JPS58120535A - デバイス用ガラス - Google Patents
デバイス用ガラスInfo
- Publication number
- JPS58120535A JPS58120535A JP251082A JP251082A JPS58120535A JP S58120535 A JPS58120535 A JP S58120535A JP 251082 A JP251082 A JP 251082A JP 251082 A JP251082 A JP 251082A JP S58120535 A JPS58120535 A JP S58120535A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glass
- devices
- tio2
- zno
- fe2o3
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C03—GLASS; MINERAL OR SLAG WOOL
- C03C—CHEMICAL COMPOSITION OF GLASSES, GLAZES OR VITREOUS ENAMELS; SURFACE TREATMENT OF GLASS; SURFACE TREATMENT OF FIBRES OR FILAMENTS MADE FROM GLASS, MINERALS OR SLAGS; JOINING GLASS TO GLASS OR OTHER MATERIALS
- C03C3/00—Glass compositions
- C03C3/04—Glass compositions containing silica
- C03C3/076—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight
- C03C3/089—Glass compositions containing silica with 40% to 90% silica, by weight containing boron
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Geochemistry & Mineralogy (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Glass Compositions (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は液晶テレビ、太陽電池、フォト１スクなどの用
途に供されるデバイス用ガラスに関する。
途に供されるデバイス用ガラスに関する。
発明の技術的背景およびその問題点
各種半導体装置の製造工程に於て極めて多くのガラスが
用いられる。これらのガラスには、アルカリイオンを官
有せず、低温で溶融することができ、熱ＩＩｅ脹係数が
小さくかつ、急熱将冷に耐え、耐レーデ−性や機械的特
性にすぐれている、と騒った厳しい特性が要求される。
用いられる。これらのガラスには、アルカリイオンを官
有せず、低温で溶融することができ、熱ＩＩｅ脹係数が
小さくかつ、急熱将冷に耐え、耐レーデ−性や機械的特
性にすぐれている、と騒った厳しい特性が要求される。
例えばＩＪ 、ｙン結晶を用いた太陽電池には高温で加
熱したガラスを空気を吹きつけて急冷し、表面に圧縮広
力を付与した物理強化ガラスが使用されている。しかし
この物理強化ガラスは厚みが３一以上でないと十分な大
きさの圧動応力を付与で色ないという欠点がある。また
熱ｔ＃脹係数の小さなガラスには石英ガラスがあるが、
これはコストが高く加工性が良くない。また従来のデバ
イス用ガラスとしてはバリウムホウケイ販ガラスカ多り
用いられているが、このガラスハ熱膨張係数が４６Ｘ１
０ ７℃で大きく、パッチコストが高い。８１０２−
’ｒｉｏ２二成分の低熱膨張係数のガラスもあるがこ
れは溶融温度が極めて高く、加工性も悪い。
熱したガラスを空気を吹きつけて急冷し、表面に圧縮広
力を付与した物理強化ガラスが使用されている。しかし
この物理強化ガラスは厚みが３一以上でないと十分な大
きさの圧動応力を付与で色ないという欠点がある。また
熱ｔ＃脹係数の小さなガラスには石英ガラスがあるが、
これはコストが高く加工性が良くない。また従来のデバ
イス用ガラスとしてはバリウムホウケイ販ガラスカ多り
用いられているが、このガラスハ熱膨張係数が４６Ｘ１
０ ７℃で大きく、パッチコストが高い。８１０２−
’ｒｉｏ２二成分の低熱膨張係数のガラスもあるがこ
れは溶融温度が極めて高く、加工性も悪い。
発明の目的
本発明はこのよう雇欠点゛を改良するためになされたも
のであり、その目的は、低熱膨張係数で熱衝撃に強く、
耐レーザー性に優れ、溶融温度も比較的低いもので、溶
体中で急冷強化も可能なデバイス用ガラスを提供するこ
とにある。
のであり、その目的は、低熱膨張係数で熱衝撃に強く、
