JP4511591B2 - 基板洗浄装置及び洗浄部材の交換時期判定方法 - Google Patents
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Description
〔発明を実施するための最良の形態〕
転数で同図の矢印Fで示す方向に回転する洗浄部材2に当接して該洗浄部材2の外周面を押圧洗浄する石英板等の当接部材(洗浄治具)14と、該当接部材14を並進運動させる駆動装置21を具備して構成される。
を測定手段13でモニターする。ここでは、洗浄液11に含まれるパーティクル数を測定
したり、洗浄液11の成分濃度を測定したりすることで、洗浄液11の汚染度をモニター
する。このモニター結果を駆動装置21にフィードバックすることで、洗浄部材2の汚染
度が低くなるように当接部材14の動作を制御する。即ち、洗浄液11の汚染度が高いと
判断された場合は、制御装置19は、洗浄部材2が汚染されていると判断し、駆動装置2
1へ所定の制御信号を送信して当接部材14の動きを制御することで、洗浄部材2の洗浄
条件を変更する。
式図である。スポンジ材等で構成された洗浄部材2は、同図(a)に示すように、表面部
分に比較的硬質で小さい気孔28が形成された表層部25を備え、その内部に、比較的軟
質で大きい気孔28が形成された下層部26を備えて構成されている。従って、洗浄部材
2の表層部25が残存している場合は、同図(a)に示すように、表面の気孔28の数は
少なく、その径も小さい。
する洗浄部材洗浄装置の構成例を示す図である。同図に示す洗浄部材洗浄装置10-4は
、ペンシル型スポンジ2を洗浄槽12に溜めた洗浄液11内に浸漬させて、観察壁15に
反復衝突させることで洗浄を行うもので、その構成及び動作は図4に示す洗浄部材洗浄装
置1-2と共通するため、ここでは詳細な説明は省略する。
Claims (10)
- 基板に当接してスクラブ洗浄する洗浄部材を備えた基板洗浄装置の洗浄部材交換時期判定方法であって、
前記洗浄部材が、異なる硬度及び気孔の状態を有する表層部(25)及び下層部(26)を有するものであり、
基板洗浄作業中又は洗浄部材洗浄中の洗浄部材の表面の気孔の状態又は硬度の変化から洗浄部材の交換時期を判定する段階を有し、
前記気孔の状態は、画像取得手段(16)で検知されたものであり、前記硬度は、硬度測定手段(32)で測定されたものであることを特徴とする方法。 - 前記洗浄部材の交換時期を判定する段階が、洗浄部材の交換時期を洗浄部材の前記気孔の状態の変化又は前記硬度の変化により前記表層部(25)が消失したことを判定する段階を有することを特徴とする請求項1に記載の方法。
- 前記検知される気孔の状態が表層部及び下層部の単位面積当たりの孔径分布及び孔面積であることを特徴とする請求項1又は2に記載の方法。
- 基板に当接してスクラブ洗浄する洗浄部材(2)を備えた基板洗浄装置であって、
前記洗浄部材が、異なる硬度及び気孔の状態を有する表層部(25)及び下層部(26)を有するものであり、
前記基板洗浄装置は、基板洗浄作業中又は洗浄部材洗浄中の洗浄部材の表面の気孔の状態を検知する画像取得手段(16)、及び検知した気孔の状態の変化から洗浄部材の交換時期を判定する交換時期判定手段(19)を具備することを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記画像取得手段(16)がCCDカメラ又は顕微鏡であることを特徴とする請求項4に記載の基板洗浄装置。
- 前記画像取得手段(16)が透明又は半透明の観察壁に洗浄部材を当接させて画像を取得することを特徴とする請求項4又は5に記載の基板洗浄装置。
- 前記画像取得手段(16)が洗浄部材を洗浄するための洗浄装置に具備されることを特徴とする請求項4乃至6のいずれかに記載の基板洗浄装置。
- 基板に当接してスクラブ洗浄する洗浄部材(2)を備えた基板洗浄装置であって、
前記洗浄部材が、異なる硬度及び気孔の状態を有する表層部(25)及び下層部(26)を有するものであり、
前記基板洗浄装置は、基板洗浄作業中又は洗浄部材洗浄中の洗浄部材の表面の硬度を測定する硬度測定手段(32)、及び測定した洗浄部材表面の硬度の変化から洗浄部材の交換時期を判定する交換時期判定手段(19)を具備することを特徴とする基板洗浄装置。 - 前記硬度測定手段(32)が超微小硬度計又は薄膜硬度計を具備することを特徴とする請求項8に記載の基板洗浄装置。
- 前記交換時期判定手段は、前記気孔の状態の変化又は前記硬度の変化により前記表層部(25)が消失したことを判断することにより前記洗浄部材の交換時期を判定することを特徴とする請求項4乃至9のいずれかに記載の基板洗浄装置。
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