等しい抵抗値とキャパシタンスを有する単一層として扱うことができる。
【0068】
これは図4cに描かれた近似等価回路につながり、ここで絶縁体59のキャパシタンスCAと抵抗値RAとの並列組合せは、ガラス工作物32のキャパシタンスCGと抵抗値RGとの並列組合せと直列になっている。図4cの直列組合せ、すなわち並列のCAとRAおよび並列のCGとRG、は電源38の抵抗値、抵抗R0と直列になっている。(図4cの回路およびその結果となる計算は、工作物32と絶縁体59の抵抗値を実際にはそうでないオーミックとして扱うので近似計算となる。しかしながら、図4cの回路およびその結果となる計算は、それらが高速および低速の時定数と、電源38の電圧がチャック30に印加されなくなったときの電圧極性反転があることを示しているため、充分に有用なほどに正確である。)
電源38からの電流は経時変化する電圧V0、VAおよびVGを発生し、これらはそれぞれ、(1)抵抗R0間、(2)金属プレート36の上面とガラス工作物32の底面との間(すなわち、絶縁層59間)、および(3)ガラス工作物32間の電圧である。プレート36、絶縁体59およびガラス誘電体工作物32を含めた静電チャックに対して電源38によって印加される電圧は、
VESC=(V0+VG+VA+Vplasma)
であって、ここでVplasmaはプラズマがガラス誘電体基板32の暴露面である上面に印加する電圧である。
【0069】
ガラス工作物32に加わるクランプ力は、
F=ε0k2 AV2 A(t)A/2d2 A… (1)であり、ここでkAは絶縁層59の誘電定数、ε0は真空誘電率、そしてAはガラス工作物32の底面積であって実質的には絶縁層59上面の面積に等しい。
【0070】
VESCのステップ電圧変移を生じる電源36のステップ電圧変化に応答して、VA(t)の値は、
VA(t)=CA +exp(−A+t)+CA -exp(−A-t)+VA ∞(2)ここで、
A±=(fGrG+fArA±s)/2、
CA ±=[A±(VA ∞−VA0)+fA(rAVA0+VG0−VESC+Vplasma)]/(±s)、
fG=1/(CGR0)、fA=1/(CAR0)、rG=(1+R0/RG)、rA=(1+R0/RA)、
s=sqrt((fGrG−fArA)2+4fGfA)、(sqrtは平方根を表わす)、
VA ∞=V2(t→∞)、VA0=VA(t=0)、VG0=VG(t=0)
時定数τ+=1/A+は殆どの場合において1秒以下であって、外部抵抗値R0を経由した直列組合せのキャパシタンス(CG×CA)/(CG+CA)への電荷蓄積に対応している。時定数τ+は、(VG+VA)で規定される等価回路のトータル電圧における変化に支配的であり、工作物32に対するチャック30のための適切なターンオン時間である。時定数τ+で生じる変化は両方のキャパシタCAおよびCGを経由した等量チャージ入れ替えの動きを含むものである。
【0071】
静電チャック30と誘電体工作物の放電時定数τ-=1/A-は抵抗R0、RAおよびRGを経由して直列キャパシタCGとCAに流れるフリー・フローのチャージについてのものである。放電時定数τ-は(1)絶縁体59の抵抗値またはガラス工作物32の抵抗値の小さい方および(2)絶縁体59のキャパシタンスまたはガラス工作物32のキャパシタンスの大きい方の積とほぼ同じである。小さい方の抵抗値および大きい方のキャパシタンスはそれぞれRGとCAである。中間の抵抗値の工作物においては積RGCAは、殆どの場合、τ+よりも大きな程度である。τ-は、ガラス工作物32の静電チャック30に対するクランプ力を徐々に増すことおよび電源38の電圧がゼロになった後でチャック30の工作物32に対する残留クランプ力を減衰させることに通常は支配的な時定数である。
【0072】
2つの時定数τ+およびτ-の効果は図5の波形で示されており、電圧VGとVAがステップにおける時間の関数として、正のステップ変化の後の0<t<120sについてはVESC=0VからVESC=800Vへと変化させ、120s後はVESC=800からVESC=0へと変化させる。図5において、CAはCGよりも20倍大きく、RAはRGよりも大きな程度であり、時定数τ+は0.04s、そして時定数τ-は20sである。これらの構成成分および時定数の値は温度が40℃、ガラスが特に中間の抵抗値で市販のフラット・パネル・ディスプレイにおいてのものである。絶縁体59に800Vのレベルが印加され、一方、工作物32の暴露面が接地電位であるとき、電圧合計(VG+VA)は時定数τ+で急激に800Vまで増加する。VGとVA間での初期の電圧配分は容量による電圧配分比により決定される。最初に800V電源をオンにした後、時定数τ-でガラス工作物と絶縁体の抵抗電圧分割値に向かってVGは低下してクランプ電圧VAは増大する。t=120sになると、ESC電圧はオフすなわちESC=0となり、合計電圧は時定数τ+で急速にゼロまで低下する。積CA×RAまたはCG×RGの小さい方のキャパシタCAまたはCGの電圧は小さい方の時定数τ+で極性を変え、それから両方のキャパシタの電圧は長い方の時定数τ-で減衰する。
【0073】
フラット・パネル・ディスプレイのメーカーで使用されるさまざまなガラスの抵抗値が(表1に示したように)5桁以上変化するので、時定数τ-もまた非常に変化し、すべてのタイプのガラスに有効な1つのデチャッキング手法というものは無い。
【0074】
チャック30によりクランプされる中程度または低い抵抗値のガラス工作物においてRACA>RGCGであるので、絶縁体59を経由して電極36によりこのような工作物の底面に加えられるクランプ電圧VAは、一定のDC電圧をもつ電源38によりチャック30が電源供給された後は、時間と共に増大する。適切なデチャッキング時間を獲得するためには、工作物をプラズマで処理している間でクランプ電圧VAを、工作物32が配管37を通って流れる冷却液の力に対向してそのまま離れないでいるのに充分なほぼ一定の値を維持することが望ましい。これは工作物がクランプされた後に、時間の関数として、電源38によりチャック30にかけられる電圧値を低下させることで達成可能である。
【0075】
理想的には、電源38に由来するVESCの値が指数関数的に低下させられ、誘電体、ガラス工作物32を処理している間においてチャックする電圧VAとチャックする力が実質的に一定に維持される。しかしながら、ROM68に指数関数をプログラムすることおよび高電圧電源の電圧を時間の関数として指数関数的に低下するように制御することは幾分難しい。指数関数的に低下する電圧とそれにより得られる効果は、チャンバ10内部でプラズマによりガラスの誘電体工作物32を処理している間において時間間隔をおいて低下する一連のステップ電圧を導き出すように電源38を制御するためのマイクロプロセッサ66のプログラムを保存するROM68による大きな範囲まで近似させられる。例えば、処理中の指数関数的低下電圧は、ガラス誘電体工作物32処理の最初の15秒間において電源38がプレート36に対して最初−1500Vの電圧を印加することに近似させられる。それから、ROM68はマイクロプロセッサ64を制御して、工作物処理の15〜45秒の間、電源38の出力電圧を−800Vまで低下させる。それから処理時間45〜75秒の期間において、ROM68は電源38の電圧が−600Vとなるようにマイクロプロセッサ66を制御する。処理時間75秒が経過した後は、ROM68はマイクロプロセッサ66に電源38の出力電圧が−500Vまで低下するようにさせる。持続時間が60秒の程度の比較的短い処理では、このような処理順序は絶縁体59に保存されたクランプ・チャージを充分に低くしてそれによりガラス工作物32が絶縁体から損傷なしに持ち上げられる。中程度の抵抗値のガラス工作物において特にこの処理は応用可能である。高い抵抗値のガラス工作物ではプログラム化した電圧電源を採用する必要はなく、従来技術である一定電圧技術がデチャッキング目的にとって適合している。
【0076】
さらなる実施形態によると、工作物32が処理されている間において電源38の電圧は連続的に制御され、それによりチャック30が工作物に加えるクランプ力はほぼ一定になる。このような結果は、電源38の電圧を制御して配管34を通って工作物32の裏面に向かって流れるヘリウム冷却剤の流量を一定に、設定値に保つことにより達成され、これによりクランプ力は工作物処理の間において実質的に一定となる。
【0077】
この目的のために、バルブ35と開口55との間のヘリウム配管34に流量センサ70が設けられる。センサ70は、比較的長い時間的間隔、例えば数秒、にわたって平均化されたヘリウム流速に比例して信号を発生する。センサ70の平均化された出力はチャック30が工作物32に加えるチャック力を効果的に示す。この信号はマイクロプロセッサ66の入力に供給され、そこでROM68に保存された前もって設定した流速信号値と比較される。この比較の結果、マイクロプロセッサ66が比較的長い時間にわたって一定の制御を電源38に連続的に供給し、それにより電源電圧は工作物処理の間においてチャック30が工作物32に加えるクランプ力をほぼ一定に保つように変化させられる。マイクロプロセッサ66は、好ましくは、この比較結果から得られるエラー(差異)信号を比例、積分、微分(PID)制御器に印加することにより電源38の電圧を制御するようにプログラムされている。短い時定数の制御はヘリウム・ガスにより基板32の裏面で生じるガス圧に応答して従来の圧力センサ(図示せず)により供給される。この圧力センサは、マイクロプロセッサ66との組合せにより、バルブ35およびライン34に供給するヘリウム・ガスの圧力を制御する。
【0078】
センサ70の出力信号に応答した電源38電圧の制御は、ヘリウム流速が(1)チャック30による工作物32へのクランプ力の増加に反応して低下し、(2)チャック30による工作物32へのクランプ力の減少に反応して増大することの認識に基づいたものである。最初に電源38がチャック30に対して一定のDC電圧を印加するとすぐに、工作物32に加えられるクランプ力は指数関数的に増大し始め、配管34を通る冷却剤の流速が低下する。低下した流速はセンサ70により検知され、これによりマイクロプロセッサ66はチャック力がほぼ一定に維持されるように電源38がチャック30に印加するDC電圧を低下させる。工作物32が処理される時間を通じて、この様に動作が持続する。
【0079】
