JPH11328948A - シリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置 - Google Patents

シリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置

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JPH11328948A
JPH11328948A JP10133684A JP13368498A JPH11328948A JP H11328948 A JPH11328948 A JP H11328948A JP 10133684 A JP10133684 A JP 10133684A JP 13368498 A JP13368498 A JP 13368498A JP H11328948 A JPH11328948 A JP H11328948A
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Abstract

(57)【要約】 【課題】 データの入出力の周期を短くして、より高速
なシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置を提
供する。 【解決手段】シリアルに入力されたデータをパラレルに
変換してメモリアレイ5、6に書き込み、メモリアレイ
5、6からパラレルにデータを読み出してシリアルに出
力する。データの入出力が高速なメモリアレイ6と、デ
ータの入出力が通常の速度のメモリアレイ5とを備え、
メモリアレイ6は、最後に入力されるデータ及び最初に
出力されるデータを記憶する。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、内部メモリからデ
ータをパラレルに読み出してシリアルに出力し、データ
をシリアルに入力してパラレルに内部メモリに書き込む
シリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置に関
し、特に、内部メモリへの書込み速度及び内部メモリか
らの読出し速度を改善したシリアル−パラレル変換機能
付き半導体記憶装置に関する。
【0002】
【従来の技術】近年、コンピュータなどにおいて、半導
体記憶装置を使用したメモリ部の高速化にともなって、
内部メモリから多くのデータを一度に読み込んでそのデ
ータをシリアルに出力し、また逆にデータをシリアルに
入力してパラレルに内部メモリに書き込むようなシリア
ル−パラレル機能を含む半導体記憶装置が増えている。
【0003】上述のような半導体記憶装置において、た
とえば、ラムバス(RAM BUS)DRAMの場合
は、1×8でシリアル−パラレルの変換をしており、D
DR(Double Data Rate)などのDRAMでは、1×2
のシリアル−パラレル変換をしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
シリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置によれ
ば、パラレルデータとして内部メモリに記憶されている
データのうち最初にシリアルデータとして出力するデー
タを内部メモリから読み出すときに一番アクセス的に厳
しくなり、また、入力したシリアルデータをパラレルデ
ータに変換して内部メモリに書き込む場合、最後のシリ
アルに書き込むデータが一番アクセス的に厳しくなるた
め、それに合わせてデータを入出力するクロックの周期
を長くする必要があった。
【0005】従って、本発明の目的は、データを入出力
するクロックの周期を短くして、書込み速度及び読出し
速度を高速にしたシリアル−パラレル変換機能付き半導
体記憶装置を提供することである。
【0006】
【課題を解決するための手段】本発明は、以上に述べた
目的を実現するため、複数のメモリアレイからパラレル
にデータを読み出して、シリアルに出力するシリアル−
パラレル変換機能付き半導体記憶装置において、最初に
出力するデータを記憶する第1のメモリアレイと、最初
に出力するデータより後に出力されるデータを記憶する
第2のメモリアレイとを備え、第1のメモリアレイは、
第2のメモリアレイよりもデータを読み出す速度が高速
であることを特徴とするシリアル−パラレル変換機能付
き半導体記憶装置を提供する。
【0007】また、上記目的を実現するため、シリアル
に入力されたデータをパラレルに変換して複数のメモリ
アレイに書き込むシリアル−パラレル変換機能付き半導
体記憶装置において、最後に入力したデータを記憶する
第1のメモリアレイと、最後に入力したデータより先に
入力したデータを記憶する第2のメモリアレイとを備
え、第1のメモリアレイは、第2のメモリアレイよりも
データを書き込む速度が高速であることを特徴とするシ
リアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置を提供す
