JP2636883B2 - ＮＯｘ濃度測定装置 - Google Patents
ＮＯｘ濃度測定装置Info
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- Y02A—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE
- Y02A50/00—TECHNOLOGIES FOR ADAPTATION TO CLIMATE CHANGE in human health protection, e.g. against extreme weather
- Y02A50/20—Air quality improvement or preservation, e.g. vehicle emission control or emission reduction by using catalytic converters
Description
【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は、ガス中のNOx濃度測定装置、特に自動車用
内燃機関の燃焼制御系や、各種工業炉に用いて好適な排
気ガス中のNOx、濃度測定装置に関するものである。
内燃機関の燃焼制御系や、各種工業炉に用いて好適な排
気ガス中のNOx、濃度測定装置に関するものである。
（背景技術） 従来より、ガス中の酸素濃度を検出する測定装置とし
て、酸素イオン伝導性の固体電解質であるジルコニア磁
器等を用いた酸素濃度測定装置が知られている。例え
ば、特公昭63−10781号公報に明らかにされているよう
に、外部の被測定ガス存在空間に所定の拡散抵抗を有す
る拡散律速手段を経て連通せしめられる内部空間と、こ
の内部空間にそれぞれ片方の電極が露呈せしめられる電
気化学的ポンプセル及び電気化学的センサセルを有し、
センサセルからの酸素濃淡起電力に基づいて、かかる内
部空間内の雰囲気を所定の酸素濃度に維持するポンプ電
流を前記ポンプセルに流して、このポンプ電流の値によ
って被測定ガス中の酸素濃度を測定するようにした装置
が知られている。この装置では、センサセルの起電力Vs
を基準電圧Vrと比較し、Vs＝Vrとなるように、ポンプ電
流Ipをフィ−ドバック制御しているのである。
て、酸素イオン伝導性の固体電解質であるジルコニア磁
器等を用いた酸素濃度測定装置が知られている。例え
ば、特公昭63−10781号公報に明らかにされているよう
に、外部の被測定ガス存在空間に所定の拡散抵抗を有す
る拡散律速手段を経て連通せしめられる内部空間と、こ
の内部空間にそれぞれ片方の電極が露呈せしめられる電
気化学的ポンプセル及び電気化学的センサセルを有し、
センサセルからの酸素濃淡起電力に基づいて、かかる内
部空間内の雰囲気を所定の酸素濃度に維持するポンプ電
流を前記ポンプセルに流して、このポンプ電流の値によ
って被測定ガス中の酸素濃度を測定するようにした装置
が知られている。この装置では、センサセルの起電力Vs
を基準電圧Vrと比較し、Vs＝Vrとなるように、ポンプ電
流Ipをフィ−ドバック制御しているのである。
（発明の目的） 本発明は、拡散律速手段により、所定のガス拡散抵抗
の下で被測定ガス存在空間に連通せしめられる電気化学
的セルの第一の電極近傍の酸素分圧が、所定値より高い
場媒には、該第一の電極に近接して設けられた触媒によ
るNOxの分解を生ずることなく、該電極近傍の雰囲気に
影響を与えないのであるが、該酸素分圧が所定の値以上
に低下すると、該触媒によって非平衡ガスである排ガス
中のNOxが分解され、該拡散律速手段の両端にNOxガスの
濃度差が発生し、新たなNOxガスの濃度拡散を生ずるこ
とを実験的に明らかにし、この現象を用いたNOx濃度測
定装置を提供することにある。
の下で被測定ガス存在空間に連通せしめられる電気化学
的セルの第一の電極近傍の酸素分圧が、所定値より高い
場媒には、該第一の電極に近接して設けられた触媒によ
るNOxの分解を生ずることなく、該電極近傍の雰囲気に
影響を与えないのであるが、該酸素分圧が所定の値以上
に低下すると、該触媒によって非平衡ガスである排ガス
中のNOxが分解され、該拡散律速手段の両端にNOxガスの
濃度差が発生し、新たなNOxガスの濃度拡散を生ずるこ
とを実験的に明らかにし、この現象を用いたNOx濃度測
定装置を提供することにある。
（発明の構成） すなわち、本発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質
とこれに接して設けられた少なくとも２つの電極よりな
る電気化学的セル（第一）と；該電気化学的セルの第一
の電極を所定のガス拡散抵抗の下で被測定ガス存在空間
に連通せしめる拡散律速手段と；該電気化学的セルの第
一の電極に近接して設けられた、NOxを分解するための
触媒と；該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極と
の間に電流を流す電流供給手段と；該電気化学的セル第
一の電極と第二の電極との間に流れる電流を測定する電
流測定手段と；該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸
素分圧を測定する酸素分圧測定手段と；該酸素分圧測定
手段によって測定された酸素分圧が前記触媒によるNOx
の分解を生じさせない高い酸素分圧であるとき、前記電
流測定手段によって測定された第一の電流と、該酸素分
圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分
圧であるとき、前記電流測定手段によって測定された第
二の電流とに基づいて、前記被測定ガス中のNOx濃度を
演算する演算手段と；を有することを特徴とするガス中
のNOx濃度測定装置にある。
とこれに接して設けられた少なくとも２つの電極よりな
る電気化学的セル（第一）と；該電気化学的セルの第一
の電極を所定のガス拡散抵抗の下で被測定ガス存在空間
に連通せしめる拡散律速手段と；該電気化学的セルの第
一の電極に近接して設けられた、NOxを分解するための
触媒と；該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極と
の間に電流を流す電流供給手段と；該電気化学的セル第
一の電極と第二の電極との間に流れる電流を測定する電
流測定手段と；該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸
素分圧を測定する酸素分圧測定手段と；該酸素分圧測定
手段によって測定された酸素分圧が前記触媒によるNOx
の分解を生じさせない高い酸素分圧であるとき、前記電
流測定手段によって測定された第一の電流と、該酸素分
圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分
圧であるとき、前記電流測定手段によって測定された第
二の電流とに基づいて、前記被測定ガス中のNOx濃度を
演算する演算手段と；を有することを特徴とするガス中