多くの中程度および低い抵抗値のガラス工作物において、とりわけ1分以上プラズマで処理されたものにおいて、電源36により工作物に印加される電圧が時間の関数として低下されていたとしても、処理時間が終了したときに工作物に蓄積されたチャージ量は大きくなりがちであり、ピンによりチャック30から工作物を取り外すことができないほどである。これらの状況において、工作物の処理が完了した後で、工作物の暴露面の電位がほぼゼロとなるように低パワーのプラズマがチャンバ10に存在する間において、ROM68はマイクロプロセッサ66を動作させて電源38から端子40に対し、端子40に供給された極性と反対の極性を有するDC電圧を供給させる。この反対、すなわち逆極性電圧は、電源36の電圧を処理の間において低下させた後で印加される。
【0080】
第2の実施形態によると、電源38により端子40に印加される逆極性電圧の大きさは+4000Vのような比較的高い電圧に前もって設定されている。+4000Vという数値は、処理の間において電源36が順々に−1500V、−800V、−600Vそして−500Vとなった状況において適用可能である。逆極性電圧の度合いはVA(電極36の上面とガラス工作物32の底面の間の電圧)がゼロとなるように選択され、これがVG(ガラス工作物32の上面と底面の間の電圧)における実質的な上昇を引き起こす。
【0081】
逆極性電圧の大きさは、電源38の電圧のわずか5〜10%しかキャパシタCAに加わらないように絶縁体59とガラス工作物32の相対的インピーダンスがなるよう留意しながら、この結果を得るに充分なものにするべきである。このデチャッキング法は、通常でのデチャッキング時定数τ-が非常に長い場合のためのものである。例えば、この非常に長い時定数τ-は、高温で処理している間においてガラス工作物が固定状態となる場合に起こり得る。高い温度は工作物の抵抗値を低下させ、固定/デチャッキング時定数が低温の場合よりも速くなる原因となる。
【0082】
しかしながら、処理の後でプラズマが消滅すると低温でのデチャッキングが行なわれ、これははるかに遅い時定数の原因となる。すべてのキャパシタのすべてのチャージを時定数τ-でゼロまで減衰させるのに非常に長い時間を要するとしても、いずれの特定のキャパシタの電圧でも、他のキャパシタの電圧が上昇する犠牲を払うが、速い時定数τ+で速やかにゼロまで低下可能である。しかしながら、この方法は固定した工作物を解放するためのものであり、なぜなら(この等価回路モデルにおいては)電圧VAだけが固定力に直接関与しているからである。このデチャッキング方法について、τ+以上の時間のほかは、逆極性電圧を印加するためのどのような特定の時間の長さも存在しない。
【0083】
キャパシタCA に亘って加わる電圧がゼロまで低下した後、マイクロプロセッサ66がバルブ21を閉じてr.f.電源をオフに切り換えることによりチャンバ10内のプラズマはオフにされる。その後、マイクロプロセッサ66はポンプ(図示せず)を動作させてチャンバ10を圧力1ミリトール以下(好ましくは、少なくとも1ミリトールより小さい程度)になるまで排気し、この間、電極36はまだ電源38に接続されている。これによりプラズマを経由してのチャンバ壁12との回路は切断される。それから、マイクロプロセッサ66は電源38の電圧がゼロまで低下するよう指示を出す。電圧VAの値はゼロのままであり、電圧VGの値は比較的大きいままである。
【0084】
その後、マイクロプロセッサ66は持ち上げピンにガラス工作物32をチャック30から取り外すよう指示を出す。電圧VG(ガラス工作物32の上面と底面の間の電圧)はピンが工作物をチャック30から持ち上げた後でも高いままである。それから、マイクロプロセッサ66はチャンバ10の中で不活性プラズマを形成することにより、電圧VGの値を実質的にゼロまで引き下げる操作を実行する。このプラズマは、好ましくは、不活性なイオン化可能ガス、例えばアルゴンをチャンバ10に導入し、電源26からマッチング・ネットワーク28とコイル24を経由してr.f.電界をこのガスに印加することにより形成される。選択肢の1つとして、持ち上げられた工作物32のチャージはチャンバ10内でDCタウンゼント放電を点火することにより除去される。
【0085】
これらのステップは電極32に印加された電源36のチャック電圧がゼロまで低下する前に工作物36をチャック30から取り外すように再配置することが可能である。キャパシタCAの電圧がほぼゼロになるのに充分な長さの時間について逆極性電圧がオンにされたとき、ピンがチャック30からガラス工作物32を持ち上げる。電源38の電圧が前もってゼロまで低下していない場合、電源の電圧はそれからゼロに下げられる。
【0086】
第1の逆極性実施形態では、逆極性電圧はプレート36に対して電源38により、実質的に同じチャージがキャパシタCAとCGに存在するようになる、すなわちキャパシタCA(絶縁層59の底面と工作物36の底面の間の容積により規定される)およびキャパシタCG(工作物32の底面と上面の間の容積により規定される)のチャージ・バランスができるまで供給される。キャパシタCAとCGにほぼ同じチャージが存在するとき、キャパシタCA両端の電圧VAはVA=VGCG/CAとなる。ROM68は、VA=VGCG/CAのときにマイクロプロセッサ66が端子40における電源38の電圧を端子42のグラウンド電位まで低下させるようにプログラムされている。端子40の電圧がゼロまで低下した後に、電圧VAおよびVGは短い時定数τ+で速やかにゼロまで減衰する。
【0087】
RG、RA、CGおよびCAの決定された数値を基にして、異なる抵抗値とキャパシタンスを有するガラス工作物についてVAの値が算出される。VAの算出された値から、工作物の処理が完了した時点における端子40の逆極性電圧の多様な数値についてチャージ・バランス条件に到る時間が算出される。これらの時間はROM68に保存され、電源38が端子40を経由してプレート36に印加する逆電圧の時間長を制御するためにマイクロプロセッサ66に供給される。例えば、印加された逆電圧が4,000ボルトである場合、CGとCAにおけるチャージの等化は、ある特定のガラス工作物において53秒で達成される。53秒で、このような工作物32の上面と下面との間の電圧はおよそ−3,830ボルトとなり、その間に絶縁体59の下面と工作物の下面との間のクランプ電圧はおよそ−170ボルトとなる。チャージの等化が生じると、マイクロプロセッサ66は電源36の電圧をゼロに低下させ、クランプ電圧VAが放電して速やかにゼロとなる。その後、持ち上げピンが工作物32をチャック30から取り外す。
【0088】
チャージ・バランスの実施形態は特に、低い抵抗値のガラス工作物に対して適用可能である。逆極性電圧は工作物の固定を防止するために時間的に充分な長さで残される。チャージ・バランスをとる逆極性の実施形態は放電時定数τ-と結びついている。
【0089】
このチャージ・バランスをとる実施形態において電圧は逆極性プロセスの開始時において電圧比|VESC|/VAをほぼ等化する。この比|VESC|/VAはキャパシタンス比CA/CGと同じ高さとなり得る。したがって、チャージ・バランスをとる逆極性処理はデチャッキングの時間の長さを10または20倍の因数で減少させる。低い抵抗値のガラス工作物において、これは、ほぼ1,000秒にとって代わって、約50秒で工作物が解放されることを意味する。しかしながら、このチャージ・バランス逆極性処理は中程度の抵抗値をもつガラス工作物については過度に長い。
【0090】
第1の逆極性実施形態における逆極性電圧は、好ましくは、工作物32がチャック30から持ち上げられるときのキャパシタCA(絶縁体59の下面と工作物32の下面との間)のクランプ・チャージの量により制御された大きさを有している。個々のバッチにおけるガラス工作物の受動的電気パラメータは同一であり、かつ抵抗値は工作物温度の関数であるため、工作物がチャック30から持ち上げられるときの個々の工作物のためのキャパシタCAのチャージ量が、好ましくは、電源38によってチャック30に印加される次回の処理工作物のための逆極性電圧の大きさを制御する。実際に、個々の工作物がチャック30から取り外されるときのキャパシタCAのチャージ量は、次回のいくつか(例えば、約10個まで)の工作物32をチャック30から取り外すときの逆極性電圧の大きさおよび/または持続時間を制御するために使用可能である。
【0091】
工作物32をチャック30から持ち上げるときのキャパシタCAのチャージ量をモニタするために、不活性r.f.プラズマがチャンバ10内で生じている間において持ち上げピンが工作物32をチャック30から取り外すときに端子40とチャック30のプレート36を通って流れる電流パルスに電流計61が応答する。この不活性r.f.プラズマは、プラズマ処理が完了して処理プラズマが消された後にチャンバに適用される。マイクロプロセッサ66がこのピーク電流パルスの大きさまたはメータ61により検出された積分電流に応答して、1つまたは複数の引き続いて実施される逆極性電圧ステップの間において印加されるチャージ量を制御する。最後にメータ61が逆電圧チャージを制御したときに関連する逆極性電圧によって印加されたチャージ差異の量は、前に検出したメータ61の読みに関連した電流メータ61の検出と逆比例する。
【0092】
第1の実施形態では、メータ61の読みは、逆極性電圧の大きさおよび/または逆極性電圧が電源38によってチャック30に印加される時間の長さを制御する。理想的には、基板が完全にデチャッキングされた場合、電流は流れない。最新のピーク電流の量がその直前のピーク電流に相関して増加した場合、マイクロプロセッサ66は印加逆電圧の大きさおよび/または逆電圧が印加される時間の長さを増大させる。しかしながら、最新のピーク電流の量がその直前のピーク電流に相関して減少した場合、マイクロプロセッサ66は印加逆電圧の大きさおよび/または逆電圧がチャック30に印加される時間の長さを減少させる。
【0093】
中程度および低い抵抗値の誘電体ガラス工作物の電気抵抗は、表1(前述)により示したように、工作物温度に著しく依存する。図6は代表的な中程度抵抗値のガラスについてその放電時定数τ-を温度の関数としてプロットしたものである。ガラス工作物の温度が10℃上昇する毎に抵抗値はおよそ2.5倍減少しているため、温かいガラス工作物は冷たいガラス工作物よりもチャックに対する同じ初期的力によって早くデチャッキングされる傾向がある。この減少の利点を活用するため、工作物温度は、デチャッキングが完了するまで、高いレベルでほぼ一定に保つかまたは工作物処理の完了時からいくらか上昇させられる。
【0094】
工作物32を処理している間、プラズマは工作物温度を80℃といった比較的高い値まで上昇させる。80℃において、ガラス工作物32は、さらに低い20℃のような温度のガラスよりも顕著に低い抵抗値を有する。しかしながら、工作物32の処理が完了することに伴なって、ROM68はマイクロプロセッサ66に信号を送り、処理ガス供給配管にあるバルブ21を閉じさせ、r.f.電源26を切ってチャンバ10のプラズマを消させる。プラズマが消されるために工作物32の温度は低下傾向を示す。
