JP4200792B2 - 積層セラミックコンデンサ - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、積層セラミックコンデンサに関し、より詳しくは内部導体と内部導体との間にセラミックグリーンシート(以下、「セラミックシート」という)が介装され、多層・薄層化が施された積層セラミックコンデンサに関する。
【0002】
【従来の技術】
近年、各種電子機器の分野では、セラミック焼結体に内部導体を内蔵させた積層セラミックコンデンサが多用されている。
【0003】
この種の積層セラミックコンデンサでは、内部導体と内部導体との間に誘電体セラミック層(以下、「誘電体層」という)が介装されているが、小型化・大容量化や低価格化の要請から、最近では、誘電体層の厚みが1μm程度まで薄層化されたものが開発されている。
【0004】
誘電体層が薄層化してくると、誘電体層の厚み方向におけるセラミック粒子の粒子数が少なくなる一方、誘電体層に印加される電界が高くなるため、信頼性が低下するおそれがある。このため、セラミック粒子の平均粒子径を小さくすることによって信頼性を向上させ、これにより誘電体層の厚みが1μm程度まで薄層化されたチタン酸バリウム系誘電体材料が開発されている。
【0005】
また、内部導体を形成する導電性材料についても、AgやPd等の貴金属材料に代えて、CuやNi等の卑金属材料を使用することにより、低価格化を可能とした積層セラミックコンデンサが開発されている。
【0006】
ところで、積層セラミックコンデンサの大容量化を図るためには、誘電体層の積層数を増加させたり、誘電体層の厚みを薄くすれば良いと考えられるが、内部導体を通常のスクリーン印刷法で形成した場合は、内部導体の薄膜化に限界があり、積層体に歪が生じ易くなる。
【0007】
すなわち、誘電体層の積層数を増加させた場合、内部導体が形成されている部分は内部導体が形成されていない部分に比べ、内部導体の膜厚分だけ厚くなるため、積層体に歪が生じ易くなる。したがって、内部導体の膜厚は、極力薄くする必要がある。
【0008】
ところが、上記導電性ペーストは、導電性粉末、有機バインダ及び有機溶媒との混合物であるため、焼成前の内部導体の膜厚は、導電性材料のみの厚みに比べて2〜3倍と厚くなる。
【0009】
このように内部導体をスクリーン印刷法で形成する場合は、内部導体の膜厚を薄膜化するのには限界があるため、内部導体の膜厚に起因した積層体の歪を緩和するのが困難となり、その結果、脱バインダ過程や焼成過程でデラミネーションやクラックの発生等の構造欠陥が発生するおそれが生じる。
【0010】
そこで、従来より、真空蒸着法やスパッタリング法等の薄膜形成法によりフィルム上に金属膜を形成した後、該金属膜をセラミックシートに転写し、これによりセラミックシート上に薄層で緻密な内部導体を形成する技術が提案されている(特許文献1及び2)。
【0011】
該特許文献1及び2では、内部導体が箔状の金属膜のみで形成されているので、内部導体の膜厚は金属成分のみの膜厚と略同一となり、内部導体の膜厚に起因する積層体の歪を大幅に緩和することができる。
【0012】
【特許文献1】
特開昭64−42809号公報
【特許文献2】
特開平8−124787号公報
【0013】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上記特許文献1及び2のように薄膜形成法で形成された金属膜を使用して内部導体を形成した場合、金属膜を構成する導電性材料は、非常に微細な結晶の集合体であり、1200℃の以上の焼成温度で焼結を行うと、金属の焼結が過度に進んで内部導体が玉化し、このため、本来、内部導体が形成されるべき導体形成領域に空隙が生じ、導体形成領域に対する内部導体の導体被覆率が低下する。
【0014】
したがって、内部導体を金属膜で形成する場合であっても、金属膜の膜厚を或る程度厚くする必要が生じるが、金属膜を厚くすると積層セラミックコンデンサの薄層化に支障を来たすと共に、金属膜を厚くすることによるコストの高騰化を招く。すなわち、上記特許文献1及び2のような従来技術では、誘電体層を薄くしても内部導体の膜厚を十分に薄くすることができないため、積層セラミックコンデンサの多層化には限界があり、例えば100μF以上の大容量の積層セラミックコンデンサを得ることはできなかった。
【0015】
本発明はこのような事情に鑑みなされたものであって、デラミネーションやクラック等の構造欠陥が生じることもなく、信頼性の高い薄層・多層化された大容量の積層セラミックコンデンサを提供することを目的とする。
【0016】
【課題を解決するための手段】
チタン酸バリウムのような誘電体セラミックを焼結させるためには、通常は1300℃以上の高温で焼成しなければならないが、SiO2等の焼結助剤を使用することにより、焼結温度を低下させることが可能であり、さらに、SiO2−B2O3−Li2O系ガラス材のような低融点組成の焼結助剤を大量に添加することにより、1000℃以下の低温で焼結させることが可能である。
【0017】
しかしながら、このようなガラス成分を含有した焼結助剤を大量に添加した場合、ガラスの液相成分が、そのまま結晶粒界や結晶粒子の三重点、更には内部導体との界面付近に偏析してしまう。そして、誘電体層の厚みが薄い領域では、この偏析層の影響が大きく、誘電率が低下したり、信頼性の低下を招くおそれがある。
