JP3929026B2 - アルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス及びこのガラスの用途 - Google Patents

アルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス及びこのガラスの用途 Download PDF

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、アルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラスに関する。本発明はまたこれらのガラスの用途にも関する。
【0002】
【従来の技術】
エネルギーがフォトボルタイック(光電変換装置)により得られている場合、自由電荷キャリヤ(電子/正孔対)を形成するために可視スペクトル領域及び近UVあるいはIRからの吸収光の半導体が使用される。光活性半導体でのpn接合により生成された太陽電池内の内部電界があれば、これらの対を、ダイオード原理を使用して離間することができ、電位差を作ったり、適切な接点があれば電流とする。現在市販されている太陽電池システムは、光活性材料として殆ど必ず結晶シリコンを含有している。このシリコンは、複合一体構成要素(チップ)用の高純度シリコン単結晶の製造時の廃棄材料としての、とりわけ「太陽級シリコン」として知られたものに製造される。
フォトボルタイック装置の可能性ある用途として2つのグループに大きく分けることができる。これらの用途は、先ず、電源(メイン)に接続されない用途であり、この用途は、エネルギー源が不足しているために比較的設置し易い遠隔領域で使用される。対照的にその電源に接続され、太陽エネルギーが既存の固定電源に供給される解決策は太陽電流の高コストのために不経済のままであり、そのため比較的稀である。
【0003】
従って、フォトボルタイック、特に電源に接続される解決策のための将来の市場開発は、太陽電池の製造コストを下げる可能性に大きくかかっている。薄膜概念の実施は大きな可能性があると考えられる。この場合、光活性半導体、特に高吸収剤化合物半導体が、できるだけ安価で、高温度に耐える基板、例えばガラスに数μmの厚さの層に沈積される。コストを下げる可能性は、第一に半導体の低消費とウエハSi太陽電池製造と比べて製造時の自動化の優れた可能性にある。
II-VI化合物半導体CdTeベースの太陽電池は有望な薄膜概念である。この材料は、太陽スペクトルに十分マッチするバンドギャップ、入射光の高吸収及び該化合物の良好な化学的安定性等の必須条件を満足させる。
同じことが化合物半導体Cu(In,Ga)(S,Se)、(「CIS」)にも言える。最初の例と比べて、この化合物はCdを何ら含有していないため、環境にも非常にやさしい。
【0004】
CdTeの薄い多結晶膜は、ある範囲の方法(蒸着、スクリーン印刷、昇華、スプレー分解、電着)により、但しp導電型でのみ製造することができる。pn接合を得るために、ヘテロ接合として公知のものを異種のn導電材料、例えばCdSを使用して製造する必要がある。
前記層と被覆ガラスを有し、該被覆ガラスを介して光が作用する薄膜フォトボルタイックで広範囲の用途である基板技術(ガラス、金属、プラスチック、セラミックから作られた下地に載った半導体)に加えて、上層装置それ自体も特にCdTeフォトボルタイックで確立されている。この装置では、半導体層への衝突による光が初めは保持体を通る。これにより被覆ガラスの必要性がなくなり、コストの面で利点がある。高効率を達成するには、このタイプの基板が電磁スペクトルのVIS/UV領域で高透明度を有することが必要であり、これによりガラスの使用が適切な解決策となる。例えば半透明ガラスセラミックでも、特にセラミック化プロセスにより生じるコストの理由から不適切である。
【0005】
さらに、基板/上層材料に対する要望は、太陽電池の構造とCdTe膜の沈積に使用されるプロセス時の温度条件に起因している。良質CdTeのための迅速な沈積速度を目的として、一般に650℃以上の高温が必要とされる。従って、基板ガラスは熱負荷、例えばガラスの転移点Tg660℃、に耐える十分高い性能を有する必要がある。コーティングプロセスの後の冷却時に半導体層の剥離を防止するために、ガラスはCdTeの熱膨張率(α20/300≒5〜6×10−6/K)にも合致しなければならない。CIS技術の場合には、高Tg(650℃を超える)に加えて、電極として作用するMo層に合致する4.5〜5.0×10−6/Kの熱膨張率α20/300が必要である。これまで使用されてきたα20/300≒9×10−6/K及び約520℃のTgのソーダ石灰ガラスは、これらの要求を決して満たしてはいない。