【0095】
工作物処理が完了した後に工作物32を高い温度に維持するため、ROM68は信号を送ってマイクロプロセッサ66に、プラズマが消えるのと実質的に同時にヘリウム冷却ライン34にあるバルブ35を閉じさせる。ヘリウムがチャックに流入しなくなると工作物32とチャック30の熱的接触は殆どないので、工作物は処理終了時の比較的高い温度と低い抵抗値を保っている。この低い抵抗値は逆極性処理の間における工作物32のチャック30からのデチャッキングを促進する。
【0096】
第2の実施形態について逆極性処理が完了した後でかつピンがチャック30の上に工作物32を配置させる間、前述したように、工作物32の上面と底面の間のチャージは低パワーの不活性プラズマを数秒間オンにすることで除去される。工作物32のチャージは、バルブ21を経由してアルゴンや酸素などのイオン化可能なガスを数ミリトールの圧力でチャンバ10内部に導入し、ガラス工作物面間でDCタウンゼント放電を生起させることにより一掃することもまた可能である。第1の逆電圧実施形態において、ピンが工作物を持ち上げている間にプラズマがオンにされて工作物の上面と底面との間のチャージを除去する。
【0097】
本発明の特定の実施形態について説明および描写を行なってきたが、特定して描写および説明した実施形態の詳細における変形が、添付の特許請求の範囲に規定したように本発明の精神および範囲を逸脱することなく為し得ることは明白である。
【図面の簡単な説明】
【図1】 ガラスの誘電性シート工作物をその部位に保持する静電チャックを含む真空プラズマ・プロセッサの概略図である。
【図2】 ガラスの誘電性シート工作物と組み合わされて、特に図1のプロセッサで使用されるように構成されたモノポーラ静電チャック実施形態の側断面図である。
【図3】 ガラスの誘電性シート工作物をその部位に有しない、図2に示される構造の上面図である。
【図4a】 ガラスの誘電性工作物を締め付けるモノポーラ静電チャックの横断面図である。
【図4b】 工作物を締め付けるチャックの等価回路を示す図である。
【図4c】 工作物を締め付けるチャックの概略の等価回路を示す図である。
【図5】 抵抗率が中間であるガラス工作物の締め付けを含む本発明の実施形態を説明するのに役立つ波形を示す図である。
【図6】 典型的な抵抗率が中間であるガラス工作物の場合における、温度の関数としての放電時定数(τ-)の近似の等価グラフを示す図である。
【図7】 処理中にチャックに印加される電圧が冷却液の流量を一定に維持するように制御される本発明の特徴の部分略図である。
Claims (19)
- 基準電位にある金属壁と、絶縁体で覆われた電極をもつ静電チャックとを有する真空プラズマ・プロセッサ・チャンバ中で誘電体工作物を加工する方法であって、前記電極と前記工作物との間に前記絶縁体が介在するように前記工作物を前記チャックに取付けることと、前記工作物が前記チャック上にある間に前記電極にDCチャッキング電圧を印加することと、前記チャンバ中で前記工作物をプラズマで加工することとを含み、プラズマは、プラズマに露出される前記工作物の前面が前記基準電位とほぼ同じ電位になるように十分に低い電気インピーダンスを有し、プラズマに露出されない前記工作物の裏面に伝熱流体を供給することによって、前記工作物がプラズマによって加工される間に前記工作物の温度を制御することを含み、前記伝熱流体は、前記工作物の前記裏面に力を加え、その力が前記工作物を前記チャックから離す作用を生ずるように方向付けられていることにより、前記工作物を前記チャックに対して移動させる傾向を有し、前記チャッキング電圧が前記工作物に対してチャッキング力を生じて前記工作物を前記チャックに対して移動させようとする前記流体の傾向を克服し、前記工作物および前記絶縁体の組合せは抵抗率を含む決定された受動的電気特性を有し、また、前記工作物の抵抗率が少なくとも1×10 8 Ω・mであり、これにより、チャッキング電圧によって供給されるチャッキング電荷が前記誘電体工作物の加工中に前記工作物の露出される面から前記工作物の露出されない面まで前記工作物の中を通って徐々に伝導され、その結果、前記工作物の加工中に一定のDCチャッキング電圧が前記電極に印加される場合に前記工作物へのチャッキング力の増大を生じる傾向があり、該工作物の前記チャックからのデチャッキングを容易にするための複数のタイプの異なるデチャッキング進行ステップのうちから、前記決定された受動的電気特性に基づいて少なくとも1つのデチャッキング進行ステップを選択し、該選択された少なくとも1つのデチャッキング進行ステップを実行することを含む方法。
- 前記デチャッキング進行ステップのうちの1つが、前記工作物の加工中に前記電極に印加されるDCチャッキング電圧を低下させることを含み、前記電極に印加される前記低下されたDCチャッキング電圧は、前記工作物を前記チャックに対して移動させる流体の傾向を克服している状態を維持するものである、請求項1に記載の方法。
- 前記デチャッキング進行ステップのうちの1つが、前記工作物の加工の完了時に前記電極に印加されるDC電圧の極性を逆にし、次いで前記工作物を前記チャックから取り外すことを含む請求項1または2の何れかに記載の方法。
- 前記デチャッキング進行ステップのうちの1つが、プラズマによる前記工作物の加工が完了した後、前記デチャッキングが完了するまで、前記工作物の温度を前記工作物の抵抗率が室温時抵抗率よりも少なくとも1桁低くなるのに十分な高い温度に維持することを含む請求項1、2または3の何れかに記載の方法。
- 前記デチャッキング進行ステップのうちの1つが、前記工作物の加工の完了時に、そして前記デチャッキングが完了するまで、前記工作物の温度を制御することを含み、前記工作物の温度の制御は、前記工作物の加工中に、そして前記デチャッキングが完了するまで、前記工作物の温度が加工中の前記工作物または前記工作物上に形成される構造に悪影響を及ぼす値まで上昇しないように行われる、請求項1、2または3の何れかに記載の方法。
- 前記工作物のプラズマ加工が完了した後で、(a)プラズマを消滅させるステップと、(b)次いでチャンバ圧力を下げるステップとが実施され、チャンバ圧力が低下した後で、全てのデチャッキング進行ステップが完了すると、(c)前記チャックから前記工作物を取り外すステップと、(d)前記チャックに印加される電圧をほぼゼロまで下げるステップとが実行される請求項1、2、3、4または5の何れかに記載の方法。
- 前記工作物が前記チャックから取り外される前に、前記チャックに印加される電圧がほぼゼロまで低下する請求項1、2、3、4または5の何れかに記載の方法。
- 前記工作物が前記チャックから取り外された後で、前記チャックに印加される電圧がほぼゼロまで低下する請求項1、2、3、4または5の何れかに記載の方法。
- 前記工作物が前記チャックから取り外された後で、前記工作物から電荷を除去することをさらに含む請求項1、2、3、4、5、6、7または8の何れかに記載の方法。
- 前記チャンバ中のガスをプラズマに励起することによって、前記工作物から電荷を除去することをさらに含む請求項1、2、3、4、5、6、7または8の何れかに記載の方法。
- 前記工作物が前記チャックから取り外されているときに前記チャック中を流れる電流の振幅を監視することと、監視される電流振幅に応じて、続いて加工される少なくとも1つの工作物について前記電極に印加される逆極性電圧を制御することをさらに含み、前記続いて加工される少なくとも1つの工作物が前記チャックから取り外されるときに、前記続いて加工される少なくとも1つの工作物に前記チャックによって加えられる力がほぼゼロになるような振幅および持続時間を有するように、前記逆極性電圧が制御される請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9または10の何れかに記載の方法。
- 前記逆極性電圧の振幅と持続時間の少なくとも一方が、監視される電流振幅に応じて制御される請求項11に記載の方法。
- 前記工作物が加工された後、そして前記工作物が前記チャンバ中にある間に、前記チャンバ中に放電を確立することによって前記工作物から電荷をほぼ除去することをさらに含む請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11または12の何れかに記載の方法。
- 前記放電がAC電源によって励起されるプラズマである請求項13に記載の方法。
- 前記放電が前記工作物の前記前面と裏面との間におけるDCタウンゼント放電であり、DCタウンゼント放電は、前記チャンバ中にイオン化可能ガスを導入することにより生じる請求項13に記載の方法。
- 前記工作物の加工中に前記工作物の裏面に流れる前記流体の流量を監視することを含み、前記工作物の加工中に前記電極と前記絶縁体とを介して前記工作物に加えられる静電力を制御するために、前記工作物の加工中に監視される前記流量に応じて、前記工作物の加工中に前記電極に印加されるDCチャッキング電圧の振幅を制御することをさらに含む請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14または15の何れかに記載の方法。
- 前記伝熱流体流量が前記工作物の加工中にほぼ一定のままであるように、DCチャッキング電圧振幅が、監視される前記流量によって制御される請求項16に記載の方法。
- 前記工作物がガラスであり、かつ最高約1014Ω・mの抵抗率を有する請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16または17の何れかに記載の方法。
- 請求項1、2、3、4、5、6、7、8、9、10、11、12、13、14、15、16、17または18の何れかに記載の方法を実行するプラズマ加工装置。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US09/163,370 | 1998-09-30 | ||
US09/163,370 US6125025A (en) | 1998-09-30 | 1998-09-30 | Electrostatic dechucking method and apparatus for dielectric workpieces in vacuum processors |
