DE19823931A1 - Testmustergeneratorschaltung für ein IC-Testgerät - Google Patents
Testmustergeneratorschaltung für ein IC-TestgerätInfo
- Publication number
- DE19823931A1 DE19823931A1 DE19823931A DE19823931A DE19823931A1 DE 19823931 A1 DE19823931 A1 DE 19823931A1 DE 19823931 A DE19823931 A DE 19823931A DE 19823931 A DE19823931 A DE 19823931A DE 19823931 A1 DE19823931 A1 DE 19823931A1
- Authority
- DE
- Germany
- Prior art keywords
- parallel
- data
- words
- test
- serial
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31919—Storing and outputting test patterns
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R31/00—Arrangements for testing electric properties; Arrangements for locating electric faults; Arrangements for electrical testing characterised by what is being tested not provided for elsewhere
- G01R31/28—Testing of electronic circuits, e.g. by signal tracer
- G01R31/317—Testing of digital circuits
- G01R31/3181—Functional testing
- G01R31/319—Tester hardware, i.e. output processing circuits
- G01R31/31917—Stimuli generation or application of test patterns to the device under test [DUT]
- G01R31/31926—Routing signals to or from the device under test [DUT], e.g. switch matrix, pin multiplexing
Description
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Testmustergeneratorschaltung für ein zum Testen
von ICs ausgelegtes Testgerät.
Ein Testgerät bzw. eine Testanordnung zum Testen einer integrierten Halbleiterschaltung (im
folgenden vereinfacht als IC bezeichnet) weist einen Testmustergenerator auf, der ein Testmu
ster und weiterhin ein Erwartungswertmuster erzeugt und das Testmuster an das im Test
befindliche Bauelement, d. h. an einen IC, anlegt, wobei das von dem im Test befindlichen
Bauelement erhaltene Antwortsignal mit dem Erwartungswertmuster verglichen wird, um zu
erkennen, ob zwischen diesen Mustern eine Übereinstimmung vorhanden ist oder nicht. Das
Ergebnis dieser Ermittlung wird in einem Speicher gespeichert. In einer herkömmlichen Testmu
stergeneratorschaltung ist die Anzahl von Bits, die für das Testmuster je Testerkanal erzeugt
werden, auf einen konstanten Wert festgelegt. Wenn es nun gewünscht sein sollte, eine Vielzahl
von Wellenformen und von entsprechenden Erwartungswertmustern zu erzeugen oder einen Test
mit einer hohen Rate bzw. Frequenz oder Geschwindigkeit durchzuführen, stellt sich folglich die
Notwendigkeit, einen "Anschlußelement-Multiplex-Betrieb" ("Stift-Multiplex" bzw. "Anschluß-
kontakt-Multiplex-Verfahren") zu benutzen oder die Anzahl von Bits je Testerkanal zu erhöhen.
Der Ausdruck "Anschlußelement-Multiplex-Betrieb" bezieht sich auf eine Funktion, bei der die
Daten von zwei Testerkanälen an ein Anschlußelement (Stift bzw. Anschlußkontakt) eines im
Test befindlichen Bauelements angelegt werden, um hierdurch eine kompliziertere Testwellen
form zu erzeugen oder einen Test mit einer hohen Frequenz ausführen zu können. In Fig. 3 sind
Testschaltungen CH(2i+1) und CH(2i+2) für einen ungeradzahligen Kanal und für einen
geradzahligen Kanal dargestellt, wobei diese Testschaltungen benachbart zueinander angeordnet
sind und zu einer Vielzahl von Kanal-Testschaltungen gehören. Wie in Fig. 3 gezeigt ist, werden
normalerweise eine Testschaltung CH(2i+1) für einen ungeradzahligen Kanal und eine Testschal
tung CH(2i+2) für einen geradzahligen Kanal, die benachbart zueinander angeordnet sind, in
Kombination benutzt. Jede Kanal-Testschaltung CH enthält einen Musterspeicher 2, in dem
Testmuster und Erwartungswertmuster gespeichert sind. Der in jedem Kanal enthaltene Muster
speicher 2 speichert Daten für ein Megawort, wobei ein Wort beispielsweise drei Bits umfaßt.
Bei dem normalen Betrieb, bei dem kein "Anschlußelement-Multiplex-Betrieb" durchgeführt wird,
wird ein Betriebsartsignal (Modussignal) PMUX auf "0" gesetzt, so daß ein UND-Glied 13
geschlossen ist und ein Wähler 14 dazu veranlaßt bzw. gesteuert ist, das an seinen Anschluß B
angelegte Eingangssignal auszuwählen und an seinem Ausgang abzugeben. Wie in Fig. 4 in der
Zeile B gezeigt ist, stellt der Musterspeicher 2 eines jeweiligen Kanals acht Wortdaten (bzw. die
Daten von acht Wörtern) W1 bis W8 oder insgesamt 24 Bits parallel bereit, die dann jeweils
durch eine Parallel/Seriell-Wandlerschaltung 3 in eine Folge umgewandelt wird, die jeweils
bitparallel, jedoch hinsichtlich der Wortdaten W1 bis W8 seriell ausgelegt ist, wie dies in Fig. 4 in
der Zeile C dargestellt ist, wobei diese Folge aus parallelen Bits, jedoch seriellen Wörtern an
einen Formatierer 4 angelegt wird. Durch die Kombination aus dem Musterspeicher 2 und der
Parallel/Seriell-Wandlerschaltung 3 ist eine Testmustergeneratorschaltung 20 gebildet. Durch
einen Raten- bzw. Takt- oder Frequenzsignalgenerator 10 wird ein Raten- bzw. Frequenzsignal
RATE, das in Fig. 4 in der Zeile A dargestellt ist, an einen Anschluß 1 angelegt, und es erzeugt
eine Zeitsteuerungsgeneratorschaltung bzw. Taktgeneratorschaltung 5 Zeitsteuerungsdaten bzw.
Taktdaten, die auf die zeitliche Lage des Frequenzsignals bezogen sind und die in dem Formatie
rer 4 dazu benutzt werden, Testwellenformen V1 bis V8 (siehe Zeile D in Fig. 4) und Erwar
tungswertdaten E1 bis E8 für acht Zyklen zu erzeugen. Die Testwellenform wird mit einer
Verzögerung von einem Testzyklus an einen der Eingangs/Ausgangs-Stifte bzw. eines der
Eingangs/Ausgangs-Anschlußelemente Pm des im Test befindlichen Bauelements 9 über ein
ODER-Glied 6, einen Treiber 7 und einen Eingangs/Ausgangs-Anschluß 8 angelegt, wohingegen
die Erwartungswertdaten an eine digitale Vergleicherschaltung 11 angelegt werden.