のNOx濃度測定装置にある。
なお、上記のNOx濃度測定装置において、一般に、前
記酸素分圧測定手段は、前記（第一の）固体電解質、前
記（第一の）電気化学的セルの第一の電極、所定の基準
酸素分圧の雰囲気に露呈せしめられた第四の電極よりな
る第二の電気化学的セル、及び該第一の電極と第四の電
極との間に生ずる起電力を測定する電圧測定手段から構
成されることとなる。
記酸素分圧測定手段は、前記（第一の）固体電解質、前
記（第一の）電気化学的セルの第一の電極、所定の基準
酸素分圧の雰囲気に露呈せしめられた第四の電極よりな
る第二の電気化学的セル、及び該第一の電極と第四の電
極との間に生ずる起電力を測定する電圧測定手段から構
成されることとなる。
また、前記酸素分圧測定手段は、酸素イオン伝導性の
第二の固体電解質と、これに接して設けられ、所定の基
準酸素分圧の雰囲気に露呈せしめられる第四の電極と、
前記（第一の）電気化学的セルの第一の電極に近接して
設けられて、該第一の電極と実質的に同一の雰囲気に露
呈せしめられる第三の電極とからなる第二の電気化学的
セル、及び該第三の電極と第四の電極との間に生ずる起
電力を測定する電圧測定手段とから構成されたり、或い
は、前記酸素分圧測定手段は、前記電気化学的セルと同
一の電気化学的セル、及び該第一の電極と第二の電極と
の間に生ずる起電力を測定する電圧測定手段とから構成
されたり、されるのである。
第二の固体電解質と、これに接して設けられ、所定の基
準酸素分圧の雰囲気に露呈せしめられる第四の電極と、
前記（第一の）電気化学的セルの第一の電極に近接して
設けられて、該第一の電極と実質的に同一の雰囲気に露
呈せしめられる第三の電極とからなる第二の電気化学的
セル、及び該第三の電極と第四の電極との間に生ずる起
電力を測定する電圧測定手段とから構成されたり、或い
は、前記酸素分圧測定手段は、前記電気化学的セルと同
一の電気化学的セル、及び該第一の電極と第二の電極と
の間に生ずる起電力を測定する電圧測定手段とから構成
されたり、されるのである。
さらに、前記NOx濃度測定装置の一つの実施態様にお
いて、前記電流供給手段は、前記電気化学的セルの第一
の電極と第二の電極との間に電流を断続的に供給し、前
記電圧測定手段は、該電流が流れていない期間中に、該
第一の電極と第二の電極との間に生ずる起電力を測定
し、且つ所定期間これを保持するようにされる。また、
前記酸素分圧測定手段は、接するガス雰囲気中の酸素分
圧によって、その電気抵抗が変化する酸化物半導体、こ
れに接して設けられた少なくとも一対の電極、及び該一
対の電極間に接続された抵抗測定手段により構成される
こととなり、そして有利には、前記電気化学的セルの第
一の電極が、触媒を兼ねている。
いて、前記電流供給手段は、前記電気化学的セルの第一
の電極と第二の電極との間に電流を断続的に供給し、前
記電圧測定手段は、該電流が流れていない期間中に、該
第一の電極と第二の電極との間に生ずる起電力を測定
し、且つ所定期間これを保持するようにされる。また、
前記酸素分圧測定手段は、接するガス雰囲気中の酸素分
圧によって、その電気抵抗が変化する酸化物半導体、こ
れに接して設けられた少なくとも一対の電極、及び該一
対の電極間に接続された抵抗測定手段により構成される
こととなり、そして有利には、前記電気化学的セルの第
一の電極が、触媒を兼ねている。
また、本発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質とこ
れに接して設けられた少なくとも２つの電極よりなる電
気化学的セルと；該電気化学的セルの第一の電極を所定
のガス拡散抵抗の下で被測定ガス存在空間に連通せしめ
る拡散律速手段と；該電気化学的セルの第一の電極に近
接して設けられた、NOxを分解するための触媒と；該電
気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に電流を
流す電流供給手段と；該電気化学的セルの第一の電極と
第二の電極との間に流れる電流を測定する電流測定手段
と；該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸素分圧を測
定する酸素分圧測定手段と；をそれぞれA,Bの二組有
し、更に、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって測定
された酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせ
ない高い酸素分圧であるとき、前記Ａの組の電流測定手
段によって測定された第一の電流と、前記Ｂの組の酸素
分圧測定手段によって測定された酸素分圧が前記触媒に
よるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧であるとき、
前記Ｂの組の電流測定手段によって測定された第二の電
流とに基づいて、前記被測定ガス中のNOx濃度を演算す
る演算手段を、有することを特徴とするガス中のNOx濃
度測定装置をも、その要旨とするものである。
れに接して設けられた少なくとも２つの電極よりなる電
気化学的セルと；該電気化学的セルの第一の電極を所定
のガス拡散抵抗の下で被測定ガス存在空間に連通せしめ
る拡散律速手段と；該電気化学的セルの第一の電極に近
接して設けられた、NOxを分解するための触媒と；該電
気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に電流を
流す電流供給手段と；該電気化学的セルの第一の電極と
第二の電極との間に流れる電流を測定する電流測定手段
と；該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸素分圧を測
定する酸素分圧測定手段と；をそれぞれA,Bの二組有
し、更に、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって測定
された酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせ
ない高い酸素分圧であるとき、前記Ａの組の電流測定手
段によって測定された第一の電流と、前記Ｂの組の酸素
分圧測定手段によって測定された酸素分圧が前記触媒に
よるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧であるとき、
前記Ｂの組の電流測定手段によって測定された第二の電
流とに基づいて、前記被測定ガス中のNOx濃度を演算す
る演算手段を、有することを特徴とするガス中のNOx濃
度測定装置をも、その要旨とするものである。
なお、かかるNOx濃度測定装置において、一般に、前
記演算手段は、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって
測定された酸素分圧を、前記触媒によるNOxの分解を生
じさせない高い酸素分圧に常に保ち、このとき、前記Ａ