PCT/US1999/020615 WO2000019519A1 (en) | 1998-09-30 | 1999-09-10 | Electrostatic dechucking method and apparatus for dielectric workpieces in vacuum processors |
Related Child Applications (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009206036A Division JP2010050464A (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
JP2009205952A Division JP5135306B2 (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
JP2009206010A Division JP2010050463A (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2002526923A JP2002526923A (ja) | 2002-08-20 |
JP2002526923A5 JP2002526923A5 (ja) | 2009-10-29 |
JP4698025B2 true JP4698025B2 (ja) | 2011-06-08 |
Family
ID=22589749
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2000572927A Expired - Fee Related JP4698025B2 (ja) | 1998-09-30 | 1999-09-10 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
JP2009206036A Pending JP2010050464A (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
JP2009205952A Expired - Lifetime JP5135306B2 (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
JP2009206010A Pending JP2010050463A (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2009206036A Pending JP2010050464A (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
JP2009205952A Expired - Lifetime JP5135306B2 (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
JP2009206010A Pending JP2010050463A (ja) | 1998-09-30 | 2009-09-07 | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US6125025A (ja) |
JP (4) | JP4698025B2 (ja) |
KR (1) | KR100708237B1 (ja) |
AU (1) | AU5913699A (ja) |
TW (1) | TW426930B (ja) |
WO (1) | WO2000019519A1 (ja) |
Families Citing this family (85)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6790375B1 (en) * | 1998-09-30 | 2004-09-14 | Lam Research Corporation | Dechucking method and apparatus for workpieces in vacuum processors |
US7218503B2 (en) * | 1998-09-30 | 2007-05-15 | Lam Research Corporation | Method of determining the correct average bias compensation voltage during a plasma process |
US6965506B2 (en) * | 1998-09-30 | 2005-11-15 | Lam Research Corporation | System and method for dechucking a workpiece from an electrostatic chuck |
JP4135236B2 (ja) * | 1998-11-19 | 2008-08-20 | ソニー株式会社 | Cvd膜の成膜方法 |
KR20010007406A (ko) | 1999-06-17 | 2001-01-26 | 조셉 제이. 스위니 | 정전 처크에 의해 발생한 정전력 균형을 맞추는 방법 및장치 |
US6319102B1 (en) * | 1999-07-09 | 2001-11-20 | International Business Machines Corporation | Capacitor coupled chuck for carbon dioxide snow cleaning system |
US6307728B1 (en) * | 2000-01-21 | 2001-10-23 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for dechucking a workpiece from an electrostatic chuck |
TWI254403B (en) * | 2000-05-19 | 2006-05-01 | Ngk Insulators Ltd | Electrostatic clamper, and electrostatic attracting structures |
WO2002017384A1 (en) * | 2000-08-23 | 2002-02-28 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck temperature control method and system |
CN1322556C (zh) * | 2001-02-15 | 2007-06-20 | 东京毅力科创株式会社 | 被处理件的处理方法及处理装置 |
US20020126437A1 (en) * | 2001-03-12 | 2002-09-12 | Winbond Electronics Corporation | Electrostatic chuck system and method for maintaining the same |
TWI246873B (en) * | 2001-07-10 | 2006-01-01 | Tokyo Electron Ltd | Plasma processing device |
JP2003060018A (ja) * | 2001-08-13 | 2003-02-28 | Nissin Electric Co Ltd | 基板吸着方法およびその装置 |
US6898064B1 (en) * | 2001-08-29 | 2005-05-24 | Lsi Logic Corporation | System and method for optimizing the electrostatic removal of a workpiece from a chuck |
US6727655B2 (en) * | 2001-10-26 | 2004-04-27 | Mcchesney Jon | Method and apparatus to monitor electrical states at a workpiece in a semiconductor processing chamber |
FR2836595B1 (fr) * | 2002-02-27 | 2005-04-08 | Semco Engineering Sa | Systeme de repartition homogene de la temperature a la surface d'une semelle sur laquelle est dispose un element |
JP4106948B2 (ja) * | 2002-03-29 | 2008-06-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 被処理体の跳上り検出装置、被処理体の跳上り検出方法、プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
US20030210510A1 (en) * | 2002-05-07 | 2003-11-13 | Hann Thomas C. | Dynamic dechucking |
TWI275913B (en) * | 2003-02-12 | 2007-03-11 | Asml Netherlands Bv | Lithographic apparatus and method to detect correct clamping of an object |
US20040261946A1 (en) * | 2003-04-24 | 2004-12-30 | Tokyo Electron Limited | Plasma processing apparatus, focus ring, and susceptor |
EP1507281B1 (en) * | 2003-08-14 | 2007-05-16 | Fuji Film Manufacturing Europe B.V. | Arrangement, method and electrode for generating a plasma |
US7628864B2 (en) * | 2004-04-28 | 2009-12-08 | Tokyo Electron Limited | Substrate cleaning apparatus and method |