Eine als Reaktion erhaltene Wellenform, die von dem im Test befindlichen Bauelement 9 zu dem
Eingangs/Ausgangs-Anschlußelement Pm gespeist wird, wird über den Eingangs/Ausgangs-
Anschluß 8 an einen Vergleicher 15 eingangsseitig angelegt, durch den sie mit einem Referenz
pegel zur Ermittlung ihres digitalen Werts verglichen wird, wobei dieser digitale Wert dann an die
digitale Vergleicherschaltung 11 für einen Vergleich mit den von dem Formatierer 4 abgegebenen
Erwartungswertdaten angelegt wird. Falls ermittelt wird, daß eine fehlerhafte Übereinstimmung
(Fehler) auftritt, wird dies in einem Fehlerdatenspeicher 12 aufgezeichnet.
Während des Anschlußelement-Multiplex-Betriebs wird das Betriebsartsignal PMUX auf "1"
gesetzt, so daß das UND-Glied 13 geöffnet wird und der Wähler 14 nun das an seinen Anschluß
A angelegte Eingangssignal, d. h. ein Ausgangssignal auswählt, das von dem in einem ungerad
zahligen Kanal vorhandenen Vergleicher 15 abgegeben wird.
In dem Anschlußelement-Multiplex-Betrieb gibt die Parallel/Seriell-Wandlerschaltung 3 einer für
einen ungeradzahligen Kanal vorgesehenen Testschaltung CH(2i+1) die seriellen Daten W1 bis
W8 jeweils insgesamt während einer ersten Hälfte eines entsprechenden Testzyklus ab, wie dies
in Fig. 5 in der Zeile C gezeigt ist. Auf der anderen Seite gibt jedoch die Parallel/Seriell-Wandler
schaltung 3 einer für einen geradzahligen Kanal vorgesehenen Testschaltung CH(2i+2) die
seriellen Daten W1' bis W8' jeweils insgesamt während einer zweiten Hälfte eines entsprechen
den Testzyklus ab, wie dies in Zeile F in Fig. 5 dargestellt ist. Die von den Parallel/Seriell-
Wandlerschaltungen 3 der jeweiligen Kanäle abgegebenen Ausgangssignale W1 bis W8 und W1'
bis W8' werden an den Formatierer 4 eingangsseitig angelegt, in dem Testwellenformen V1 bis
V8 und V1' bis V8' auf der Grundlage der Zeitsteuerungsdaten erzeugt werden, beispielsweise
mit einer einem Testzyklus entsprechenden Verzögerung, und diese Testwellenformen zu den
ODER-Gliedern 6 der ungeradzahligen Kanäle geleitet werden, so daß sie über die Treiber an die
Eingangs/Ausgangs-Anschlußelemente Pm angelegt werden können.
Hierbei ist festzustellen, daß die Eingangs/Ausgangs-Anschlüsse 8' der geradzahligen Kanäle in
dem Anschlußelement-Multiplex-Betrieb nicht mit irgendeinem der Eingangs/Ausgangs-An
schlußelemente des im Test befindlichen Bauelements 9 verbunden sind.
Durch die Verbindung einer für zwei Kanäle vorgesehenen Hardwareschaltung mit einem einzigen
Anschluß des im Test befindlichen Bauelements, die in der vorstehend beschriebenen Weise
realisiert ist, ist es möglich, eine komplizierte Testwellenform zu erzeugen. Weiterhin ist es durch
das Anlegen sowohl einer für einen ungeradzahligen Kanal vorgesehenen Testwellenform
während einer ersten Hälfte einer Testperiode als auch einer für einen geradzahligen Kanal
vorgesehenen Testwellenform während der zweiten Hälfte der Testperiode an einen gemeinsa
men Stift bzw. an ein gemeinsames Anschlußelement Pm möglich, einen Testvorgang mit einer
Frequenz durchzuführen, die höher ist als die Grundfrequenz des Testers, so daß ein mit höherer
Geschwindigkeit bzw. Rate oder Frequenz ablaufender Test ausführbar ist.
Ein alternativer Ansatz als Alternative zu dem Anschlußelement-Multiplex-Betrieb besteht in der
Vergrößerung der Anzahl von Bits je Wort, die bzw. das durch die Testmustergeneratorschaltung
generiert werden/wird, und zwar ausgehend von den normalen drei Bits auf vier oder fünf Bits je
Wort.
Es ist bekannt, daß die Anschlußelement-Multiplex-Methode, die bislang dazu eingesetzt wurde,
eine Vielzahl von Testwellenformen und Erwartungswerten zu erzielen oder einen mit höherer
Geschwindigkeit ablaufenden Test zu erreichen, insofern nachteilig ist, als die Anzahl von
effektiven Kanälen des Testers (Testgeräts) verringert ist, da jeweils zwei Kanäle der Tester-
Kapazität, d. h. des gesamten Tester-Leistungsvermögens, für ein Anschlußelement des im Test
befindlichen Bauelements benutzt werden. Diese Methode kann daher in manchen Fällen nicht
einsetzbar sein, und zwar abhängig von der Anzahl von Anschlußelementen eines Bauelements
und der Anordnung der Kanäle des Testers.
Der herkömmliche, alternative Ansatz, die Anzahl von Bits je Wort/Anschlußelement zu erhöhen,
die die Testwellenform für einen Testzyklus definieren und von der Testmustergeneratorschal
tung erzeugt werden, führt hierbei zu einer vergrößerten Speicherkapazität, was zu einer
Erhöhung der Kosten des Testgeräts führt. Ferner ist zu beachten, daß die Erhöhung der Anzahl
von Bits in Fällen, bei denen die Erzeugung von einfachen Wellenformen und Erwartungswerten,
oder eine niedrige Betriebsfrequenz für die Zwecke des Tests ausreichend ist, was für die
meisten Fälle zutreffend ist, nichts anderes als eine überflüssige Redundanz darstellt, was zu
einer unnötigen Erhöhung der Belastung des Benutzers führt.
Es ist eine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, eine Testmustergeneratorschaltung zu schaffen,
die imstande ist, das Leistungsvermögen der Kanäle bzw. des Testgeräts effizient ausnutzen zu
können, ohne die Anzahl von effektiven Kanälen des Testgeräts zu verringern.
Diese Aufgabe wird mit den im Patentanspruch 1 genannten Merkmalen gelöst.
Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben.
Die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehende Testmustergeneratorschaltung
ist für den Einsatz bei einem IC-Testgerät ausgelegt und weist einen Musterspeicher und eine
Parallel/Seriell-Wandlerschaltung auf, die Musterdaten für N Wörter (bzw. aus N Wörtern
bestehende Musterdaten) zugeführt erhält, wobei N eine ganze Zahl bezeichnet, die größer ist
als eins und wobei jedes Wort eine Mehrzahl von Bits (m Bits) umfaßt, die von dem Musterspei
cher parallel zugeführt werden. Die Parallel/Seriell-Wandlerschaltung gibt diese Daten in serieller
Form ab. In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung ist die Testmustergeneratorschal
tung derart ausgelegt, daß die Parallel/Seriell-Wandlerschaltung zwischen einem seriellen
Ausgabemodus, bei dem die Daten für ein Wort je Anschlußelement in serieller Form für jeden
Testzyklus bereitgestellt werden, und einem parallel/seriellen Ausgabemodus umgeschaltet
werden kann, bei dem parallele Daten (m × n Bits) für eine Mehrzahl von Wörtern (n Worte) je
Anschlußelement seriell für jeden Testzyklus bereitgestellt werden, wobei die Umschaltung der
Parallel/Seriell-Wandlerschaltung in Abhängigkeit von einem Modussteuersignal erfolgt.
In Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung werden in dem Musterspeicher Daten für N
Worte je Adresse gespeichert, wobei N eine gerade Zahl repräsentiert. Die Parallel/Seriell-
Wandlerschaltung enthält einen Cache-Speicher zum sukzessiven Speichern von parallelen Daten
für N Wörter je Adresse, die aufeinanderfolgend von dem Musterspeicher übertragen werden,
wobei die parallelen Daten in einer Speicherregion für N Worte je Adresse gespeichert werden.
Weiterhin sind eine Aufteilungseinrichtung bzw. Ausbreitungseinrichtung oder Anordnungsein
richtung zum Aufteilen der parallelen Daten für die N Worte, die von dem Cache-Speicher
zugeführt werden, in die Form von parallelen Daten für N/2 Worte in jedem von zwei aufeinan
derfolgenden Zyklen vorgesehen, und es ist eine Parallel/Seriell-Wandlereinrichtung vorhanden,
die in dem seriellen Ausgabemodus derart arbeitet, daß sie parallele Daten für N/2 Worte, die
von der Aufteilungseinrichtung zugeführt werden, in jeder Periode von NT/2 empfängt, wobei T
eine Testperiode bezeichnet, und daß sie ein Wort bei jeder Periode T in serieller Form ausgibt.
Eine Parallel/Parallel-Seriell-Wandlereinrichtung ist derart betreibbar, daß sie in einem Parallel-
Seriell-Ausgabemodus parallele Daten für N/2 Worte, die von der Aufteilungseinrichtung bei jeder
Periode von NT/2 zugeführt werden, empfängt und diese in die Form von parallelen Daten für
NT/4 Worte in jedem von zwei aufeinanderfolgenden Zyklen umwandelt.
Gemäß der vorliegenden Erfindung weist der Musterspeicher ein SDRAM (synchroner dynami
scher Direktzugriffsspeicher) auf, und es enthält der Cache-Speicher ein Paar ineinander
verschachtelter statischer Direktzugriffsspeicher RAMs.
Bei der vorliegenden Erfindung weist jedes Wort vorzugsweise drei Bits auf.
Gemäß der vorliegenden Erfindung enthält die Aufteilungseinrichtung vorzugsweise ein erstes
und ein zweites Pufferregister, die jeweils Daten für N/2 Worte aus den N Wörtern je Adresse
des Cache-Speichers speichern, und einen Wähler zum abwechselnden Auswählen der Daten für
die N/2 Worte, die in paralleler Form von dem ersten und dem zweiten Pufferregister bereitge
stellt werden.
Gemäß der vorliegenden Erfindung weist die Parallel/Seriell-Wandlereinrichtung vorzugsweise ein
Pufferregister zum Speichern von parallelen Daten für N/2 Worte, die von der Aufteilungseinrich
tung zugeführt werden, und einen Wähler zum Wählen der Daten in dem Pufferregister jeweils
Wort für Wort je Zuführungsvorgang auf.
Gemäß der vorliegenden Erfindung ist die Anzahl von Wörtern N je Adresse des Musterspeichers
und des Cache-Speichers vorzugsweise gleich acht gewählt.
Bei der vorliegenden Erfindung weist die Parallel/Parallel-Seriell-Wandlereinrichtung vorzugsweise
einen Pufferspeicher zum Speichern von parallelen Daten für vier Worte, die von der Auftei
lungseinrichtung bereitgestellt werden, einen Wähler zum Auswählen eines ersten und eines
dritten Worts während eines ersten und eines zweiten Testzyklus aus den parallelen, für ein
erstes bis viertes Wort vorgesehenen Daten, die bei jeder 2T entsprechenden Periode in dem
Pufferregister auftreten, und einen Wähler zum Auswählen eines zweiten und eines vierten
Worts während des ersten und des zweiten Testzyklus auf.
Die Erfindung wird nachstehend anhand von Ausführungsbeispielen unter Bezugnahme auf die
Zeichnungen näher erläutert.
Fig. 1 zeigt ein Blockschaltbild einer in Übereinstimmung mit dem Ausführungsbeispiel der
vorliegenden Erfindung stehenden Testmustergeneratorschaltung, wobei ein für einen
Kanal vorgesehener Schaltungsabschnitt gezeigt ist,
Fig. 2 zeigt eine Folge von Zeitdiagrammen für die in Fig. 1 dargestellte Schaltungsanord
nung,
Fig. 3 zeigt ein Blockschaltbild einer herkömmlichen Testschaltung, die in einen Anschluß
element-Multiplex-Betrieb umgeschaltet werden kann,
Fig. 4 zeigt eine Folge von Zeitdiagrammen für die in Fig. 3 dargestellte Testschaltung
während deren normalem, niedrige Frequenz besitzenden Betrieb ohne einen An
schlußelement-Multiplex-Betrieb, und
Fig. 5 zeigt eine Folge von Zeitdiagrammen für die in Fig. 3 dargestellte Testschaltung, wenn
diese in dem Anschlußelement-Multiplex-Modus arbeitet.
Unter Bezugnahme auf die Fig. 1 und 2 wird nachfolgend ein Ausführungsbeispiel der in
Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehenden Testmustergeneratorschaltung
erläutert. Die grundlegende Ausgestaltung jedes Testerkanals in gleichartig wie die in Fig. 3
dargestellte Ausgestaltung hinsichtlich des Kanals CH(2i+1), mit der Ausnahme, daß das
ODER-Glied 6 weggelassen ist, so daß die von dem Formatierer 4 erzeugten Ausgangssignale V1 bis
V8 stets an den Treiber 7 angelegt werden. Allerdings unterscheidet sich die Ausgestaltung der
Parallel/Seriell-Wandlerschaltung 3 von der in Fig. 3 gezeigten Anordnung. Darüber hinaus kann
jeder beliebige Testerkanal von allen Testerkanälen in Verbindung mit dem Eingangs/Ausgangs-
Anschlußelement des im Test befindlichen Bauelements 9 benutzt werden. Demgemäß ist in Fig.
1 eine Testmustergeneratorschaltung 20 lediglich für einen einzigen Kanal dargestellt, wobei der
übrige Teil in Verbindung mit Fig. 3 näher beschrieben wird.
