JP3461204B2 - マルチチップモジュール - Google Patents
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Description
1つのプリント配線板上に実装されて構成されるマルチ
チップモジュール(MCM)に関する。
り、プリント配線板1に実装されるICは、図21に示
すパッケージタイプのIC2から図22に示すベアIC
チップ3へ、さらには図23に示すマルチチップモジュ
ール5へと変遷している。
3をダイボンディング法、ワイヤボンディング法により
直接プリント配線板1に実装する構造であるので、パッ
ケージタイプのIC2をプリント配線板1に実装する場
合に比べその実装面積をはるかに小さくできる。しか
し、多数のベアICチップ3をプリント配線板1に実装
した後に1つでも不良のベアICチップ3が発見された
場合に、不良のベアICチップ3のみを取り外すことが
困難であるので、プリント配線板そのものを廃棄せねば
ならないという問題があった。
ルチチップモジュール5である。このマルチチップモジ
ュール5の製造工程を図25を参照して簡単に説明する
と、多層のプリント配線板51にベアICチップ52を
ダイボンディングし、さらにワイヤボンディングを行
い、次に各ベアICチップ52にダム枠53を取り付け
て樹脂封止をし、次にプリント配線板51の周縁部分に
設けられている電極パッドに外部電極としてガルウィン
グ型(Gull Wing Type) のリード端子55をはん田付け
することにより構成されている。
は、モジュール単体として機能検査を行えるので、良品
のマルチチップモジュール5だけをプリント配線板(以
下、主プリント配線板という)1に実装できる。しか
し、この従来のマルチチップモジュール5には次のよう
な問題があった。
リード端子55を半田付けしなければならないので作業
工数がかかり、又、このリード端子55が主プリント配
線板1に占める分だけ主プリント配線板1の電子部品実
装密度が低下する。
に接続するための回路パターン(図示せず)をベアIC
チップ52の周囲に走らせる必要があるので、プリント
配線板51に実装されるベアICチップ52の大きさに
比較してプリント配線板51が大形化する。
封止するためのダム枠53を取り付ける構成の場合に
は、個々のベアICチップ52を囲繞する状態に取り付
けられるダム枠53の占める面積が大きくなり、この点
からもプリント配線板51が大形化していた。また、ダ
ム枠53は、図24に示す如く、ダム枠53に設けた突
起53aをプリント配線板51の穴部51aに挿入して
位置決めをしプリント配線板51に接着されるが、プリ
ント配線板51には位置決め用の穴部51aが多数形成
されることになるので、これらの穴部51aのために回
路パターンを走らせ難くなり、結果としてプリント配線
板51が大形化していた。また、図26に示す如く、マ
ルチチップモジュール5のダム枠53で囲まれた部分を
真空吸着器7を用いて吸着して主プリント配線板1にマ
ルチチップモジュールを実装する場合に、個々のダム枠
53は小形であるので、十分な吸着面積を確保できなか
った。
調整用等の抵抗、コンデサを設けて複合モジュール化を
進める場合には、ベアICチップ52の周囲にチップ抵
抗、チップコンデンサを設けるためのスペース及びこれ
らの部品を半田付けするための電極パッドを設ける必要
があるのでプリント配線板51がさらに大形化する。ま
た、ベアICチップ52の樹脂封止を行った後にこれら
のチップ部品の半田付けを行わねばならないので作業工
数が非常に増加する。一方、マルチチップモジュール5
が実装されるプリント配線板側にチップ抵抗、チップコ
ンデサを実装した場合には、これらのチップ部品を含め
たマルチチップモジュール5の実装面積が増大し、その
分主プリント配線板が大形化する。
マルチチップモジュールは、リード端子の取付けに工数
がかかり、又、リード端子の分だけ大形化していた。ま
た、ベアICチップ間を接続する回路パターンを走らせ
るためにプリント配線板が大形化していた。また、個々
のベアICチップへのダム枠の取付けに工数がかかり、
又、ダム枠を取付けることによりプリント配線板がさら
に大形化する結果となっていた。また、ダム枠の部分を
真空吸着してマルチチップモジュールを主プリント配線
板に吸着することは困難でもあった。さらにまた、マル
チチップモジュールに抵抗、コンデサを設けて複合化を
進める場合には、マルチチップモジュールはさらに大形
化し、このモジュールが実装される主プリント配線板が
大形化するという問題があった。
なされたものであり、従来のマルチチップモジュールよ
りも小形にでき、製造工数を削減でき、しかも、真空吸
着による主プリント配線板への実装も容易となるマルチ
チップモジュールを提供することを目的とする。
リント配線板に実装される第2のプリント配線板と、こ
の第2のプリント配線板に実装される複数のベアICチ
