JP7289697B2 - 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 - Google Patents
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Description
を有する構成である。
図1は本発明の実施の形態に係る基板洗浄装置の正面概略図、図2は本発明の実施の形態に係る基板洗浄装置の平面概略図、図3は図2に一点鎖線の円で示すA部の拡大図である。
次に図5を参照して、基板洗浄装置11を使用した基板の洗浄手順について説明する。本実施例においては、有機EL素子が形成された基板12を洗浄する工程を説明するが、この基板12は、図3に点線で模式的に示すように碁盤の目状に素子が規則正しく形成されている。
12 ガラス製の基板(有機EL層形成)
12a ガラス製の基板
15a1、15a2、15b1、15b2 基板搬送ローラ
16a1、16a2、16b1、16b2 基板押え用ローラ
18 基板搬送補助ローラ
23 洗浄ローラ部
25 昇降移動部
26 押圧部
27 洗浄液槽
31 制御部
33 回転軸
35 スポンジ体
37 洗浄液
41 押圧軸体
42 取付具
43a、43b 押圧移動体
Claims (8)
- 光透過性を有する基板を洗浄する基板洗浄装置であって、
前記基板を搬送する基板搬送機構と、
前記基板搬送機構により搬送される前記基板の一方の表面に対し、接触させて洗浄する洗浄ローラ部と、
前記一方の表面に接触された前記洗浄ローラ部の接触面の状態を前記基板の他方の表面の側から画像として取得する画像取得部と、
前記画像取得部で取得した前記接触面の画像に基づいて、前記接触面が所定の基準に基づく接触状態であるか否かを判定する画像判定手段と、
を有する基板洗浄装置。 - 前記基板は、前記他方の面にのみ複数の素子が形成された基板であり、
前記画像判定手段は、前記画像取得部で取得した前記接触面の画像の、前記基板の搬送方向における前記基板と前記洗浄ローラ部の接触面が含まれる前記素子の数をカウントし、カウントした前記素子の数と予め設定した基準数とを比較することで、前記接触面が所定の基準に基づく接触状態であるか否かを判定することを特徴とする請求項1に記載の基板洗浄装置。 - 前記所定の基準に基づく接触状態は、前記基板の搬送方向と交わる方向に設けた前記接触面の計測地点において、前記接触面の前記基板の搬送方向の長さが所定の範囲の長さにある接触状態であるとする請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記洗浄ローラ部は、前記基板の搬送方向と交わる方向を軸方向とする回転軸と、前記回転軸を包み込む円筒形状のスポンジ体により形成され、
前記洗浄ローラ部の表面を押圧する押圧軸体と、前記押圧軸体を移動させる押圧移動体とを備える押圧部と、
前記押圧部の位置を調整する押圧調整手段と、を有し、
前記画像判定手段により前記接触面が前記所定の基準に基づく接触状態でないと判定されたときに、前記押圧調整手段は、前記押圧移動体により前記押圧軸体を移動させて前記接触面を前記所定の基準に基づく接触状態に調整する請求項1乃至3のいずれかに記載の基板洗浄装置。 - 前記押圧軸体は、前記洗浄ローラ部の前記回転軸と平行に設けられ、前記押圧部は前記押圧軸体を中心に回転しながら前記洗浄ローラ部を押圧することを特徴とする請求項4記載の基板洗浄装置。
- さらに、前記洗浄ローラ部を昇降移動させる昇降移動部と、前記昇降移動部を移動させて前記接触面を所定の基準に基づく接触状態に調整する昇降調整手段と、を有し、前記画像判定手段により前記接触面が前記所定の基準に基づく接触状態でないと判定されたときに、前記押圧調整手段による接触面の調整に加え、又は前記押圧調整手段による接触面の調整に替えて、前記昇降調整手段は、前記洗浄ローラ部を昇降移動させて前記接触面を前記所定の基準に基づく接触状態に調整する請求項4又は5に記載の基板洗浄装置。
- 光透過性を有する基板を洗浄する基板洗浄方法であって、
搬送される前記基板の一方の表面に対し、洗浄ローラ部を回転接触させて洗浄する洗浄工程と、
前記一方の表面に接触された前記洗浄ローラ部の接触面の画像を前記基板の他方の表面の側から前記接触面が所定の基準に基づく接触状態であるか否かを判定する判定工程と、
前記判定工程における判定に基づいて、前記洗浄ローラ部の接触状態を調整する洗浄ローラ部調整工程と、
を有する基板洗浄方法。 - 前記基板は、表面に前記所定の基準に基づく接触状態の接触面の範囲を示す表示がされたガラス又は合成樹脂製の基板である請求項7に記載の基板洗浄方法。
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