JP4403462B2 - オンダイターミネーション回路を備えた半導体メモリ装置 - Google Patents

オンダイターミネーション回路を備えた半導体メモリ装置 Download PDF

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Description

本発明は、半導体メモリ装置、特にオンダイターミネーション(On Die Termination)回路を備えた半導体メモリ装置に関する。
半導体メモリ装置は、主にマイクロプロセッサのメインメモリとして使われている。また、マイクロプロセッサと半導体メモリ装置との間のデータ交換を中継するために、チップセットと呼ばれる回路ブロックが用いられている。
半導体メモリ装置にデータが伝送される際、チップセットの出力バッファから出力されたデータ信号が、半導体メモリ装置の入力バッファに入力される。この時発生するのが、信号反射現象である。信号反射現象とは、メモリ装置に設けられた入力バッファの入力端における入力インピーダンスと、データ伝送ラインのインピーダンスとの間で、インピーダンスのミスマッチングが生じ、メモリ装置の入力バッファに入力されたデータ信号のうちの一定部分が、データ伝送ラインに反射される現象のことである。
チップセットからデータ信号が連続して出力される場合、出力速度がそれほど速くなければ、上記の信号反射現象は大きな問題とはならない。しかし、出力されるデータ信号の速度が一定の速度以上になると、信号反射現象の影響によって、メモリ装置がデータを安定して受信することができなくなる。
すなわち、チップセットにおいて、前に出力されたデータ信号の反射信号と、その次に出力されたデータ信号との間に干渉現象が発生し、データが正しくメモリ装置に入力されないという事態が発生する。この現象を防止するために、メモリ装置の入力端にターミネーション回路を設け、メモリ装置のデータ入力端のインピーダンスと、データが伝送されるラインのインピーダンスとのマッチングが図られている。
ターミネーション回路は、通常インピーダンスマッチング用のターミネーション抵抗とスイッチとで構成されており、データが入力される間、データ入力端に、インピーダンスマッチング用のターミネーション抵抗を接続させることにより、インピーダンスのマッチングがとられるようになっている。
図1は、チップッセットとメモリ装置との間に設けられたターミネーション回路を示すブロック図である。図1に示したように、メモリ装置20の入力バッファ21の入力端側に、ターミネーション回路30が設けられている。チップセット10の出力バッファ11から出力されたデータ信号Daが、メモリ装置20の入力バッファ21で受信される際、ターミネーション回路30によって、インピーダンスマッチングが行われ、信号反射現象が防止されるようになっている。
ターミネーション回路30は、データ伝送ライン40と電源電圧端VDDとの間に接続された抵抗Raと、接地電圧端VSSとデータ伝送ライン40との間に接続された抵抗Rbとで構成されている。
例えば、データ伝送ラインのインピーダンスが28Ωの場合には、抵抗Ra及び抵抗Rbの抵抗値をそれぞれ56Ωとし、2つの抵抗の等価抵抗が28Ωになるようにして、データ入力端のインピーダンスを、データ伝送ラインのインピーダンス28Ωに合わせている。なお、抵抗Raと抵抗Rbとの共通ノードXには、電源電圧の1/2の電圧が印加される。
データ伝送ライン40を介して伝送されたデータ信号Daは、ターミネーション回路30によってインピーダンスマッチングが行われ、入力バッファ21に伝送される。一方、反射されたデータ信号Drは、ターミネーション回路30に設けられた抵抗Ra、Rbを介して除去される。
したがって、出力バッファ11を介して出力されたデータが、入力バッファ21によって再びデータ伝送ライン40に反射され、次に入力されるデータ信号と干渉現象を引き起こすことがない。そのために、干渉によって生じるデータの受信エラーが防止される。
近年、半導体メモリ装置の動作速度がますます高速化され、さらに高集積化されるようになってきた。そのため、上記のターミネーション回路30をメモリ装置内に備えたオンダイターミネーション(オンチップターミネーションとも呼ばれる)回路が提案された。
図2は、半導体メモリ装置に設けられたオンダイターミネーション回路を示す回路図である。図2に示したように、半導体メモリ装置のオンダイターミネーション回路50には、データ入出力パッドDQ、データ入力バッファ70及びデータ出力バッファ60が接続され、いずれもノードXに接続されている。
データ出力バッファ60は、メモリコア領域から伝送される出力データDoutを、データ入出力パッドDQを介して外部に出力する。データ入力バッファ70は、データ入出力パッドDQを介して入力される入力データDinを、メモリコア領域に伝送する。