る。
【0008】更に、上記目的を実現するため、シリアル
に入力されたデータをパラレルに変換して複数のメモリ
アレイに書き込み、複数のメモリアレイからパラレルに
データを読み出してシリアルに出力するシリアル−パラ
レル変換機能付き半導体記憶装置において、データの入
出力が高速な第1のメモリアレイと、データの入出力が
第1のメモリアレイより低速な第2のメモリアレイとを
備え、第1のメモリアレイは、最後に入力されるデータ
及び最初に出力されるデータを記憶することを特徴とす
るシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置を提
供する。
【0009】
【発明の実施の形態】以下本発明のシリアル−パラレル
変換機能付き半導体記憶装置を詳細に説明する。
【0010】図1は、本発明のシリアル−パラレル変換
機能付き半導体記憶装置を示す。この半導体記憶装置
は、「0」のクロック信号によって活性化される入力回
路1と、「1」のクロック信号によって活性化される入
力回路2と、「0」のクロック信号によって活性化され
るラッチ回路3と、「1」のクロック信号によって活性
化されるラッチ回路4と、「1」のクロック信号によっ
て入力Aのデータを選択して出力し、「0」のクロック
信号によって入力Bのデータを選択して出力するセレク
タ回路7と、書込みポートINをラッチ回路3の出力O
UTに接続され、読出しポートOUTをラッチ回路4の
入力INに接続された通常の書込み速度および読出し速
度のメモリアレイ5と、書込みポートINを入力回路2
の出力OUTに接続され、読出しポートOUTをセレク
タ回路7の入力Aに接続された高速の書込み速度および
読出し速度のメモリアレイ6を有する。ここで、IN
1、IN2、およびIN3は書込み用のデータバスであ
り、OUT1、OUT2、およびOUT3は読出し用の
データバスであり、DINはシリアルデータの入力ライ
ンであり、DOUTはシリアルデータの出力ラインであ
り、Clkはクロック信号の入力ラインである。
【0011】図2は、本発明のシリアル−パラレル変換
機能付き半導体記憶装置におけるデータ入出力のタイミ
ングチャートを示す。以下、図1及び図2を参照して、
本発明のシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装
置の動作を説明する。
【0012】図1に示したシリアル−パラレル変換機能
付き半導体記憶装置は、1対2(1×2)にシリアル−
パラレル変換する機能を有している。ここで、先ずデー
タWD0、WD1、WD2、及びWD3のメモリアレイ
5、6へのライト(書込み)の場合について説明する。
入力ラインDINから、ライトデータがWD0、WD
1、WD2、WD3の順に入力され、WD0とWD1及
びWD2とWD3がそれぞれパラレルに変換されてメモ
リアレイ5、6に書き込まれる。データのシリアル入力
の単位として最後に書き込まれるWD1及びWD3は、
入力回路2を介して高速のメモリアレイ6に書き込まれ
る。データのシリアル入力の単位として最初に書き込ま
れるWD0及びWD2は、入力回路1及びラッチ回路3
を介して通常の速度のメモリアレイ5に書き込まれる。
【0013】次に、データRD0、RD1、RD2、及
びRD3のリード(読出し)の場合、高速のメモリアレ
イ6から出力されるデータ(RD1、RD3)は、セレ
クタ回路7のA側に入力される。また、通常の速度のメ
モリアレイ5から出力されるデータ(RD0、RD2)
は、ラッチ回路4を介してセレクタ回路7のB側に入力
される。Clkラインから入力されるクロック信号に同
期し、クロック信号が「1」のとき、入力Aのデータ
が、クロック信号が「0」のとき、入力Bのデータが選
択されて、セレクタ回路7の出力ラインDOUTからシ
リアルに出力される。
【0014】入力回路1、2はクロック同期式であり、
クロック信号に対してt1の遅延をもつ。WD0のデー
タは、クロック信号の立ち下がりからt1後に入力回路
1からラッチ回路3に出力され、クロック信号の「0」
においてラッチ回路3にラッチされる。WD1のデータ
は、クロック立ち上がりからt1後に高速のメモリアレ
イ6に出力される。
【0015】クロック信号に逆相で同期するライト(書
込み)信号は「0」でアクティブである。従って、ラッ
チ回路3にラッチされた入力ラインIN3上のデータW
D0はライト信号に対して十分なセットアップ時間があ
る。それに対して、入力回路2から出力される入力ライ
ンIN2上のデータWD1のセットアップ時間tsw’
は、ライト信号の周期の1/2の時間から遅延時間t1
を引いた値となる。
【0016】一方、リード(読出し)信号はクロック信
号に同相で同期する。通常の速度のメモリアレイ5から
遅延時間trdを有してRD0が出力され、高速のメモ
リアレイ6から遅延時間trd’を有してRD1が出力
される。RD0は、クロック信号の立ち上がりから遅延