【0018】
そこで、本発明者が鋭意研究を重ねたところ、内部導体を薄膜形成法で薄く形成すると共に、導体形成領域に対する内部導体の導体被覆率を、意図的に90%以下に低下させ、導体形成領域に部分的に空隙を形成させると、Siを主成分とするガラス成分を含んだ焼結助剤成分が前記空隙に偏析する一方で、結晶粒界や結晶粒子の三重点、或いは内部導体との界面付近での偏析層を消滅させることができるという知見を得た。
【0019】
一方、導体被覆率を60%以下に低下させた場合は、内部導体の対向面積が低下して十分な静電容量を得ることが困難となる。
【0020】
また、積層体に歪が生じるのを回避するためには、内部導体の膜厚は0.1以上、0.4μm以下に制御する必要があり、さらに、小型で大容量の積層セラミックコンデンサを得るためには、誘電体層の厚みを0.5μm以上、1.5μm未満に制御する必要があることも判った。
【0021】
そして、前記内部導体の導体被覆率は、内部導体の膜厚を調整したり焼成条件を調整することにより容易に制御することができるが、該内部導体の膜厚調整は、内部導体を薄膜形成法で形成することにより容易に行うことができる。
【0022】
本発明はこのような知見に基づきなされたものであって、本発明に係る積層セラミックコンデンサは、複数の誘電体セラミック層が積層されると共に、箔状の内部導体が前記誘電体セラミック層間に並列状に介装され、かつ外部導体が前記内部導体の一端と電気的に接続された積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電体セラミック層の厚みが、0.5μm以上、1.5μm未満であり、前記内部導体が、薄膜形成法で形成されると共に、前記内部導体の厚みは、0.1μm以上、0.4μm以下とされ、さらに、前記内部導体の導体被覆率が、前記内部導体が形成されるべき導体形成領域に対し、面積比で60%以上、90%以下であり、かつ、前記誘電体セラミック層に含有されたSiを含む焼結助剤成分が、前記導体形成領域に形成された空隙に偏析されていることを特徴としている。
【0024】
さらに、本発明の積層セラミックコンデンサは、前記内部導体は、卑金属材料であることを特徴としており、これにより低価格で薄層・多層化が可能な大容量の積層セラミックコンデンサを実現することが可能となる。
【0025】
【発明の実施の形態】
次に、本発明の実施の形態を詳説する。
【0026】
図1は、本発明に係る積層セラミックコンデンサの一実施の形態を示す断面図である。
【0027】
積層セラミックコンデンサは、複数の誘電体層1が積層され、箔状の内部導体2(2a〜2l)が前記誘電体層1間に並列状に介装されている。そして、誘電体層1と内部導体2とは共焼成されてなり、これら誘電体層1と内部導体2とでセラミック焼結体3を形成している。
【0028】
また、セラミック焼結体3の両端部には外部導体4a、4bが形成され、さらに該外部導体4a、4bの表面には第1のめっき皮膜5a、5b及び第2のめっき皮膜6a、6bが形成されている。
【0029】
各内部導体2a〜2lは、積層方向に並設されると共に、内部導体2a、2c、2e、2g、2i、2kの一端は外部導体4aと電気的に接続され、内部導体2b、2d、2f、2h、2j、2lの一端は外部導体4bと電気的に接続されている。そして、内部導体2a、2c、2e、2g、2i、2kと内部導体2b、2d、2f、2h、2j、2lとの対向面間で静電容量を形成している。
【0030】
そして、本実施の形態では、誘電体層1の厚みが、0.5μm以上、1.5μm未満であり、内部導体2a〜2lの厚みが、0.1μm以上、0.4μm以下であり、また、図2に示すように、内部導体2が形成されるべき導体形成領域に空隙7が形成されると共に、内部導体2の導体被覆率は、前記導体形成領域に対し、面積比で60%以上、90%以下とされ、かつ、空隙7にはSiを含有した焼結助剤成分8が偏析している。
【0031】
次に、誘電体層1及び内部導体2の厚み、及び導体被覆率を上述のように限定した理由について詳述する。
【0032】
(1)誘電体層1の厚み
積層セラミックコンデンサの小型化を図る観点からは、誘電体層1の厚みは可能な限り薄いのが好ましく、誘電体層1の厚みが1.5μm以上になると、たとえ誘電体層1自体の誘電率が大きくても、静電容量が低下するため、小型で大容量の積層セラミックコンデンサを得ることができなくなる。一方、生産技術的観点から誘電体セラミック層の厚さを0.1μm未満に制御するのは困難である。
【0033】
そこで、本発明では、誘電体層1の厚みを0.1μm以上、1.5μm未満としている。
【0034】
内部導体2の薄膜化は、積層セラミックコンデンサの低背化に効果的であるため、内部導体2の厚みは極力薄くするのが好ましい。しかしながら、内部導体2の厚みが0.1μm未満の極薄になると、内部導体2として使用される導電性材料の融点よりも低温で焼成しても、内部導体2が玉化して導体被覆率が極端に低下し、所望の対向面積を得ることができなくなる。一方、内部導体2の厚みが0.4μmを超えた場合は、厚膜の印刷電極を使用した場合と同様、積層体の歪みが大きくなり、デラミネーションやクラック等の構造欠陥が生じるおそれがある。
【0035】