半導体メモリ装置内に備えられたオンダイターミネーション回路50は、オンダイターミネーション信号ODT sigにターンオンされ、一端側が電源電圧端VDDに接続されたpMOSトランジスタMP1と、pMOSトランジスタMP1の他端側とノードXとの間に直列に接続された抵抗R1、R2と、反転されたオンダイターミネーション信号ODT sigにターンオンされ、一端側が接地電圧端VSSに接続されたnMOSトランジスタMN1と、nMOSトランジスタMN1の他端側とノードXとの間に直列に接続された抵抗R3、R4とを備えている。
通常、半導体メモリ装置は、パッドの数を少なくするために、1つのパッドによってデータの入出力が行われるようになっている。
したがって、オンダイターミネーション回路50は、データ入出力パッドDQがデータ出力パッドとして用いられる時には、非アクティブ(待機)状態を維持し、データ入出力パッドDQがデータ入力パッドとして用いられる時には、アクティブ状態を維持する。
オンダイターミネーション回路50では、オンダイターミネーション信号ODT sigが、ローレベルにアクティブ化された状態で入力されると、MOSトランジスタMP1、MN1がターンオンされ、ノードXの電圧レベルが電源電圧(VDD)の1/2になる。
上述のように、例えば、データ伝送ラインのインピーダンスが28Ωの場合には、抵抗R1、R2の抵抗値の合計及び抵抗R1、R2の抵抗値の合計をそれぞれ56Ωにする。
したがって、MOSトランジスタMP1、MN1がターンオンされた状態では、ノードXのインピーダンスは、データ入出力パッドDQに接続されたデータ伝送ラインのインピーダンスと同じで28Ωになる。
図3は、図2に示したオンダイターミネーション回路を簡略に示す回路図である。図3に示したように、ターミネーション抵抗RTT1、RTT2は、それぞれ図2に示した抵抗R1とR2、抵抗R3とR4に対応し、スイッチSW1、SW2は、それぞれpMOSトランジスタMP1、nMOSトランジスタMN1に対応している。なお、ターミネーション抵抗RTT1、RTT2は、いずれも抵抗値の制御が可能になっている。
スイッチSW1、SW2がターンオンされると、ターミネーション抵抗RTT1、RTT2がパッドDQに接続され、スイッチSW1、SW2がターンオフされると、ターミネーション抵抗RTT1、RTT2とパッドとの接続が遮断されるように構成されている。
上記のように構成された回路が動作する場合、データが入力される間、ターミネーション抵抗RTT1、RTT2を介して、多くの電流が継続して流れるようになり、電力が継続的に消費されることになる。
図4は、データ伝送電圧の変動と信号伝送に伴う電力消費量との関係を示すグラフである。図4に示したように、データ信号の幅(データ伝送電圧の変動)が大きいほど電力消費量が増加する傾向がある。言い換えれば、データ信号の幅が小さい場合には、電力消費量が少ない。
最近は、メモリ装置が高性能化され、データが高速で入出力されるようになったため、信号の幅はますます小さくなってきている。データ信号の幅が小さくなると、データ伝送に消費される電力は大幅に減少する。
しかし、従来のターミネーション回路の場合には、データの入力時に、常にターミネーション抵抗を通って直流電流が流れるので、高速で動作するメモリ装置にとっては、大きな負担となっている。
本発明は、上述した従来の技術の問題点を解決するためになされたものであって、その目的は、データが半導体装置に入力される際、消費される直流電力を大幅に減少させることができるオンダイターミネーション回路を備えた半導体メモリ装置を提供することにある。
上記目的を達成するために、本発明に係る半導体メモリ装置は、データ入出力パッドと、該データ入出力パッドから伝送されるデータをバッファリングして伝送するデータ入力バッファと、メモリ装置が接続されたボードから伝送されるオンダイターミネーション電圧が印加されるオンダイターミネーションパッドと、該オンダイターミネーションパッドと前記データ入出力パッドとの間に設けられたオンダイターミネーション抵抗と、前記データ入力バッファにデータが入力される間、前記オンダイターミネーション抵抗と、前記オンダイターミネーションパッドとを接続するスイッチと、前記スイッチを介して、前記オンダイターミネーション抵抗に接続された、オンダイターミネーション電圧を生成するオンダイターミネーション電圧発生部とを備え、前記スイッチが、前記オンダイターミネーション電圧発生部で生成されたオンダイターミネーション電圧、または前記オンダイターミネーションパッドを介して伝送されたオンダイターミネーション電圧を前記データ入力バッファの入力ノードに提供するようにスイッチングされることを特徴としている。