ップとを具備して構成されるマルチチップモジュールに
おいて、前記第2のプリント配線板の外周面にはスルー
ホールを半分に切断した形状とされた第1の導体層部分
と、前記第2のプリント配線板の端面側であって前記第
1の導体層部分の周囲に設けられた第2の導体層部分と
からなり、前記第1のプリント配線板に半田付けされる
外部電極パッドが設けられ、前記複数のベアICチップ
が実装される前記第2のプリント配線板の複数の領域の
内の少くとも一つの領域の表面には、貫通スルーホール
を含む回路パターンが設けられ、この回路パターン上に
絶縁層が設けられ銀ペーストが塗布されて前記複数のベ
アICチップがダイボンディングされることを特徴とす
る。
装される前記第2のプリント配線板の複数の領域の内の
少くとも一つの領域の表面には印刷抵抗体及び印刷誘電
体のうちの少くとも一方が設けられこの印刷抵抗体、印
刷誘電体上に絶縁層が設けられていることを特徴とす
る。
層に形成されると共にベアICチップの実装面側から内
層に至るインタースティシャルバイアホールが設けら
れ、前記ベアICチップ間が前記インタースティシャル
バイアホール及び前記内層に設けられた導体層を介して
電気的に接続されていることを特徴とする。
層に形成されると共に内層に設けられた導体層に両端が
電気的に接続された抵抗体層が前記内層に設けられてい
ることを特徴とする。
層に形成されると共に内層に設けられた導体層に両面が
電気的に接続された誘電体層が前記内層に設けられてい
ることを特徴とする。
ってベアICチップの実装領域の外側にはトリミングを
可能とした調整用の印刷抵抗体及び印刷誘電体の少くと
も一方が設けられていることを特徴とする。
には複数のベアICチップを囲繞し前記ベアICチップ
を封止する樹脂が充填されるダム枠が設けられているこ
とを特徴とする。
ベアICチップの実装面側の周縁部に電極パッドが設け
られ、この電極パッドとこの電極パッドの周囲との境界
部分が前記プリント配線板にダム枠を取り付ける際の基
準位置となっていることを特徴とする。
は、第1のプリント配線板に半田付けするための外部電
極パッドがプリント配線板の外周面に形成されているの
で、プリント配線板の周縁部に従来の如きリード端子を
設ける必要はない。また、第2のプリント配線板の表面
であってベアICチップの底面側に回路パターンが設け
られているので、ベアICチップの周囲に設ける必要の
ある回路パターンは減少する。
では、プリント配線板の表面であってベアICチップの
底面側に抵抗やコンデンサを形成できるのでベアICチ
ップの周囲にチップ抵抗やチップコンデンサを設けない
で済む。
では、プリント配線板の内層に設けられた導体層及びイ
ンタースティシャルバイアホールを介して複数のベアI
Cチップが電気的に接続されているので、ベアICチッ
プの周囲に設ける必要のある回路パターンは減少する。
は、プリント配線板の内層に抵抗を形成できるので、プ
リント配線板の表面にチップ抵抗を設けないで済む。
では、プリント配線板の内層にコンデサを形成できるの
で、プリント配線板の表面にチップコンデサを設けない
で済む。
では、トリミング可能な印刷抵抗体、印刷誘電体が設け
られているので、第1乃至第13の何れかの発明の作用
に加え、印刷抵抗体、印刷誘電体の一部を削ることによ
り回路の微調整を行える。
では、一つのダム枠で複数のベアICチップを囲繞して
いるので、ベアICチップごとにダム枠を設ける必要が
なくなる。
では、電極パッドとこの電極パッドの周囲との境界部分
を基準としてプリント配線板にダム枠が取り付けられる
ので、プリント配線板にダム枠取付用の穴部を設ける必
要がないという作用を有する。
照して詳述する。
り、図1はマルチチップモジュールの分解斜視図、図2
はマルチチップモジュールの斜視図、図3は主プリント
配線板に実装されたマルチチップモジュールの斜視図、
図4はマルチチップモジュールの要部断面図である。
は、図1及び図2に示す如く、多層のプリント配線板1
00とこのプリント配線板100に実装される3種類の
ベアICチップ201,202,203を具備して構成
されており、ベアICチップ201はプリント配線板1
00表面の一点鎖線で示された領域101に、ベアIC
チップ202はプリント配線板100表面の一点鎖線で
示された領域102に、ベアICチップ203はプリン
ト配線板100表面の実線で示された領域103に夫々
実装される。
示す主プリント配線板(他のプリント配線板)1側に半
田付けされる外部電極パッド105が多数設けられてい
る。この外部電極パッド105はスルーホールを半分に
切断した形状とされた導体層部分105aとこの導体層
部分105aの周囲に設けられた導体層部分105bよ
り構成されている。また、プリント配線板100の表面
には、領域101,102,103を囲むようにしてワ
イヤボンディング用のリードパッド107が多数設けら
れている。
部電極パッド105間はプリント配線板100の表面に