そこで、本発明では、内部導体2の厚みを0.1μm以上、0.4μm以下としている。
【0036】
(3)導体被覆率
積層セラミックコンデンサの製造過程には、誘電体層の積層体を焼結させる焼成工程が存在するが、チタン酸バリウムのような誘電体セラミック材料を焼結させるためには、通常は1300℃以上の高温で焼成しなければならない。
しかしながら、SiO2等の焼結助剤を添加することにより、焼結温度を低下させることが可能であり、さらに、SiO2−B2O3−Li2O系ガラス材を含有した低融点の焼結助剤を大量に添加することにより、1000℃以下の低温で焼結させることが可能となる。
【0037】
ところが、このようなガラス成分を含有した焼結助剤を大量に添加した場合、ガラスの液相が、そのまま結晶粒界や結晶粒子の三重点、更には内部導体との界面付近に偏析してしまう。そして、誘電体層の厚みが薄い場合は、この偏析層の影響が大きくなって積層セラミックコンデンサの誘電率を低下させたり、信頼性を低下させることとなる。
【0038】
しかしながら、本発明者が鋭意検討を重ねた結果、導体被覆率を意図的に低下させて導体切れを生じさせ、内部導体の導体形成領域に空隙7を形成させた場合、図2に示すように、空隙7にはSiを主成分とするガラス成分を含有した焼結助剤成分8が選択的に析出する一方、結晶粒界や結晶粒子の三重点、更には導体界面付近の偏析層を消滅させることができ、しかも、導体被覆率が低下しているにもかかわらず、静電容量が増加し、信頼性も向上することが判明した。
【0039】
すなわち、誘電体セラミックをより低温で焼結できるように焼結助剤を改善したり、或いは内部導体に使用される金属の融点よりも低い温度で焼成させることにより、玉化を抑制することは可能であるが、斯かる玉化抑制を過度に押し進めて導体被覆率が90%を超えると、図3に示すように、誘電体層1中にもSiを含有した焼結助剤成分8′が偏析する。
【0040】
一方、導体被覆率を過度に低下させて該導体被覆率が60%未満になると、内部導体2間の対向面積が十分に得られず、積層セラミックコンデンサの静電容量が低下する。
【0041】
そこで、本発明では、導体被覆率を60%以上、90%以下にしている。
【0042】
次に、上記積層セラミックコンデンサの製造方法を説明する。
【0043】
まず、セラミック原料粉末を加水分解法等で作製する。
【0044】
ここで、セラミック原料粉末の主成分となる誘電体セラミック粉末としては、BaTiO3で表される正方晶ペロブスカイト構造(一般式ABO3)の複合酸化物を使用することが可能である。
【0045】
しかしながら、誘電体セラミック粉末としてBaTiO3を使用した場合、低温で焼結させると添加成分をセラミック粒子に拡散させることが困難となり、このため静電容量の温度特性や信頼性を確保することが難しく、所望の安定した特性を有するコアシェル構造の積層セラミックコンデンサを得るのは困難になる。
【0046】
一方、Aサイト原子であるBaの一部をCaで置換した(Ba1−xCax)TiO3(ただし、0<x≦0.15)を主成分とし、焼結温度を低下させるような添加成分を添加したセラミック原料粉末は、BaTiO3を主成分としたセラミック原料粉末に比べて信頼性が高く、静電容量の温度特性も良好であり、低温で焼成しても必要な電気特性の確保が可能である。
【0047】
したがって、BaCO3、CaCO3、TiO2をセラミック素原料とし、加水分解法等を使用し、組成式(Ba1−xCax)TiO3(ただし、0<x≦0.15)で表される誘電体セラミック粉末を作製するのが好ましい。
【0048】
この場合、Aサイト原子(Ba、Ca)とBサイト原子(Ti)のモル比A/Bは化学量論的には1.000であるが、例えばモル比A/Bを0.95〜1.05の範囲で変化させるのも好ましく、特に非還元性のセラミック原料を得るためには、モル比A/Bが1.000〜1.035の範囲であるのが好ましい。
【0049】
また、前記誘電体セラミック粉末の結晶軸の軸比c/aは1.007〜1.010であるのが好ましい。これは軸比c/aが高くなるほど、より高い誘電率が得られるためであり、また軸比c/aが1.007未満になると静電容量の温度特性が悪化するおそれがあるからである。
【0050】
尚、上述したように本実施の形態の積層セラミックコンデンサは、誘電体層1の厚みを1.5μm未満としており、斯かる薄層化された誘電体層1を得るためには、誘電体セラミック材料の平均粒径が微細で均質であることが好ましい。
【0051】
しかしながら、セラミック原料粉末の平均粒子径が50nm未満になると、前記添加成分との反応性が過度に良好となるため、焼結時に誘電体層1の平均粒径が大きくなり、静電容量の温度特性や電圧特性に悪影響を及ぼす。
【0052】
一方、平均粒径が250nmを超えると、前記添加成分との反応性が悪くなって低温での焼結が困難となり、内部導体2の導体形成領域に過剰な空隙7が形成されて静電容量の低下を招き、電気特性も悪化して信頼性の優れた誘電体セラミック層を形成することが困難となる。したがって、セラミック原料粉末の平均粒径は、50〜250nmが好ましい。
【0053】
次に、SiO2やSiO2−B2O3系化合物、SiO2−B2O3−Li2O−BaO系化合物等の焼結助剤、及び希土類元素、Ba、Ca、Zr、Mn、Mg、Si、B、Al、Liなどを含有した化合物等の添加物を用意し、有機溶媒中に分散させた前記誘電体セラミック粉末に前記添加物を添加し、均一に混合し、その後、蒸発乾燥処理を行ない、更には熱処理を行なって有機溶媒を除去し、セラミック原料粉末を作製する。
