JP2006214839A - メモリ内蔵デバイスへのテストパターン発生装置及びテストパターン発生方法 - Google Patents

メモリ内蔵デバイスへのテストパターン発生装置及びテストパターン発生方法 Download PDF

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Abstract

【課題】 内蔵メモリの動作試験の工数を削減することができるテストパターン発生装置及びテストパターン発生方法を提供する。
【解決手段】 メモリマクロと、シリアル入力インターフェースと、当該シリアル入力された信号をラッチしメモリマクロにパラレルに出力するラッチ回路とを有するデバイスに対する、当該内蔵メモリの動作試験用のテストパターンを発生するテストパターン発生装置に関する。テストパターン発生装置は、複数ビットのアドレスを生成するアドレス発生部と、アドレス発生部が生成した複数ビットのアドレスを複数のアドレス群にパラレル・シリアル変換するパラレル・シリアル変換部と、変換されたアドレス群を複数サイクルでシリアルにデバイスに出力するよう制御し、デバイスに出力済みのアドレスとデバイスに出力予定のアドレスとを比較し、異なるビットに対応するサイクルのアドレス群のみをデバイスに出力するよう制御する制御部とを有する。
【選択図】 図1

Description

本発明は、メモリを内蔵するデバイスへのテストパターン発生装置に関し、特に、シリアル入力機能とラッチ機能とを有するデバイスのテスト工程を短くすることができるテストパターン発生装置及びテストパターン発生方法に関する。
近年において、SRAMやDRAMに加えて、不揮発性メモリなどのメモリマクロを内蔵するLSIが開発されている。かかるLSIは、ALUなど所定の論理機能を有する論理回路マクロに加えて、メモリマクロを内蔵する。LSIへの種々の制約上、外部端子数に制限がある場合、外部からメモリマクロに直接アクセスすることができず、出荷試験においてメモリマクロの動作試験を行うことができない。
かかる不都合を回避しメモリマクロの動作試験を可能にするために、LSI内にシリアル入力インターフェースを設け、動作試験の時に、シリアル入力インターフェースを介してアドレスなどを供給し、動作試験を行うことが提案されている。例えば、以下の特許文献1に記載されるとおりである。
この特許文献1によれば、内部のメモリには周辺ロジック回路を介してしかアクセスできないようなデバイスに対し、シリアル入力インターフェースと、シリアル・パラレル変換回路とを設け、動作試験の時に、アドレスなどの複数ビットの信号をシリアル入力し、内部でパラレル信号に変換して内部のメモリマクロに供給する。
特開平2−38979号公報
しかしながら、従来のデバイスでは、複数ビットのアドレスなどをシリアル入力しなければならず、内蔵メモリマクロに対する動作試験の工数がかかり、動作試験のスループットが低下するという問題がある。
そこで、本発明の目的は、内蔵メモリの動作試験の工数を削減することができるテストパターン発生装置及びテストパターン発生方法を提供することにある。
上記の目的を達成するために、本発明の第1の側面では、メモリマクロと、シリアル入力インターフェースと、当該シリアル入力された信号をラッチし前記メモリマクロにパラレルに出力するラッチ回路とを有するデバイスに対する、当該内蔵メモリの動作試験用のテストパターンを発生するテストパターン発生装置に関する。このテストパターン発生装置は、複数ビットのアドレスを生成するアドレス発生部と、アドレス発生部が生成した複数ビットのアドレスを複数のアドレス群にパラレル・シリアル変換するパラレル・シリアル変換部と、前記変換されたアドレス群を複数サイクルでシリアルに前記デバイスに出力するよう制御し、前記デバイスに出力済みのアドレスと前記デバイスに出力予定のアドレスとを比較し、異なるビットに対応するサイクルのアドレス群のみを前記デバイスに出力するよう制御する制御部とを有することを特徴とする。
上記の第1の側面において、より好ましい実施例によれば、前記出力されるアドレス群に対応する前記サイクルを識別する識別信号を生成する識別信号生成部を有し、前記制御部は、前記アドレスの出力と共に前記識別信号を前記デバイスに出力する。