さらに、これらのガラスは十分機械的に安定で、水に対してまた、特に、環境的な影響から太陽モジュールを保護する被覆ガラスが無い上層についての考え方の場合、その製造プロセスで使用される全ての試薬に対して化学的耐性がなければならない。例えば、ソーダ石灰ガラスは、加水分解クラス3に属する加水分解耐性を有するに過ぎない。さらに、気泡及び結晶介在物を全くあるいは殆ど含有しない観点で十分な品質のガラスを経済的に製造することが可能である必要がある。
【0006】
同様の要望が電球用ガラスのガラスにも課せられている。
例えば、高電球温度が一般に動作時に生じるため、これらのガラスは高熱負荷に耐える必要がある。管引抜きに適切になるように失透に十分耐性がなければならない。電極として又は電源導体材料としてモリブデンを含む電球用の電球ガラスとしての用途の場合、金属とガラス間のシールされた、ストレスのない溶融が達成されるようにそのガラスの熱膨張率はモリブデンの熱膨張率(α20/300≒5.0×10−6/K)に合わせる必要がある。この用途の場合はまた、ガラスはできるだけ気泡が無いことが必要である。その上、ハロゲンランプ用ガラスは、アルカリ金属イオンがハロゲンランプのハロゲン再生サイクルを壊すため、アルカリ金属を実質的に無くす必要がある。
この要望は、あったとしても僅かのアルカリ金属の、アルカリ土類金属を含有するアルミの硼珪酸塩ガラスで最高に略満足される。しかし、以下の文献に説明されるディスプレーあるいは太陽電池用の公知ガラスは、その化学的及び物理的特性及び/又は形成法の選択の面でなお欠点があり、全ての要望を満足するとは言えない。
【0007】
比較的高いB含有量のガラスを多数の文献、例えばDE19601922A、JP58−120535A、JP60−141642A、JP8−295530A、JP9−169538A、JP10−59741A、JP10−72237A、EP714862A1、EP341313B1、US5,374,595、DE19739912C1が説明している。これらのガラスは、要求された高転移温度をもたず、及び/又はこの文献に好ましいとされている用途には余りに低い膨張率である。
対照的に、Bを含まないガラスがUS4,607,016、JP61−236631A及びJP61−261232Aに記載されている。Bが無いことは、これらのガラスが溶融しにくく、失透に向かう傾向があることを意味している。WO97/30001に示されたガラスにもBが含有されていない。
【0008】
DE4430710C1は、低硼酸含有量及び高SiO含有量(75重量%を超える)の硼珪酸塩ガラスを記載しており、これはそのガラスが高温でも高粘性であり、かなりのコストでしか溶融及び清澄可能でないことを意味している。さらに、500〜600℃の転移温度Tgを有するこれらのガラスは低熱安定性しかない。
本出願人名義のDE19617344C1及びDE19603698C1は、熱膨張率α20/300が約3.7×10−6/Kで、非常に良好な化学的安定性のあるアルカリを含まず、錫含有ガラスを開示している。そのガラスはディスプレー技術での用途に適している。しかし、そのガラスが少なくとも1〜2重量%の網状組織改質剤ZnOを必ず含有するため、特にフロート設備での処理に最適ではない。
JP61−295256Aに記載された比較的高Zn含有量(3.5重量%以上)を有するPb含有ガラスは、その濃度が余りに高ければ、ZnO及びPbOあるいはPbの沈積物が、凝縮の後の蒸発の結果として還元形成ガス雰囲気でガラス表面に生成し易いため、フロートプロセスにはむしろ不適切である。
【0009】
透明なガラスセラミック、特にフラットディスプレー及び太陽電池に適した該セラミックがJP3−164445Aに記載されている。リストされた例は、780℃を超える高Tg値を有し、それらの熱膨張率の点でCdTeによくマッチしている。しかし、その非常に高亜鉛含有量のためにフロート製造プロセスに適していない。同様のことが、太陽熱収集器での可能な用途に関してEP168189A2の、多くとも1重量%のクロムをドープした透明なムライト含有ガラスセラミック、及びJP1−208343Aの透明ガーネットガラスセラミックに当てはまる。しかしながら、CdTe太陽電池での上層としての用途に必要な高透明度は、クリスタライトの粒度のため、ガラスの透過率より低い透過率のガラスセラミックによっても、FR2126960に記載されているような乳白色オパールガラスによっても確保されない。