【0054】
次いで、セラミック原料粉末にバインダや可塑剤、有機溶剤を所定量ずつ添加し、ボールミルで湿式混合し、セラミックスラリーを作製し、その後ドクターブレード法等の周知の成形法でセラミックスラリーに成形加工を施し、セラミックシートを作製する。
【0055】
一方、内部導体となるべき金属箔を、真空蒸着法、スパッタリング法、化学的気相成長法(CVD法)、電解めっき法、或いは無電解めっき法等の薄膜形成法で作製する。
【0056】
すなわち、上記いずれかの薄膜形成法を使用してポリエチレンテレフタレートフィルム(以下、「PETフィルム」)等のフィルム上に薄膜を形成し、パターン状にレジスト処理を施し、前記フィルム上に金属箔を形成する。
【0057】
尚、内部導体を前記金属箔で形成することにより、積層体中で導体を有する部分と導体を有さない部分とで厚みの差を小さくすることができ、多層化に伴なう積層体の構造欠陥を抑制することができる。
【0058】
ここで、金属箔としては、Ag、Ag−Pd等の貴金属材料も使用可能であるが、これら貴金属材料を使用した場合は、大容量の積層セラミックコンデンサを製造する場合、コストの高騰化を招く。したがって、低価格で、大容量の積層セラミックコンデンサを得る観点から、Cu、Ni等の卑金属材料を使用するのが好ましい。
【0059】
尚、内部導体2の導体被覆率は、内部導体2の膜厚や、金属箔材料(導体材料)により制御することができる。そして、内部導体の膜厚調整は、内部導体を薄膜形成法で形成することにより容易に行うことができる。
【0060】
さらに、これら金属箔の表面粗さは5〜50nmが好ましく、誘電体セラミック層の厚みが薄い場合は、特に素子の信頼性が向上する。
【0061】
次に、金属箔を前記セラミックシート上に熱転写し、該セラミックシート上に内部導体2a〜2lを形成する。
【0062】
そしてこの後、内部導体2a〜2lの形成されたセラミックシートを内部導体の引出部が互い違いになるように多数積層して積層体を作製する。
【0063】
次いで、積層体に脱バインダ処理を施した後、酸素分圧10−9〜10−12MPaのH2−N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気下で焼成し、セラミック焼結体3を作製する。
【0064】
次に、例えば、B2O3−Li2O−SiO2−BaO系ガラス成分を含有したAgを主成分とする導電性ペーストをセラミック焼結体3の両端面に塗布し、焼付処理を行なって外部導体4a、4bを形成する。
【0065】
尚、内部導体2a〜2l及び外部導体4a、4bに含有される導電性材料は、特に限定されるものではなく、例えば、外部導体4a、4bと内部導体2a〜2lとを同一の導電性材料、例えば卑金属材料を使用することができる。
【0066】
そしてこの後、電解めっきを施して第1のめっき皮膜5a、5b及び第2のめっき皮膜6a、6bを順次形成し、これにより積層セラミックコンデンサが製造される。
【0067】
このように本実施の形態では、誘電体層1及び内部導体2の厚みを所定範囲とし、内部導体2が形成されるべき導体形成領域に空隙7を形成すると共に、導体被覆率を60%以上、90%以下とし、かつ内部導体2の導体形成領域に生じた空隙7にはSiを主成分とする焼結助剤成分8を偏析させることにより、焼結助剤中のガラスの液相が結晶粒界や結晶粒子の三重点、或いは内部導体2との界面に析出するのを回避することができ、信頼性に優れた多層・薄膜の大容量の積層セラミックコンデンサを得ることができる。また、内部導体2を薄膜形成法で形成しているので、デラミネーションやクラック等の構造欠陥が生じることもなく、内部導体2の膜厚調整も容易に行なうことができる。
【0068】
【実施例】
次に、本発明の実施例を具体的に説明する。
まず、加水分解法により組成式(Ba0.94Ca0.06)TiO3からなるチタン酸バリウム系原料を作製し、その後、空気中で800〜1000℃で仮焼処理を施した後、解砕し、平均粒径75〜180nm、軸比c/aが1.007〜1.008の3種類(A〜C)のチタン酸バリウム系原料粉末を作製した。
【0069】
表1は、チタン酸バリウム系原料粉末の仮焼温度、平均粒径、及び軸比c/aを示している。
【0070】
【表1】
次に、添加物としてY、Mg、Mn、Ba、Liを含有した金属石鹸と、焼結助剤としてSiO2−B2O3系ガラス成分を含有したアルコキシド化合物を用意し、これら各添加物を有機溶媒中に分散させたチタン酸バリウム系原料にそれぞれ添加し、均一に混合し、その後蒸発乾燥処理を施し、更に熱処理を施して有機溶媒を除去し、セラミック原料粉末を作製した。
【0071】
次に、このセラミック原料粉末100重量部に対し、ポリビニルブチラール系バインダを12重量部、可塑剤としてDOP(フタル酸ジオクチル)を4重量部、有機溶剤としてエタノールを100重量部それぞれ加え、ボールミルにより湿式混合し、セラミックスラリーを調製した。
【0072】
次いで、ドクターブレード法を使用して前記セラミックスラリーをシート成形し、厚みが0.7〜2.0μmの矩形のセラミックシートを作製した。