また、本発明に係るさらに別の半導体メモリ装置は、第1データ入力ノードに接続され、データ信号を受信し、伝送する第1データ入出力パッドと、第2データ入力ノードに接続され、反転された前記データ信号を受信して、伝送する第2データ入出パッドと、オンダイターミネーション電圧を出力するオンダイターミネーション電圧発生部と、一端側が前記第1データ入力ノードに接続された第1オンダイターミネーション抵抗と、一端側が前記第2データ入力ノードに接続された第2オンダイターミネーション抵抗と、記第1オンダイターミネーション抵抗の他端側に接続される第1スイッチと、記第2オンダイターミネーション抵抗の他端側に接続される第2スイッチと、前記第1データ入出力パッド及び前記第2データ入出力パッドから伝送されるデータ信号とその反転された信号とを比較して、メモリコアに伝送するデータ比較部とを備え、前記第1スイッチ及び前記第2スイッチが、前記第1データ入力ノード及び前記第2データ入力ノードを介してデータが入力される間、前記オンダイターミネーション電圧発生部で生成されたオンダイターミネーション電圧を各々前記第1データ入力ノード及び前記第2データ入力ノードに提供するようにスイッチングされることを特徴としている。
本発明に係るオンダイターミネーション回路を備えた半導体装置によれば、データ信号が入力される間、消費電力を大幅に低減させた状態で、ターミネーション電圧をデータ入力端Yに印加することができる。
したがって、本発明に係るオンダイターミネーション回路を備えた半導体メモリ装置は、電力消費量の大幅な節減が可能である。
以下、添付する図面を参照し、本発明に係るもっとも好ましい実施の形態を詳細に説明する。
図5は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。
図5に示したように、第1の実施の形態に係る半導体メモリ装置は、データ入出力パッドDQと、データ入出力パッドDQを介して伝送されるデータをバッファリングし、伝送するデータ入力バッファ60と、メモリ装置が接続されたシステムボードから伝送されるオンダイターミネーション電圧VTTが印加されるオンダイターミネーションパッドDQ ODTと、オンダイターミネーションパッドDQ ODTとデータ入出力パッドDQとの間に設けられたオンダイターミネーション抵抗RTT3と、データ入力バッファ60にデータが入力される間、オンダイターミネーション抵抗RTT3とオンダイターミネーションパッドDQ ODTとの接続をターンオン、ターンオフするスイッチSW3とを備えている。スイッチSW3は、MOSトランジスタを用いて構成することができる。
また、オンダイターミネーション抵抗RTT3は、抵抗値の制御が可能な可変抵抗器で構成されている。また、実施の形態に係る半導体メモリ装置は、このほかに、データ入出力パッドDQを介して、データを外部に伝送するデータ出力バッファ70を備えている。
スイッチSW3がターンオンされると、オンダイターミネーションパッドDQ ODTを介して、外部から伝送されるオンダイターミネーション電圧VTTが、抵抗RTT3を介してデータ入力端(ノード)Yに伝送される。なお、外部とは、半導体メモリ装置が接続されるシステム上のボードを意味し、第1の実施の形態に係る半導体メモリ装置の場合は、ボード上から供給されるターミネーション電圧VTTは、オンダイターミネーションパッドDQ ODTを介して伝送される。
従来の技術の場合には、図2に示したように、データ入力端(ノード)Xと電源電圧VDD、及びデータ入力端Xと接地電圧VSSとの間に接続された抵抗RTT1、RTT2を介して、直流電流が流れるようにして、データ入力端Xにターミネーション電圧が印加されるように構成されている。その場合、データが入力される間、継続的に直流電流が流れるので、データ入力時の消費電力のうち、ターミネーション用の消費電力が大きな割合を占めていた。
しかし、第1の実施の形態に係る半導体メモリ装置の場合は、抵抗RTT3がデータ入力端Yに直列に接続され、ターミネーション電圧が、ボードから印加されるようになっている。そのために、ターミネーション用の消費電力(電流)を大幅に減少させることができる。
技術の進歩に伴い、システムが高速で動作するようになり、データの伝送速度が、ますます高速化されてきている。データを高速で伝送するためには、データ入力端Yでは、ターミネーション処理が必要である。しかし、ターミネーション処理は電力消費量が多く、従来は、電力消費量が少ない素子、すなわち低電力素子を実現させることが困難であった。
実施の形態に係る半導体メモリ装置によれば、データを高速で伝送することが可能であるとともに、ターミネーション処理における電力消費を大幅に節減することによって、低電力素子を実現することができる。