設けられた回路パターン109及びプリント配線板10
0に形成された貫通スルーホール111、インターステ
ィシャルバイアホール112で接続されている。
リント配線板100表面の回路パターン109と内層1
16の導体層をインタースティシャルバイアホール11
2で接続したことであり、これにより、プリント配線板
100の表面に形成する必要がある回路パターン109
の数を削減させることができ、しかも、インタースティ
シャルバイアホール112はプリント配線板100の裏
面側へ貫通してないので、後行程で主プリント配線板1
にマルチチップモジュール5Aを実装した際に主プリン
ト配線板1側の導体との間で短落事故を起こす危険もな
い。
ターン109は領域101,102の内側にまで設けら
れており、この領域にはプリント配線板100の他のパ
ターン109と同様に、ソルダーレジスト(絶縁層)1
15が設けられている。通常、ベアICチップの実装に
際しては、領域103のように、導体層で形成されたア
イランドをプリント配線板に設けこのアイランドの上に
ベアICチップをダイボンディングにより実装するので
あるが、本例では、プリント配線板100側のアース電
位を必しも確保する必要のないベアICチップ201,
202に関しては、その下部となる部分に回路パターン
109を設けたことにより、ベアICチップ201,2
02,203の周囲に設ける必要のある回路パターン1
09の数を削減でき、結果としてプリント配線板100
を小形化することが可能となっている。
103には夫々銀ペーストが塗付されてベアICチップ
201〜203がダイボンディングされる。そして、図
2に示す如く、プリント配線板100のリードパッド1
07とベアICチップ201〜203の電極パッド20
5がワイヤ208にてワイヤボンディングされてマルチ
チップモジュール5Aが形成される。また、このマルチ
チップモジュール5Aは、外部電極パッド105を用い
てファンクションテストを行い、良品のマルチチップモ
ジュール5Aのみが図3に示すように主プリント配線板
1に実装される。このマルチチップモジュールの実装に
際しては、プリント配線板100の外周面に形成された
外部電極パッド105が主プリント配線板1に半田付け
されるので、主プリント配線板1側に必要とされるマル
チチップモジュールの実装領域は、プリント配線板10
0の面積程度のスペースを確保すれば良い。
あり、図5はマルチチップモジュールの完成品の斜視
図、図6はプリント配線板の斜視図、図7はプリント配
線板を裏面から示した斜視図、図8はプリント配線板の
平面図、図9はダム枠の斜視図、図10はダム枠付プリ
ント配線板の斜視図、図11はダム枠付プリント配線板
にベアICチップを実装した状態の斜視図、図12はダ
ム枠付プリント配線板の製造工程図、図13はベアIC
チップの実装工程図、図14は真空吸着器を用いたマル
チチップモジュールの実装を示す断面図である。
は、図5及び図11に示す如く、多層のプリント配線板
100A、このプリント配線板100に実装される3種
類のベアICチップ201,202,203、及びチッ
プ201〜203を囲繞する状態にプリント配線板10
0Aに取り付けられる樹脂封止用のダム枠220を具備
し、ダム枠220内にチップ201〜203を封止する
樹脂230が充填される。
の実施例に係るプリント配線板100と同様な構成とな
っている。これを概略説明すると、図6乃至図8に示す
如く、プリント配線板100Aの外周面にはスルーホー
ルを半分に切断した形状の外部電極パッド105が多数
設けられている。また、プリント配線板100Aの表面
には、ベアICチップ201,202,203の実装領
域101,102,103を囲むようにしてワイヤボン
ディング用のリードパッド107が多数設けられてい
る。また、これらのリードパッド107や外部電極パッ
ド105間はプリント配線板100Aの表面に設けられ
た回路パターン、プリント配線板に形成された貫通スル
ーホール、インタースティシャルバイアホール及びプリ
ント配線板100Aの内層に設けられた導体層で接続さ
れている。また、プリント配線板100Aの領域10
1,102内にも回路パターンが設けられ、領域103
は導体層で形成されたアイランドとなっている。そし
て、プリント配線板100Aの表裏両面には、外部電極
パッド105、リードパッド107及び領域103以外
を覆うようにして絶縁層としてのソルダーレジスト11
5が設けられている。また、このソルダーレジスト11
5は、外部電極パッド105間に半田ブリッジが生じな
いように、外部電極パッド105間にも設けられてい
る。
11に示す如く、ベアICチップ201,202,20
3全体を囲繞できる大きさの角形形状を有しており、ま
た、樹脂封止時やリフロー半田付時にプリント配線板1
00Aに熱歪が生じないように補強部221が設けられ
2分割されている。
ダム枠220の取付工程及びベアICチップの実装工程