【0073】
次に、Ni−Cu、Ni−B、及びNiからなる3種類の内部導体をセラミックシート上に形成した。
【0074】
ここで、Ni−Cu内部導体は以下のようにして形成した。
【0075】
まず、真空蒸着法によりPETフィルム上に膜厚約30nmのCu薄膜を形成し、更に電解めっき法によりNi薄膜を形成した後、パターン状にレジスト処理を施し、膜厚が0.1〜0.5μmのNi−Cu金属箔を作製し、その後、セラミックシート上に、Ni−Cu金属箔を転写し、Ni−Cu内部導体を形成した。
【0076】
また、Ni−B内部導体は以下のようにして形成した。
【0077】
まず、真空蒸着法によりPETフィルム上にパターン状に膜厚約10nmのAg薄膜を形成した後、無電解めっき法により膜厚が0.12〜0.4μmのNi−B金属箔(B含有量:1wt%)を作製し、その後、セラミックシート上に、Ni−B金属箔を転写し、Ni−B内部導体を形成した。
【0078】
また、Ni内部導体は、スパッタリング法で膜厚が0.13〜0.4μmのNi薄膜をセラミックシート上にパターン状に形成して得た。
【0079】
このようにして、表1に示すチタン酸バリウム系粉末(A〜C)を主成分としたセラミックシートと、上記3種類の内部導体(Ni−Cu、Ni−B、Ni)とを適宜組み合わせてセラミックシートの表面に内部導体を形成した後、これら内部導体の引出部が互い違いとなるようにセラミックシートを51枚積層し、さらに上下に外層として、内部導体を形成していない複数のセラミックシートを積層し、誘電体層が50層の積層体を作製した。
【0080】
次に、この積層体をジルコニアセッター上に並べ、加圧式脱脂炉で400℃に加熱し、バインダを燃焼させて除去し、その後、酸素分圧10−9〜10−12MPaのH2―N2−H2Oガスからなる還元性雰囲気中において950〜1000℃で2時間焼成し、セラミック焼結体を作製した。
【0081】
そして、セラミック焼結体の両端面に、B2O3−Li2O−SiO2―BaO系ガラス成分を含有したAgを主成分とする導電性ペーストを塗布し、窒素雰囲気中、温度600℃で焼付処理を行ない、これにより外部電極を形成し、試料番号1〜20の積層セラミックコンデンサを作製した。
【0082】
このようにして得られた積層セラミックコンデンサの外形寸法は、幅が1.6mm、長さが3.2mm、一層当たりの対向電極面積は3.94×10−6m2であった。
【0083】
次に、試料番号1〜20について、誘電体層及び内部導体の厚み、導体被覆率、構造欠陥の有無、誘電体層中のSiの偏析の有無、静電容量、高温時の平均寿命を測定した。
【0084】
ここで、誘電体層及び内部導体の厚みは、各試料の断面を研磨し、倍率1万倍の走査型電子顕微鏡で観察して算出した。
【0085】
導体被覆率は、各試料の内部導体面を誘電体層から剥離し、導体面に穴が形成されている様子を倍率500倍の顕微鏡写真で撮影し、これを画像解析処理することによって定量化した。
【0086】
また、構造欠陥の有無は、各試料5個ずつ樹脂で固めて研磨し、倍率500倍の金属顕微鏡を用いて目視で検査し、デラミネーションやクラック等が発生しているか否かで評価した。
【0087】
また、誘電体層中のSiの偏析有無は、波長分散型X線分析マイクロアナライザー(WDX)によりSiの分布状態を調べることにより評価した。
【0088】
静電容量は自動ブリッジ式測定器を用いて測定した。
【0089】
また、高温時の平均寿命は、温度150℃で直流電圧を5V印加し、絶縁抵抗の経時変化を測定し、絶縁抵抗が105Ω以下になるまでの時間を計測して評価した。
【0090】
表2はその測定結果である。
【0091】
【表2】
この表2から明らかなように、試料番号4は誘電体層の厚みが1.5μmであり、厚いため、静電容量が3.2μFと小さい。したがって、大容量化を達成すためには積層数を増やす必要があるため、積層セラミックコンデンサ自体の厚みも厚くならざるを得ず、コストの高騰化等を招くおそれがある。
【0092】
試料番号5、6は、導体被覆率が60%未満であり、導体被覆率が低いため、静電容量が2.2〜3.2μFと小さい。したがって試料番号4と同様、大容量化を達成すためには積層数を増やす必要があり、このため積層セラミックコンデンサ自体の厚みが厚くならざるを得ず、コストの高騰化等を招くおそれがある。
【0093】
試料番号10は内部導体の厚みが0.50μmであり厚いため、積層体の歪みが大きくなり、一部にクラックが発生し、構造欠陥が認められた。
【0094】
また、試料番号18は、導体被覆率が90%を超えているため、誘電体層中にSiを含んだ異相が認められると共に、静電容量も3.9μFと小さく、信頼性が低下する。
【0095】
これに対して試料番号1〜3、7〜9、11〜17、19及び20は、誘電体層や内部導体の厚み、及び導体被覆率が本発明範囲内であるので、誘電体層中へのSiの偏析は生じず、デラミネーションやクラック等の構造欠陥が発生することもなかった。また、静電容量も4μF以上であり、高温時の平均寿命も70時間以上と良好な結果を得た。そして、WDX分析により、これら試料のいずれにおいても、導体形成領域の空隙にSiを含有する焼結助剤の偏析が認められた。
【0096】