の組の電流測定手段によって測定された第一の電流と、
前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定された酸素
分圧を、前記触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸
素分圧に常に保ち、このとき、前記の電流測定手段によ
って測定された第二の電流とに基づいて、NOx濃度を演
算する演算手段であり、また、前記電気化学的セルの第
一の電極が、触媒を兼ねるようにされている。
記演算手段は、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって
測定された酸素分圧を、前記触媒によるNOxの分解を生
じさせない高い酸素分圧に常に保ち、このとき、前記Ａ
の組の電流測定手段によって測定された第一の電流と、
前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定された酸素
分圧を、前記触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸
素分圧に常に保ち、このとき、前記の電流測定手段によ
って測定された第二の電流とに基づいて、NOx濃度を演
算する演算手段であり、また、前記電気化学的セルの第
一の電極が、触媒を兼ねるようにされている。
さらに、本発明は、酸素イオン伝導性の固体電解質と
これに接して設けられた少なくとも２つの電極よりなる
電気化学的セルと；該電気化学的セルの第一の電極を所
定のガス拡散抵抗の下で被測定ガス存在空間に連通せし
める拡散律速手段と；該電気化学的セルの第一の電極に
近接して設けられた、NOxを分解するための触媒と；該
電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に電流
を流す電流供給手段と；該電気化学的セルの第一の電極
と第二の電極との間に流れる電流を測定する電流測定手
段と；該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸素分圧を
測定する酸素分圧測定手段と；をそれぞれA,Bの二組有
し、更に、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって測定
された酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせ
ない高い酸素分圧であるとき、前記Ａの組の電流測定手
段によって測定された第一の電流、該酸素分圧が前記触
媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧であると
き、前記Ａの組の電流測定手段によって測定された第二
の電流、前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定さ
れた酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせな
い高い酸素分圧であるとき、前記Ｂの組の電流測定手段
によって測定された第三の電流、及び該酸素分圧が前記
触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧である
とき、前記Ｂの組の電流測定手段によって測定された第
四の電流のうち、第一，第二及び第三の電流を演算す
る、若しくは第一，第二及び第四の電流を演算する演算
手段を、有することを特徴とするガス中のNOx濃度測定
装置をも、その要旨とするものである。
これに接して設けられた少なくとも２つの電極よりなる
電気化学的セルと；該電気化学的セルの第一の電極を所
定のガス拡散抵抗の下で被測定ガス存在空間に連通せし
める拡散律速手段と；該電気化学的セルの第一の電極に
近接して設けられた、NOxを分解するための触媒と；該
電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に電流
を流す電流供給手段と；該電気化学的セルの第一の電極
と第二の電極との間に流れる電流を測定する電流測定手
段と；該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸素分圧を
測定する酸素分圧測定手段と；をそれぞれA,Bの二組有
し、更に、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって測定
された酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせ
ない高い酸素分圧であるとき、前記Ａの組の電流測定手
段によって測定された第一の電流、該酸素分圧が前記触
媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧であると
き、前記Ａの組の電流測定手段によって測定された第二
の電流、前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定さ
れた酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせな
い高い酸素分圧であるとき、前記Ｂの組の電流測定手段
によって測定された第三の電流、及び該酸素分圧が前記
触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧である
とき、前記Ｂの組の電流測定手段によって測定された第
四の電流のうち、第一，第二及び第三の電流を演算す
る、若しくは第一，第二及び第四の電流を演算する演算
手段を、有することを特徴とするガス中のNOx濃度測定
装置をも、その要旨とするものである。
なお、かかるNOx濃度測定装置においては、一般に、
前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定された酸素
分圧が、前記触媒によるNOxの分解を生じさせない高い
酸素分圧に常に保たれ、前記演算手段により、前記第
一，第二，第三の電流を演算することとされたり、また
前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定された酸素
分圧が、前記触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸
素分圧に常に保たれ、前記演算手段により、前記第一，
第二，第四の電流を演算することとされるのである。ま
た、前記電気化学的セルの第一の電極は、有利には、触
媒を兼ねるようにされている。
前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定された酸素
分圧が、前記触媒によるNOxの分解を生じさせない高い
酸素分圧に常に保たれ、前記演算手段により、前記第
一，第二，第三の電流を演算することとされたり、また
前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定された酸素