につき図12及び図13を用いて説明する。
ず、プリント配線板100Aの所定箇所に接着剤を塗付
する。本例のダム枠取付は自動機を用いて行なわれる構
成となっており、接着剤塗付に際しては、図8に示す如
く、プリント配線板100Aの対角線上の位置(円部
A,B)にある2つの外部電極パッド(金色)105と
このパッド105に隣接するソルダーレジスト(緑色)
115との境界を両者の色の相違より読取器で認識し、
この2つの境界部分を基準位置としてプリント配線板1
00Aの所定箇所に接着剤を塗付する。この際、外部電
極パッド105は金メッキであり、ソルダーレジスト1
15はプリント配線板100Aの基板(通常半透明)よ
りも認識しやすい色(例えば緑)となっているので、2
つの境界部分を読取器で正確に読み取れる。
て、プリント配線板100Aの接着剤が塗付された所定
箇所にダム枠220をマウントし、接着剤を硬化させて
ダム枠220はプリント配線板100Aに取り付けられ
る(図10)。
では、ダム枠220の位置決めは外部電極パッド105
とソルダーレジスト115の境界部分を色の差より認識
し、この境界部分を基準位置として行う構成であり、従
来の如き位置決め用の穴部をプリント配線板100Aに
形成する必要がないので、プリント配線板100Aの小
形化を図れる。
す如く、まず、ダム枠付きのプリント配線板100Aの
領域101〜103に銀ペーストを塗付してベアICチ
ップ201〜203のダイボンディングを行い、硬化
後、プリント配線板100Aのリードパッド107とベ
アICチップ201〜203の電極パッドとをワイヤ2
08にてワイヤボンディングする(図11)。そして、
ダム枠220内に樹脂230を充填してベアICチップ
201〜203の樹脂封止を行い(図5)、硬化後、フ
ァンクションテストを行う。
では、図14に示す如く、ダム枠220で囲まれた部分
を真空吸着器7を用いて吸着して主プリント配線板1に
実装する構造となっている。この場合に、ダム枠220
は3つのベアICチップ201〜203を囲繞する大き
さとなっているので、十分な吸着面積を確保できる。ま
た、樹脂230はその上面がダム枠の上端面と同一か若
干低くなる範囲でかつ所定の平坦度を保つように充填さ
れているので、吸着器7を用いてマルチチップモジュー
ル5Bを確実に吸着できる。
であり、図15はマルチチップモジュールのプリント配
線板の一部切欠斜視図、図16は図15のプリント配線
板の抵抗部分の断面図、図17は図15のプリント配線
板のコンデンサ部分の断面図である。
ント配線板1に実装される他のマルチチップモジュール
との信号調整用の抵抗及びコンデンサを前述したマルチ
チップモジュール5A又は5Bに組み込む場合を示した
ものであり、プリント配線板100Bはセラミックやそ
の他の材料で形成された基板118を積層することによ
り形成されている。
も、図15に示すように、外周面にはスルーホールを半
分に切断した形状の外部電極パッド105が多数設けら
れ、表面にはベアICチップ201.202,203の
実装領域を囲むようにして多数のリードパッド107が
設けられ、かつ、これらのリードパッド107や外部電
極パッド105間はプリント配線板100Bの表面に設
けられた回路パターン109、貫通スルーホール11
1、インタースティシャルバイアホール112及び内層
に設けられた導体層119で接続されている。そして、
さらに注目すべき点は、プリント配線板100Bの内部
に抵抗121及びコンデサ122が形成されている点に
ある。抵抗121は、図16に示すように、基板118
に抵抗体層124を印刷しこの抵抗体層124の両端を
内層となる導体層119で接続して形成されている。ま
た、コンデサ122は、図17に示すように、一方の導
体層119に誘電体層126を印刷し、一方の導体層1
19と他方の導体層119とで誘電気体層126を挟む
ようにして基板118を積層することにより形成されて
いる。尚、抵抗121、コンデサ122と接続されてい
る導体層119はインタースティシャルバイアホール1
12や回路パターン109等を介してリードパッド10
7や外部電極パッド105に接続されている。また、抵
抗体層124としてはAg−Pd系ペーストやRh酸化
物系ペースト等が、誘電体層126としてはチタン酸バ
リウム結晶化ガラス等が使用されている。
ンデンサ122をプリント配線板100B内に内蔵した
ので、マルチチップモジュールを大形化させないで、抵
抗やコンデンサをマルチチップモジュールに組み込むこ
とができる。
であり、図18はマルチチップモジュールの分解斜視
図、図19はマルチチップモジュールの斜視図、図20
は主プリント配線板に実装されたマルチチップモジュー
ルの斜視図である。本例のマルチチップモジュールはプ
リント配線板に複数のベアICチップをフリップチップ
ボンディングにより実装する場合を示したものである。
は、図18及び図19に示すように、多層のプリント配