Die in Übereinstimmung mit der vorliegenden Erfindung stehende Testmustergeneratorschaltung
20 weist für jeden Testerkanal einen Musterspeicher 2 und eine Parallel/Seriell-Wandlerschaltung
3 auf, wie dies in Fig. 1 dargestellt ist. Bei dem vorliegenden Ausführungsbeispiel enthält der
Musterspeicher 2 einen synchronen dynamischen RAM-Speicher (SDRAM), der eine taktsyn
chronisierte Schnittstelle enthält. Bei einem dynamischen RAM (DRAM) sind die Speicherzellen
jeweils durch einen Transistor und eine Kapazität gebildet, wobei jede Speicherzelle einen
Auffrischungsimpuls mit einem gegebenen Zeitabstand bzw. mit einer bestimmten Periode
benötigt, damit der gespeicherte Inhalt beibehalten werden kann. Im Vergleich mit einem
statischen RAM zeichnet sich ein DRAM durch verringerten Leistungsverbrauch bzw. geringere
Leistungsaufnahme aus, läßt sich mit einem höheren Integrationspegel herstellen und ist
kostengünstig. Allerdings ist die Arbeitsgeschwindigkeit eines DRAMs niedrig. Da acht Worte
(3 × 8 = 24 Bits) in paralleler Form aus dem SDRAM ausgelesen werden, stellt diese niedrige
Arbeitsfrequenz (Betriebsgeschwindigkeit) in der Testmustergeneratorschaltung überhaupt kein
Problem dar.
Eine in jedem Kanal vorhandene Musterspeichersteuerschaltung 21 gibt ein Lesezeitsteuerungs
signal (Lesetaktsignal) RT, das ein Adreßsignal enthält, an den Musterspeicher 2 unter Synchro
nisation mit einem Signal RATE (dieses weist eine Testperiode T auf) ab, das an einen Anschluß
1 angelegt ist. Als Reaktion hierauf gibt der Musterspeicher 2 parallele Daten für acht Worte
(3 × 8 = 24 Bits), oder Testmusterdaten für acht Zyklen, aus, die in ein Pufferregister (Pufferwider
stand) 22 parallel eingeschrieben werden.
Die die acht Wörter darstellenden Daten, die in das Pufferregister 22 eingeschrieben werden,
werden in paralleler Form zu einem Cache-Speicher 23a oder 23b übertragen. Bei einem SDRAM
ist ein Zeitintervall vorhanden, während dessen das Auslesen von Daten zur Durchführung des
Auffrischungsvorgangs gesperrt ist. Aus diesem Grund werden zwei als Paar vorgesehene
Cache-Speicher 23a und 23b dazu benutzt, eine verschachtelte bzw. aufgeteilte Zweiweganord
nung bereitzustellen. Wenn sich einer der Cache-Speicher, beispielsweise der Cache-Speicher
23a, während eines bestimmten Testzyklus in dem Schreibmodus befindet, werden folglich
Daten aus dem anderen Cache-Speicher, beispielsweise dem Cache-Speicher 23b, ausgelesen.
Diese Betriebsvorgänge werden während des nächsten Testzyklus umgekehrt, und es werden
folglich Daten in den Cache-Speicher 23b eingeschrieben, während die Daten aus dem Cache-
Speicher 23a ausgelesen werden können. Auf diese Weise lassen sich die einmal in den Speicher
eingeschriebenen Daten ohne eine Unterbrechung auslesen.
Ein Synchronisationssignal SYC1 wird dazu benutzt, eine Synchronisation zwischen dem
Auslesevorgang, bei dem aus dem Musterspeicher 2 ausgelesen wird, und einem Schreibvorgang
zu erzielen, bei dem in die Cache-Speicher 23a und 23b eingeschrieben wird. Das Synchronisa
tionssignal SYC1 wird von der Musterspeichersteuerschaltung 21 an einen Zeitsteuerungsgene
rator bzw. Taktgenerator 25 zur Zeitsteuerung des Cache-Schreibvorgangs angelegt, der dann an
das Pufferregister 22 ein Taktsignal CLK anlegt, das dazu dient, parallele Daten für acht Worte
(24 Bits) je Adresse von dem Musterspeicher 2 zu akzeptieren. Der Zeitsteuerungsgenerator 25
gibt weiterhin an den Cache-Speicher 23a oder 23b alternierend ein Schreibadreß-Zeigersignal
WAP-A oder WAP-B ab.
Von der Musterspeichersteuerschaltung 21 wird an eine Synchronisationsschaltung 26 ein
Adreßzeigersignal AP abgegeben, das gleichartig ist wie ein Adreßzeigersignal, das in dem
Lesezeitsteuerungssignal bzw. Lesetaktsignal RT enthalten ist, das an den Musterspeicher 2
angelegt wird. Ein Synchronisationssignal SYC2 wird von der Synchronisationsschaltung 26 an
einen Lesezeitsteuerungsgenerator bzw. Lesetaktgenerator 27 zur Zeitsteuerung des Cache-
Lesevorgangs angelegt, um hierdurch eine Synchronisation zwischen dem Auslesen aus einem
beliebigen der Cache-Speicher 23a oder 23b und dem Adreßzeigersignal AP sowie dem Signal
RATE zu erzielen. Als Folge hiervon gibt die Schaltung 27 Leseadreßzeigersignale RAP-A und
RAP-B alternierend an die Cache-Speicher 23a und 23b ab, wobei diese Leseadreßzeigersignale
mit dem Adreßzeigersignal AP und dem Signal RATE synchronisiert sind. Jeder der Cache-
Speicher 23a und 23b weist eine Anzahl von Adressen in der Längsrichtung gemäß der Darstel
lung in Fig. 1, oder in der Richtung der Tiefe des Speichers 2 auf, die zum Beispiel 64 Zeilen
entsprechen können, wobei jede Zeile imstande ist, Daten zu speichern, die acht Wörtern
entsprechen (3 × 8 = 24 Bits).
Der für den Cache-Einschreibvorgang vorgesehene Schreibtaktgenerator 27 legt ein Bankwähl
signal BS an einen Wähler 28 an, der auf dieses dadurch reagiert, daß er einen der Ausgänge
entweder des Cache-Speichers 23a oder 23b selektiert. Die parallelen Daten, die acht Wörtern
entsprechen, die aus dem jeweiligen Cache-Speicher 23a oder 23b ausgelesen werden, werden
gleichzeitig von dem Wähler 28 zu zwei, ein Paar bildenden Pufferwiderständen oder Pufferregi
stern 29 und 30 geleitet, in die jeweils vier Worte parallel eingeschrieben werden.