US7030035B2 (en) * | 2004-05-14 | 2006-04-18 | Hitachi Global Storage Technologies Netherlands, B.V. | Prevention of electrostatic wafer sticking in plasma deposition/etch tools |
US7244311B2 (en) * | 2004-10-13 | 2007-07-17 | Lam Research Corporation | Heat transfer system for improved semiconductor processing uniformity |
JP4783213B2 (ja) * | 2005-06-09 | 2011-09-28 | 日本碍子株式会社 | 静電チャック |
US8092638B2 (en) * | 2005-10-11 | 2012-01-10 | Applied Materials Inc. | Capacitively coupled plasma reactor having a cooled/heated wafer support with uniform temperature distribution |
US8034180B2 (en) * | 2005-10-11 | 2011-10-11 | Applied Materials, Inc. | Method of cooling a wafer support at a uniform temperature in a capacitively coupled plasma reactor |
US8157951B2 (en) * | 2005-10-11 | 2012-04-17 | Applied Materials, Inc. | Capacitively coupled plasma reactor having very agile wafer temperature control |
US7988872B2 (en) * | 2005-10-11 | 2011-08-02 | Applied Materials, Inc. | Method of operating a capacitively coupled plasma reactor with dual temperature control loops |
US20070091540A1 (en) * | 2005-10-20 | 2007-04-26 | Applied Materials, Inc. | Method of processing a workpiece in a plasma reactor using multiple zone feed forward thermal control |
CN100416758C (zh) * | 2005-12-09 | 2008-09-03 | 北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司 | 一种在晶片刻蚀设备中彻底释放静电卡盘静电的方法 |
US20070211402A1 (en) * | 2006-03-08 | 2007-09-13 | Tokyo Electron Limited | Substrate processing apparatus, substrate attracting method, and storage medium |
US7813103B2 (en) * | 2007-10-11 | 2010-10-12 | Applied Materials, Inc. | Time-based wafer de-chucking from an electrostatic chuck having separate RF BIAS and DC chucking electrodes |
WO2009078949A2 (en) * | 2007-12-13 | 2009-06-25 | Lam Research Corporation | Method for using an rc circuit to model trapped charge in an electrostatic chuck |
TWI475594B (zh) | 2008-05-19 | 2015-03-01 | Entegris Inc | 靜電夾頭 |
US8313612B2 (en) * | 2009-03-24 | 2012-11-20 | Lam Research Corporation | Method and apparatus for reduction of voltage potential spike during dechucking |
KR101680787B1 (ko) | 2009-05-15 | 2016-11-29 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 중합체 돌기들을 가지는 정전 척 |
US8861170B2 (en) | 2009-05-15 | 2014-10-14 | Entegris, Inc. | Electrostatic chuck with photo-patternable soft protrusion contact surface |
US8916793B2 (en) | 2010-06-08 | 2014-12-23 | Applied Materials, Inc. | Temperature control in plasma processing apparatus using pulsed heat transfer fluid flow |
US9338871B2 (en) * | 2010-01-29 | 2016-05-10 | Applied Materials, Inc. | Feedforward temperature control for plasma processing apparatus |
US8462480B2 (en) * | 2010-05-26 | 2013-06-11 | Illinois Tool Works Inc. | In-line gas ionizer with static dissipative material and counterelectrode |
US8880227B2 (en) | 2010-05-27 | 2014-11-04 | Applied Materials, Inc. | Component temperature control by coolant flow control and heater duty cycle control |
KR101731136B1 (ko) | 2010-05-28 | 2017-04-27 | 엔테그리스, 아이엔씨. | 표면저항이 높은 정전 척 |
US8608852B2 (en) | 2010-06-11 | 2013-12-17 | Applied Materials, Inc. | Temperature controlled plasma processing chamber component with zone dependent thermal efficiencies |
TWI493620B (zh) * | 2010-06-29 | 2015-07-21 | Global Unichip Corp | 調整導線蝕刻機內的靜電吸盤電壓以釋放累積電荷 |
US8580693B2 (en) * | 2010-08-27 | 2013-11-12 | Applied Materials, Inc. | Temperature enhanced electrostatic chucking in plasma processing apparatus |
US8832916B2 (en) * | 2011-07-12 | 2014-09-16 | Lam Research Corporation | Methods of dechucking and system thereof |
US10274270B2 (en) | 2011-10-27 | 2019-04-30 | Applied Materials, Inc. | Dual zone common catch heat exchanger/chiller |
TW201327712A (zh) * | 2011-11-01 | 2013-07-01 | Intevac Inc | 以電漿處理太陽能電池晶圓之系統架構 |
JP5794905B2 (ja) * | 2011-12-07 | 2015-10-14 | 株式会社アルバック | リフロー法及び半導体装置の製造方法 |
JP6013740B2 (ja) * | 2012-02-03 | 2016-10-25 | 東京エレクトロン株式会社 | 離脱制御方法及びプラズマ処理装置の制御装置 |
US20130240144A1 (en) * | 2012-03-13 | 2013-09-19 | Applied Materials, Inc. | Fast response fluid temperature control system |
US20140042152A1 (en) * | 2012-08-08 | 2014-02-13 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Variable frequency microwave device and method for rectifying wafer warpage |
JP5946365B2 (ja) * | 2012-08-22 | 2016-07-06 | 株式会社アルバック | 静電吸着装置、残留吸着除去方法 |
DE102012109073A1 (de) * | 2012-09-26 | 2014-03-27 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Verfahren zum Betrieb einer Greifvorrichtung sowie elektrostatische Greifvorrichtung |
CN103840877B (zh) | 2012-11-23 | 2017-11-24 | 中兴通讯股份有限公司 | 自动检测光纤非对称性的时间同步装置及方法 |
US10324121B2 (en) * | 2012-12-28 | 2019-06-18 | Axcelis Technologies, Inc. | Charge integration based electrostatic clamp health monitor |