JP9−48632Aは、最大アルカリ土類金属酸化物含有量が20重量%のアルカリ土類金属を含有する、無アルカリのアルミノ硼珪酸塩ガラスを記載している。これらのガラスは、この文献に好ましいとされている用途には余りに低い熱膨張率である。DE19680966T1及びDE19680967T1は、MgOを殆ど含まないか、あるいは全く含まない無アルカリガラス基板を記載している。多くとも20重量%の好ましいアルカリ土類金属含有量のこれらのガラスは、不十分な高さの熱膨張率である。
【0010】
対照的に、アルカリ金属を殆どあるいは全く含まないが過度に高い熱膨張率のガラスがWO96/9259、JP9−255354A、JP9−255355A、JP9−255356A、及びUS5,741,746から公知である。少なくとも45.5重量%のRO(少なくとも25.5重量%のBaO)を有するWO96/9259に記載されたガラスは、高アルカリ土類金属酸化物含有量を有し、JP9−255354A(8重量%以上のBaO)及びUS5,741,746(14重量%以上のBaO)のガラスも同様であるが、JP9−255355Aに記載されたガラスはSiO含有量が低い。
LCD及び太陽電池技術での用途の基板ガラスは、US4,994,415に記載されている。アルカリ金属あるいはマグネシウムを何ら含有しないガラスは、10重量%より多くの高濃度のBaOを含有し、従って失透に対する高い耐性をもつはずである。しかし、ガラスの密度がこの成分のために高い。同様のことがUS5,326,730(12〜19モル%のBaO)に記載されているBaOリッチのガラスに当てはまる。
【0011】
BaOが余りに低いと、結晶化に向かう傾向が大になる。これは、3重量%未満のSrO+BaOを含有するWO98/27019に記載されたガラスばかりでなく、バリウムを含有せず、作業温度(粘度10dPasでの温度)と製造プロセスに好ましくない上失透限度(液相線温度)との間の差があるEP510544B1に記載されたガラスにも言える。JP10−45422A及びJP9−263421Aは、多くとも20又は22モル%のアルカリ土類金属含有量をそれぞれ有し、BaOの含有量が多くとも1モル%、好ましくはBaOを含有しないガラスを記載している。これらのガラスはSrO含有量が比較的低い。このガラスは粘度10dPas及び10dPasで非常に高温であり、これがタンク炉及びマニホールド材料に対する非常に高度な要求となり、それによりガラスを低コストで製造できない。JP4−175242Aに記載されたガラスも比較的低いSrO含有量(1〜9モル%)であるが、同様に9モル%までのBaO含有量はむしろ高い。
【0012】
JP10−25132Aは、組み合わされた硫酸塩/塩化物清澄法により清澄されたガラスを記載している。この組成物は広範囲に変化するが、全てのアルカリ土類金属酸化物の場合のように選択肢としてのせいぜい10重量%の成分SrOを含有する。そのB含有量は20重量%まで達し、非常に高い。
DE−A1596767は、アルカリ金属酸化物が実質的に無いタングステン−沃素ランプ用のアルミノ珪酸塩ガラスを既に記載している。そのガラスは、MgO、CaO、SrO、BaOから適宜組み合わされる10〜25重量%のアルカリ土類金属酸化物含有量をもつ。この例によれば、その酸化物はCaO及びBaO、適当ならばMgOからなる。
JP1−126239Aに記載されたガラスは、成分CaO及び選択成分SrO及びBaOの含有量の面からかなり変えることができ、これら3つの成分の合計は12〜25モル%の範囲にある。一方で前記アルカリ土類金属酸化物と、他方でこの合計+Alとの間のモル比は0.4より大で0.6より小である。
【0013】
低Bと組み合わせたアルカリ土類金属酸化物に対する網組織形成剤の高い比率のために、EP0528149B1に記載された無アルカリガラスは、高温コーティングプロセスに対し十分熱的に安定なはずである。23〜28モル%のアルカリ土類金属酸化物含有量であるので、広い範囲熱膨張率を達成することができる支配的なアルカリ土類金属酸化物はCaOであり、一方MgOは存在しないか、少量に過ぎない。