分圧が、前記触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸
素分圧に常に保たれ、前記演算手段により、前記第一，
第二，第四の電流を演算することとされるのである。ま
た、前記電気化学的セルの第一の電極は、有利には、触
媒を兼ねるようにされている。
ところで、かかる本発明において、電気化学的セル
は、電流供給手段より供給されたポンプ電流を、第一の
電極と第二の電極との間に、流すことによって電気化学
的ポンピングを行ない、第一の電極近傍の雰囲気を制御
する。そして、この電気化学的セルを構成する固体電解
質としては、酸素イオン伝導体であるジルコニア磁器、
Bi2O3−Y2O3系固溶体等が用いられるのである。
は、電流供給手段より供給されたポンプ電流を、第一の
電極と第二の電極との間に、流すことによって電気化学
的ポンピングを行ない、第一の電極近傍の雰囲気を制御
する。そして、この電気化学的セルを構成する固体電解
質としては、酸素イオン伝導体であるジルコニア磁器、
Bi2O3−Y2O3系固溶体等が用いられるのである。
また、拡散律速手段は、被測定ガス存在空間と第一の
電極との間の濃度拡散を律速するものであり、ピンホー
ル、平坦空間、多孔質セラミックス体等を適宜用いるこ
とが出来る。NOx濃度測定精度向上のためには、第一の
電極面内における酸素濃度分布を低減することが好まし
く、この目的のために、第一の電極が露呈せしめられる
内部空間を設け、拡散律速手段によって被測定ガス存在
空間と該内部空間を連通せしめる構造とすることが好ま
しい。
電極との間の濃度拡散を律速するものであり、ピンホー
ル、平坦空間、多孔質セラミックス体等を適宜用いるこ
とが出来る。NOx濃度測定精度向上のためには、第一の
電極面内における酸素濃度分布を低減することが好まし
く、この目的のために、第一の電極が露呈せしめられる
内部空間を設け、拡散律速手段によって被測定ガス存在
空間と該内部空間を連通せしめる構造とすることが好ま
しい。
さらに、酸素分圧測定手段としては、例えば、固体電
解質とこれに接して設けられた一対の電極よりなる電気
化学的セルの濃淡起電力を測定する手段、電気抵抗が露
呈する雰囲気中の酸素分圧によって変化する酸化物半導
体と一対の電極の電気抵抗を測定する手段等を用いるこ
とが出来る。電気化学的セルを用いる場合には、これを
上記電気化学的（ポンプ）セルの一部または全部と兼ね
てもよい。このとき、ポンプ電流による抵抗分極の影響
を防止し、高精度の測定を行なうために、ポンプ電流の
断続的に流し、電流を止めている期間中に起電力測定を
行なうことも出来る。
解質とこれに接して設けられた一対の電極よりなる電気
化学的セルの濃淡起電力を測定する手段、電気抵抗が露
呈する雰囲気中の酸素分圧によって変化する酸化物半導
体と一対の電極の電気抵抗を測定する手段等を用いるこ
とが出来る。電気化学的セルを用いる場合には、これを
上記電気化学的（ポンプ）セルの一部または全部と兼ね
てもよい。このとき、ポンプ電流による抵抗分極の影響
を防止し、高精度の測定を行なうために、ポンプ電流の
断続的に流し、電流を止めている期間中に起電力測定を
行なうことも出来る。
ここにおいて、NOxの分解を生じさせない高い酸素分
圧とは、10-2〜10-3atm以上の酸素分圧であり、例えば
自動車のリーン排ガスに含まれる酸素分圧と同程度の酸
素分圧である。また、NOxの分解を生じさせる低い酸素
分圧とは、それ以下の酸素分圧であるが、CO2,H2O等が
還元され始める酸素分圧（例えば10-20atm）以上、即
ち、これら共存ガスの影響を受けない酸素分圧であるこ
とが好ましい。
圧とは、10-2〜10-3atm以上の酸素分圧であり、例えば
自動車のリーン排ガスに含まれる酸素分圧と同程度の酸
素分圧である。また、NOxの分解を生じさせる低い酸素
分圧とは、それ以下の酸素分圧であるが、CO2,H2O等が
還元され始める酸素分圧（例えば10-20atm）以上、即
ち、これら共存ガスの影響を受けない酸素分圧であるこ
とが好ましい。
また、触媒としては、Pt、Rh,Pd等の白金族金属、及
びそれらの合金、Cu,V,Cr,Fe,Ni,Co,Mn酸化物等の用い
ることが出来る。これら触媒は、第一の電極近傍、即ち
拡散律速手段によって被測定ガス存在空間に連通せしめ
られる雰囲気ガス中に設置されて、周囲の酸素分圧が充
分低いときには、NOxを分解することになる。電気化学
的セルの電極材料を適切に選んで、触媒を兼ねさせるこ
とも可能である。
びそれらの合金、Cu,V,Cr,Fe,Ni,Co,Mn酸化物等の用い
ることが出来る。これら触媒は、第一の電極近傍、即ち
拡散律速手段によって被測定ガス存在空間に連通せしめ
られる雰囲気ガス中に設置されて、周囲の酸素分圧が充
分低いときには、NOxを分解することになる。電気化学
的セルの電極材料を適切に選んで、触媒を兼ねさせるこ
とも可能である。
（好ましい実施態様） かかる本発明において、酸素分圧測定手段を酸素イオ
ン伝導性の固体電解質とこれに接した一対の電極よりな
る電気化学的セルとする場合、（ａ）（第一の）電気化
学的セル自身を酸素分圧測定手段としても使用する、
（ｂ）（第一の）電気化学的セルの固体電解質に、これ
に接して、且つ、基準酸素分圧に露呈する第三の電極を
設け、この第三の電極と第一の電極とにより第二の電気
化学的セルを構成して酸素分圧測定手段とする、（ｃ）
第二の電気化学的セルを（第一の）電気化学的セルとは
別に設け、該第二の電気化学的セルの第三の電極を第一
の電気化学的セルの第一の電極と実質的に同一の雰囲気
に露呈せしめるように、これに近接して設ける、という
３種の構造が、それぞれ下記の理由により好ましい。
ン伝導性の固体電解質とこれに接した一対の電極よりな
る電気化学的セルとする場合、（ａ）（第一の）電気化
学的セル自身を酸素分圧測定手段としても使用する、
（ｂ）（第一の）電気化学的セルの固体電解質に、これ
に接して、且つ、基準酸素分圧に露呈する第三の電極を
設け、この第三の電極と第一の電極とにより第二の電気
化学的セルを構成して酸素分圧測定手段とする、（ｃ）
第二の電気化学的セルを（第一の）電気化学的セルとは
別に設け、該第二の電気化学的セルの第三の電極を第一
の電気化学的セルの第一の電極と実質的に同一の雰囲気
に露呈せしめるように、これに近接して設ける、という
３種の構造が、それぞれ下記の理由により好ましい。
（１）構造が簡単であり、低価格で製造可能。
（２）基準酸素分圧に露呈する第三の電極を有するた
め、被測定ガスがリッチ排ガスでも、リーン排ガスでも
関係なく連続して測定可能。
め、被測定ガスがリッチ排ガスでも、リーン排ガスでも
関係なく連続して測定可能。
（３）酸素分圧測定装置に与える第一の電気化学的セル
のポンプ電流の影響が少なく、高精度の測定可能。
のポンプ電流の影響が少なく、高精度の測定可能。
また、被測定ガスの変化に対する測定の応答性を高め
るためには、一つのセンサの第一の電極近傍の雰囲気を