線板100Dとこのプリント配線板100Dに実装され
る3種類のベアICチップ201D,202D,203
Dを具備して構成されており、ベアICチップ201
D,202D,203Dはプリント配線板100Dの表
面の一点鎖線で示された領域101D,102D,10
3Dに夫々実装される。
リント配線板100と同様、図20に示す主プリント配
線板1側に半田付けされる外部電極パッド105が多数
設けられている。また、プリント配線板100Dの表面
には、領域101D,102D,103D内に、フリッ
プチップボンディング用のパッド131が多数設けられ
ている。そして、これらのパッド131や外部電極パッ
ド105間はプリント配線板100Dの表面に設けられ
た回路パターン109、印刷抵抗体133、印刷誘電体
134やプリント配線板100Dに形成された貫通スル
ーホール111、インタースティシャルバイアホール1
12で接続されている。
配線板100D表面の回路パターン109と内層導体を
インタースティシャルバイアホール112で接続するこ
とにより、プリント配線板100Dの表面に形成する必
要がある回路パターンの数を削減している。また、本例
の特徴的な点は、フリップチップボンディングされるベ
アICチップ201D,202D,203Dの真下、つ
まり、領域101D,102D,103Dに印刷抵抗体
133及び印刷誘電体134を設けた点にある。これに
より、従来ベアICチップの周囲に設ける必要があった
チップ抵抗、チップコンデンサを削減することができ、
従って、マルチチップモジュールをさらに小形化でき
る。尚、プリント配線板100Dに印刷抵抗体133及
び印刷誘電体134を形成後、プリント配線板100D
の表面には、フリップチップボンディング用のパッド1
31及び外部電極パッド105の部分を除いてソルダー
レジスト115が設けられている。
って、領域101D,102D,103Dの外側には、
トリミングを可能とした調整用の印刷抵抗体136、印
刷誘導体137が設けられている。高周波回路において
は、抵抗体や誘導体を印刷にて形成した場合には、微調
整を必要とするが、印刷抵抗体や印刷誘電体が内層に形
成される場合やベアICチップの下方に形成されてる場
合はそれらの微調整を行うことはできない。そこで、ト
リミングを可能とした印刷抵抗体136、印刷誘電体1
37をプリント配線板100Dの表面に設けている。
D,102D,103Dのパッド131にはフリップチ
ップボンディング方式によりベアICチップ201D,
202D,203Dが接合され、マルチチップモジュー
ル5Dが形成される。このフリップチップボンディング
方式による場合は、ベアICチップの周囲にボンディン
グ用のパッドを設ける必要がないので、ワイヤボンディ
ング方式の場合よりもマルチチップモジュールを小形化
できる。尚、上記マルチチップモジュール5Dは、第1
の実施例におけるマルチチップモジュール5Aと同様、
外部電極105を用いてファンクションテストを行った
後、良品のマルチチップモジュール5Dのみが図20に
示すように、主プリント配線板1に実装される。このマ
ルチチップモジュール5Dの実装においても、プリント
配線板100Dの外周面に形成の外部電極105が主プ
リント配線板1にはんだ付けされるので、第1の実施例
と同様、主プリント配線板1側に必要とされるマルチチ
ップモジュールの実装領域はプリント配線板100Dの
面積程度のスペースを確保すれば良い。
マルチチップモジュールでは、他のプリント配線板に半
田付けするための外部電極パッドがプリント配線板の外
周面に形成されているので、従来の如きリード端子をプ
リント配線板の周縁部に設ける必要はない。従って、リ
ード端子の取付工数を削減でき、又、リード端子のスペ
ースを他のプリント配線板に必要としない点で、他のプ
リント配線板の電子部品実装密度を高くできる。また、
第2のプリント配線板の表面であってベアICチップの
底面側に回路パターンが設けられているので、ベアIC
チップの周囲に設ける必要のある回路パターンを減少さ
せることができ、その分だけプリント配線板の小形化を
図れる。
では、プリント配線板の表面であってベアICチップの
底面側に抵抗やコンデンサを形成できるので、ベアIC
チップの周囲にチップ抵抗、チップコンデンサを設けな
いで済む。
では、プリント配線板の内層に設けられた導体層及びイ
ンタースティシャルバイアホールを介して複数のベアI
Cチップが電気的に接続されているので、ベアICチッ
プの周囲に設ける必要のある回路パターンを減少させる
ことができ、その分だけプリント配線板の小形化を図れ
る。
では、プリント配線板の内層に抵抗を形成できるので、
プリント配線板の表面にチップ抵抗を設ける必要がなく
なり、その分だけプリント配線板の小形化を図れる。
では、プリント配線板の内層にコンデンサを形成できる
ので、プリント配線板の表面にチップコンデンサを設け
る必要がなくなり、その分だけプリント配線板の小形化
を図れる。