US5,116,789及びEP0527320B1は無MgOガラスを開示しており、その支配的なアルカリ土類金属酸化物はSrO(それぞれ15〜26モル%か21〜26モル%)である。JP9−12333Aは、SrO含有量がが低く、CaO含有量が高いハードディスク基板のガラスを開示している。EP672629A2及びUS5,508,237に記載されているフラットディスプレーの無アルカリアルミノ珪酸塩ガラスは同じ最大SrO含有量をもつ。これらの文献は異なった熱膨張率の種々の組成範囲を示す。オーバーフロー溶融引き抜きプロセスによってのみならず、フロートプロセスによってもガラスを製造することが可能であるようだと伝えられているが、これは、例として揚げられている清澄剤As及びSb及び選択ガラス成分Ta及びNbを使用してはそれらが容易に還元されるため不可能である。
【0014】
JP4−83733Aに記載されたナトリウム含有ガラスは少なくとも80重量%のSiO、Al、NaO、及びMgOを含有する。この基本的な組成では、高い転移温度と約5〜6×10−6/Kの熱膨張率を同時に達成することができないか、あるいは他の特性を犠牲にしてのみ達成可能である。
【0015】
【発明が解決しようとする課題】
本発明の目的は、特にII-VI半導体CdTe又はCISに基づく化合物半導体に基づく薄膜フォトボルタイック技術用のガラス基板に課せられた上記物理的及び化学的要望を満足させるガラスであって、高温沈積プロセスに十分な熱安定性、すなわち該プロセスに適した作業温度範囲を有する少なくとも660℃の転移温度を有し、高失透安定性と低レベルの気泡に関して高品質及びソーダ石灰ガラスの化学的安定性に少なくとも合致する化学的安定性を有するガラスを提供することにある。
【0016】
【課題を解決するための手段】
この目的は請求項1に係るアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラスにより達成される。
このガラスは、比較的少量の網状組織形成剤Bを含むバランスの取れた量の網状組織形成剤SiO及びAlを含有する。このように、溶融温度及び作業温度が低いままでガラスの高熱安定性が達成される。望ましい熱膨張率(α20/300≒4.5〜6.0×10−6/K)を達成するために、SiO+Al+Bの最大含有量が、多くとも80重量%未満、好ましくは多くとも74重量%である。
詳しくは、以下の通りである。すなわち、
このガラスは、49重量%を超え65重量%以下、好ましくは50〜64重量%のSiOを含有する。これより低い濃度ではガラスの化学的安定性と耐酸性が悪化することになり、一方、これより高い濃度では熱膨張率が過度に低くなる。さらに、後者の場合、失透傾向の増加が見られる。
このガラスはまた、10重量%を超え23重量%以下、好ましくは10重量%を超え22重量%以下のAlを含有する。これより高い濃度では熱成形のプロセス温度に悪い影響があり、一方、過度に低い濃度ではガラスがより結晶化し易くなる可能性がある。
【0017】
このガラスは0.5〜4.5重量%のBを含有する。所望の高転移温度は最大のB含有量を限定することにより保証される。さらに、低濃度の硼酸は特に酸に対するガラスの化学的安定性に積極的な影響を有する。しかし、硼酸を全く入れないのは、硼酸が溶融を容易にするため、すなわち、0.5重量%以上の低濃度でもそれがあれば溶融物流及び結晶化挙動双方で良好に感じられるため、望ましくない。
4.5×10−6/K〜6.0×10−6/Kの望ましい熱膨張率α20/300は、20重量%を超え35重量%以下、好ましくは32重量%以下、特に好ましくは26重量%を超えないアルカリ土類金属含有量において、個々のアルカリ土類金属酸化物を組み合わせることによって達成することができる。
低熱膨張率(α 20/300 5.0×10 −6 /K以下)を有するガラスは、少量、好ましくは20重量%を超え28重量%以下のアルカリ土類金属酸化物を含有する傾向があり、一方、高熱膨張率α20/300を有するガラスは、比較的高いアルカリ土類金属酸化物含有量である。
【0018】