このように本発明の積層セラミックコンデンサは、内部導体の厚みを0.1μm以上、0.4μm以下にしているので、内部導体の厚みは十分に薄く、積層体に歪が生じるのを回避することができ、また導体被覆率を60%以上、90%以下にしているので、Siを含有した焼結助剤成分が誘電体層中に析出して電気特性を劣化させることもなく、薄膜・多層化された大容量の積層セラミックコンデンサを実現することが可能となる。例えば、試料番号14の誘電体層と内部導体を使用して誘電体層の層数が1200層の多層積層セラミックコンデンサを製造した場合、縦3.2mm、横1.6mm、厚み1.6mmとなり、静電容量が100μFの大容量化が可能となる。
【0097】
尚、試料番号6、試料番号11、及び試料番号15では、内部導体の厚みが全て0.13μmであるにも拘わらず、導体被覆率が55%(試料番号6)、70%(試料番号11)、70%(試料番号15)と異なるのは、内部導体の金属の融点が異なるためであり、このように導体被覆率は、内部導体の厚みや、内部導体の厚みと内部導体の金属種により適宜制御することができる。
【0098】
【発明の効果】
以上の詳述したように本発明に係る積層セラミックコンデンサは、複数の誘電体セラミック層が積層されると共に、箔状の内部導体が前記誘電体セラミック層間に並列状に介装され、かつ外部導体が前記内部導体の一端と電気的に接続された積層セラミックコンデンサにおいて、前記誘電体セラミック層の厚みが、0.5μm以上、1.5μm未満であり、前記内部導体が、薄膜形成法で形成されると共に、前記内部導体の厚みは、0.1μm以上、0.4μm以下とされ、さらに、前記内部導体の導体被覆率が、前記内部導体が形成されるべき導体形成領域に対し、面積比で60%以上、90%以下であり、かつ、前記誘電体セラミック層に含有されたSiを含む焼結助剤成分が、前記導体形成領域に形成された空隙に偏析されているので、デラミネーションやクラック等の構造欠陥が生じることもなく、かつ、結晶粒界、結晶粒子の三重点や内部導体との界面付近に焼結助剤成分が析出することもなく、良好な静電容量を有し、信頼性の優れた積層セラミックコンデンサを得ることができる。
【0099】
前記内部導体は、卑金属材料で形成されているので、低価格で薄層・多層化が可能な大容量の積層セラミックコンデンサを容易に実現することができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る積層セラミックコンデンサの一実施の形態を示す断面図である。
【図2】図1の要部拡大図である。
【図3】導体被覆率が90%を超えたために誘電体層中に偏析層が形成された状態を示す図である。
【符号の説明】
1 誘電体層
2a〜2l 内部導体
3 セラミック焼結体
4a、4b 外部導体
7 空隙
8 焼結助剤成分
Claims (2)
- 複数の誘電体セラミック層が積層されると共に、箔状の内部導体が前記誘電体セラミック層間に並列状に介装され、かつ外部導体が前記内部導体の一端と電気的に接続された積層セラミックコンデンサにおいて、
前記誘電体セラミック層の厚みが、0.5μm以上、1.5μm未満であり、前記内部導体が、薄膜形成法で形成されると共に、前記内部導体の厚みは、0.1μm以上、0.4μm以下とされ、
さらに、前記内部導体の導体被覆率が、前記内部導体が形成されるべき導体形成領域に対し、面積比で60%以上、90%以下であり、
かつ、前記誘電体セラミック層に含有されたSiを含む焼結助剤成分が、前記導体形成領域に形成された空隙に偏析されていることを特徴とする積層セラミックコンデンサ。 - 前記内部導体は、卑金属材料で形成されていることを特徴とする請求項1記載の積層セラミックコンデンサ。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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KR101535755B1 (ko) * | 2014-11-14 | 2015-07-09 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 적층 세라믹 콘덴서 |
Families Citing this family (37)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4461386B2 (ja) * | 2005-10-31 | 2010-05-12 | Tdk株式会社 | 薄膜デバイスおよびその製造方法 |
JP4771817B2 (ja) * | 2006-01-27 | 2011-09-14 | 京セラ株式会社 | 積層セラミックコンデンサ |
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KR101218979B1 (ko) * | 2010-12-10 | 2013-01-04 | 삼성전기주식회사 | 페롭스카이트 분말의 제조방법, 그 방법으로 제조한 페롭스카이트 분말 및 적층 세라믹 전자부품 |
KR101275426B1 (ko) * | 2010-12-24 | 2013-06-14 | 삼성전기주식회사 | 내부전극용 도전성 페이스트 조성물, 이를 포함하는 적층 세라믹 커패시터 및 이의 제조방법 |