では、調整用の印刷抵抗体、印刷誘電体が設けられてい
るので、抵抗、コンデンサの微調整を行なえるという効
果を有する。
では、一つのダム枠で複数のベアICチップを囲繞して
いるので、ベアICチップごとにダム枠を設ける必要が
なくなる。従って、ダム枠の取付工数を削減することが
でき、また、全体としてのダム枠の占める面積を減少さ
せることができるので、この点からもプリント配線板の
小形化を図れる。また、ダム枠で囲まれた部分を真空吸
着器を用いて吸着する場合に十分な吸着面積を確保でき
る。
では、電極パッドとこの電極パッドの周囲との境界部分
を基準としてプリント配線板にダム枠が取り付けられる
ので、プリント配線板にダム枠取付用の穴部を設ける必
要がない。従って、穴部で妨げられないで回路パターン
を設けられるのでプリント配線板の小形化を図ることが
できる。
ュールの分解斜視図。
斜視図。
リント配線板に実装した状態の斜視図。
断面図。
ュールの斜視図。
ント配線板の斜視図。
た斜視図。
枠の斜視図。
実装した状態の斜視図。
装する状態を示す断面図。
ジュールのプリント配線板の切欠斜視図。
ジュールの分解斜視図。
組立斜視図。
主プリント配線板に実装した状態の斜視図。
板の平面図。
の斜視図。
プリント配線板とダム枠の要部拡大図。
製造工程図。
実装する状態を示す断面図。
板 101,102,103,101D,102D,103
Dチップ実装領域 105 外部電極パッド 109 回路パターン 112 インタースティシャルバイアホール 115 絶縁層(ソルダーレジスト) 116 内層 119 導体層 124 抵抗体層 126 誘電体層 133 印刷抵抗体 134 印刷誘電体 136 調整用印刷抵抗体 137 調整用印刷誘電体 220 ダム枠 221 補強部 230 樹脂
Claims (8)
- 【請求項1】 第1のプリント配線板に実装される第2
のプリント配線板と、この第2のプリント配線板に実装
される複数のベアICチップとを具備して構成されるマ
ルチチップモジュールにおいて、 前記第2のプリント配線板の外周面にはスルーホールを
半分に切断した形状とされた第1の導体層部分と、前記
第2のプリント配線板の端面側であって前記第1の導体
層部分の周囲に設けられた第2の導体層部分とからな
り、前記第1のプリント配線板に半田付けされる外部電
極パッドが設けられ、 前記複数のベアICチップが実装される前記第2のプリ
ント配線板の複数の領域の内の少くとも一つの領域の表
面には、貫通スルーホールを含む回路パターンが設けら
れ、この回路パターン上に絶縁層が設けられ銀ペースト
が塗布されて前記複数のベアICチップがダイボンディ
ングされることを特徴とするマルチチップモジュール。 - 【請求項2】 複数のベアICチップが実装される前記
第2のプリント配線板の複数の領域の内の少くとも一つ
の領域の表面には印刷抵抗体及び印刷誘電体のうちの少
くとも一方が設けられこの印刷抵抗体、印刷誘電体上に
絶縁層が設けられていることを特徴とする請求項1に記
載のマルチチップモジュール。 - 【請求項3】 第2のプリント配線板は多層に形成され
ると共にベアICチップの実装面側から内層に至るイン
タースティシャルバイアホールが設けられ、前記ベアI
Cチップ間が前記インタースティシャルバイアホール及
び前記内層に設けられた導体層を介して電気的に接続さ
れていることを特徴とする請求項1に記載のマルチチッ
プモジュール。 - 【請求項4】 第2のプリント配線板は多層に形成され
ると共に内層に設けられた導体層に両端が電気的に接続
された抵抗体層が前記内層に設けられていることを特徴
とする請求項1に記載のマルチチップモジュール。 - 【請求項5】 第2のプリント配線板は多層に形成され
ると共に内層に設けられた導体層に両面が電気的に接続
された誘電体層が前記内層に設けられていることを特徴
とする請求項1に記載のマルチチップモジュール。 - 【請求項6】 第2プリント配線板の表面であってベア
ICチップの実装領域の外側にはトリミングを可能とし
た調整用の印刷抵抗体及び印刷誘電体の少くとも一方が
設けられていることを特徴とする請求項1に記載のマル
チチップモジュール。 - 【請求項7】 第2のプリント配線板には複数のベアI
Cチップを囲繞し前記ベアICチップを封止する樹脂が
充填されるダム枠が設けられていることを特徴とする請
求項1に記載のマルチチップモジュール。 - 【請求項8】 第2のプリント配線板はベアICチップ
の実装面側の周縁部に電極パッドが設けられ、この電極
パッドとこの電極パッドの周囲との境界部分が前記プリ
ント配線板にダム枠を取り付ける際の基準位置となって
いることを特徴とする請求項7に記載のマルチチップモ
ジュール。
Priority Applications (17)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19145594A JP3461204B2 (ja) | 1993-09-14 | 1994-08-15 | マルチチップモジュール |