上記発明の側面によれば、テストパターン発生装置は、複数ビットのアドレスをパラレル・シリアル変換し、複数サイクルでシリアルにデバイスに供給し、出力予定のアドレスのうち出力済みのアドレスと異なるビットに対応するサイクルのアドレスのみをデバイスに出力するよう制御する。メモリの動作試験には、例えばアドレスを0番地から最大番地まで又は最大番地から0番地まで変更させながら、それぞれのアドレスに書き込みや読み出しを行う試験工程がある。このようにアドレスをインクリメントまたはデクリメントする場合、新たなアドレスは出力済みアドレスから必ずしも全ビット変更する必要はない。そこで、本発明では、出力済みのアドレスと異なるビットに対応するサイクルのアドレスのみを出力することで、被試験デバイスへのアドレスの供給工数を削減することができる。メモリ内蔵デバイス側では、複数サイクルで入力されるアドレスをラッチする機能を有するので、テストパターン発生装置は、サイクル識別信号と共に必要なサイクルのアドレスのみをデバイスに供給するだけでよい。
以下、図面にしたがって本発明の実施の形態について説明する。但し、本発明の技術的範囲はこれらの実施の形態に限定されず、特許請求の範囲に記載された事項とその均等物まで及ぶものである。
図1は、本実施の形態におけるテストパターン発生装置の構成図である。テストパターン発生装置10は、メモリを内蔵するデバイス20に対して、入出力端子S0−S3を介して、16ビットのアドレスを4サイクルで供給する。そして、アドレス供給後に、書き込みを指令するライトイネーブル信号WEまたは読み出しを指令するアウトプットイネーブル信号OEを供給して、内蔵メモリに所望の動作を指令する。
テストパターン発生装置10は、動作テストに対応したアドレスを発生するアドレス発生部1を有する。アドレス発生部1は、動作テストに対応して、16ビットのアドレスを最小番地から最大番地まで順次インクリメントし、または、最大番地から最小番地に順次デクリメントする。アドレス発生部1により生成された16ビットのアドレス信号A(0)−A(15)は、4つのパラレル・シリアル変換器(パラシリ変換器)を有するパラレル・シリアル変換ユニット2に供給される。パラレル・シリアル変換ユニット2は、16ビットのアドレス信号A(0)−A(15)を、4グループの4ビット単位のアドレスA(0)−A(3)、A(4)−A(7)、A(8)−A(11)、A(12)−A(15)にパラレル・シリアル変換する。コントローラ3は、上記4グループの4ビット単位のアドレスを、メモリ内蔵デバイス20の4つの入出力端子S0−S3に、クロックCKに同期してシリアルに出力させる。
更に、テストパターン発生装置10は、アドレスサイクルを識別する識別信号C0,C1を発生する識別信号発生部4を有する。コントローラ3は、パラレル・シリアル変換ユニット2に4ビット単位のアドレスを出力させるときに、識別信号発生部4にそのアドレスのサイクルを示す識別信号C0,C1も同時に出力させる。
コントローラ3のアドレス入力指令信号AINに応答して、アドレス発生部1は、16ビットのアドレスをパラレル・シリアル変換部2とコントローラ3に供給する。また、コントローラのアドレス出力指令信号AOUTに応答して、パラレル・シリアル変換部2は、4ビットのアドレスをデバイス20に出力する。また、識別信号出力指令信号COUTに応答して、識別信号発生部4は、対応するサイクルを示す識別信号C0,C1を出力する。
4グループのアドレスは、最下位ビット群A(0)−A(3)から最上位ビット群A(12)−A(15)の順にシリアルに出力され、識別信号C0,C1もそれに対応して順に出力される。または、最上位ビット群A(12)−A(15)から最下位ビット群A(0)−A(3)の順にシリアルに出力され、識別信号C0,C1もそれに対応して順に出力される。
そして、複数サイクルにより16ビットのアドレスを出力した後、コントローラ3は、クロックCKを停止すると共に、ライトイネーブル信号WEまたはアウトプットイネーブル信号OEのいずれかを活性化して、内蔵メモリに書き込みまたは読み出し指令を行う。メモリ内蔵デバイス20は、クロックCKの停止により、アドレスサイクルが終了したことを認識する。
コントローラ3は、更に、16ビットのアドレスの供給サイクルを減らすために、アドレス発生部1が生成したアドレスA(0)−A(15)を記憶し、デバイス20に出力済みのアドレスと、出力予定のアドレスとを比較し、出力予定のアドレスで出力済みのアドレスと異なるアドレスに対応するサイクルの4ビットのアドレスのみをデバイス20に出力するようパラレル・シリアル変換部2を制御する。同時に、コントローラ3は、デバイス20に出力する4ビットのアドレスのサイクルを識別する識別信号C0,C1を識別信号発生部4から出力させる。
テストパターン発生装置10の具体的な動作は、後に詳述する。