高酸素分圧と低酸素分圧に切り替えて使うのではなく、
A,B二つのセンサを使用し、それぞれ第一の電極近傍の
雰囲気を、ＡはNOxの分解を生じさせない高い酸素分圧
とし、ＢはNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧として
測定することが好ましい。この二つのセンサは、全く別
のセンサとしてもよく、一つのセンサ素子内に両者を組
み込んでもよい。
るためには、一つのセンサの第一の電極近傍の雰囲気を
高酸素分圧と低酸素分圧に切り替えて使うのではなく、
A,B二つのセンサを使用し、それぞれ第一の電極近傍の
雰囲気を、ＡはNOxの分解を生じさせない高い酸素分圧
とし、ＢはNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧として
測定することが好ましい。この二つのセンサは、全く別
のセンサとしてもよく、一つのセンサ素子内に両者を組
み込んでもよい。
そして、このとき、センサＡの第一の電極をNOxに対
する触媒作用を持たない電極材料、例えばAu,Al−Pt合
金等を用いることにより、センサＡの第一の電極近傍の
酸素分圧をセンサＢと同水準の低い酸素分圧とすること
が出来、測定精度を向上することが出来る。
する触媒作用を持たない電極材料、例えばAu,Al−Pt合
金等を用いることにより、センサＡの第一の電極近傍の
酸素分圧をセンサＢと同水準の低い酸素分圧とすること
が出来、測定精度を向上することが出来る。
さらに、NOx濃度を高精度で測定するために、２本の
センサ、第一の電極近傍の酸素分圧を高酸素分圧とする
センサ（Ａ）と、該酸素分圧を低酸素分圧とする（Ｂ）
を使用して、基本的には、常に両者のポンプ電流の演算
値をNOx濃度測定基本値とし、ときどき、センサ（Ａ）
の第一の電極近傍の酸素分圧を低酸素分圧に転じてポン
プ電流を測定し、この電流値によって上記基本値を補正
することが好ましい。また、両センサの酸素分圧が上記
とは反対のものであってもよい。
センサ、第一の電極近傍の酸素分圧を高酸素分圧とする
センサ（Ａ）と、該酸素分圧を低酸素分圧とする（Ｂ）
を使用して、基本的には、常に両者のポンプ電流の演算
値をNOx濃度測定基本値とし、ときどき、センサ（Ａ）
の第一の電極近傍の酸素分圧を低酸素分圧に転じてポン
プ電流を測定し、この電流値によって上記基本値を補正
することが好ましい。また、両センサの酸素分圧が上記
とは反対のものであってもよい。
ところで、第１図には、本発明の概念的な構成が示さ
れている。そこにおいて、２は酸素イオン伝導性のジル
コニア等からなる固体電解質、4,6はそれぞれ該固体電
解質に接して設けられた第一及び第二の電極であって、
これら固体電解質２及び第一，第二の電極4,6にて電気
化学的セル（第一の）が構成されている。また、第一の
電極４上には多孔質なNOx分解触媒層８が設けられてい
ると共に、それら第一の電極４及びNOx分解触媒層８を
覆うように、拡散律速手段としての多孔質セラミックス
層10が設けられ、外部の被測定ガスが所定の拡散抵抗の
下に導かれて、それらNOx分解触媒層８及び第一の電極
４に接触せしめるようになっている。
れている。そこにおいて、２は酸素イオン伝導性のジル
コニア等からなる固体電解質、4,6はそれぞれ該固体電
解質に接して設けられた第一及び第二の電極であって、
これら固体電解質２及び第一，第二の電極4,6にて電気
化学的セル（第一の）が構成されている。また、第一の
電極４上には多孔質なNOx分解触媒層８が設けられてい
ると共に、それら第一の電極４及びNOx分解触媒層８を
覆うように、拡散律速手段としての多孔質セラミックス
層10が設けられ、外部の被測定ガスが所定の拡散抵抗の
下に導かれて、それらNOx分解触媒層８及び第一の電極
４に接触せしめるようになっている。
また、第一の電極４と第二の電極６との間の電圧を測
定するための電圧測定手段12や、それら電極間に流され
る電流を測定するための電流測定手段14、更にはそれら
の電極間に電流を流す電流供給手段16が設けられてお
り、そしてかかる電圧測定手段12、電流測定手段14から
の出力（測定値）が演算手段18に入力せしめられ、そこ
で被測定ガス中のNOxを算出するようになっている。
定するための電圧測定手段12や、それら電極間に流され
る電流を測定するための電流測定手段14、更にはそれら
の電極間に電流を流す電流供給手段16が設けられてお
り、そしてかかる電圧測定手段12、電流測定手段14から
の出力（測定値）が演算手段18に入力せしめられ、そこ
で被測定ガス中のNOxを算出するようになっている。
かかる構造の装置において、電流供給手段16からの電
流の供給によって電気化学的セルを酸素ポンプセルとし
て機能せしめ、また同時に第一及び第二の電極4,6間の
酸素濃度差に基づく起電力を測定して酸素濃度（酸素分
圧）を検出する酸素分圧測定手段（酸素センサセル）と
して機能せしめて、第一の電極４の周りの酸素分圧がNO
x分解触媒層８によるNOxの分解を生じさせない高い酸素
分圧であるとき（電圧測定手段12により測定される前記
起電力にて判断される）の、前記電流測定手段14による
検出電流値、即ち第一の電流を求める一方、第一の電極
４の周りの酸素分圧がNOx分解触媒層８によるNOx分解を
生じさせる低い酸素分圧であるとき（前記と同様に起電
力にて判断される）の、前記電流測定手段14による検出
電流値、即ち第二の電流が求められることになる。そし
て、この求められた第一及び第二の電流値に基づいて、
演算手段にて被測定ガス中のNOx濃度が演算されるので
ある。なお、この第一及び第二の電流値の間には、被測
定ガス中のNOx濃度に応じて所定の関係が存するのであ
る。
流の供給によって電気化学的セルを酸素ポンプセルとし
て機能せしめ、また同時に第一及び第二の電極4,6間の
酸素濃度差に基づく起電力を測定して酸素濃度（酸素分
圧）を検出する酸素分圧測定手段（酸素センサセル）と
して機能せしめて、第一の電極４の周りの酸素分圧がNO
x分解触媒層８によるNOxの分解を生じさせない高い酸素
分圧であるとき（電圧測定手段12により測定される前記
起電力にて判断される）の、前記電流測定手段14による
検出電流値、即ち第一の電流を求める一方、第一の電極
４の周りの酸素分圧がNOx分解触媒層８によるNOx分解を
生じさせる低い酸素分圧であるとき（前記と同様に起電
力にて判断される）の、前記電流測定手段14による検出
電流値、即ち第二の電流が求められることになる。そし
て、この求められた第一及び第二の電流値に基づいて、
演算手段にて被測定ガス中のNOx濃度が演算されるので
ある。なお、この第一及び第二の電流値の間には、被測
定ガス中のNOx濃度に応じて所定の関係が存するのであ
る。
また、第２図には、本発明の従うNOx濃度測定装置の
他の一例が示されている。そこにおいて、20は第二の固
体電解質、22は第三の電極、24は第四の電極、26は内部
空間、28は拡散律速手段としてのオリフィス、30はNOx