| EP94927045A EP0720232B1 (en) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Multi-chip module |
| DE69434952T DE69434952D1 (de) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Viel-chip-modul |
| US08/617,843 US6147876A (en) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Multi-chip module having printed wiring board comprising circuit pattern for IC chip |
| PCT/JP1994/001517 WO1995008189A1 (en) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Multi-chip module |
| CA002171458A CA2171458C (en) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Multi-chip module |
| AU76650/94A AU690920B2 (en) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Multi-chip module |
| CN94193352A CN1041035C (zh) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | 多芯片模块 |
| FI961176A FI961176A0 (fi) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Monisiruinen moduuli |
| CA002355615A CA2355615C (en) | 1993-09-14 | 1994-09-14 | Multi-chip module |
| CN98107885A CN1203454A (zh) | 1993-09-14 | 1998-04-27 | 多芯片模块 |
| CN98107887A CN1198593A (zh) | 1993-09-14 | 1998-04-27 | 多芯片模块 |
| CN98107888A CN1214548A (zh) | 1993-09-14 | 1998-04-27 | 多芯片模块 |
| CN98107886A CN1214547A (zh) | 1993-09-14 | 1998-04-27 | 多芯片模块 |
| CN98107889A CN1198594A (zh) | 1993-09-14 | 1998-04-27 | 多芯片模块 |
| AU78420/98A AU7842098A (en) | 1993-09-14 | 1998-07-27 | Multi-chip module |
| US09/636,714 US6418030B1 (en) | 1993-09-14 | 2000-08-11 | Multi-chip module |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22864493 | 1993-09-14 | ||
| JP5-228644 | 1993-09-14 | ||
| JP19145594A JP3461204B2 (ja) | 1993-09-14 | 1994-08-15 | マルチチップモジュール |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH07135290A JPH07135290A (ja) | 1995-05-23 |
| JP3461204B2 true JP3461204B2 (ja) | 2003-10-27 |
Family
ID=26506700
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19145594A Expired - Fee Related JP3461204B2 (ja) | 1993-09-14 | 1994-08-15 | マルチチップモジュール |
Country Status (9)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US6147876A (ja) |
| EP (1) | EP0720232B1 (ja) |
| JP (1) | JP3461204B2 (ja) |
| CN (6) | CN1041035C (ja) |