US9633885B2 (en) * | 2014-02-12 | 2017-04-25 | Axcelis Technologies, Inc. | Variable electrode pattern for versatile electrostatic clamp operation |
CN103972013B (zh) * | 2014-05-14 | 2016-08-24 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种真空设备 |
US10546768B2 (en) | 2015-02-25 | 2020-01-28 | Corning Incorporated | Apparatus and method to electrostatically chuck substrates to a moving carrier |
JP6505027B2 (ja) | 2016-01-04 | 2019-04-24 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 試料の離脱方法およびプラズマ処理装置 |
KR101765091B1 (ko) * | 2016-07-01 | 2017-08-07 | 세메스 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
US10923379B2 (en) * | 2017-02-15 | 2021-02-16 | Lam Research Corporation | Methods for controlling clamping of insulator-type substrate on electrostatic-type substrate support structure |
US11241720B2 (en) * | 2018-03-22 | 2022-02-08 | Tel Manufacturing And Engineering Of America, Inc. | Pressure control strategies to provide uniform treatment streams in the manufacture of microelectronic devices |
US10555412B2 (en) | 2018-05-10 | 2020-02-04 | Applied Materials, Inc. | Method of controlling ion energy distribution using a pulse generator with a current-return output stage |
JP2019201125A (ja) * | 2018-05-17 | 2019-11-21 | 三菱電機株式会社 | ウエハ研削装置およびウエハ研削方法 |
US11476145B2 (en) * | 2018-11-20 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Automatic ESC bias compensation when using pulsed DC bias |
CN113169026B (zh) | 2019-01-22 | 2024-04-26 | 应用材料公司 | 用于控制脉冲电压波形的反馈回路 |
US11508554B2 (en) | 2019-01-24 | 2022-11-22 | Applied Materials, Inc. | High voltage filter assembly |
JP7341043B2 (ja) * | 2019-12-06 | 2023-09-08 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US11848176B2 (en) | 2020-07-31 | 2023-12-19 | Applied Materials, Inc. | Plasma processing using pulsed-voltage and radio-frequency power |
JP7489865B2 (ja) * | 2020-08-24 | 2024-05-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
US11901157B2 (en) | 2020-11-16 | 2024-02-13 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11798790B2 (en) | 2020-11-16 | 2023-10-24 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and methods for controlling ion energy distribution |
US11495470B1 (en) | 2021-04-16 | 2022-11-08 | Applied Materials, Inc. | Method of enhancing etching selectivity using a pulsed plasma |
US11948780B2 (en) | 2021-05-12 | 2024-04-02 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11791138B2 (en) | 2021-05-12 | 2023-10-17 | Applied Materials, Inc. | Automatic electrostatic chuck bias compensation during plasma processing |
US11967483B2 (en) | 2021-06-02 | 2024-04-23 | Applied Materials, Inc. | Plasma excitation with ion energy control |
US11984306B2 (en) | 2021-06-09 | 2024-05-14 | Applied Materials, Inc. | Plasma chamber and chamber component cleaning methods |
US11810760B2 (en) | 2021-06-16 | 2023-11-07 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method of ion current compensation |
US11569066B2 (en) | 2021-06-23 | 2023-01-31 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
US11776788B2 (en) | 2021-06-28 | 2023-10-03 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage boost for substrate processing |
US11476090B1 (en) | 2021-08-24 | 2022-10-18 | Applied Materials, Inc. | Voltage pulse time-domain multiplexing |
US11694876B2 (en) | 2021-12-08 | 2023-07-04 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for delivering a plurality of waveform signals during plasma processing |
US11972924B2 (en) | 2022-06-08 | 2024-04-30 | Applied Materials, Inc. | Pulsed voltage source for plasma processing applications |
Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04100256A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-04-02 | Fujitsu Ltd | 静電吸着機構を備えた処理装置および被吸着体の離脱方法 |
JPH05291384A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Fujitsu Ltd | 静電吸着方法 |
JPH08250579A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置の静電チャック用電源および半導体製造装置 |
JPH08274150A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Nec Corp | 静電吸着ステージ |
JPH08316297A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-11-29 | Sony Corp | 静電チャック及びその制御方法 |
JPH09213780A (ja) * | 1996-01-29 | 1997-08-15 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャック装置及び静電チャックの離脱方法 |
JPH09260475A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Nec Corp | 半導体ウエハ・チャック装置及び半導体ウエハの剥離方法 |
JPH09298192A (ja) * | 1996-03-04 | 1997-11-18 | Sony Corp | 半導体装置の製造装置および静電チャックからのウエハ脱着方法 |
JPH1060672A (ja) * | 1996-08-20 | 1998-03-03 | Nec Corp | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JPH10150099A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャックの離脱方法 |