分解触媒、32は異なる二つの基準電圧（VR1,VR2）を与
える電源にて構成される比較電源、34は比較電源32の基
準電圧を切り換える切換えスイッチ、36は第四の電極24
にて検出される起電力と比較電源32の基準電圧とを比較
し、その差が零となるようにポンプ電流（Ip）を流し、
第一の電気化学的セル（2,4,6）をポンプ作動せしめ、
第三の電極22に接する内部空間26内の雰囲気中の酸素分
圧（濃度）を制御する電流制御手段（例えば比較器）で
ある。
他の一例が示されている。そこにおいて、20は第二の固
体電解質、22は第三の電極、24は第四の電極、26は内部
空間、28は拡散律速手段としてのオリフィス、30はNOx
分解触媒、32は異なる二つの基準電圧（VR1,VR2）を与
える電源にて構成される比較電源、34は比較電源32の基
準電圧を切り換える切換えスイッチ、36は第四の電極24
にて検出される起電力と比較電源32の基準電圧とを比較
し、その差が零となるようにポンプ電流（Ip）を流し、
第一の電気化学的セル（2,4,6）をポンプ作動せしめ、
第三の電極22に接する内部空間26内の雰囲気中の酸素分
圧（濃度）を制御する電流制御手段（例えば比較器）で
ある。
従って、かかる第２図に示される構成においては、酸
素分圧測定手段として、第二の電気化学的セル（20,22,
24）を用い、第三の電極22と第四の電極24との間の濃淡
起電力を測定しているのである。そして、この起電力
を、第一の基準電圧（VR1:80mV）、第二の基準電圧（V
R2:500mV）と交互に比較し、このとき電流供給手段（3
2）から流される電流をそれぞれ、第一の電流、第二の
電流として、電流測定手段14により測定し、両者の差に
よりNOx濃度に比例する信号を得ている。第二の電気化
学的セル（20,22,24）の基準雰囲気は、被測定ガスであ
って、主として、残留酸素の残るリーン排ガス中でのNO
x濃度測定に用いられる。
素分圧測定手段として、第二の電気化学的セル（20,22,
24）を用い、第三の電極22と第四の電極24との間の濃淡
起電力を測定しているのである。そして、この起電力
を、第一の基準電圧（VR1:80mV）、第二の基準電圧（V
R2:500mV）と交互に比較し、このとき電流供給手段（3
2）から流される電流をそれぞれ、第一の電流、第二の
電流として、電流測定手段14により測定し、両者の差に
よりNOx濃度に比例する信号を得ている。第二の電気化
学的セル（20,22,24）の基準雰囲気は、被測定ガスであ
って、主として、残留酸素の残るリーン排ガス中でのNO
x濃度測定に用いられる。
さらに、第３図に示される本発明装置の他の構造にお
いては、電気化学的セル（2,4,6）を酸素ポンプセル或
いは酸素センサセルとして交互に使用することが出来る
ように、切換えスイッチ38が設けられ、そしてそれが酸
素センサセルとして使用された場合における第一の電極
４近傍雰囲気の酸素分圧値（起電力）がサンプルホール
ド部40にて所定時間保持されるようになっている。な
お、第一の電極４は、Pt、Rhなどの白金族金属とジルコ
ニア等のセラミックスより主として構成されており、こ
れによって電極自身がNOx分解触媒を兼ねるようになっ
ている。
いては、電気化学的セル（2,4,6）を酸素ポンプセル或
いは酸素センサセルとして交互に使用することが出来る
ように、切換えスイッチ38が設けられ、そしてそれが酸
素センサセルとして使用された場合における第一の電極
４近傍雰囲気の酸素分圧値（起電力）がサンプルホール
ド部40にて所定時間保持されるようになっている。な
お、第一の電極４は、Pt、Rhなどの白金族金属とジルコ
ニア等のセラミックスより主として構成されており、こ
れによって電極自身がNOx分解触媒を兼ねるようになっ
ている。
従って、かかる第３図の装置において、一つの電気化
学的セル（2,4,6）をポンセルとセンサセルに切り換え
て使う際、先ず、スイッチ38をサンプルホールド側に切
り換えて濃淡起電力を測定し、この値をサンプルホール
ドにて記録する。次に、スイッチ38を電流供給手段側に
切り換えて、このサンプルホールド値に基づき電流供給
手段32からポンプ電流を流すのである。起電力のサンプ
ルホールド値は、第一及び第二の基準電圧（VR1,VR2）
と比較され、このとき流れる電流が、それぞれ第一及び
第二の電流となる。両者の差を採ることにより、NOx濃
度に比例した出力信号を得ることが出来る。
学的セル（2,4,6）をポンセルとセンサセルに切り換え
て使う際、先ず、スイッチ38をサンプルホールド側に切
り換えて濃淡起電力を測定し、この値をサンプルホール
ドにて記録する。次に、スイッチ38を電流供給手段側に
切り換えて、このサンプルホールド値に基づき電流供給
手段32からポンプ電流を流すのである。起電力のサンプ
ルホールド値は、第一及び第二の基準電圧（VR1,VR2）
と比較され、このとき流れる電流が、それぞれ第一及び
第二の電流となる。両者の差を採ることにより、NOx濃
度に比例した出力信号を得ることが出来る。
（実験例） 第４図に示した本発明のNOx濃度測定装置を用いて、
プロパン燃焼排ガス中のポンプ電流（Ip）とセンサ起電
力（Vs）との関係を測定したものが第５図である。
プロパン燃焼排ガス中のポンプ電流（Ip）とセンサ起電
力（Vs）との関係を測定したものが第５図である。
なお、かかる第４図において、42は第一の電気化学的
セル（2,4,6）と第二の電気化学的セル（20,22,24）を
電気的に絶縁する絶縁層であり、またそれら二つの電気
化学的セルを有効な作動温度に加熱せしめるために、ヒ
ータ44がヒータ絶縁層（セラミックス層）46内に埋設さ
れた状態において一体的に設けられ、ヒータ電源48から
の給電によって各電気化学的セルが所望の温度に加熱さ
れるようになっている。さらに、第一の電極４、第三の
電極22は、第３図の例と同様にNOx分解触媒を兼ねる構
成とされる一方、第四の電極24は大気に連通せしめられ
る空気通路50内に配置されて、基準ガスとしての空気に
接触せしめられるようになっている。そして、ここで
は、ヒータ電源48からの直流電圧12Vをヒータ44に印加
し、素子温度が800℃となるようにした。
セル（2,4,6）と第二の電気化学的セル（20,22,24）を
電気的に絶縁する絶縁層であり、またそれら二つの電気
化学的セルを有効な作動温度に加熱せしめるために、ヒ
ータ44がヒータ絶縁層（セラミックス層）46内に埋設さ
れた状態において一体的に設けられ、ヒータ電源48から
の給電によって各電気化学的セルが所望の温度に加熱さ
れるようになっている。さらに、第一の電極４、第三の
電極22は、第３図の例と同様にNOx分解触媒を兼ねる構
成とされる一方、第四の電極24は大気に連通せしめられ
る空気通路50内に配置されて、基準ガスとしての空気に
接触せしめられるようになっている。そして、ここで
は、ヒータ電源48からの直流電圧12Vをヒータ44に印加
し、素子温度が800℃となるようにした。
第５図（ａ）は、λ＝1.30のリーン排ガス及びλ＝0.