CN102737837A (zh) * | 2011-04-01 | 2012-10-17 | 徐孝华 | 一种单片陶瓷电容器 |
US20130009399A1 (en) * | 2011-07-08 | 2013-01-10 | Brown Kevin L | Waste heat recovery |
KR101862396B1 (ko) * | 2011-09-08 | 2018-05-30 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법 |
KR101912266B1 (ko) * | 2012-07-20 | 2018-10-29 | 삼성전기 주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법 |
KR20140033750A (ko) * | 2012-09-10 | 2014-03-19 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법 |
KR101452079B1 (ko) * | 2012-12-28 | 2014-10-16 | 삼성전기주식회사 | 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품 및 적층 세라믹 전자부품 내장형 인쇄회로기판 |
US10109413B2 (en) * | 2013-02-01 | 2018-10-23 | The Trustees Of Dartmouth College | Multilayer conductors with integrated capacitors and associated systems and methods |
KR102041629B1 (ko) * | 2013-02-28 | 2019-11-06 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 및 이의 제조방법 |
KR101462767B1 (ko) * | 2013-03-14 | 2014-11-20 | 삼성전기주식회사 | 기판 내장용 적층 세라믹 전자부품 및 적층 세라믹 전자부품 내장형 인쇄회로기판 |
WO2014174875A1 (ja) | 2013-04-25 | 2014-10-30 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
JP2015035581A (ja) * | 2013-07-10 | 2015-02-19 | 株式会社村田製作所 | セラミック電子部品およびその製造方法 |
US9236185B1 (en) * | 2014-11-03 | 2016-01-12 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor |
KR101535757B1 (ko) * | 2014-11-18 | 2015-07-09 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 적층 세라믹 콘덴서 |
JP2016143764A (ja) * | 2015-02-02 | 2016-08-08 | 太陽誘電株式会社 | 積層コンデンサ |
JP2017034010A (ja) * | 2015-07-30 | 2017-02-09 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
US10483038B2 (en) * | 2017-05-16 | 2019-11-19 | Taiyo Yuden Co., Ltd. | Multilayer ceramic capacitor and manufacturing method of multilayer ceramic capacitor |
JP6996867B2 (ja) * | 2017-05-16 | 2022-01-17 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサおよびその製造方法 |
JP7290914B2 (ja) * | 2018-02-26 | 2023-06-14 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
JP7243212B2 (ja) * | 2018-03-27 | 2023-03-22 | Tdk株式会社 | 積層セラミック電子部品 |
KR102304250B1 (ko) * | 2018-08-01 | 2021-09-23 | 삼성전기주식회사 | 적층형 커패시터 |
JP2020167283A (ja) * | 2019-03-29 | 2020-10-08 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
US11783986B2 (en) | 2019-08-16 | 2023-10-10 | The Trustees Of Dartmouth College | Resonant coils with integrated capacitance |
KR20220057263A (ko) * | 2020-10-29 | 2022-05-09 | 삼성전기주식회사 | 적층 세라믹 전자부품 |