耐レーザー性に優れ、溶融温度も比較的低いもので、溶
体中で急冷強化も可能なデバイス用ガラスを提供するこ
とにある。
発明の概簀
本発明によるデバイス用ガラスの主成分は８ ｉ ０２
ｂ Ｏ〜８５ ｖｒ ｔ％、Ｂ２Ｏ３１０ヘ３０ ｗ
ｔ ％ Ｎ ＺｎＯ１〜５ｗｔ％、ＺｒＯ２１〜５ｗｔ
％１ＲＯ（Ｒ＝Ｍｇ。
ｂ Ｏ〜８５ ｖｒ ｔ％、Ｂ２Ｏ３１０ヘ３０ ｗ
ｔ ％ Ｎ ＺｎＯ１〜５ｗｔ％、ＺｒＯ２１〜５ｗｔ
％１ＲＯ（Ｒ＝Ｍｇ。
Ｃｍ、 Ｓｒ、 Ｂａ ） １〜５ ｗｔ％であシ、そ
れに少量のＴｉＯ２０，１〜２Ｗｔ ％、 Ｆｅ２Ｏ，
０，１〜２ｖｔｓを含有する。このように多成分系とし
た理由は従来の８１０ ＴｉＯ□系よυも溶融温度
が低く、均質１ 溶融がｎ］１１ヒなためである。組成限定の理由は次の
とおりである。Ｓ ｔ Ｏ２はガラスを形成する主成分
であり、この系でＢ５チ以上となると溶融温度が高く、
均質溶融が困難であり、６０％以下であると失透する。
れに少量のＴｉＯ２０，１〜２Ｗｔ ％、 Ｆｅ２Ｏ，
０，１〜２ｖｔｓを含有する。このように多成分系とし
た理由は従来の８１０ ＴｉＯ□系よυも溶融温度
が低く、均質１ 溶融がｎ］１１ヒなためである。組成限定の理由は次の
とおりである。Ｓ ｔ Ｏ２はガラスを形成する主成分
であり、この系でＢ５チ以上となると溶融温度が高く、
均質溶融が困難であり、６０％以下であると失透する。
Ｂ２０．は溶融温度を下げ熱膨張係数を下ける効果が
あり、１０ｅＩｂ以下であるとその効果が少く、３０ｔ
ｌｂ以上であると耐水性が悪くなる。 ＺｎＯはガラス
化範囲を広げるが１−以下ではその効果が少く、５チ以
上では失透では失透する。ＲＯはガラスを安定化させる
がＩｓ以下ではその効果が少く、５９ｂ以上では失透す
るｍ ＴｉＯ２は熱膨張係数を下け、耐熱性、耐レーデ
−性を著るしく向上させるが０．１ ％以下ではその効
果がなく、２％以上となると着色がはげしくなり、可視
部の透過率が洛ちる。Ｆｅ２Ｏ。
あり、１０ｅＩｂ以下であるとその効果が少く、３０ｔ
ｌｂ以上であると耐水性が悪くなる。 ＺｎＯはガラス
化範囲を広げるが１−以下ではその効果が少く、５チ以
上では失透では失透する。ＲＯはガラスを安定化させる
がＩｓ以下ではその効果が少く、５９ｂ以上では失透す
るｍ ＴｉＯ２は熱膨張係数を下け、耐熱性、耐レーデ
−性を著るしく向上させるが０．１ ％以下ではその効
果がなく、２％以上となると着色がはげしくなり、可視
部の透過率が洛ちる。Ｆｅ２Ｏ。
はＴｉＯ２の着色を減少させる効果があるが、０．１−
以下ではその効果がなく、２ｓ以上では逆にＦ−１の着
色が増加して好ましくない。Ｔｉはガラス中では一般に
Ｔ１３＋とＴ１４＋の共存状態であるが着色は主にＴｉ
のためであｆｉＦ・ の作用でＴＩ”−＋Ｆｓ”−
＋ＴＩ”−＋Ｆｅ ０ＪｊＡ予価の授受があり、Ｔ１
５＋が減少するので消色効果をもたらす。
以下ではその効果がなく、２ｓ以上では逆にＦ−１の着
色が増加して好ましくない。Ｔｉはガラス中では一般に
Ｔ１３＋とＴ１４＋の共存状態であるが着色は主にＴｉ
のためであｆｉＦ・ の作用でＴＩ”−＋Ｆｓ”−
＋ＴＩ”−＋Ｆｅ ０ＪｊＡ予価の授受があり、Ｔ１
５＋が減少するので消色効果をもたらす。
これが消色の主な原因であると考えられる。また上記ガ
ラスをポリシロキサン液中で液体急冷を行うと、この液
体の熱移動性が艮いために、ガラスの表面に圧縮↓を力
が内部に引張応力が入り強化される。この方式は厚さが
帆５〜１．０■程反のものでも処理が可能である。
ラスをポリシロキサン液中で液体急冷を行うと、この液
体の熱移動性が艮いために、ガラスの表面に圧縮↓を力
が内部に引張応力が入り強化される。この方式は厚さが
帆５〜１．０■程反のものでも処理が可能である。
発明の効果
本発明によれば、熱膨張係数が低いため熱衝撃に強く、
耐レーザー性に優れ、溶融温度が低いため急冷強化も容
易な、各種デノ々イスに用いて有用なガラスが得られる
。
耐レーザー性に優れ、溶融温度が低いため急冷強化も容
易な、各種デノ々イスに用いて有用なガラスが得られる
。
発明の実施例
本発明の実施例１〜４のガラスの組成と特性を別表に示
した。宍中、αは１５℃〜５００℃までの間の熱膨張係
数、ΔＴは熱衝撃温度差’ ＴＷａｘは最高状用温度、
耐レーザー性はｌ０Ｗ−Ａｒレーザー照射俊ガラスか耐
えるか定性的に判定したもの、圧縮応力は厚さ１■のガ
ラスをメチルボリア０キサン液中で７００℃から急冷し
たものの値である。圧縮応力は光弾性による表面の圧縮
応力値を示す。実施例のガラスは着色も殆んどなく、可
視部の光の透過率は良好である。また本冥雄側によれば
熱膨張係数が２０〜３０×１０−’／℃であるため、熱
衝撃性にすぐれたガラスが得られる。史に本実施例のガ
ラスはポリシロキサン液中で急冷強化も可能である。ま
た本実施例のガラスは液晶テレビや太陽電池の他にガラ
スの上４ＣＣｒの蒸着ができるためフォトマスク用ガラ
スとしても使用可能である。
した。宍中、αは１５℃〜５００℃までの間の熱膨張係