| AU (1) | AU690920B2 (ja) |
| CA (1) | CA2171458C (ja) |
| DE (1) | DE69434952D1 (ja) |
| FI (1) | FI961176A0 (ja) |
| WO (1) | WO1995008189A1 (ja) |
Families Citing this family (133)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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- 1994-09-14 CN CN94193352A patent/CN1041035C/zh not_active Expired - Fee Related
- 1994-09-14 FI FI961176A patent/FI961176A0/fi unknown
- 1994-09-14 CA CA002171458A patent/CA2171458C/en not_active Expired - Fee Related
-
1998
- 1998-04-27 CN CN98107887A patent/CN1198593A/zh active Pending
- 1998-04-27 CN CN98107888A patent/CN1214548A/zh active Pending
- 1998-04-27 CN CN98107885A patent/CN1203454A/zh active Pending
- 1998-04-27 CN CN98107889A patent/CN1198594A/zh active Pending
- 1998-04-27 CN CN98107886A patent/CN1214547A/zh active Pending
-
2000
- 2000-08-11 US US09/636,714 patent/US6418030B1/en not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN1214547A (zh) | 1999-04-21 |
| EP0720232B1 (en) | 2007-04-11 |
| FI961176L (fi) | 1996-03-13 |
| EP0720232A1 (en) | 1996-07-03 |
| CN1130958A (zh) | 1996-09-11 |
| CN1203454A (zh) | 1998-12-30 |
| CN1198594A (zh) | 1998-11-11 |
| CN1214548A (zh) | 1999-04-21 |
| CA2171458C (en) | 2001-11-27 |
| FI961176A7 (fi) | 1996-03-13 |
| US6147876A (en) | 2000-11-14 |
| EP0720232A4 (en) | 1996-11-13 |
| US6418030B1 (en) | 2002-07-09 |
| CN1198593A (zh) | 1998-11-11 |
| WO1995008189A1 (en) | 1995-03-23 |
| CA2171458A1 (en) | 1995-03-23 |
| JPH07135290A (ja) | 1995-05-23 |
| DE69434952D1 (de) | 2007-05-24 |
| AU7665094A (en) | 1995-04-03 |
| CN1041035C (zh) | 1998-12-02 |
| AU690920B2 (en) | 1998-05-07 |
| FI961176A0 (fi) | 1996-03-13 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20030729 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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|
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|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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|
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|
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|
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