図6は、第2の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。図6に示したように、第2の実施の形態に係る半導体メモリ装置は、データ入出力パッドDQと、データ入出力パッドDQから伝送されるデータをバッファリングし、伝送するデータ入力バッファ60と、オンダイターミネーション電圧VTTを出力するオンダイターミネーション電圧発生部100と、一端側がデータ入出力パッドDQに接続されたオンダイターミネーション抵抗RTT4と、データ入力バッファ60にデータが入力される間、オンダイターミネーション電圧発生部100とオンダイターミネーション抵抗RTT4とを接続し、オンダイターミネーション電圧発生部100から出力されるオンダイターミネーション電圧VTTを、オンダイターミネーション抵抗RTT4に伝送するスイッチSW4とを備えている。
ここで、データ入力端Yに印加される電圧は、オンダイターミネーション発生部100から出力されるターミネーション電圧VTTの1/2になるようにする。また、第2の実施の形態の場合も、オンダイターミネーション抵抗RTT4は、抵抗値の制御が可能な可変抵抗器で構成されている。
また、第2実施の形態に係る半導体メモリ装置は、このほかに、データ入出力パッドDQを介して、データを外部に伝送するデータ出力バッファ70を備えている。
第2の実施の形態に係る半導体メモリ装置は、データが入力される入力端Yにおけるターミネーション処理を行うために、データ入力端Yに、直列に接続された抵抗RTT4とスイッチSW4とを備え、メモリ装置内に設けられたオンダイターミネーション電圧発生部100で発生されたターミネーション用電圧VTTが、スイッチSW4と抵抗RTT4とを介して、データ入力端Yに伝送されるように構成されている。
したがって、直流電流が継続して流れるようにすることにより、データ入力端Xのターミネーションを行うようになっている従来のターミネーション(図2参照)とは異なり、実施の形態に係る半導体メモリ装置の場合には、データが入力される間だけ、入力端Yにおけるターミネーションが実行される。そのために、直流電流が流れる時間割合が少なく、消費電力を大幅に節減することができる。
また、ターミネーション用に印加されるターミネーション電圧は、別の電圧発生部100で生成するようになっているため、最適なターミネーション電圧をデータ入力端Yに印加することができる。
図7は、第3の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。図7に示したように、第3の実施の形態に係る半導体メモリ装置は、データ入出力パッドDQと、データ入出力パッドから伝送されるデータをバッファリングして伝送するデータ入力バッファ70と、メモリ装置が接続されたボードから伝送されるオンダイターミネーション電圧が印加されるオンダイターミネーションパッドDQ ODTと、オンダイターミネーションパッドDQ ODTとデータ入出力パッドとの間に設けられたオンダイターミネーション抵抗RTT5と、データ入力バッファ60にデータが入力される間、オンダイターミネーション抵抗RTT5とオンダイターミネーションパッドDQ ODTとを接続するスイッチSW5と、スイッチSW5を介して、オンダイターミネーション抵抗RTT5に接続された、オンダイターミネーション電圧を生成するオンダイターミネーション電圧発生部100とを備えている。なお、この場合も、オンダイターミネーション抵抗RTT5は、抵抗値の制御が可能な可変抵抗器で構成されている。
また、第3の実施の形態に係る半導体メモリ装置は、このほかに、データ入出力パッドを介してデータを外部に伝送するデータ出力バッファ70を備えている。
第3の実施の形態に係る半導体装置は、外部から印加されるオンダイターミネーション電圧をデータ入力端Yに伝送することも、オンダイターミネーション発生部100で生成され、出力されるオンダイターミネーション電圧を入力端Yに伝送することもできる。
抵抗RTT5が直列に接続されたデータ入力端Yに、データが伝送される間、外部からオンダイターミネーションパッドDQ ODTを介して、オンダイターミネーション電圧が伝送されるか、または、オンダイターミネーション発生部100から出力されるオンダイターミネーション電圧が、スイッチSW5を介して、データ入力端Yに伝送される。したがって、データが入力される間、ターミネーションによって消費される電力が大幅に少なくなる。