85のリッチ排ガスにおいて、それぞれ、１％の酸素ガス
をプロパン燃焼排ガスとは別に添加したときの特性を示
したものである。酸素ガス添加量０％の特性曲線と添加
量１％の特性曲線は、Vs、即ち第一及び第三の電極が露
呈する内部空間26内の酸素分圧の、略全領域において重
なることがなく、常に酸素ガス添加量に相当するポンプ
電流の差異があるのである。
85のリッチ排ガスにおいて、それぞれ、１％の酸素ガス
をプロパン燃焼排ガスとは別に添加したときの特性を示
したものである。酸素ガス添加量０％の特性曲線と添加
量１％の特性曲線は、Vs、即ち第一及び第三の電極が露
呈する内部空間26内の酸素分圧の、略全領域において重
なることがなく、常に酸素ガス添加量に相当するポンプ
電流の差異があるのである。
一方、第５図（ｂ）は、λ＝1.30のリーン排ガス及び
λ＝0.85のリッチ排ガスにおいて、それぞれ、２％のNO
ガスを排ガスとは別に添加したときの特性を示したもの
である。NOガスが分解されたとき発生する酸素ガス量
は、NOガスの1/2であるため、添加量を２倍とした。こ
の第５図（ｂ）より明らかなように、NOガス添加量０％
の特性曲線と添加量２％の特性曲線は、所定の酸素分圧
（Vs＝100mVに相当）以下では、酸素ガス添加の場合と
同様、NOガス添加量に相当するポンプ電流の差異がある
が、該酸素分圧以上では、両者が略重なり、排ガス中の
NOガス添加量に依存しない特性となっている。
λ＝0.85のリッチ排ガスにおいて、それぞれ、２％のNO
ガスを排ガスとは別に添加したときの特性を示したもの
である。NOガスが分解されたとき発生する酸素ガス量
は、NOガスの1/2であるため、添加量を２倍とした。こ
の第５図（ｂ）より明らかなように、NOガス添加量０％
の特性曲線と添加量２％の特性曲線は、所定の酸素分圧
（Vs＝100mVに相当）以下では、酸素ガス添加の場合と
同様、NOガス添加量に相当するポンプ電流の差異がある
が、該酸素分圧以上では、両者が略重なり、排ガス中の
NOガス添加量に依存しない特性となっている。
このことは、白金／ジルコニアよりなる触媒、この例
では、第一及び第三の電極（4,22）のNOガス分解能力
が、これら電極の露呈する内部空間26中の酸素分圧によ
って左右されることを示している。即ち、Vs＜100mVで
は、NOガスの分解はなく、Vs≧100mVでは、NOガスが分
解されてポンプ電流値にNOガス濃度依存性が生ずるので
ある。そして、第６図に、Vs＝400mVのときのポンプ電
流（Ip2）から、Vs＝100mVのときのポンプ電流（Ip1）
及び常数Ａを差し引いた演算量の酸素ガス及びNOガス依
存性を示した。ここで、常数Ａは、内部空間中の酸素分
圧が、変化したときポンプ電流分布の変化等によって生
じた酸素の拡散量の違いに相当する補正値である。この
演算量は、酸素ガス添加量に対してはほとんど変化しな
いが、NOガス添加量に対して直線的に増加している。即
ち、内部空間26中の酸素分圧が、NOxガス分解分圧より
低い酸素分圧のとき測ったポンプ電流（Ip2）とNOxガス
分解分圧より高い酸素分圧のとき測ったポンプ電流（I
p1）との差（演算量）から被測定ガス中のNOx濃度を測
定可能なことが明らかとなった。
では、第一及び第三の電極（4,22）のNOガス分解能力
が、これら電極の露呈する内部空間26中の酸素分圧によ
って左右されることを示している。即ち、Vs＜100mVで
は、NOガスの分解はなく、Vs≧100mVでは、NOガスが分
解されてポンプ電流値にNOガス濃度依存性が生ずるので
ある。そして、第６図に、Vs＝400mVのときのポンプ電
流（Ip2）から、Vs＝100mVのときのポンプ電流（Ip1）
及び常数Ａを差し引いた演算量の酸素ガス及びNOガス依
存性を示した。ここで、常数Ａは、内部空間中の酸素分
圧が、変化したときポンプ電流分布の変化等によって生
じた酸素の拡散量の違いに相当する補正値である。この
演算量は、酸素ガス添加量に対してはほとんど変化しな
いが、NOガス添加量に対して直線的に増加している。即
ち、内部空間26中の酸素分圧が、NOxガス分解分圧より
低い酸素分圧のとき測ったポンプ電流（Ip2）とNOxガス
分解分圧より高い酸素分圧のとき測ったポンプ電流（I
p1）との差（演算量）から被測定ガス中のNOx濃度を測
定可能なことが明らかとなった。
また、第７図に示される如く、A,B二つの電気化学的
セルを一体的に形成した。前記各例と同様な部分には同
一番号を付し、且つ各電気化学的セル毎に番号の後にA,
Bを付して、詳細な説明を省略する。そして、それぞれ
の第一の電極（4A,4B）の露呈する内部空間26A,26Bをほ
ぼ同じ酸素分圧にして、流れるポンプ電流IA,IBを測定
し、1pA−ａ×IpBにより、NOx濃度に比例した出力信号
を得る。ａは、電気化学的セルA,Bの拡散律速手段28A,2
8Bの拡散抵抗値のばらつき補正係数である。第一の電極
として、セルＡは、Pt−Phの薄膜電極4A、セルＢは、金
の薄膜電極4Bを用いた。両者は、スパッタ法により形成
し、その後に拡散律速手段28A,28Bを有する気密質セラ
ミックス体52と固体電解質２をガラス接着した。セルＡ
の第一の電極4Aは、触媒を兼ねる。また、セルA,Bに
は、直流電源16A,16Bからそれぞれ0.7Vの定電圧を印加
し、共に内部空間26A,26B内の酸素分圧を低くして測定
する。
セルを一体的に形成した。前記各例と同様な部分には同
一番号を付し、且つ各電気化学的セル毎に番号の後にA,
Bを付して、詳細な説明を省略する。そして、それぞれ
の第一の電極（4A,4B）の露呈する内部空間26A,26Bをほ
ぼ同じ酸素分圧にして、流れるポンプ電流IA,IBを測定
し、1pA−ａ×IpBにより、NOx濃度に比例した出力信号
を得る。ａは、電気化学的セルA,Bの拡散律速手段28A,2
8Bの拡散抵抗値のばらつき補正係数である。第一の電極
として、セルＡは、Pt−Phの薄膜電極4A、セルＢは、金
の薄膜電極4Bを用いた。両者は、スパッタ法により形成
し、その後に拡散律速手段28A,28Bを有する気密質セラ
ミックス体52と固体電解質２をガラス接着した。セルＡ
の第一の電極4Aは、触媒を兼ねる。また、セルA,Bに
は、直流電源16A,16Bからそれぞれ0.7Vの定電圧を印加
し、共に内部空間26A,26B内の酸素分圧を低くして測定
する。
第１図は本発明の概念的な構成を示す説明図（素子部分
は断面図）であり、第２図乃至第４図は、それぞれ、本
発明装置の異なる一例を示す説明図（但し、素子部分は
断面図にて示されている）であり、第５図（ａ）及び
（ｂ）は、それぞれ、酸素ガス添加の場合とNOガス添加
の場合における酸素分圧−ポンプ電流特性曲線図であ
り、第６図は、第５図（ａ），（ｂ）における特性曲線
に基づいて得られた演算値の酸素ガス添加量及びNOガス
添加量の依存性を示すグラフであり、第７図は、本発明
装置の他の例を示す第２図に対応する図である。 2:固体電解質（第一）、4:第一の電極 6:第二の電極、8:NOx分解触媒層 10:多孔質セラミック層 12:電圧測定手段、14:電流測定手段 16:電流供給手段、18:演算手段 20:第二の固体電解質 22:第三の電極、24:第四の電極 26:内部空間、28:オリフィス 30:NOx分解触媒、32:比較電源 34:切換えスイッチ、36:電流制御手段 38:切換えスイッチ 40:サンプルホールド部 42:絶縁層、44:ヒータ 46:ヒータ絶縁層、48:ヒータ電源 50:空気通路 52:気密質セラミックス体
は断面図）であり、第２図乃至第４図は、それぞれ、本
発明装置の異なる一例を示す説明図（但し、素子部分は