時間t2を有してラッチ回路4にラッチされ、次のクロ
ック信号の立ち下がりでセレクタ回路7の入力Bが選択
されて出力ラインDOUTに出力される。これより先
に、出力ラインOUT2上のデータ(RD1)は、クロ
ック信号の立ち上がりによってセレクタ回路7の入力A
が選択されることにより、出力ラインDOUTに出力さ
れている。
【0017】この例では、高速のメモリアレイ6はリー
ド及びライトともに高速のメモリアレイとしているた
め、WD0、WD1の順で書き込んだデータは、RD
1、RD0と逆の順で出力されている。
【0018】以上、データWD0及びWD1の書込み、
及びRD0、RD1の読出しについて説明したが、デー
タWD2及びWD3の書込み、及びRD2及びRD3の
読出しも同様に出力される。
【0019】以上、本発明のシリアル−パラレル変換機
能付き半導体記憶装置の動作を説明したが、以下に、本
発明のシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置
における、メモリのクロック周期について説明する。
【0020】前述したように、入力回路1、2のクロッ
ク信号からの遅延タイムをt1、ラッチ回路3、4のセ
ットアップタイムをt2、セレクタ回路7のセットアッ
プタイムをt3、メモリアレイ5のライトのセットアッ
プタイムをtsw、メモリアレイ6のライトのセットア
ップタイムをtsw’(tsw’<tsw)、メモリア
レイ5のリードの遅延タイムをtrd、メモリアレイ6
のリードの遅延タイムをtrd’(trd’<tr
d)、クロック信号の周期をtCLKとする。ここで、
メモリアレイ5のセットアップtswより、ラッチ回路
3、4のセットアップタイムt2の方が小さい(t2<
tsw)。
【0021】以上のような条件において、メモリアレイ
5、6へのデータのライトの周期のリミットについて従
来と比較する。従来のシリアル−パラレル変換機能付き
半導体記憶装置におけるメモリアレイのセットアップ
は、一律tswであり、最小のクロック周期は、 tCLK/ 2=t1+ tsw となる。
【0022】これに対して、本発明のシリアル−パラレ
ル変換機能付き半導体記憶装置によると、高速のメモリ
アレイ6のセットアップは、tswからtsw’に改善
されたため、最小のクロック周期は、 tCLK/ 2=t1+ tsw’ に改善されている。
【0023】次に、メモリアレイ5、6からのデータの
リードの周期のリミットについて従来と比較する。従来
のシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置で
は、メモリアレイのリード遅延タイムtrdと、セレク
タ回路7のクロック同期で正しく出力するためのセット
アップタイムt3とによって、最小クロックが制限され
ていた。したがって、従来のシリアル−パラレル変換機
能付き半導体記憶装置によると、最小クロック周期は、 tCLK/ 2=t3+ trd となる。
【0024】これに対して、本発明のシリアル−パラレ
ル変換機能付き半導体記憶装置によると、高速のメモリ
アレイ6のリード遅延タイムがtrdからtrd’に改
善されたため、最小のクロック周期は、 tCLK/ 2=t3+ trd’ に改善されている。
【0025】以上、本発明の一形態を示したが、1×2
のシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置のみ
ならず、1×4、1×8のようなシリアル−パラレル変
換機能付き半導体記憶装置であってもよい。この場合に
は、高速のメモリアレイは、それぞれメモリ全体の4分
の1、8分の1となり、高速メモリアレイの容量が少な
くで済む。
【0026】
【発明の効果】以上述べた通り、本発明のシリアル−パ
ラレル変換機能付き半導体記憶装置によれば、他のメモ
リアレイに比べ、高速にライトできるメモリアレイを設
け、最後に入力するシリアルデータにはその高速ライト
アレイを割り当て、また、他のメモリアレイに比べ、高
速にリードできるメモリアレイを設け、メモリから最初
に出力するシリアルデータには高速リードアレイを割り
当てることとしたので、データの入出力の周期を短くし
て、より高速にデータの入出力を行うことができるよう
になった。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明によるシリアル−パラレル変換機能付き
半導体記憶装置の実施の一形態を示すブロック図であ
る。
【図2】本発明によるシリアル−パラレル変換機能付き
半導体記憶装置におけるデータの書込み及び読出しのタ
イミングを示すタイミングチャートである。
【符号の説明】
1、2 入力回路 3、4 ラッチ回路 5、6 メモリアレイ 7 セレクタ回路

Claims (7)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】複数のメモリアレイからパラレルにデータ
    を読み出して、シリアルに出力するシリアル−パラレル