図8は、第4の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。図8に示したように、データ信号を受信して伝送する第1データ入出力パッドDQと、反転されたデータ信号を受信して伝送する第2データ入出力パッド/DQと、オンダイターミネーション電圧を出力するオンダイターミネーション電圧発生部100と、一端側が第1データ入出力パッドDQに接続された第1オンダイターミネーション抵抗RTT6と、一端側が第2データ入出力パッド/DQに接続された第2オンダイターミネーション抵抗RTT7と、第1データ入出力パッドDQにデータが入力される間、オンダイターミネーション電圧VTTを、第1オンダイターミネーション抵抗RTT6に伝送する第1スイッチSW6と、第2データ入出力バッファにデータが入力される間、第2オンダイターミネーション抵抗RTT7に、オンダイターミネーション電圧VTTを伝送する第2スイッチSW7と、第1データ入出力パッドDQと第2データ入出力パッド/DQから伝送されるデータ信号及びその反転された信号を比較し、メモリコアに伝送するデータ入力比較部60aとを備えている。なお、第1及び第2オンダイターミネーション抵抗RTT6、RTT7は、抵抗値の制御が可能な可変抵抗器で構成されている。
上記の第4の実施の形態に係る半導体メモリ装置は、第1データ入出力パッドDQを介して、外部にデータ信号を伝送する第1データ出力バッファ70aと、第2データ入出力パッド/DQを介して、反転されたデータ信号を外部に伝送する第2データ出力バッファ70bとをさらに備えている。
半導体装置が高速で動作する場合、従来のように1つのデータ信号が入力されるのではなく、データ信号とその反転された信号とが同時に入力されるか、または、出力されることがある。この場合、データの伝送用に、さらに別のパッド及びバッファが必要である。しかし、第4の実施の形態に係る半導体メモリ装置の場合は、2つの信号、すなわち、データ信号及びその反転されたデータ信号の差を検出し、その差を利用することによって処理することができるので、高速でデータの入出力を行うことができるという利点がある。
このように、第4の実施の形態に係る半導体メモリ装置は、オンダイターミネーション回路が、データ信号とその反転された信号とを用いてデータの入出力が実行されるようになっている。さらに、それぞれのパッドDQ、/DQにオンダイターミネーション抵抗が直列に接続され、オンダイターミネーション発生部100で生成し出力されるオンダイターミネーション電圧VTTは、スイッチSW6、SW7を介して、それぞれの入力端Y、Y′に供給されるようになっている。
したがって、データが入力される間、ターミネーション処理用に流れる直流電流は、第1〜第3の実施の形態の場合と同様に、データ入力時の消費電力が、従来のターミネーション処理に比べて大幅に少ない。
図9及び図10は、実施の形態に係るオンダイターミネーション回路を、メモリモジュールに適用した例を示すブロック図である。
通常、メモリモジュールの場合、複数のメモリ装置300、400が、ボードバス(DQ Bus)を介して、メモリコントローラ200に並列に接続されている。また、例えば1つのメモリ装置300は待機状態(非アクティブ)で、別のメモリ装置400はアクティブ状態である場合、抵抗RTT7aを介して、オンダイターミナルネーション電圧VTTを、ボードバス(DQ Bus)に印加することにより、待機状態のメモリ装置300に接続されたオンダイターミネーション回路をアクティブ化する。一方、アクティブ状態のメモリ装置400に接続されたオンダイターミネーション回路を非アクティブ化する。
このように動作させる理由は、アクティブ状態である半導体メモリ装置では、データが入力されているため、入力端Yにノイズが生じ、オンダイターミネーション電圧がノイズをさらに大きく増幅させるように作用するので、その作用が起こらないようにするためである。
待機状態のメモリ装置300は、データの入力が実行されないため、データ入力端Yでノイズが発生することがない。一方、アクティブ状態のメモリ装置400は、データの入力が実行されているため、データ入力端Yにノイズが発生する。
この時、メモリ装置300、400は、メモリコントローラ200に対して全て並列に接続されているため、データ入力端Yのターミネーション処理に、隣接するメモリ装置のターミネーション回路が用いられて、データ入力端Yのターミネーション処理が実行される。そのため、ノイズを大幅に減少させることができる。
図10は、アクティブ化された半導体メモリ装置のターミネーション回路が、そのまま用いられる場合を示す回路図である。
なお、本発明は、上記の実施の形態に限定されるものではなく、本発明に係る技術的思想から逸脱しない範囲内で様々な変更が可能であり、それらも本発明の技術的範囲に属する。