In dem seriellen Ausgabemodus gibt die Parallel/Seriell-Wandlerschaltung 3 jedes Kanals
Testmusterdaten in serieller Form ab, wobei jeweils ein Wort (drei parallele Bits) in jedem
Testzyklus (1 × T) abgegeben werden. Zu diesem Zeitpunkt ist ein Modussteuersignal MC, das
von außen an einen Anschluß 16 angelegt wird, so gewählt, daß es den logischen Wert "0"
besitzt. Die Cache-Ausgangssignale CO, die von dem Cache-Speicher 23a über den Wähler 28
zu dem ersten und zweiten Pufferregister 29 und 30 gespeist werden, stellen parallele Daten
dar, die den Wörtern W1 bis W8 (oder einer Gesamtzahl von 24 Bits) entsprechen, wobei diese
Worte in einem Zeitintervall von 8T auftreten, wobei die Cache-Ausgangssignale CO in dem
nachfolgenden Zeitintervall von 8T (siehe Zeile B in Fig. 2) parallele Daten für die Worte W9 bis
W16 repräsentieren. Die Synchronisationsschaltung 26 gibt ein Wählsignal SA an einen Wähler
31 ab, wobei das Wählsignal SA während der ersten Hälfte des 8T umfassenden Zeitintervalls
den niedrigen Pegel (L) besitzt, und während der zweiten Hälfte des Zeitintervalls 4T den hohen
Pegel (H) besitzt (siehe Zeile C in Fig. 2). Der Wähler 31 wählt parallele Daten, die vier Wörtern
entsprechen, entweder von dem Pufferregister 29 oder dem Pufferregister 30 aus und gibt diese
parallelen Daten parallel an ein Pufferregister 32 ab.
Die vier in dem Pufferregister 32 enthaltenen Worte (3 × 4 = 12 Bits) können zum Beispiel als
die Worte W1 bis W4 bezeichnet werden. In diesem Fall werden jeweils drei Bit umfassende
Daten für jedes Wort W1 , W2, W3 und W4 an die Eingangsanschlüsse Nr. 0, Nr. 1, Nr. 2 und
Nr. 3 eines Wählers 33 angelegt, wobei es sich versteht, daß jeder numerierte Eingangsanschluß
tatsächlich drei Anschlüsse aufweist, die den drei Bits entsprechen. Die Daten für die Worte W1
und W3 werden an die Eingangsanschlüsse Nr. 0 und Nr. 1 eines Wählers 34 angelegt (wobei
diese Eingangsanschlüsse jeweils drei Anschlüsse umfassen), und es werden die Daten für die
Worte W2 und W4 an die Eingangsanschlüsse Nr. 0 und Nr. 1 eines Wählers 35 angelegt (wobei
diese Eingangsanschlüsse ebenfalls jeweils drei Anschlüsse umfassen).
Die Synchronisationsschaltung 26 gibt weiterhin ein Wählsignal SB, das einen numerischen Wert
repräsentiert, der jeweils um eins in der Aufeinanderfolge 0, 1, 2, 3 inkrementiert wird, während
eines Zeitintervalls (4T) ab, während dessen das Wählsignal SA den niedrigen Pegel L besitzt.
Der numerische Wert, der durch das Wählsignal SB repräsentiert wird, wird in gleichartiger Weise
in der Aufeinanderfolge 0, 1, 2, 3 während des Intervalls (4T) inkrementiert, während dessen
das nächste Wählsignal SA den hohen Pegel H besitzt, wobei nachfolgend eine gleichartige
Änderung des numerischen Werts wiederholt wird (siehe Zeile D in Fig. 2). Während sich der
numerische Wert des Wählsignals SB in der Reihenfolge 0, 1, 2 und 3 ändert, werden Daten W1,
W2, W3 und W4, die von dem Wähler 33 an die Eingangsanschlüsse Nr. 0 bis Nr. 3 angelegt
werden, aufeinanderfolgend mittels eines Wählers 36 derart ausgewählt (da MC = "0" ist, wird
der Eingangsanschluß Nr. 0 (drei Bits) ausgewählt), daß sie an einen Pufferwiderstand bzw. in
ein Pufferregister 38 eingegeben werden. Die Daten in dem Pufferregister 38 werden an einen
Ausgangsanschluß 40 synchron mit der ansteigenden Flanke des nächsten, nachfolgenden
Signals RATE angelegt.
Während des 4T umfassenden Zeitintervalls nach dem Umschalten des Wählsignals SA auf den
hohen Pegel H werden die Daten WS bis W8, die in das Pufferregister 30 eingeschrieben worden
sind, durch den Wähler 31 ausgewählt und zu dem Pufferregister 32 übertragen, so daß sie
sequentiell durch den Wähler 33 selektiert werden, wenn sich der numerische Wert, der durch
das Wählsignal SB angezeigt wird, in der Reihenfolge 0, 1, 2, und 3 ändert, so daß diese Daten
in das Pufferregister 38 über den Wähler 36 eingespeist werden. Die Daten in dem Pufferregister
38 werden bei der nächsten Zeitgabe, d. h. bei dem nächsten Takt, zu dem Ausgangsanschluß
40 ausgegeben. Ein gleichartiger Vorgang, der dem vorstehend beschriebenen entspricht, wird
dann wiederholt.
Während eines Zeitintervalls, während dessen das Modussteuersignal MC den Wert "0" auf
weist, wird das von dem Wähler 34 abgegebene Ausgangssignal nicht durch den Wähler 36
selektiert. Da ein UND-Glied 37 geschlossen ist, kann das von dem Wähler 35 abgegebene
Ausgangssignal nicht durch dieses UND-Glied hindurch gelangen. Demzufolge nimmt ein an
einem Ausgangsanschluß 41 abgegebenes Ausgangssignal den niedrigen Pegel L an (siehe Zeile
F in Fig. 2).
Wenn der Auslesevorgang, bei dem entweder aus dem Cache-Speicher 23a oder aus dem
Cache-Speicher 23b ausgelesen wird, abgeschlossen ist, gibt der für den Cache-Lesevorgang
vorgesehene Zeitsteuerungsgenerator 27 ein Anforderungssignal REQ an die Musterspeicher
steuerschaltung 21 ab, da es notwendig ist, einen nachfolgenden Auslesevorgang, bei dem aus
dem Musterspeicher 2 ausgelesen wird, auszuführen.
In diesem Fall gibt die Parallel/Seriell-Wandlerschaltung 3 jedes Kanals Testmusterdaten in
serieller Form derart ab, daß parallele Daten für zwei Worte bei jedem Testzyklus (1 × T)
bereitgestellt werden. Das Modussteuersignal MC ist auf eine logische "1" gesetzt. Daten, die
aus dem Cache-Speicher 23a über den Wähler 28 in die Pufferregister 29 und 30 während des
4T entsprechenden Zeitintervalls eingespeist werden, entsprechen hierbei W1 bis W8, W9 bis
W16, W17 bis W24, W25 bis W32 . . . (siehe Zeile G in Fig. 2). Das Wählsignal SA ändert sich in
der Aufeinanderfolge L → H → L bei jedem 2T entsprechenden Zeitintervall (siehe Zeile H in Fig. 2),
wobei als Reaktion auf den Wechsel des Wählsignals SA von dem Wert L auf den Wert H jeweils
die vier Wörtern entsprechenden Daten in den Pufferregistern 29/30 durch den Wähler 31
selektiert werden, so daß sie in das Pufferregister 32 eingespeist werden.