図2は、本実施の形態におけるメモリ内蔵デバイスの構成図である。メモリ内蔵デバイス20は、内部にメモリマクロ26と、論理回路マクロ24とを有する。入出力回路22に入力された信号は論理回路マクロ24に供給され、論理回路マクロ24により所定の論理処理が行われ、その結果が入出力回路22から出力される。論理回路マクロ24は、必要に応じて、内蔵のメモリマクロ26にデータを記憶し、記憶したデータを読み出す。したがって、通常の動作においては、内蔵されるメモリマクロ26がデバイス外部から直接書き込みや読み出しをされることはない。
一方、メモリ内蔵デバイス20は、内蔵されるメモリマクロ26の動作試験を行うために、4つのラッチ回路L0−L3と、入出力制御部28とを有する。4つのラッチ回路L0−L3は、入出力端子S0−S3に供給される4ビット単位のアドレスを、識別信号C0,C1に対応してラッチする。つまり、識別信号C0,C1により指定されたサイクルに対応する1つのラッチ回路が、供給された4ビット単位のアドレスをラッチする。識別信号C0,C1は入出力制御部28に供給され、入出力制御部28は、識別信号に対応するラッチ回路にラッチ指示信号LTを供給して、入出力回路22が入力した4ビットのアドレスをラッチさせる。
そして、メモリ内蔵デバイス20は、16ビットのアドレスが4つのラッチ回路L0−L3にラッチされた後、ライトイネーブル信号WEに応答して、ラッチ済みの16ビットのアドレスを入力し、その後にラッチ回路L0などを経由して入力されるデータを書き込む。または、アウトプットイネーブル信号OEに応答して、ラッチ済みの16ビットのアドレスを入力し、読み出したデータをラッチ回路L0などに出力する。
図3は、本実施の形態におけるテストパターン発生装置10によるテストパターン発生動作を説明する図である。この例は、アドレスが0番地から最大番地までインクリメントされながら、書き込み又は読み出し動作が行われる例である。図3には、テストパターン発生装置10が出力する4ビット単位のアドレスとクロックCKとを、発生ステップの番号に対応させて示している。
左上のステップ1−4において、0番地の16ビットアドレス(全ビット「0」)について、4グループの4ビット単位のアドレスA(0)−A(3)、A(4)−A(7)、A(8)−A(11)、A(12)−A(15)がシリアルに出力されている。アドレスは、クロックCKに同期してシリアルに出力されるので、ステップ1−4においては、クロックCKは活性状態「P」にある。そして、ステップ5において、クロックCKが停止され「0」、その間にデバイス内のメモリに書き込みまたは読み出し動作を実行させる。この動作指令は、指令信号WE,OEにより行われる。次に、1番地のアドレスを出力するが、出力済みの全ビット「0」のアドレスと比較すると、最下位の4ビットアドレスA(0)−A(3)のみが「0001」と異なるので、ステップ6でクロックCKを活性化状態「P」にしながら、そのアドレスA(0)−A(3)が出力される。しかし、それ以外の3グループの4ビットアドレスA(4)−A(7)、A(8)−A(11)、A(12)−A(15)は、出力済みのアドレスと同じであるので、図中破線で示すとおり出力されない。これにより、1サイクルでアドレスの供給が完了する。そして、ステップ7で、クロックCKが停止され「0」、その間にメモリに書き込みまたは読み出し動作を実行させる。
その後も同様にして、2番地のアドレスを出力するために、ステップ8で最下位のアドレスA(0)−A(3)=0011のみが出力され、それ以外のアドレスの出力は省略される。そして、ステップ9で、書き込みまたは読み出し動作が行われる。ステップ10,11、ステップ34,35も同じである。ステップ34では、最下位アドレスがA(0)−A(3)=1111となったため、ステップ36,37では、アドレス「16」を入力するために、下位2グループのアドレスA(0)−A(3)=0000とA(4)−A(7)=0001とが、シリアルに出力される。そして、ステップ38で書き込みまたは読み出し動作が行われ、ステップ39では、最下位アドレスA(0)−A(3)=0001のみを出力する。
以上のように、アドレスをインクリメントする場合またはデクリメントする場合は、出力済みアドレスと出力予定アドレスとの差異は一部である場合が多いので、その場合は、異なるアドレスのみを出力することで、アドレスのシリアル出力のサイクル数を少なくすることができる。それにより、テスト工程を短くすることができる。また、アドレスをランダムに変化させる場合でも、16ビットのアドレス全て異なる場合は少なく、同様に、アドレスサイクル数を減らすことができる。