JPH10150100A (ja) * | 1996-09-19 | 1998-06-02 | Hitachi Ltd | 静電チャックとそれを用いた試料処理方法及び装置 |
JPH10209258A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-07 | Hitachi Ltd | 静電吸着保持方法および装置 |
Family Cites Families (36)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2506219B2 (ja) * | 1990-06-19 | 1996-06-12 | 富士通株式会社 | 静電吸着方法 |
JPH06103683B2 (ja) * | 1990-08-07 | 1994-12-14 | 株式会社東芝 | 静電吸着方法 |
JPH04225516A (ja) * | 1990-12-27 | 1992-08-14 | Fujitsu Ltd | 光気相成長方法 |
US5325261A (en) * | 1991-05-17 | 1994-06-28 | Unisearch Limited | Electrostatic chuck with improved release |
JPH0513556A (ja) * | 1991-07-01 | 1993-01-22 | Toshiba Corp | 静電チヤツク |
US5444597A (en) * | 1993-01-15 | 1995-08-22 | Blake; Julian G. | Wafer release method and apparatus |
US5557215A (en) * | 1993-05-12 | 1996-09-17 | Tokyo Electron Limited | Self-bias measuring method, apparatus thereof and electrostatic chucking apparatus |
JPH0774231A (ja) * | 1993-08-31 | 1995-03-17 | Tokyo Electron Ltd | 処理装置及びその使用方法 |
JP3257180B2 (ja) * | 1993-09-21 | 2002-02-18 | ソニー株式会社 | 成膜方法 |
JP2626539B2 (ja) * | 1993-12-15 | 1997-07-02 | 日本電気株式会社 | 静電吸着装置 |
US5463525A (en) * | 1993-12-20 | 1995-10-31 | International Business Machines Corporation | Guard ring electrostatic chuck |
JPH07211768A (ja) * | 1994-01-13 | 1995-08-11 | Hitachi Ltd | 静電吸着装置の保持状態確認方法 |
TW288253B (ja) * | 1994-02-03 | 1996-10-11 | Aneruba Kk | |
US5459632A (en) * | 1994-03-07 | 1995-10-17 | Applied Materials, Inc. | Releasing a workpiece from an electrostatic chuck |
TW293231B (ja) * | 1994-04-27 | 1996-12-11 | Aneruba Kk | |
US5491603A (en) * | 1994-04-28 | 1996-02-13 | Applied Materials, Inc. | Method of determining a dechucking voltage which nullifies a residual electrostatic force between an electrostatic chuck and a wafer |
US5507874A (en) * | 1994-06-03 | 1996-04-16 | Applied Materials, Inc. | Method of cleaning of an electrostatic chuck in plasma reactors |
US5474614A (en) * | 1994-06-10 | 1995-12-12 | Texas Instruments Incorporated | Method and apparatus for releasing a semiconductor wafer from an electrostatic clamp |
US5708556A (en) * | 1995-07-10 | 1998-01-13 | Watkins Johnson Company | Electrostatic chuck assembly |
JPH0982787A (ja) * | 1995-09-19 | 1997-03-28 | Toshiba Corp | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 |
US5847918A (en) * | 1995-09-29 | 1998-12-08 | Lam Research Corporation | Electrostatic clamping method and apparatus for dielectric workpieces in vacuum processors |
JPH09219441A (ja) * | 1996-02-08 | 1997-08-19 | Fujitsu Ltd | 静電チャックからの被処理基板離脱方法及び製造装置 |
US5708250A (en) * | 1996-03-29 | 1998-01-13 | Lam Resarch Corporation | Voltage controller for electrostatic chuck of vacuum plasma processors |
US5764471A (en) * | 1996-05-08 | 1998-06-09 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for balancing an electrostatic force produced by an electrostatic chuck |
JPH101998A (ja) * | 1996-06-17 | 1998-01-06 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 衛生洗浄装置 |
US5793192A (en) * | 1996-06-28 | 1998-08-11 | Lam Research Corporation | Methods and apparatuses for clamping and declamping a semiconductor wafer in a wafer processing system |
JP2931255B2 (ja) * | 1996-07-04 | 1999-08-09 | 日本曹達株式会社 | トイレ排水管のスケール防止方法 |
KR100214501B1 (ko) * | 1996-08-08 | 1999-08-02 | 구본준 | 유니포울러 정전척 |
US5818682A (en) * | 1996-08-13 | 1998-10-06 | Applied Materials, Inc. | Method and apparatus for optimizing a dechucking period used to dechuck a workpiece from an electrostatic chuck |
TW334609B (en) * | 1996-09-19 | 1998-06-21 | Hitachi Ltd | Electrostatic chuck, method and device for processing sanyle use the same |
US5737177A (en) * | 1996-10-17 | 1998-04-07 | Applied Materials, Inc. | Apparatus and method for actively controlling the DC potential of a cathode pedestal |
JPH10242256A (ja) * | 1997-02-26 | 1998-09-11 | Kyocera Corp | 静電チャック |
US5894400A (en) * | 1997-05-29 | 1999-04-13 | Wj Semiconductor Equipment Group, Inc. | Method and apparatus for clamping a substrate |
US5933314A (en) * | 1997-06-27 | 1999-08-03 | Lam Research Corp. | Method and an apparatus for offsetting plasma bias voltage in bi-polar electro-static chucks |
JPH10163308A (ja) * | 1997-11-04 | 1998-06-19 | Hitachi Ltd | プラズマ処理方法および装置 |
US5880924A (en) * | 1997-12-01 | 1999-03-09 | Applied Materials, Inc. | Electrostatic chuck capable of rapidly dechucking a substrate |
-
1998
- 1998-09-30 US US09/163,370 patent/US6125025A/en not_active Expired - Lifetime
-
1999
- 1999-09-10 JP JP2000572927A patent/JP4698025B2/ja not_active Expired - Fee Related
- 1999-09-10 AU AU59136/99A patent/AU5913699A/en not_active Abandoned