個々のアルカリ土類金属酸化物のそれぞれの濃度、及び従って、他の一方に対するその比率は、高濃度の軽量酸化物MgO及びCaOが最低の可能な作業温度VA及び低密度の達成を目指して有利であるものの、比較的少ない陽イオンを有するこれらの2つの酸化物、特にはMgO、が過度に高濃度であると、ガラスのスペクトル透過率及び化学安定性に悪い影響を与える偏析の可能性を増大させるため、及び高BaO含有量が結晶化に対する耐性及びガラスの熱安定性を増すが、好ましくない高密度のガラスになり、一方SrO含有量は密度をそれ程高く上げずに結晶化に対する耐性を改良し転移温度を上げる。
その結果、SrOが支配的であり、特にガラスが、2.7重量%を超え7重量%以下のMgO、0.5〜10重量%のCaO、特に好ましくは0.5〜9重量%のCaO、15.5重量%を超え22重量%以下のSrO、0.5〜7重量%のBaO、特に好ましくは少なくとも2.5重量%のBaO、非常に特に好ましくは多くとも5重量%未満のBaOを含有することが最適であることが分かった。
【0019】
本発明のガラスは少量のアルカリ金属酸化物を、特に2重量%以下のNaO及び2重量%以下のKOを、NaO+KO=0〜3重量%で含有することができる。これらの酸化物は溶融し易さを改善する。さらに、CIS技術を使用すると、少量のアルカリ金属酸化物があれば太陽電池の効率が改善されることが分かった。高濃度のアルカリ金属酸化物により熱膨張率が過度に上昇し、転移温度が低下するだろう。
アルカリ金属酸化物が添加されないことが好ましい。
しかし、少量すなわち約0.1重量%の特定量のNaO及びKOは、溶融物のアルカリ金属ハロゲン化物精製の結果として、何ら問題もなくフォトボルタイック用途のガラス内に存在することができる。
特にランプガラスとしての用途の場合、アルカリ金属ハロゲン化物精製は使用されないので、不可避的不純物は別としてアルカリ金属酸化物が無い。
【0020】
高アルカリ土類金属含有量(20重量%を超える、好ましくは26重量%を超える)及び最大量7重量%のMgOのために、ガラス形成剤SiO、Al、アルカリ金属酸化物NaO及びMgOの合計は低い。その量は多くとも86.5重量%とすることができるが、80重量%未満に保持することが好ましい。これにより十分な量の重アルカリ土類金属酸化物があり、熱膨張及び転移温度に関する所望の特性が同時に達成されることが保証される。
高アルカリ土類金属含有量のために、アルカリ土類金属酸化物対アルカリ土類金属酸化物及びAlの合計の比率が高い。そのモル比は0.6より大であるのが好ましい。
このガラスは1重量%以下のZnOを含有してもよい。粘度特性曲線に対するZnOの影響が硼酸のそれに似ているため、ZnOは一方で網状組織を弱める効果があり、他方でアルカリ土類金属酸化物と同程度まで熱膨張率を大きくしない。特に、ガラスがフロートプロセスで処理されると、ZnO含有量は比較的少量(0.5重量%以下)に好適に限定されるか又は、ZnOは全く無しでもすませられる。0.5重量%より大の量では、ガラス表面に致命的なZnO沈積物が増加する危険がある。これらは熱成形領域での蒸発と後続の凝縮により生成することがある。
【0021】
このガラスは2重量%以下、好ましくは1.5重量%以下のZrOを含有してもよい。ZrOはガラスの熱安定性を増大させる。しかし、2重量%を超えた濃度では、ZrOが溶融しにくいためガラスに溶融残渣の生成につながることがある。少なくとも0.1重量%のZrOが存在することが好ましい。
また、このガラスは2重量%以下、好ましくは1.5重量%以下のTiOを含有してもよい。TiOはガラスのソラリゼーションへの傾向を低下させる。
2重量%より大の濃度ではFe+イオンを有する錯体の形成のために変色を起こすことがある。少なくとも0.1重量%のTiOが存在することが好ましい。
このガラスは2重量%以下、好ましくは1.5重量%以下のSnOを含有してもよい。SnOは、特にアルカリ土類金属を含有する高融点、無アルカリアルミノ硼珪酸塩ガラス系において非常に効果的な清澄剤である。この錫酸化物はSnOとして使用され、その4価状態は、例えばTiOのような他の酸化物の添加により、あるいは硝酸塩の添加により安定させられる。作業温度V以下の温度で溶融することが困難なため、SnOの量は上記所定の上限に限定される、これにより微晶質のSn含有相の析出が避けられる。少なくとも0.1重量%のSnOが存在することが好ましい。
【0022】
このガラスはまた、1.5重量%以下、好ましくは1.0重量%以下のCeOを含有してもよい。少なくとも0.1重量%のCeOがあることが好ましい。SnOをCeOと組み合わせるとSnO/SnOレドックス平衡が安定し、非常に良好なSnOの清澄作用がさらになお改善される。しかし、CeOは又、高融点ガラスでの唯一の清澄剤として非常に有効でもある。このCeO含有量はせいぜい0.5重量%に限定されるのが好ましい。
比較的低い温度で溶融するガラスはアルカリ金属ハロゲン化物を使用して清澄することができる。例えば、塩化ナトリウムは、約1410℃以上でのその蒸発するために、清澄する工程に寄与しているが、使われたNaClの一部はガラス内にNaOとして存在を感じさせるものではある。1.5重量%のNaClを添加すると、約0.1重量%のClがガラスに残る。ガラスに存在するアルカリ金属イオンは、化合物半導体CdTe及びCISからなる半導体層に悪い影響を及ぼさない。
【0023】
このガラスは種々の引抜きプロセス、例えばマイクロシート−ダウン−引抜き、アップ−引抜き又はオーバーフロー−溶融プロセスを使用してフラットガラスを形成するために処理することができる。
このガラスは1.5重量%以下のAs及び/又はSbを添加剤あるいは唯一の清澄剤として含有してもよい。各々の場合、1.5重量%のCl(例えばBaCl又はNaClとして)、F(例えばCaF又はNaFとして)又はSO 2−(例えばBaSOとして)を添加することも可能である。しかし、As、Sb、Cl、F、及びSO 2−の合計は1.5重量%を超えてはいけない。清澄剤As及びSbが存在していなければ、そのガラスはフロートプロセスを使用して処理することもできる。
【0024】
【発明の実施形態】
具体的実施形態:
ガラスをPt/Ir坩堝で1560℃で従来の原料から溶融した。その溶融物をその温度で1時間清澄し、次に誘導加熱プラチナ坩堝に移し、均質化のために30分間、1540℃で攪拌した。
表は本発明に係るガラスの6つの実施例を示し、その組成(酸化物をベースにした重量%で)及びその最も重要な特性を示した。その特性は、
・密度ρ[g/cm
・熱膨張率α20/300[10−6/K]
・DIN52324に従う膨張計の転移温度Tg[℃]
・Vogel−Fulcher−Tamman式から計算された粘度10dPas(T2[℃]で与えられた)での温度
・粘度10dPas(T4[℃]として示された)での温度
・粘度107.6dPas(T7.6[℃]として示された)での温度
・粘度1013dPas(T13[℃]として示された)での温度
・Vogel−Fulcher−Tamman式から計算された粘度1014.5dPas(T14.5[℃]で与えられた)での温度
・DIN ISO719”H”[μg NaO/g]による加水分解安定度。31μg/g以下のガラスグリットのg当たりのNaOとしてのベース当量で、 このガラスは加水分解度1(化学的に高い抵抗度のガラス)
・DIN12166”S”[mg/dm]による耐酸性。0.7〜1.5mg/dmの重量ロスで、ガラスは酸クラス2に属し、1.5〜15mg/dmの重量ロスでは、ガラスは酸クラス3に属する
・ISO695”L”[mg/dm]による耐アルカリ。75〜175mg/dmの重量ロスで、ガラスはアルカリ液クラス2に属する
・400〜850nm(試料厚さ2.5mm)τmax(400〜850nm)の波長での最大透過率
・上失透限度OEG[℃]すなわち液相温度
・最大結晶成長速度Vmax[μm/h]
【0025】
表1
本発明に係るガラスの組成(酸化物ベースの重量%)及び重要な特性
1 2 3 4 5 6
SiO 58.8 52.3 52.5 50.8 58.8 51.0
1.0 2.9 1.1 4.0 1.0 0.5
Al 10.5 16.5 14.0 12.8 10.5 20.0
MgO 5.0 2.8 4.0 6.0 4.2 3.5
CaO 5.0 5.3 4.0 1.0 5.0 3.7
SrO 16.0 17.0 16.0 20.0 16.0 16.0
BaO 3.0 2.5 7.0 5.0 3.0 4.0
ZrO 0.5 0.3 1.4 0.2 0.5 0.3
SnO 0.2 0.4 - 0.2 - -
NaO - - - - 1.0 -
O - - - - - 1.0
ρ[g/cm] 2.810 2.813 2.896 2.883 2.790 2.830
α20/300[10-6/k-1] 5.34 5.20 5.39 5.45 5.75 5.40
Tg[℃] 728 735 740 706 689 748
T14.5[℃] 703 708 n.d. n.d. n.d. n.d.