図4は、本実施の形態におけるテストパターン発生装置10のコントローラ3の動作フローチャート図である。この動作フローチャート図では、最小アドレスから最大アドレスまでインクリメントしながら書き込みまたは読み出し動作が繰り返される動作試験の場合におけるアドレス信号のテストパターン発生動作を示す。メモリの動作試験が開始されると、アドレス発生部1は、16ビットのアドレスA(0)−A(15)を初期値の「0」にする(100)。コントローラのアドレス入力制御信号AINに応答して、そのアドレスA(0)−A(15)をパラレル・シリアル変換器2とコントローラ3に出力する。
パラレル・シリアル変換器2は、それぞれ4ビットのアドレス信号をパラレル・シリアル変換し、コントローラ3からのアドレス出力指令信号AOUTからなる出力指令に応答して、4ビット単位のアドレスを、クロックCKに同期して、シリアルにメモリ内蔵デバイス20に出力する。このとき、コントローラからの識別信号出力指令信号COUTに応答して、識別信号発生部4は、シリアル出力されるサイクルを識別する2ビットの識別信号C0,C1を発生し、クロックCKに同期し、且つ4ビット単位のアドレスの供給に同期して、メモリ内蔵デバイス20に供給する。メモリ内蔵デバイス20では、前述したとおり、シリアルに供給されるアドレスをラッチする。
一方、コントローラ3は、アドレス発生部1から供給された16ビットのアドレスを記憶する(102)。そして、コントローラ3は、その後、動作指令として書き込み制御信号WEまたは読み出し制御信号OEを出力する(104)。内蔵メモリは、このコントローラ3からの書き込み制御信号WEまたは読み出し制御信号OEに応答して、16ビットのラッチされたアドレスに対応する書き込みまたは読み出し動作を行う。
コントローラ3は、書き込み制御または読み出し制御が終わると、次のアドレスの入力指令AINを出力する(106)。アドレス発生部1は、それに応答して、インクリメントした16ビットのアドレスをパラレル・シリアル変換器2とコントローラ3に供給する。
コントローラ3では、既に出力済みの前のアドレスと、次の出力する予定のアドレスとを比較し、異なる部分のアドレスのみ出力を指令する。具体的には、コントローラ3は、4ビット単位で出力済みの前アドレスと出力予定の次アドレスとを比較し(108,112,116,129)、変更がある場合のみ、それに対応する4ビット単位のアドレスA(0)−A(3),A(4)−A(7),A(8)−A(11),A(12)−A(15)に対する出力指令信号AOUT,COUTを生成し、パラレル・シリアル変換器2からアドレスを、識別信号発生部4から識別信号を、それぞれクロックCKに同期して出力させる。
上記のアドレス出力制御とメモリ動作制御とがアドレスが最大値になるまで(105)、繰り返される。上記のごとく、出力予定のアドレスのうち、既に出力済みのアドレスと一致する部分は、パラレル・シリアル変換器2から出力させず、異なる部分のアドレスのみ出力させる。従って、16ビットのアドレスを毎回4サイクルで出力する必要がなくなり、メモリの動作試験工程の工数を大幅に削減することができる。
図5は、本実施の形態におけるテストパターン発生装置10の動作例を示す波形図である。この例も、最小アドレスから最大アドレスまでインクリメントしながら書き込みまたは読み出し動作が繰り返される動作試験の場合における波形図を示す。
試験開始直後は、16ビットのアドレスの初期値(1ビット全て「0」)を4サイクルによりメモリ内蔵デバイス20に出力する。つまり、サイクルST1でアドレスA(0)−A(3)がクロックCKの立ち上がりエッジに同期して出力され、サイクルST2,ST3,ST4で同様にアドレスA(4)−A(7),A(8)−A(11),A(12)−A(15)がクロックCKに同期して出力される。このとき、識別信号C0,C1もクロックCKに同期して出力される。サイクルST4の後のクロックCKの1周期後、サイクルST5でクロックCKの出力が停止され、メモリ内蔵デバイス20に、アドレスサイクルの終了が通知される。また、コントローラ3がライトイネーブル信号WEXをLレベル(活性レベル)にし、内蔵されるメモリへの書き込み制御を行う。この書き込み制御中のサイクルST5で、4ビットの入出力端子S0〜S3には、書き込むべきデータが供給される。かかる書き込みデータの供給については、省略する。
次に、初期値をインクリメントしたアドレス「0000000000000001」がアドレス発生部1により生成され、パラレル・シリアル変換器2に出力される。しかし、コントローラ3は、出力済みアドレスと上記の出力予定のアドレスとを比較し、異なる部分の最下位アドレスA(0)−A(3)のみを、サイクルST6によりメモリ内蔵デバイス20に出力させる。つまり、アドレス供給が4サイクルではなく1サイクルで完了する。その後、コントローラ3は、ライトイネーブル信号WEXをLレベルにして内蔵メモリに書き込みを指令すると共に、デバイスの入出力端子に4ビットの書き込みデータD0−D3を供給する。
同様に、更にインクリメントしたアドレス「0000000000000010」がアドレス発生部1により生成され、パラレル・シリアル変換器2に出力される。コントローラ3は、アドレスを比較し、最下位アドレスA(0)−A(3)のみをサイクルST8でメモリ内蔵デバイス20に供給する。その後、サイクルST9で書き込み制御を行う。
以上のように、サイクルST35までにアドレス「0000000000001111」に対する書き込み動作が終了すると、次のインクリメントされたアドレス「0000000000010000」がアドレス発生部1により生成される。この場合は、コントローラ3は、最下位のアドレスA(0)−A(3)とその次の上位のアドレスA(4)−A(7)だけをサイクルST36,ST37で、メモリ内蔵デバイス20に出力させる。そして、その後のサイクルST38で書き込み制御を行う。その後は、上記と同様に、インクリメントされたアドレスのうち、異なるアドレス単位のみをメモリ内蔵デバイス20に供給する。
図5には示されていないが、コントローラ3は、識別信号発生部4に出力しようとするアドレスのサイクルに対応する識別信号C0,C1を出力させる。例えば、サイクルST1,ST2,ST3,ST4では、識別信号C0,C1=「00」、「01」、「10」、「11」をそれぞれ出力させる。また、サイクルST6、ST8では識別信号「00」を、サイクルST36,ST37では、識別信号「00」、「01」をそれぞれ出力させる。これにより、メモリ内蔵デバイス20は、入出力端子S0−S3に供給されるアドレスを識別することができ、対応するラッチ回路にラッチさせることができる。
以上の実施の形態では、アドレスをインクリメントする場合で説明したが、アドレスをデクリメントする場合、或いは、アドレスを任意のパターンで変化させる場合も、テストパターン発生装置10のコントローラが異なるアドレスのみを出力させることで、本来なら4サイクル必要なアドレスの出力工程を、それより少ないサイクル数に減らすことができる。
上記の実施の形態をまとめると、以下の付記の通りである。
(付記1)メモリマクロと、シリアル入力インターフェースと、当該シリアル入力された信号をラッチし前記メモリマクロにパラレルに出力するラッチ回路とを有するデバイスに対する、当該メモリマクロの動作試験用のテストパターンを発生するテストパターン発生装置において、
複数ビットのアドレスを生成するアドレス発生部と、
前記アドレス発生部が生成した複数ビットのアドレスを複数のアドレス群にパラレル・シリアル変換するパラレル・シリアル変換部と、
前記変換されたアドレス群を複数サイクルでシリアルに前記デバイスに出力するよう制御し、前記デバイスに出力済みのアドレスと前記デバイスに出力予定のアドレスとを比較し、異なるビットに対応するサイクルのアドレス群のみを前記出力予定のアドレスとして前記デバイスに出力するよう前記パラレル・シリアル変換部を制御する制御部とを有することを特徴とするテストパターン発生装置。
(付記2)付記1において、
更に、前記出力されるアドレス群に対応する前記サイクルを識別する識別信号を生成する識別信号生成部を有し、
前記制御部は、前記アドレス群の出力と共に当該出力するアドレス群に対応する前記識別信号を前記デバイスに出力することを特徴とするテストパターン発生装置。
(付記3)付記1において、
前記制御部は、前記複数のアドレス群を、最下位ビットから最上位ビットまで又は最上位ビットから最下位ビットまで、シリアルに出力するよう制御することを特徴とするテストパターン発生装置。
(付記4)付記1において、
前記制御部は、前記アドレスを前記デバイスに出力した後、前記デバイスに前記メモリマクロの動作指令信号を供給して、前記メモリマクロに前記供給済みアドレスに対する所定の動作を行わせることを特徴とするテストパターン発生装置。
(付記5)付記1において、
前記制御部は、前記デバイスに供給するクロックに同期して、前記アドレス群を出力させ、前記アドレス群の出力が終了した時に当該クロックの出力を停止することを特徴とするテストパターン発生装置。
(付記6)メモリマクロと、シリアル入力インターフェースと、当該シリアル入力された信号をラッチし前記メモリマクロにパラレルに出力するラッチ回路とを有するデバイスに対する、当該メモリマクロの動作試験用のテストパターンを発生するテストパターン発生方法において、
複数ビットのアドレスを生成し、
前記生成した複数ビットのアドレスを複数のアドレス群にパラレル・シリアル変換し、
前記変換されたアドレス群を複数サイクルでシリアルに前記デバイスに出力し、
更に、前記アドレス群の出力において、前記デバイスに出力済みのアドレスと前記デバイスに出力予定のアドレスとを比較し、異なるビットに対応するサイクルのアドレス群のみを前記出力予定のアドレスとして前記デバイスに出力することを特徴とするテストパターン発生方法。
(付記7)付記6において、
更に、前記アドレス群の出力において、前記出力されるアドレス群に対応する前記サイクルを識別する識別信号を、前記アドレス群の出力と共に前記デバイスに出力することを特徴とするテストパターン発生方法。
本実施の形態におけるテストパターン発生装置の構成図である。 本実施の形態におけるメモリ内蔵デバイスの構成図である。 本実施の形態におけるテストパターン発生装置10によるテストパターン発生動作を説明する図である。 本実施の形態におけるテストパターン発生装置10のコントローラ3の動作フローチャート図である。 本実施の形態におけるテストパターン発生装置10の動作例を示す波形図である。
符号の説明
1:アドレス発生部、2:パラレル・シリアル変換ユニット、3:コントローラ(制御部)
4:識別信号発生部、20:メモリ内蔵デバイス

Claims (5)

  1. メモリマクロと、シリアル入力インターフェースと、当該シリアル入力された信号をラッチし前記メモリマクロにパラレルに出力するラッチ回路とを有するデバイスに対する、当該メモリマクロの動作試験用のテストパターンを発生するテストパターン発生装置において、
    複数ビットのアドレスを生成するアドレス発生部と、
    前記アドレス発生部が生成した複数ビットのアドレスを複数のアドレス群にパラレル・シリアル変換するパラレル・シリアル変換部と、
    前記変換されたアドレス群を複数サイクルでシリアルに前記デバイスに出力するよう制御し、前記デバイスに出力済みのアドレスと前記デバイスに出力予定のアドレスとを比較し、異なるビットに対応するサイクルのアドレス群のみを前記出力予定のアドレスとして前記デバイスに出力するよう前記パラレル・シリアル変換部を制御する制御部とを有することを特徴とするテストパターン発生装置。
  2. 請求項1において、
    更に、前記出力されるアドレス群に対応する前記サイクルを識別する識別信号を生成する識別信号生成部を有し、
    前記制御部は、前記アドレス群の出力と共に当該出力するアドレス群に対応する前記識別信号を前記デバイスに出力することを特徴とするテストパターン発生装置。
  3. 請求項1において、
    前記制御部は、前記アドレスを前記デバイスに出力した後、前記デバイスに前記メモリマクロの動作指令信号を供給して、前記メモリマクロに前記供給済みアドレスに対する所定の動作を行わせることを特徴とするテストパターン発生装置。
  4. メモリマクロと、シリアル入力インターフェースと、当該シリアル入力された信号をラッチし前記メモリマクロにパラレルに出力するラッチ回路とを有するデバイスに対する、当該メモリマクロの動作試験用のテストパターンを発生するテストパターン発生方法において、
    複数ビットのアドレスを生成し、
    前記生成した複数ビットのアドレスを複数のアドレス群にパラレル・シリアル変換し、
    前記変換されたアドレス群を複数サイクルでシリアルに前記デバイスに出力し、
    更に、前記アドレス群の出力において、前記デバイスに出力済みのアドレスと前記デバイスに出力予定のアドレスとを比較し、異なるビットに対応するサイクルのアドレス群のみを前記出力予定のアドレスとして前記デバイスに出力することを特徴とするテストパターン発生方法。
  5. 請求項6において、
    更に、前記アドレス群の出力において、前記出力されるアドレス群に対応する前記サイクルを識別する識別信号を、前記アドレス群の出力と共に前記デバイスに出力することを特徴とするテストパターン発生方法。
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