- 1999-09-10 WO PCT/US1999/020615 patent/WO2000019519A1/en active IP Right Grant
- 1999-09-10 KR KR1020017004017A patent/KR100708237B1/ko not_active IP Right Cessation
- 1999-09-29 TW TW088116744A patent/TW426930B/zh not_active IP Right Cessation
-
2009
- 2009-09-07 JP JP2009206036A patent/JP2010050464A/ja active Pending
- 2009-09-07 JP JP2009205952A patent/JP5135306B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2009-09-07 JP JP2009206010A patent/JP2010050463A/ja active Pending
Patent Citations (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04100256A (ja) * | 1990-08-20 | 1992-04-02 | Fujitsu Ltd | 静電吸着機構を備えた処理装置および被吸着体の離脱方法 |
JPH05291384A (ja) * | 1992-04-13 | 1993-11-05 | Fujitsu Ltd | 静電吸着方法 |
JPH08250579A (ja) * | 1995-03-14 | 1996-09-27 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体製造装置の静電チャック用電源および半導体製造装置 |
JPH08274150A (ja) * | 1995-03-31 | 1996-10-18 | Nec Corp | 静電吸着ステージ |
JPH08316297A (ja) * | 1995-05-24 | 1996-11-29 | Sony Corp | 静電チャック及びその制御方法 |
JPH09213780A (ja) * | 1996-01-29 | 1997-08-15 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャック装置及び静電チャックの離脱方法 |
JPH09298192A (ja) * | 1996-03-04 | 1997-11-18 | Sony Corp | 半導体装置の製造装置および静電チャックからのウエハ脱着方法 |
JPH09260475A (ja) * | 1996-03-26 | 1997-10-03 | Nec Corp | 半導体ウエハ・チャック装置及び半導体ウエハの剥離方法 |
JPH1060672A (ja) * | 1996-08-20 | 1998-03-03 | Nec Corp | プラズマ処理装置及びプラズマ処理方法 |
JPH10150100A (ja) * | 1996-09-19 | 1998-06-02 | Hitachi Ltd | 静電チャックとそれを用いた試料処理方法及び装置 |
JPH10150099A (ja) * | 1996-11-20 | 1998-06-02 | Tokyo Electron Ltd | 静電チャックの離脱方法 |
JPH10209258A (ja) * | 1997-01-22 | 1998-08-07 | Hitachi Ltd | 静電吸着保持方法および装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2010050463A (ja) | 2010-03-04 |
US6125025A (en) | 2000-09-26 |
JP2010062570A (ja) | 2010-03-18 |
JP2010050464A (ja) | 2010-03-04 |
TW426930B (en) | 2001-03-21 |
WO2000019519B1 (en) | 2000-05-25 |
KR20010083878A (ko) | 2001-09-03 |
KR100708237B1 (ko) | 2007-04-16 |
JP5135306B2 (ja) | 2013-02-06 |
JP2002526923A (ja) | 2002-08-20 |
AU5913699A (en) | 2000-04-17 |
WO2000019519A1 (en) | 2000-04-06 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4698025B2 (ja) | 真空プロセッサ中の誘電体工作物のための静電デチャッキング方法および装置 | |
JP4414099B2 (ja) | 真空プロセッサのワークピースのチャック解除方法および装置 | |
US6965506B2 (en) | System and method for dechucking a workpiece from an electrostatic chuck | |
JP2002526935A5 (ja) | ||
JPH0864664A (ja) | 静電チャックとウェハの間の残留静電力を無効にするチャック開放電圧を決定する方法 | |
US7218503B2 (en) | Method of determining the correct average bias compensation voltage during a plasma process | |
US6373681B2 (en) | Electrostatic chuck, and method of and apparatus for processing sample using the chuck | |
KR100613198B1 (ko) | 플라즈마 처리 장치, 포커스 링 및 서셉터 | |
US7583492B2 (en) | Method of determining the correct average bias compensation voltage during a plasma process | |
US5874361A (en) | Method of processing a wafer within a reaction chamber | |
US5460684A (en) | Stage having electrostatic chuck and plasma processing apparatus using same | |
TWI474372B (zh) | Plasma processing device | |
TWI632638B (zh) | 靜電夾取方法和裝置 | |
JP4064557B2 (ja) | 真空処理装置の基板取り外し制御方法 | |
JP4140763B2 (ja) | プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 | |
JPH06169008A (ja) | 静電チャック装置および静電チャック方法 | |
JP3966931B2 (ja) | 静電吸着装置、静電吸着力測定方法、記録媒体 | |
JPH09293775A (ja) | 静電チャック | |
JP2617044B2 (ja) | ウエハー保持装置およびその制御方法 | |
JPH08222555A (ja) | 絶縁膜製造装置および製造方法 | |
JPH0395953A (ja) | 静電吸着型ウエハサセプタ | |
JPH04142734A (ja) | 微細加工装置及び方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060904 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20090310 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090605 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090612 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090706 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090713 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20090806 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20090813 |
|
A524 | Written submission of copy of amendment under section 19 (pct) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A524 Effective date: 20090907 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100304 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100527 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100603 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20100629 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20100706 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100804 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110214 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110301 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4698025 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |