JP3833341B2 - Ic試験装置のテストパターン発生回路 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
この発明はIC試験装置のテストパターン発生回路に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来のテストパターン発生回路では、発生されるテストパターンのテスタ・チャンネル当たりのビット数が常に一定のため、多様な波形生成/期待値発生、高速試験を実現する場合には、ピンマルチプレクス(Pin multiplex) を用いたりテスタ・チャンネル当たりのビット数を増やす必要があった。
【0003】
前者のピンマルチプレクスとは、テスタの2チャンネル分をDUT(被試験デバイス)の1ピンに接続することにより、より複雑な試験波形の生成や高速試験を実現する機能のことである。図3に示すように、通常、隣接する奇数チャンネルの試験回路CH(2i+1)と偶数チャンネルの試験回路CH(2i+2)を用い、偶数チャンネルのハードも奇数チャンネルのハードと一緒に使用する。各チャンネルの試験回路CHには、テストパターン及び期待値データを格納したパターンメモリ2が設けられる。各チャンネルのパターンメモリ2にはそれぞれ、例えば3ビットで1ワード(W)を構成する1メガワードのデータが格納されている。
【0004】
ピンマルチプレクスを用いない通常のモードでは、図4Bに示すように各チャンネルのパターンメモリ2から8ワード分のデータW1〜W8,合計24ビットが並列に出力され、並列/直列変換回路3で図4Cのような1ワード(3ビット)並列で、8ワード直列のデータW1〜W8に変換され、フォーマット制御回路4に入力される。フォーマット制御回路4では、タイミング発生回路5から供給されるタイミングデータに基づいて8サイクル分の試験波形V1〜V8(図4D)及び期待値データが生成され、前者は例えば1テストサイクル遅れてオアゲート6及びドライバ7,入出力端子8を通じてDUT9の1つの入出力ピンPm に印加され、後者はデジタルコンペア回路11に与えられる。
【0005】
入出力ピンPm に発生した応答波形は、入出力端子8よりコンパレータ10に入力され、比較レベルと比較される。コンパレータ10の比較情報はデジタルコンペア回路11に入力されて、フォーマット制御回路4より供給される期待値データと比較される。そこで、フェイル(誤り)が発生すると、フェイルデータメモリ12に記録される。
【0006】
ピンマルチプレクスモードの場合には、図5Cに示すように奇数チャンネル試験回路CH(2i+1)の並列/直列変換回路3では、直列データW1〜W8の各々が対応するテストサイクルの前半に出力される。一方、偶数チャンネル試験回路CH(2i+2)の並列/直列変換回路3では、図5Fに示すように直列データW1′〜W8′の各々が対応するテストサイクルの後半に出力される。これら各チャンネルの並列/直列変換回路3の出力W1〜W8及びW1′〜W8′はフォーマット制御回路4に入力され、タイミングデータに基づいて、例えば1テストサイクル遅れて試験波形V1〜V8及びV1′〜V8′が生成され、奇数チャンネルのオアゲート6に供給され、ドライバを介して入出力ピンPm に印加される。
【0007】
ピンマルチプレクスモードのときは、同モード信号PMUXは“1”とされているのでアンドゲート13は開かれており、またセレクタ14はA側、即ち奇数チャンネルのコンパレータ10の出力が選択される。偶数チャンネルの入出力端子8はDUT9のいかなる入出力ピンとも接続されない。
このように2チャンネル分のハードウエアをDUTの1ピンに接続することより、複雑な試験波形の生成が可能となる。また1テスト周期の前半に奇数チャンネルの試験波形が、後半に偶数チャンネルの試験波形を同一ピンPm に印加することにより、テスタの基本周波数より高い周波数での試験、つまり高速試験が可能となる。
【0008】
ピンマルチプレクスに代わる方法としては、前述したようにテストパターン発生回路の1Wのビット数を、通常の3ビットから4ビット/W,5ビット/Wと増加させる方法がある。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】
▲1▼ 多様な波形生成/期待値発生や高速試験を実現するために従来行っていたピンマルチプレクスによる方法は、DUTの1ピンに対し、テスタのチャンネル・リソースを2チャンネル分使用するため、テスタの有効チャンネル数が減少する欠点がある。デバイスのピン数とテスタのチャンネル構成によっては使用できない場合もある。
【0010】
▲2▼ 従来のテストパターン発生回路の1テストサイクルの試験波形を規定する1ワード/ピンのビット数を増やす方法では、それだけメモリの規模が大きくなり、テスタの価格が上昇してしまう。また、単純な波形生成/期待値発生や低速試験の場合には(多くの場合はこれに当たる)、増やしたビット分は冗長でしかなく、ユーザ負担を無駄に増大させる。
【0011】
【課題を解決するための手段】
(1)請求項1の発明は、パターンメモリと、そのパターンメモリより並列に出力されるパターンデータNワード分(Nは複数で、1ワードは複数のmビットで構成される)を入力して、直列に出力する並列/直列変換回路とより成るIC試験装置のテストパターン発生回路に関する。請求項1では特に、並列/直列変換回路が、モード制御信号によって、1ワード/ピンのデータを各テストサイクルごとに直列に出力する直列出力モードと、n(複数)ワート/ピンの並列データ(m×nビット)を1テストサイクルごとに直列に出力する並・直列出力モードとに切換え可能とされている。
【0012】
上記パターンメモリに1アドレス当たりN(Nは偶数とする)ワードのデータが格納される。並列/直列変換回路に、前記パターンメモリより順次転送された1アドレス当たりNワード分の並列データを1アドレス当たりNワード分のメモリ領域に順次格納するキャッシュメモリと、そのキャッシュメモリより出力されるNワード分の並列データをN/2ワード並列データ×2サイクルに展開する展開手段と、直列出力モードのとき、展開手段より出力されるN/2ワード並列/(NT/2)(Tは1テスト周期)のデータを入力して1ワード/Tずつ直列に出力する並列/直列変換手段(32,33,36)と、並・直列出力モードのとき、展開手段より出力されるN/2ワード並列/2Tのデータを入力して、N/4ワード並列×2サイクル直列のデータに変換する並列/並・直列変換手段(32,34,35,36,37)とが設けられる。
【0013】
(2)請求項2の発明では、前記(1)において、パターンメモリが、シンクロナイス・ダイナミックRAM(SDRAM)より成り、キャッシュメモリが一対のスタティックRAMをインターリーブ構成にしたものである。
(3)請求項3の発明では、前記(1)において、1ワードが3ビットで構成れる。
【0014】
(4)請求項4の発明では、前記(1)において、展開手段が、キャッシュメモリの1アドレス当たりNワードのデータをN/2ワードずつ格納する第1,第2バッファレジスタ(29,30)と、それら第1,第2バッファレジスタよりそれぞれ並列に出力されるN/2ワードのデータを交互に選択するセレクタ(31)とより構成される。
【0015】
(5)請求項5の発明では、前記(1)において、並列/直列変換手段が、展開手段より出力されるN/2ワード並列のデータを格納するバッファレジスタ(32)と、そのバッファレジスタのデータを1ワードずつ選択して出力するセレクタ(33)とより構成される。
(6)請求項6の発明では、前記(1)において、1アドレス当たりのパターンメモリ及びキャッシュメモリのワード数Nが8とされる。
【0016】
(7)請求項7の発明では、前記(6)において、並列/並・直列変換手段が、展開手段より出力される4ワード並列データを格納するバッファレジスタ(32)と、そのバッファレジスタの第1〜第4ワード並列/2Tデータのうち、第1,第2テストサイクルにおいて、それぞれ第1,第3ワードを選択するセレクタ(34)と、第1,第2テストサイクルにおいて、それぞれ第2,第4ワードを選択するセレクタ(35)とより構成される。
【0017】
【発明の実施の形態】
この発明の実施例を図1,図2を参照して説明する。この発明のテストパターン発生回路では各テスタ・チャンネルごとに図1のようなパターンメモリ2と並列/直列変換回路3とを有する。パターンメモリ2はこの例ではSDRAM(シンクロナス・ダイナミックRAM)を用いている。シンクロナスDRAMはクロック同期型のインタフェースをもつ。DRAMは1トランジスタ、1キャパシタでメモリセルが構成され、記憶内容を保存するために、一定時間ごとにリフレッシュパルスを必要とする。一般的にスタティックRAMに比べ、消費電力が少なく、集積度が高く安価であるが、動作速度は遅い。テストパターン発生回路ではSDRAMより8W(3×8=24ビット)並列に読み出しているので、動作速度の遅い点は問題にならない。
【0018】
各テスタ・チャンネルのパターンメモリ制御回路21は入力されにRATE信号(テスト周期Tをもつ)に同期して,アドレス信号等を含むリードタイミング信号RTをパターンメモリ2に与える。これによりパターンメモリ2から8W(3×8=24ビット)並列のデータ、つまり8サイクル分のテストパターンデータが出力され、バッファレジスタ22に並列に書き込まれる。
【0019】
バッファレジスタ22に書き込まれた8Wのデータはキャッシュメモリ23aまたは23bに並列に転送される。SDRAMはリフレッシュのため、データを読み出しできない期間があるので、一対のキャッシュ(Cache)メモリ23a,23bを用いて2ウエイ(WAY)のインタリーブ構成として、一方(例えば23a側)が書込みモードのとき、他方(23b側)を読み出しモードにすることにより、既に書き込まれたデータを中断されることなく読み出せるようにしている。
【0020】
パターンメモリ制御回路21から、パターンメモリ2の読み出しと、キャッシュメモリ23a,23bの書込みとの同期をとるための同期信号SYC1がキャッシュ書込タイミング発生器25に与えられ、該回路25からパターンメモリ2から1アドレス当たり8W(24ビット)並列のデータを取り込むためのクロックCLKがバッファレジスタ22に与えられると共に、書込アドレスポインタ信号WAP−AまたはWAP−Bがキャッシュメモリ23aまたは23bに供給される。
【0021】
パターンメモリ制御回路21から、パターンメモリ2に与えるリードタイミング信号RTに含まれるアドレスポインタ信号と同様のアドレスポインタ信号APが同期回路26に与えられる。該回路26からキャッシュメモリ23aまたは23bの読み出しをアドレスポインタ信号APとRATE信号とに同期させるために、同期信号SYC2がキャッシュ読出タイミング発生器27に与えられる。その結果、該回路27から、アドレスポインタ信号APとRATE信号に同期した読出アドレスポインタ信号RAP−AまたはRAP−Bがキャッシュメモリ23aまたは23bに与えられる。キャッシュメモリ23a,23bは、図1において縦方向、つまりメモリ2の深さ方向/アドレス方向が例えば64行あり、各行が8W(3×8=24ビット)分のデータを蓄積できる。
【0022】
セレクタ28にはキャッシュ書込タイミング発生器27からキャッシュメモリ23aまたは23bのいずれかの出力を選択させるバンク(Bank)セレクト信号BSがセレクタ28に与えられる。キャッシュメモリ23aまたは23bから読み出された8W分の並列データはセレクタ28を介してバッファレジスタ29及び30に4W分ずつ同時に並列に書き込まれる。
【0023】
(1)直列出力モード(MC=“0”)
各チャンネルの並列/直列変換回路3が、テシストパターンデータを1テストサイクル(1×T)ごとに1ワード(3ビット並列)ずつ直列に出力する場合であり、外部より端子20に与えるモード制御信号MCは論理“0”とされる。キャッシュメモリ23aからセレクタ28を介して第1,第2バッファレジスタ29,30に入力されるキャッシュ出力CO(Cache Out) は、8T時間の間、ワードW1〜W8(8W分で合計24ビット)の並列データとなり、次の8T時間の間、ワードW9〜W16の並列データとなる(図2B)。同期回路26からセレクタ31に与えるセレクト信号SAは前記8T時間のうち、前半の4T時間の間は低(L)レベル、後半の4T時間の間は高(H)レベルとなる信号である(図2C)。このセレクト信号SAのL/Hによって、セレクタ31はバッファレジスタ29または30の4W分の並列データをそれぞれ選択して、バッファレジスタ32に並列に入力する。
【0024】
バッファレジスタ32の4W分(3×4=12ビット)のデータを例えばワートW1〜W4とすると、W1,W2,W3,W4の各3ビットのデータがセレクタ33の0番、1番、2番及び3番入力端子(各番の入力端子とも3ビット分の3個の端子をもつ)にそれぞれ供給される。またワードW1及びW3のデータが、セレクタ34の0番及び1番入力端子(各番とも3個)にそれぞれ供給され、ワードW2及びW4のデータがセレクタ35の0番及び1番入力端子(各番とも3個)にそれぞれ供給される。
【0025】
同期回路26より出力されるセレクト信号SBの表す数値は、セレクト信号SAがLレベルの期間(4T)では、1Tごとに0,1,2,3と1つずつ増加し、次のセレクト信号SAがHレベルの期間(4T)でも同様に0,1,2,3と増加し、以下同様に数値データの変化を繰り返す(図2D)。このセレクト信号SAの数値データ0,1,2,3の変化によってセレクタ33から0番〜3番入力端子にそれぞれ印加されているデータW1,W2,W3,W4が順次選択され、セレクタ36(MC=“0”であるので、0番入力端子(3個)側が選択される)を介してバッファレジスタ38に入力され、次のRATE信号の立上がりに同期して出力端子40に出力される。
【0026】
次に、セレクト信号SAがHに切り換わってから4Tの間、セレクタ31によってバッファレジスタ30に書き込まれていたデータW5〜W8が選択されてバッファレジスタ32に転送され、セレクタ33によりセレクト信号SBの示す数値データ0,1,2,3の変化に応じて、データW5〜W8が順次選択され、セレクタ36を介してバッファレジスタ38に入力され、次のタイミングで出力端子40に出力される。以下上述と同様の動作が繰り返される。
【0027】
モード制御信号MC=“0”の期間では、セレクタ34の出力はセレクタ36で選択されない。またセレクタ35の出力もアンドゲート37が閉じられているので、そこで通過を阻止される。従って、出力端子41の出力はLレベルとなっている(図2F)。
なお、一方のキャッシュメモリ23aまたは23bの読み出しが終了すると、パターンメモリ2より次の読み出しを行う必要があるので、キャッシュ読出タイミング発生器27よりリクエスト信号REQがパターンメモリ制御回路21に与えられる。
【0028】
(2)並・直列出力モード(MC=“1”)
各チャネルの並列/直列変換回路3がテストパターンデータを1テストサイクル(1×T)ごとに2ワード並列のデータを直列に出力する場合であり、モード制御信号MCは論理“1”にされる。キャッシュメモリ23aから4Tごとにセレクタ28を介してバッファレジスタ29,30に出力されるデータは、W1〜W8,W9〜W16,W17〜W24,W25〜W32,…となる(図2G)。セレクト信号SAは2TごとにL→H→L…と変化し(図2H)、そのL/Hに変じてバッファレジスタ29/30の4Wのデータがセレクタ31で選択されてバッファレジスタ32に入力される。
【0029】
セレクト信号SAがLまたはHをとる2Tの間に、セレクト信号SBの数値データは、前半の1Tで“0”となり、後半の 1Tで“1”に変化する(図2I)。前半のSB=“0”のとき、バッファレジスタ32のデータW1がセレクタ34で選択され、セレクタ36(MC=“1”であるので、1番入力端子側が選択される)を介してバッファレジスタ38に入力されると共に、バッファレジスタ32のデータW2がセレクタ35で選択され、アンドゲート37を介してバッファレジスタ39に入力される。次のタイミングで出力端子40及び41にデータW1及びW2が同時に出力される(図2J,K)。
【0030】
後半のSA=“1”のとき、バッファレジスタ32のデータW3及びW4がセレクタ34及び35でそれぞれ選択され、前と同様にしてバッファレジスタ38及び39にそれぞれ入力され、次のタイミングで出力端子40及び41に同様に出力される(図1J,K)。以下同様にし、1Tごとに出力端子40,41にデータ(W5,W6);(W7,W8);(W9,W10)…が出力される。
【0031】
これまでの説明では、パターンメモリ2及びキャッシュメモリ23a,23bの1アドレス当たりの記憶容量をN=8ワードとし、1ワードを3ビット構成としたが、この発明はこの場合に限定する必要はなく、N=16,32ワード等としてもよく、また1ワードのビット数は4,5ビット…一般にmビットとすることができる。
【0032】
直列出力モードのとき、パターンデータを3ビット/ピンとし、並・直列出力モードのときパターンデータを3×2=6ビット/ピンとする場合を述べたが、直列出力モードのときmビット/ピン、並・直列出力モードのときm×n(nは複数)ビット/ピン、つまりnワード並列データを直列に出力する場合に容易に拡張できることは明らかである。
【0033】
【発明の効果】
▲1▼ この発明では、各チャンネルのテストパターン発生回路の並列/直列変換回路3に与えるモード制御信号MCを新設し、該回路3が、例えばMC=“0”のとき、パターンメモリ2のデータを1試験サイクル(1×T)ごとに1ワードずつW1,W2,W3…と順に出力するように構成し、またMC=“1”のとき、nワード(例えばn=2)並列データを1×Tごとに直列に、例えば(W1,W2);(W3,W4);(W5,W6)…と順に出力するように構成している。従って、従来のピンマルチプレクスによる方法のように、DUTの1ピンに対し、テスタチャンネル・リソースを2チャンネル分使用するため、テスタの有効チャンネル数が減少すると言う問題はない。
【0034】
▲2▼ この発明では、低速試験の場合には、MC=“0”として1テスタサイクルごとに1ワード(例えば3ビット)ずつ順に出力すればよいので、1ワードを構成するビット数を多様な試験波形の発生や高速試験のために増加させている従来のパターン発生回路のように、増やしたビット分が余分となり、ユーザ負担を無駄に増大させるような問題は起こらない。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明のテストパターン発生回路の実施例(1チャネル分)を示すブロック図。
【図2】図1のタイミングチャート。
【図3】ピンマルチプレクサモードに切換え可能な従来の試験回路(テストパターン発生回路を含む)のブロック図。
【図4】図3の試験回路をピンマルチプレクスを行わない通常の低速モードで動作させるときのタイミングチャート。
【図5】図3の試験回路をピンマルチプレクスモードで使用する場合のタイミングチャート。
Claims (7)
- パターンメモリと、そのパターンメモリより並列に出力されるパターンデータNワード分(Nは複数で、1ワードは複数のmビットで構成される)を入力して、直列に出力する並列/直列変換回路とより成るIC試験装置のテストパターン発生回路において、
信号によって、1ワード/ピンのデータを各テストサイクルごとに直列に出力する直列出力モードと、n(複数)ワード/ピンの並列データ(m×nビット)を1テストサイクルごとに直列に出力する並・直列出力モードとに切換える前記並列/直列変換回路から成る切換え手段と、
前記パターンメモリに1アドレス当たりN(Nは偶数とする)ワードのデータが格納され、前記並列/直列変換回路が、前記パターンメモリより順次転送された1アドレス当たりNワード分の並列データを1アドレス当たりNワード分のメモリ領域に順次格納するキャッシュメモリと、そのキャッシュメモリより出力されるNワード分の並列データをN/2ワード並列に分割して順次出力する展開手段と、
前記切換え手段が直列出力モードのとき、前記展開手段よりNT/2ごとに出力されるN/2ワード並列(Tは1テスト周期)のデータを入力して1ワード/Tずつ直列に出力する並列/直列変換手段(32,33,36)と、
前記切換え手段が並・直列出力モードのとき、前記展開手段よりNT/4ごとに出力される上記N/2ワード並列のデータを入力して、1テストサイクル当たりN/4個ワードデータを並列に出力する2つの直列データに変換する並列/並・直列変換手段(32,34,35,36,37)とを有することを特徴とするIC試験装置のテストパターン発生回路。 - 請求項1において、前記パターンメモリが、シンクロナス・ダイナミックRAM(SDRAM)より成り、前記キャッシュメモリが一対のスタティックRAMをインターリーブ構成にしたものであることを特徴とするIC試験装置のテストパターン発生回路。
- 請求項1において、前記1ワードが3ビットより成ることを特徴とするIC試験装置のテストパターン発生回路。
- 請求項1において、前記展開手段が、前記キャッシュメモリの1アドレス当たりNワードのデータをN/2ワードずつ格納する第1,第2バッファレジスタ(29,30)と、それら第1,第2バッファレジスタよりそれぞれ並列に出力されるN/2ワードのデータを交互に選択するセレクタ(31)とより成ることを特徴とするIC試験装置のテストパターン発生回路。
- 請求項1において、前記並列/直列変換手段が、前記展開手段より出力されるN/2ワード並列のデータを格納するバッファレジスタ(32)と、そのバッファレジスタのデータを1ワードずつ選択して出力するセレクタ(33)を有することを特徴とするIC試験装置のテストパターン発生回路。
- 請求項1において、1アドレス当たりの前記パターンメモリ及びキャッシュメモリのワード数Nが8であることを特徴とするIC試験装置のテストパターン発生回路。
- 請求項6において、前記並列/並・直列変換手段が、前記展開手段より出力される4ワード並列データを格納するバッファレジスタ(32)と、そのバッファレジスタの第1〜第4ワード並列/2Tデータのうち、第1,第2テストサイクルにおいて、それぞれ第1,第3ワードを選択するセレクタ(34)と、第1,第2テストサイクルにおいて、それぞれ第2,第4ワードを選択するセレクタ(35)を有することを特徴とするIC試験装置のテストパターン発生回路。
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