T13[℃] 734 739 n.d. n.d. 734 n.d.
T7.6[℃] 919 925 n.d. n.d. 896 n.d.
T4[℃] 1206 1210 1207 1157 1178 1251
T2[℃] 1549 1549 n.d. 1495 1585 1598
H[μg Na2O/g] 18 13 n.d. n.d. 18 n.d.
S[mg/dm2] 1.5 n.d. n.d. n.d. n.d. n.d.
L[mg/dm2] 91 n.d. n.d. n.d. n.d. n.d.
τmax(400〜850nm) 90.0 90.2 n.d. n.d. 90.5 n.d.
OEG[℃] 1200 n.d. n.d. n.d. 1140 n.d.
Vmax 17 n.d. n.d. n.d. 22 n.d.
n.d.=測定されず
【0026】
上記具体的実施形態が示すように、本発明に係るガラスは以下の有利な特性を有する。
・CIS技術に電極として利用されるCdTe又はMo層の熱膨張挙動に一致した4.5×10-6/K〜6.0×10-6/Kの熱膨張率α20/300
660℃を超えるTg非常に高い熱転移温度を有すること。これは製造により生じる収縮(圧縮)ができるだけ小さくなり、ガラスが高温沈積プロセスでの基板として使用されるために極めて重要なことである。この高温転移温度は熱負荷に耐える高ガラス性能を示している。
・本プロセスに適切な作業範囲を示す最大で1300℃での粘度104dpasでの温度及び失透に対する良好な耐性。これらの2つの特性により種々の引き抜きプロセス、例えばマイクロシート−ダウン−引抜き、アップ引抜きあるいはオーバーフロー溶融プロセスを使用し、好ましい実施形態ではAs23及びSb23が無ければフロートプロセスを使用して、フラットガラスとしてガラスが製造可能である。
・非常に高い加水分解安定性。
【0027】
さらに、このガラスは、高ソラリゼーション耐性、高透明性(90%以上のτmax(400−850nm;2.5mm))及び気泡があっても僅かである高品質性を有する。
その結果、このガラスは、特に化合物半導体ベースの、特にCdTe及びCu(In,Ga)(Se,S)2(CIS)ベースの薄膜フォトボルタイックの基板ガラスとしての使用に特に適している。
4.5〜5.0×10-6/Kの熱膨張率α20/300がCIS技術に使用される。
それらの熱膨張挙動の面から、このガラスは電極として使用されるMo層の熱膨張率に一致している。熱膨張率がCdTeの熱膨張率に合致する、すなわち5.0〜6.0×10-6/Kのα20/300を有するガラスはCdTeベースの太陽電池に使用される。この特定のα値はRO含有量を変えることにより達成することができる。
715℃を超える転移温度を有し、且つ4.5〜5.0×10-6/Kの熱膨張率α20/300を有するガラスは、それらの熱膨張率がモリブデンのそれに合致しそれらガラスが熱負荷に耐える非常に高い性能を有するために、Moに溶融されるガラスとしての使用に非常に適しており、もしそのガラスがアルカリ金属を含まなければMo成分を有するランプ電球用、特に約550〜640℃の電球温度のランプ電球用の電球ガラスとして非常に適している。

Claims (22)

  1. 以下の組成(重量%で、酸化物をベース)、すなわち、
    SiO 49を超え65以下
    0.5〜4.5
    Al 10を超え23以下
    MgO 2.7を超え7以下
    CaO 0.5〜10
    SrO 15.5を超え22以下
    BaO 0.5〜7
    MgO+CaO+SrO+BaO 20を超え35以下
    SnO 0〜3
    ZrO 0〜2
    TiO 0〜2
    CeO 0〜1.5
    ZnO 0〜1
    NaO 0〜2
    O 0〜2
    NaO+KO 0〜3
    を有する、薄膜フォトボルタイック用の、アルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  2. 以下の組成(重量%で、酸化物をベース)、すなわち
    SiO 50〜64
    0.5〜4.5
    Al 10を超え22以下
    MgO 2.7を超え7以下
    CaO 0.5〜10
    SrO 15.5を超え22以下
    BaO 0.5〜7
    MgO+CaO+SrO+BaO 20を超え32以下
    SnO 0〜1.5
    ZrO 0〜1.5
    TiO 0〜1.5
    CeO 0〜1
    ZnO 0〜1
    NaO 0〜2
    O 0〜2
    NaO+KO 0〜3
    を特徴とする請求項1記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  3. 少なくとも2.5重量%のBaOを含有することを特徴とする請求項1又は請求項2記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  4. 少なくとも26重量%を超えるMgO+CaO+SrO+BaOを含有することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  5. 少なくとも0.1重量%のZrOを含有することを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  6. 少なくとも0.1重量%のSnOを含有することを特徴とする請求項1ないし請求項5のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  7. 少なくとも0.1重量%のCeOを含有することを特徴とする請求項1ないし請求項6のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  8. 少なくとも0.1重量%のTiOを含有することを特徴とする請求項1ないし請求項7のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  9. さらに、
    As 0〜1.5
    Sb 0〜1.5
    Cl 0〜1.5
    0〜1.5
    SO 2− 0〜1.5
    As+SbCl +F+SO 2− 1.5以下
    を含有することを特徴とする請求項1ないし請求項8のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  10. 清澄剤の残渣は別にしてアルカリ金属酸化物が無いことを特徴とする請求項1ないし請求項9のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  11. 4.5×10−6/K〜6.0×10−6/Kの熱膨張率α20/300を有する請求項1ないし請求項10のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  12. 以下の組成(重量%で、酸化物をベース)、すなわち、
    SiO 49を超え65以下
    0.5〜4.5
    Al 10を超え23以下
    MgO 2.7を超え7以下
    CaO 0.5〜10
    SrO 15.5を超え22以下
    BaO 0.5〜7
    MgO+CaO+SrO+BaO 20を超え35以下
    SnO 0〜3
    ZrO 0〜2
    TiO 0〜2
    CeO 0〜1.5
    ZnO 0〜1
    NaO 0〜2
    O 0〜2
    NaO+KO 0〜3
    を有する、ランプ電球用の、アルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  13. 以下の組成(重量%で、酸化物をベース)、すなわち
    SiO 50〜64
    0.5〜4.5
    Al 10を超え22以下
    MgO 2.7を超え7以下
    CaO 0.5〜10
    SrO 15.5を超え22以下
    BaO 0.5〜7
    MgO+CaO+SrO+BaO 20を超え32以下
    SnO 0〜1.5
    ZrO 0〜1.5
    TiO 0〜1.5
    CeO 0〜1
    ZnO 0〜1
    NaO 0〜2
    O 0〜2
    NaO+KO 0〜3
    を特徴とする請求項12記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  14. 少なくとも2.5重量%のBaOを含有することを特徴とする請求項12又は請求項13記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  15. 少なくとも26重量%を超えるMgO+CaO+SrO+BaOを含有することを特徴とする請求項12ないし請求項14のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  16. 少なくとも0.1重量%のZrOを含有することを特徴とする請求項12ないし請求項15のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  17. 少なくとも0.1重量%のSnOを含有することを特徴とする請求項12ないし請求項16のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  18. 少なくとも0.1重量%のCeOを含有することを特徴とする請求項12ないし請求項17のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  19. 少なくとも0.1重量%のTiOを含有することを特徴とする請求項12ないし請求項18のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  20. さらに、
    As 0〜1.5
    Sb 0〜1.5
    Cl 0〜1.5
    0〜1.5
    SO 2− 0〜1.5
    As+SbCl +F+SO 2− 1.5以下
    を含有することを特徴とする請求項12ないし請求項19のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  21. 清澄剤の残渣は別にしてアルカリ金属酸化物が無いことを特徴とする請求項12ないし請求項20のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
  22. 4.5×10−6/K〜6.0×10−6/Kの熱膨張率α20/300を有する請求項12ないし請求項21のいずれか1項記載のアルカリ土類金属を含有するアルミノ硼珪酸塩ガラス。
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