JP2022143334A (ja) * | 2021-03-17 | 2022-10-03 | 太陽誘電株式会社 | セラミック電子部品およびその製造方法 |
US20220392706A1 (en) * | 2021-05-25 | 2022-12-08 | Samsung Electro-Mechanics Co., Ltd. | Multilayered electronic component |
JPWO2023286662A1 (ja) * | 2021-07-15 | 2023-01-19 | ||
WO2023286661A1 (ja) * | 2021-07-15 | 2023-01-19 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサ |
KR20230100937A (ko) * | 2021-12-29 | 2023-07-06 | 삼성전기주식회사 | 적층형 전자 부품 |
Family Cites Families (12)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4030004A (en) * | 1971-04-16 | 1977-06-14 | Nl Industries, Inc. | Dielectric ceramic matrices with end barriers |
JPH0754780B2 (ja) | 1987-08-10 | 1995-06-07 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミックコンデンサの製造方法 |
JPH08124787A (ja) | 1994-10-21 | 1996-05-17 | Murata Mfg Co Ltd | 積層セラミック電子部品の製造方法 |
JP3245342B2 (ja) | 1995-12-28 | 2002-01-15 | 京セラ株式会社 | 積層型コンデンサの製法 |
JPH10255549A (ja) | 1997-03-05 | 1998-09-25 | Tdk Corp | 誘電体セラミック材料およびその製造方法並びに積層セラミックコンデンサ |
JP3391269B2 (ja) * | 1998-01-20 | 2003-03-31 | 株式会社村田製作所 | 誘電体セラミックおよびその製造方法、ならびに、積層セラミック電子部品およびその製造方法 |
JP3644235B2 (ja) * | 1998-03-03 | 2005-04-27 | 株式会社村田製作所 | 積層セラミック電子部品 |
US6335302B1 (en) * | 1999-01-14 | 2002-01-01 | Tdk Corporation | Dielectric composition and ceramic capacitor using the same |
JP2000269066A (ja) * | 1999-03-19 | 2000-09-29 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミックコンデンサ |
JP4153206B2 (ja) * | 1999-11-02 | 2008-09-24 | Tdk株式会社 | 積層コンデンサ |
JP2001185437A (ja) * | 1999-12-24 | 2001-07-06 | Taiyo Yuden Co Ltd | 積層セラミックコンデンサ |
JP3827901B2 (ja) * | 1999-12-24 | 2006-09-27 | 太陽誘電株式会社 | 積層セラミックコンデンサ |
-
2003
- 2003-03-12 JP JP2003066173A patent/JP4200792B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2004
- 2004-02-20 TW TW093104305A patent/TWI236687B/zh active
- 2004-03-01 CN CNB2004100082065A patent/CN100452256C/zh not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-08 US US10/794,065 patent/US6906906B2/en not_active Expired - Lifetime
- 2004-03-12 KR KR1020040016963A patent/KR100613583B1/ko active IP Right Grant
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101535755B1 (ko) * | 2014-11-14 | 2015-07-09 | 가부시키가이샤 무라타 세이사쿠쇼 | 적층 세라믹 콘덴서 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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