チップッセットとメモリ装置と間に設けられたターミネーション回路を示すブロック図である。 半導体メモリ装置に設けられるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。 図2に示したオンダイターミネーション回路を簡略に示す回路図である。 データ伝送電圧の変動と信号伝送に伴う電力消費との関係を示すグラフである。 本発明の第1の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。 本発明の第2の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。 本発明の第3の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。 本発明の第4の実施の形態に係る半導体メモリ装置におけるオンダイターミネーション回路を示す回路図である。 本発明の実施の形態に係るオンダイターミネーション回路を、メモリモジュールに適用した例を示すブロック図である。 本発明の実施の形態に係るオンダイターミネーション回路を、メモリモジュールに適用した例を示すブロック図である。
符号の説明
RTT1〜RTT7、RTT7a〜RTT8b オンダイターミネーション抵抗
60 入力バッファ
70 出力バッファ
SW1〜SW6 スイッチ
DQ、/DQ データ入出力パッド

Claims (6)

  1. データ入出力パッドと、
    該データ入出力パッドから伝送されるデータをバッファリングして伝送するデータ入力バッファと、
    メモリ装置が接続されたボードから伝送されるオンダイターミネーション電圧が印加されるオンダイターミネーションパッドと、
    該オンダイターミネーションパッドと前記データ入出力パッドとの間に設けられたオンダイターミネーション抵抗と、
    前記データ入力バッファにデータが入力される間、前記オンダイターミネーション抵抗と、前記オンダイターミネーションパッドとを接続するスイッチと、
    前記スイッチを介して、前記オンダイターミネーション抵抗に接続された、オンダイターミネーション電圧を生成するオンダイターミネーション電圧発生部とを備え
    前記スイッチが、前記オンダイターミネーション電圧発生部で生成されたオンダイターミネーション電圧、または前記オンダイターミネーションパッドを介して伝送されたオンダイターミネーション電圧を前記データ入力バッファの入力ノードに提供するようにスイッチングされることを特徴とする半導体メモリ装置。
  2. 前記オンダイターミネーション抵抗が、抵抗値の制御が可能な可変抵抗器で構成されていることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
  3. 前記データ入出力パッドを介して、データを外部に伝送するデータ出力バッファを、さらに備えることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
  4. 第1データ入力ノードに接続され、データ信号を受信し、伝送する第1データ入出力パッドと、
    第2データ入力ノードに接続され、反転された前記データ信号を受信して、伝送する第2データ入出パッドと、
    オンダイターミネーション電圧を出力するオンダイターミネーション電圧発生部と、
    一端側が前記第1データ入力ノードに接続された第1オンダイターミネーション抵抗と、
    一端側が前記第2データ入力ノードに接続された第2オンダイターミネーション抵抗と、
    記第1オンダイターミネーション抵抗の他端側に接続される第1スイッチと、
    記第2オンダイターミネーション抵抗の他端側に接続される第2スイッチと、
    前記第1データ入出力パッド及び前記第2データ入出力パッドから伝送されるデータ信号とその反転された信号とを比較して、メモリコアに伝送するデータ比較部とを備え
    前記第1スイッチ及び前記第2スイッチが、前記第1データ入力ノード及び前記第2データ入力ノードを介してデータが入力される間、前記オンダイターミネーション電圧発生部で生成されたオンダイターミネーション電圧を各々前記第1データ入力ノード及び前記第2データ入力ノードに提供するようにスイッチングされる
    ことを特徴とする半導体メモリ装置。
  5. 前記第1及び第2オンダイターミネーション抵抗が、抵抗値の制御が可能な可変抵抗器で構成されていることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
  6. 前記第1データ入出力パッドを介して、外部にデータ信号を伝送する第1データ出力バッファと、
    前記第2データ入出力パッドを介して、外部に反転された前記データ信号を伝送する第2データ出力バッファとを、さらに備えることを特徴とする請求項に記載の半導体メモリ装置。
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