    変換機能付き半導体記憶装置において、 最初に出力す
    るデータを記憶する第1のメモリアレイと、 前記最初に出力するデータより後に出力されるデータを
    記憶する第2のメモリアレイとを備え、 前記第1のメモリアレイは、前記第2のメモリアレイよ
    りも前記データを読み出す速度が高速であることを特徴
    とするシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装
    置。
  2. 【請求項2】シリアルに入力されたデータをパラレルに
    変換して複数のメモリアレイに書き込むシリアル−パラ
    レル変換機能付き半導体記憶装置において、 最後に入力したデータを記憶する第1のメモリアレイ
    と、 前記最後に入力したデータより先に入力したデータを記
    憶する第2のメモリアレイとを備え、 前記第1のメモリアレイは、前記第2のメモリアレイよ
    りも前記データを書き込む速度が高速であることを特徴
    とするシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装
    置。
  3. 【請求項3】シリアルに入力されたデータをパラレルに
    変換して複数のメモリアレイに書き込み、前記複数のメ
    モリアレイからパラレルに前記データを読み出してシリ
    アルに出力するシリアル−パラレル変換機能付き半導体
    記憶装置において、 前記データの入出力が高速な第1のメモリアレイと、 前記データの入出力が前記第1のメモリアレイより低速
    な第2のメモリアレイとを備え、 前記第1のメモリアレイは、最後に入力されるデータ及
    び最初に出力されるデータを記憶することを特徴とする
    シリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置。
  4. 【請求項4】前記第1のメモリアレイは、クロック信号
    の「1」によって活性化される入力回路を介してシリア
    ルデータ入力ラインに接続された書込みポートと、クロ
    ック信号の「1」によって活性化される出力回路を介し
    てシリアルデータ出力ラインに接続された読出しポート
    を有する構成の請求項3記載のシリアル−パラレル変換
    機能付き半導体記憶装置。
  5. 【請求項5】前記第2のメモリアレイは、クロック信号
    の「0」によって活性化されることによりシリアルデー
    タ入力ラインからデータを入力する入力回路、及びクロ
    ック信号の「0」によって活性化されることにより前記
    入力回路から出力されるデータをラッチするラッチ回路
    を介して前記シリアルデータ入力ラインに接続された書
    込みポートと、クロック信号の「1」の読出しデータを
    ラッチするラッチ回路、及びクロック信号の「0」によ
    って前記ラッチ回路にラッチされた前記読出しデータを
    出力する出力回路を介してシリアル出力ラインに接続さ
    れた読出しポートを有する構成の請求項3記載のシリア
    ル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置。
  6. 【請求項6】前記第1のメモリアレイの書込み用セット
    アップ時間と、前記入力回路の動作遅延時間の和が、前
    記クロック信号の周期の約1/2である構成の請求項4
    記載のシリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装
    置。
  7. 【請求項7】前記第1のメモリアレイの読出し遅延時間
    と、前記出力回路のセットアップ時間の和が、前記クロ
    ック信号の周期の約1/2である構成の請求項5記載の
    シリアル−パラレル変換機能付き半導体記憶装置。
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06275069A (ja) * 1993-03-20 1994-09-30 Hitachi Ltd シリアルメモリ
US5953244A (en) * 1997-02-12 1999-09-14 Sharp Kabushiki Kaisha Semiconductor memory device capable of page mode or serial access mode

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN100357912C (zh) * 2003-04-30 2007-12-26 雅马哈株式会社 存储设备及其控制方法
US7483033B2 (en) 2003-04-30 2009-01-27 Yamaha Corporation Storage device

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