数、ΔＴは熱衝撃温度差’ ＴＷａｘは最高状用温度、
耐レーザー性はｌ０Ｗ−Ａｒレーザー照射俊ガラスか耐
えるか定性的に判定したもの、圧縮応力は厚さ１■のガ
ラスをメチルボリア０キサン液中で７００℃から急冷し
たものの値である。圧縮応力は光弾性による表面の圧縮
応力値を示す。実施例のガラスは着色も殆んどなく、可
視部の光の透過率は良好である。また本冥雄側によれば
熱膨張係数が２０〜３０×１０−’／℃であるため、熱
衝撃性にすぐれたガラスが得られる。史に本実施例のガ
ラスはポリシロキサン液中で急冷強化も可能である。ま
た本実施例のガラスは液晶テレビや太陽電池の他にガラ
スの上４ＣＣｒの蒸着ができるためフォトマスク用ガラ
スとしても使用可能である。
Claims (1)
- （１） ８ｉ０６０〜８５ｗｔ％、Ｂ２０，１０”−
３０ｖｔチ、ＺｎＯ１〜５ ａｔ ％ ％ ＺｒＯ２１
〜５ ｗｔ ％、ＲＯ（Ｒ＝ＭｇＸＣｍ、５ｒＸＢａ
）１ ％ ５ ｖｔ ％、Ｔｉｅ２０．１〜２ ｆｔ
％、Ｆ・２０．０．１〜２ｖｔ％を含有するデバイス用
ガラス。 求の範囲第１項記載のデバイス用ガラス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP251082A JPS58120535A (ja) | 1982-01-11 | 1982-01-11 | デバイス用ガラス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP251082A JPS58120535A (ja) | 1982-01-11 | 1982-01-11 | デバイス用ガラス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58120535A true JPS58120535A (ja) | 1983-07-18 |
Family
ID=11531363
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP251082A Pending JPS58120535A (ja) | 1982-01-11 | 1982-01-11 | デバイス用ガラス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58120535A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19916296C1 (de) * | 1999-04-12 | 2001-01-18 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
| WO2001017921A1 (de) | 1999-09-04 | 2001-03-15 | Schott Glas | Erdalkalialuminoborosilicatglas und dessen verwendungen |
| KR100690381B1 (ko) | 2006-06-08 | 2007-03-12 | 케미테크산업 주식회사 | 강화안전거울의 제조방법 |
| WO2022131274A1 (ja) * | 2020-12-18 | 2022-06-23 | Ａｇｃ株式会社 | ボロシリケートガラス、合わせガラス、及び車両用窓ガラス |
-
1982
- 1982-01-11 JP JP251082A patent/JPS58120535A/ja active Pending
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE19916296C1 (de) * | 1999-04-12 | 2001-01-18 | Schott Glas | Alkalifreies Aluminoborosilicatglas und dessen Verwendung |
| WO2001017921A1 (de) | 1999-09-04 | 2001-03-15 | Schott Glas | Erdalkalialuminoborosilicatglas und dessen verwendungen |
| DE19942259C1 (de) * | 1999-09-04 | 2001-05-17 | Schott Glas | Erdalkalialuminoborosilicatglas und dessen Verwendungen |
| KR100690381B1 (ko) | 2006-06-08 | 2007-03-12 | 케미테크산업 주식회사 | 강화안전거울의 제조방법 |
| WO2022131274A1 (ja) * | 2020-12-18 | 2022-06-23 | Ａｇｃ株式会社 | ボロシリケートガラス、合わせガラス、及び車両用窓ガラス |
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