Während des 2T entsprechenden Zeitintervalls nehmen die numerischen Daten, die durch das
Wählsignal SB repräsentiert werden, dann, wenn das Wählsignal SA entweder den niedrigen
Pegel L oder den hohen Pegel H annimmt, während des anfänglichen, 1T entsprechenden
Zeitintervalls den Wert "0" an, ändert sich jedoch auf den Wert "1" während des späteren, 1T
entsprechenden Zeitintervalls (siehe Zeile 1 in Fig. 2). Während des anfänglichen Intervalls, bei
dem SB = "0" ist, werden die in dem Pufferregister 32 enthaltenen Daten W1 durch den Wähler
34 selektiert, so daß sie über den Wähler 36 (bei dem der Eingangsanschluß Nr. 1 selektiert ist,
da MC den Wert "1" besitzt) in das Pufferregister 38 eingegeben werden, und es werden die in
dem Pufferregister 32 enthaltenen Daten W2 durch den Wähler 35 selektiert, so daß sie über
das UND-Glied 37 in das Pufferregister 39 eingegeben werden. Bei der nächsten Zeitsteuerung
bzw. dem nächsten Takt werden die Daten W1 und W2 gleichzeitig an den Ausgangsanschlüs
sen 40 und 41 bereitgestellt (siehe die in Fig. 2 gezeigten Zeilen J und K).
Während des späteren Zeitintervalls, bei dem SA den Wert "1" aufweist, werden die in dem
Pufferregister 32 enthaltenen Daten W3 und W4 jeweils durch die Wähler 34 bzw. 35 selektiert,
so daß sie in der gleichen, vorstehend bereits erläuterten Weise in die Pufferregister 38 und 39
eingebbar sind und dann bei dem nächsten Takt an den Ausgangsanschlüssen 40 und 41
bereitgestellt werden (siehe die in Fig. 2 gezeigten Zeilen J und K). Nachfolgend werden die
Daten (W5, W6); (W7, W8); (W9, W10); . . . bei jedem 1T entsprechenden Zeitintervall an den
Ausgangsanschlüssen 40 und 41 abgegeben.
Bei der vorstehenden Beschreibung wird davon ausgegangen, daß die Speicherkapazität des
Musterspeichers 2 und der Cache-Speicher 23a und 23b je Adresse gleich N = 8 Wörtern
entspricht, wobei ein Wort durch drei Bits gebildet ist. Es besteht aber keine Notwendigkeit, die
vorliegende Erfindung auf diese Zahlenwerte zu begrenzen, sondern es kann die Speicherkapazi
tät auch in anderer Weise gewählt werden, nämlich beispielsweise N = 16 oder ähnliches.
Darüber hinaus kann die Anzahl von in einem Wart enthaltenen Bits auch vier oder fünf Bits
entsprechen und kann daher allgemein als m Bits bezeichnet werden.
Gemäß der vorstehenden Beschreibung weisen die Musterdaten während des seriellen Ausgabe
modus drei Bits je Anschlußelement auf, wohingegen die Musterdaten während des parallel
seriellen Ausgabemodus gemäß der vorstehenden Beschreibung aus 3 × 2 = 6 Bits je Anschluß-
element bestehen. Es ist jedoch selbstverständlich, daß die vorliegende Erfindung auch hier auf
m Bits je Anschlußelement während des seriellen Ausgabemodus, und auf m × n Bits je An
schlußelement, d. h. auf eine serielle Abgabe von parallelen Daten für n Worte während des
parallel-seriellen Ausgabemodus ausgedehnt werden kann (hierbei bezeichnet n eine ganze Zahl
größer eins).
Mit der vorliegenden Erfindung werden somit unter anderem die nachfolgenden Effekte erzielt.
- (1) Gemäß der vorliegenden Erfindung wird ein Modussteuersignal MC eingesetzt, das an die Parallel/Seriell-Wandlerschaltung 3 der Testmustergeneratorschaltung jedes Kanals angelegt wird, wobei die Wandlerschaltung 3 dann, wenn das Signal MC den Wert "0" besitzt, beispiels weise aufeinanderfolgend ein Wort W1, W2, W3 . . . je Testzyklus (1 × T), das aus den in dem Musterspeicher 2 gespeicherten Daten gebildet ist, bereitstellt, wohingegen die Wandlerschal tung 3 dann, wenn das Signal MC den Wert "1" besitzt, beispielsweise seriell parallele Daten für n Worte (die beispielsweise zwei Wörtern entsprechen können) für jeden Testzyklus (1 × T) in der Reihenfolge (W1, W2); (W3, W4); (W5, W6) . . . bereitstellt. Demzufolge ist das Problem beseitigt, das bei der herkömmlichen Anschlußelement-Multiplex-Methode auftritt und das darin besteht, daß die Anzahl von effektiven Kanälen des Testers verringert ist, da jeweils zwei Kanäle des Tester-Kanalvorrats in Verbindung mit einem Anschlußelement des im Bauelement befindli chen Test benutzt werden.
- (2) Gemäß der vorliegenden Erfindung kann ein Signal MC mit dem Wert "0" bei einem mit niedriger Geschwindigkeit erfolgenden Test dazu benutzt werden, aufeinanderfolgend ein einziges Wort (das zum Beispiel aus drei Bits bestehen kann) für jeden Testzyklus bereitzustellen. Demgemäß ist auch das Problem beseitigt, das bei dem Stand der Technik auftritt und das darin besteht, daß eine Erhöhung der Anzahl von Bits zu einem Redundanzeffekt führt, durch den nutzlose Anforderungen an den Benutzer gestellt werden, wie dies beispielsweise bei einer herkömmlichen Mustergeneratorschaltung der Fall ist, bei der die Anzahl von Bits in einem Wort erhöht wird, um hierdurch eine Vielfalt von Testwellenformen zu generieren oder einen mit höherer Geschwindigkeit erfolgenden Test zu erreichen.
Claims (8)
1. Testmustergeneratorschaltung, die für jeden Testkanal eines IC-Testgeräts einsetzbar
ist, bei dem ein Testmuster an einen im Test befindlichen IC angelegt wird und ein vom IC
abgegebenes Antwortsignal mit Erwartungswertdaten zur Erfassung von Fehlern verglichen wird,
mit
einem Musterspeicher (2) zum Bereitstellen von Musterdaten für N Worte in paralleler Form, und
einer Parallel/Seriell-Wandlerschaltung (3), an die von dem Musterspeicher (2) N Worte von Musterdaten in paralleler Form angelegt werden und die zwischen einem seriellen Ausgabe modus, bei dem Daten für ein Wort je Anschlußelement in serieller Form bei jedem Testzyklus ausgegeben werden, und einem parallel-seriellen Ausgabemodus umgeschaltet werden kann, bei dem m × n Bits der parallelen Daten für n Worte je Anschlußelement in serieller Form bei jedem Testzyklus bereitgestellt werden, wobei die Umschaltung in Abhängigkeit von einem Modus steuersignal (MC) erfolgt, ein Wort m Bits umfaßt, und N, m und n ganze Zahlen bezeichnen, die gleich oder größer als zwei sind.
einem Musterspeicher (2) zum Bereitstellen von Musterdaten für N Worte in paralleler Form, und
einer Parallel/Seriell-Wandlerschaltung (3), an die von dem Musterspeicher (2) N Worte von Musterdaten in paralleler Form angelegt werden und die zwischen einem seriellen Ausgabe modus, bei dem Daten für ein Wort je Anschlußelement in serieller Form bei jedem Testzyklus ausgegeben werden, und einem parallel-seriellen Ausgabemodus umgeschaltet werden kann, bei dem m × n Bits der parallelen Daten für n Worte je Anschlußelement in serieller Form bei jedem Testzyklus bereitgestellt werden, wobei die Umschaltung in Abhängigkeit von einem Modus steuersignal (MC) erfolgt, ein Wort m Bits umfaßt, und N, m und n ganze Zahlen bezeichnen, die gleich oder größer als zwei sind.
2. Testmustergeneratorschaltung nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß N
eine gerade Zahl bezeichnet, daß in dem Musterspeicher (2) Daten für N Worte je Adresse
gespeichert sind, daß die Parallel/Seriell-Wandlerschaltung (3) einen Cache-Speicher (23a, 23b)
zum aufeinanderfolgenden Speichern der in paralleler Form vorliegenden Daten für N Worte je
Adresse, die aufeinanderfolgend von dem Musterspeicher (2) zugeführt werden, in einer
Speicherregion für N Worte je Adresse, eine Aufteilungseinrichtung zum Aufteilen der parallelen
Daten für N Worte, die von dem Cache-Speicher (23a, 23b) zugeführt werden, in die Form von
parallelen Daten für N/2 Worte in jedem von zwei aufeinanderfolgenden Zyklen, eine Parallel/Se
riell-Wandlereinrichtung, die in dem seriellen Ausgabemodus derart betreibbar ist, daß sie
parallele Daten für N/2 Worte, die von der Aufteilungseinrichtung für jede, NT/2 entsprechende
Periode zugeführt werden, empfängt und diese Daten in serieller Form in der Form eines Worts je
Periode T ausgibt, wobei T eine Testperiode bezeichnet, und eine Parallel/Parallel-Seriell-Wand
lereinrichtung aufweist, die in dem parallel-seriellen Ausgabemodus derart betreibbar ist, daß sie
die parallelen Daten für N/2 Worte, die von der Aufteilungseinrichtung zugeführt werden, für jede
NT/4 entsprechende Periode empfängt und diese Daten in serielle Form umwandelt, die N/4
Worte in paralleler Form in jedem von zwei aufeinanderfolgenden Zyklen enthalten.
3. Testmustergeneratorschaltung nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der
Musterspeicher ein synchrones dynamisches RAM (SDRAM) aufweist, und daß der Cache-
Speicher (23a, 23b) zwei verschachtelte oder verschachtelt betreibbare, statische RAMs enthält.
4. Testmustergeneratorschaltung nach einem der vorhergehenden Ansprüche, dadurch
gekennzeichnet, daß ein Wort drei Bits enthält.
5. Testmustergeneratorschaltung nach einem der Ansprüche 2 bis 4, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Aufteilungseinrichtung ein erstes und ein zweites Pufferregister enthält, die
jeweils N/2 Worte aus den von dem Cache-Speicher (23a, 23b) stammenden Daten speichern,
die jeweils N Worte je Adresse enthalten, und daß die Aufteilungseinrichtung weiterhin einen
Wähler zum abwechselnden Auswählen der N/2 Wörtern entsprechenden Daten enthält, die in
paralleler Form von dem ersten und dem zweiten Pufferregister zugeführt werden.
6. Testmustergeneratorschaltung nach einem der Ansprüche 2 bis 5, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Parallel/Seriell-Wandlereinrichtung ein Pufferregister zum Speichern der von der
Aufteilungseinrichtung zugeführten, parallelen Daten für N/2 Worte, und einen Wähler zum
Auswählen der von dem Pufferregister stammenden Daten jeweils Wort für Wort zur Weiterlei
tung enthält.
7. Testmustergeneratorschaltung nach einem der Ansprüche 2 bis 6, dadurch gekenn
zeichnet, daß die Anzahl von Wörtern N je Adresse des Musterspeichers und des Cache-
Speichers (23a, 23b) gleich acht ist.
8. Testmustergeneratorschaltung nach einem der Ansprüche 7, dadurch gekennzeich
net, daß die Parallel/Parallel-Seriell-Wandlereinrichtung ein Pufferregister zum Speichern der von
der Aufteilungseinrichtung zugeführten, parallelen Daten für vier Wörter, einen ersten Wähler
zum Auswählen eines ersten und eines dritten Worts während eines ersten bzw. eines zweiten
Testzyklus, wobei die Auswahl aus einem ersten bis zu einem vierten Wort in den parallelen
Daten, die in dem Pufferregister enthalten sind, während eines 2/T entsprechenden Zeitintervalls
erfolgt, und einen zweiten Wähler zum Auswählen eines zweiten bzw. eines vierten Worts
während des ersten bzw. des zweiten Testzyklus aufweist.
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14063597A JP3833341B2 (ja) | 1997-05-29 | 1997-05-29 | Ic試験装置のテストパターン発生回路 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
DE19823931A1 true DE19823931A1 (de) | 1998-12-10 |
DE19823931C2 DE19823931C2 (de) | 2003-01-23 |
Family
ID=15273278
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
DE19823931A Expired - Fee Related DE19823931C2 (de) | 1997-05-29 | 1998-05-28 | Testmustergeneratorschaltung für ein IC-Testgerät |
Country Status (3)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US5970073A (de) |
JP (1) | JP3833341B2 (de) |
DE (1) | DE19823931C2 (de) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19930169A1 (de) * | 1999-06-30 | 2001-01-18 | Siemens Ag | Testeinrichtung zum Prüfen eines Speichers |
DE10113458A1 (de) * | 2001-03-19 | 2002-10-17 | Infineon Technologies Ag | Testschaltung |
Families Citing this family (20)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3233068B2 (ja) * | 1997-05-23 | 2001-11-26 | 安藤電気株式会社 | パターン発生装置 |
KR100322525B1 (ko) * | 1998-03-23 | 2002-06-22 | 윤종용 | 출력드라이버를공유하는병렬비트테스트회로및이를이용한병렬비트테스트방법 |
US6321352B1 (en) * | 1998-10-28 | 2001-11-20 | Credence Systems Corporation | Integrated circuit tester having a disk drive per channel |
JP2000292504A (ja) * | 1999-04-02 | 2000-10-20 | Mitsubishi Electric Corp | Lsiテスタ |
AU6964301A (en) * | 2000-06-06 | 2001-12-17 | Igor Anatolievich Abrosimov | High speed protocol memory test head for a memory tester |
US6934900B1 (en) * | 2001-06-25 | 2005-08-23 | Global Unichip Corporation | Test pattern generator for SRAM and DRAM |
KR100500442B1 (ko) * | 2002-11-07 | 2005-07-12 | 삼성전자주식회사 | 반도체 메모리 장치 및 이 장치의 테스트 방법 |
DE10340828A1 (de) * | 2003-09-04 | 2005-04-28 | Infineon Technologies Ag | Testanordnung und Verfahren zur Auswahl eines Testmodus-Ausgabekanals |
US7444558B2 (en) * | 2003-12-31 | 2008-10-28 | Intel Corporation | Programmable measurement mode for a serial point to point link |
JP2006214839A (ja) * | 2005-02-03 | 2006-08-17 | Fujitsu Ltd | メモリ内蔵デバイスへのテストパターン発生装置及びテストパターン発生方法 |
US7243278B2 (en) * | 2005-09-14 | 2007-07-10 | Credence Systems Corporation | Integrated circuit tester with software-scaleable channels |
JP4736673B2 (ja) * | 2005-09-28 | 2011-07-27 | 横河電機株式会社 | 検査信号生成装置及び半導体検査装置 |
JP4873533B2 (ja) * | 2005-12-15 | 2012-02-08 | 富士通株式会社 | 高速シリアル転送デバイス試験方法、プログラム及び装置 |
JP4973527B2 (ja) * | 2008-02-05 | 2012-07-11 | 横河電機株式会社 | パターン発生装置及び半導体試験装置 |
US8059547B2 (en) * | 2008-12-08 | 2011-11-15 | Advantest Corporation | Test apparatus and test method |
US20100100786A1 (en) * | 2008-10-17 | 2010-04-22 | International Business Machines Corporation | Serial test mode of an integrated circuit (ic) |
US8743702B2 (en) | 2008-12-08 | 2014-06-03 | Advantest Corporation | Test apparatus and test method |
US8666691B2 (en) | 2008-12-08 | 2014-03-04 | Advantest Corporation | Test apparatus and test method |
US8692566B2 (en) | 2008-12-08 | 2014-04-08 | Advantest Corporation | Test apparatus and test method |
CN114174843B (zh) * | 2021-10-30 | 2024-01-30 | 长江存储科技有限责任公司 | 测试设备中的测试器通道复用 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4450560A (en) * | 1981-10-09 | 1984-05-22 | Teradyne, Inc. | Tester for LSI devices and memory devices |
US4710933A (en) * | 1985-10-23 | 1987-12-01 | Texas Instruments Incorporated | Parallel/serial scan system for testing logic circuits |
US4989209A (en) * | 1989-03-24 | 1991-01-29 | Motorola, Inc. | Method and apparatus for testing high pin count integrated circuits |
US5127011A (en) * | 1990-01-12 | 1992-06-30 | International Business Machines Corporation | Per-pin integrated circuit test system having n-bit interface |
US5195097A (en) * | 1990-10-19 | 1993-03-16 | International Business Machines Corporation | High speed tester |
DE4411398C2 (de) * | 1993-03-31 | 1997-03-06 | Mitsubishi Electric Corp | Kommunikationssystem sowie Verfahren zum Erfassen dort auftretender Übertragungsfehler |
US5606568A (en) * | 1995-11-30 | 1997-02-25 | Megatest Corporation | Method and apparatus for performing serial and parallel scan testing on an integrated circuit |
-
1997
- 1997-05-29 JP JP14063597A patent/JP3833341B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-05-18 US US09/080,451 patent/US5970073A/en not_active Expired - Fee Related
- 1998-05-28 DE DE19823931A patent/DE19823931C2/de not_active Expired - Fee Related
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE19930169A1 (de) * | 1999-06-30 | 2001-01-18 | Siemens Ag | Testeinrichtung zum Prüfen eines Speichers |
US6661718B2 (en) | 1999-06-30 | 2003-12-09 | Infineon Technologies Ag | Testing device for testing a memory |
DE19930169B4 (de) * | 1999-06-30 | 2004-09-30 | Infineon Technologies Ag | Testeinrichtung und Verfahren zum Prüfen eines Speichers |
DE10113458A1 (de) * | 2001-03-19 | 2002-10-17 | Infineon Technologies Ag | Testschaltung |
DE10113458C2 (de) * | 2001-03-19 | 2003-03-20 | Infineon Technologies Ag | Testschaltung |
US6744272B2 (en) | 2001-03-19 | 2004-06-01 | Wolfgang Ernst | Test circuit |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH10332795A (ja) | 1998-12-18 |
JP3833341B2 (ja) | 2006-10-11 |
DE19823931C2 (de) | 2003-01-23 |
US5970073A (en) | 1999-10-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
DE19823931C2 (de) | Testmustergeneratorschaltung für ein IC-Testgerät | |
DE3525575C2 (de) | ||
DE60012966T2 (de) | Hochgeschwindigkeitsfehlererfassungsgerät und verfahren für automatische testeinrichtung | |
DE4328605C2 (de) | Halbleiterspeichereinrichtung | |
DE4322994C2 (de) | Halbleiterspeichervorrichtung und Verfahren zum Setzen des Test-Modus einer Halbleiterspeichervorrichtung | |
DE19844703A1 (de) | Integrierte Halbleiterschaltungsvorrichtung | |
DE3639169A1 (de) | Halbleiterspeichervorrichtung | |
DE19807298A1 (de) | Synchrone Halbleiterspeichereinrichtung | |
DE4441007C2 (de) | Multibit-Testschaltkreis einer Halbleiterspeichereinrichtung | |
DE19639972B4 (de) | Hochgeschwindigkeitstestschaltkreis für eine Halbleiterspeichervorrichtung | |
DE10206249B4 (de) | Verfahren zum Erzeugen von Testsignalen für eine integrierte Schaltung sowie Testlogik | |
DE4125091C2 (de) | ||
DE69823753T2 (de) | Synchrone Halbleiter-Speichervorrichtung | |
DE4034167C2 (de) | ||
DE19812198B4 (de) | Testvorrichtung für Halbleiterspeicher | |
DE19807739B4 (de) | Kombinierter Integrierter Speicher- und Logikschaltkreis und Testverfahren hierfür | |
DE10296525B4 (de) | Chipinterne Schaltungen für ein Hochgeschwindigkeitsspeichertesten mit einem langsamen Speichertester | |
DE19629735A1 (de) | Halbleiterspeichereinrichtung | |
DE10304172A1 (de) | Halbleiterschaltungsbaustein mit Testfunktion | |
DE19908513A1 (de) | Halbleiterspeicherbauelement mit eingebauter Schaltung zur parallelen Bitprüfung | |
DE19511259C2 (de) | Video-RAM | |
DE19529691C2 (de) | Halbleiterspeicher | |
DE10219782C1 (de) | Verfahren und Hilfseinrichtung zum Testen einer RAM-Speicherschaltung | |
DE4115084C2 (de) | Vorrichtung zum Testen einer Halbleiterspeichereinrichtung | |
DE4233249A1 (de) | Dualportspeicher |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
OP8 | Request for examination as to paragraph 44 patent law | ||
D2 | Grant after examination | ||
8364 | No opposition during term of opposition | ||
R119 | Application deemed withdrawn, or ip right lapsed, due to non-payment of renewal fee |
Effective date: 20111201 |