断面図にて示されている）であり、第５図（ａ）及び
（ｂ）は、それぞれ、酸素ガス添加の場合とNOガス添加
の場合における酸素分圧−ポンプ電流特性曲線図であ
り、第６図は、第５図（ａ），（ｂ）における特性曲線
に基づいて得られた演算値の酸素ガス添加量及びNOガス
添加量の依存性を示すグラフであり、第７図は、本発明
装置の他の例を示す第２図に対応する図である。 2:固体電解質（第一）、4:第一の電極 6:第二の電極、8:NOx分解触媒層 10:多孔質セラミック層 12:電圧測定手段、14:電流測定手段 16:電流供給手段、18:演算手段 20:第二の固体電解質 22:第三の電極、24:第四の電極 26:内部空間、28:オリフィス 30:NOx分解触媒、32:比較電源 34:切換えスイッチ、36:電流制御手段 38:切換えスイッチ 40:サンプルホールド部 42:絶縁層、44:ヒータ 46:ヒータ絶縁層、48:ヒータ電源 50:空気通路 52:気密質セラミックス体
Claims (3)
- 【請求項１】酸素イオン伝導性の固体電解質とこれに接
して設けられた少なくとも２つの電極よりなる電気化学
的セルと； 該電気化学的セルの第一の電極を所定のガス拡散抵抗の
下で被測定ガス存在空間に連通せしめる拡散律速手段
と； 該電気化学的セルの第一の電極に近接して設けられた、
NOxを分解するための触媒と； 該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に電
流を流す電流供給手段と； 該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に流
れる電流を測定する電流測定手段と； 該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸素分圧を測定す
る酸素分圧測定手段と； 該酸素分圧測定手段によって測定された酸素分圧が前記
触媒によるNOxの分解を生じさせない高い酸素分圧であ
るとき、前記電流測定手段によって測定された第一の電
流と、該酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさ
せる低い酸素分圧であるとき、前記電流測定手段によっ
て測定された第二の電流とに基づいて、前記被測定ガス
中のNOx濃度を計算する演算手段と； を有することを特徴とするガス中のNOx濃度測定装置。 - 【請求項２】酸素イオン伝導性の固体電解質とこれに接
して設けられた少なくとも２つの電極よりなる電気化学
的セルと； 該電気化学的セルの第一の電極を所定のガス拡散抵抗の
下で被測定ガス存在空間に連通せしめる拡散律速手段
と； 該電気化学的セルの第一の電極に近接して設けられた、
NOxを分解するための触媒と； 該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に電
流を流す電流供給手段と； 該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に流
れる電流を測定する電流測定手段と； 該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸素分圧を測定す
る酸素分圧測定手段と； をそれぞれA,Bに二組有し、 更に、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって測定され
た酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせない
高い酸素分圧であるとき、前記Ａの組の電流測定手段に
よって測定された第一の電流と、前記Ｂの組の酸素分圧
測定手段によって測定された酸素分圧が前記触媒による
NOxの分解を生じさせる低い酸素分圧であるとき、前記
Ｂの組の電流測定手段によって測定された第二の電流と
に基づいて、前記被測定ガス中のNOx濃度を演算する演
算手段を、有することを特徴とするガス中のNOx濃度測
定装置。 - 【請求項３】酸素イオン伝導性の固体電解質とこれに接
して設けられた少なくとも２つの電極よりなる電気化学
的セルと； 該電気化学的セルの第一の電極を所定のガス拡散抵抗の
下で被測定ガス存在空間に連通せしめる拡散律速手段
と； 該電気化学的セルの第一の電極に近接して設けられた、
NOxを分解するための触媒と； 該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に電
流を流す電流供給手段と； 該電気化学的セルの第一の電極と第二の電極との間に流
れる電流を測定する電流測定手段と； 該電気化学的セルの第一の電極近傍の酸素分圧を測定す
る酸素分圧測定手段と； をそれぞれA,Bの二組有し、 更に、前記Ａの組の酸素分圧測定手段によって測定され
た酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせない
高い酸素分圧であるとき、前記Ａの組の電流測定手段に
よって測定された第一の電流、かかる酸素分圧が前記触
媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧であると
き、前記Ａの組の電流測定手段によって測定された第二
の電流、前記Ｂの組の酸素分圧測定手段によって測定さ
れた酸素分圧が前記触媒によるNOxの分解を生じさせな
い高い酸素分圧であるとき、前記Ｂの組の電流測定手段
によって測定された第三の電流、及びかかる酸素分圧が
前記触媒によるNOxの分解を生じさせる低い酸素分圧で
あるとき、前記Ｂの組の電流測定手段によって測定され
た第四の電流のうち、第一，第二及び第三の電流を演算
する、若しくは第一，第二及び第四の電流を演算する演
算手段を、有することを特徴とするガス中のNOx濃度測
定装置。
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5034112A (en) * | 1988-05-19 | 1991-07-23 | Nissan Motor Company, Ltd. | Device for measuring concentration of nitrogen oxide in combustion gas |
| JPH034157A (ja) * | 1989-06-01 | 1991-01-10 | Nissan Motor Co Ltd | 窒素酸化物濃度の計測装置 |
| JPH03195962A (ja) * | 1989-12-26 | 1991-08-27 | Zexel Corp | 窒素酸化物濃度測定装置 |
| US5389340A (en) * | 1989-12-28 | 1995-02-14 | Tokuyama Corporation | Module and device for detecting NOX gas |
| JPH03264858A (ja) * | 1990-02-13 | 1991-11-26 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 酸素センサと酸素濃度検出装置 |
| DE4225775C2 (de) * | 1992-08-04 | 2002-09-19 | Heraeus Electro Nite Int | Anordnung zum kontinuierlichen Überwachen der Konzentration von NO in Gasgemischen |
| DE4311849C2 (de) * | 1992-12-23 | 2003-04-24 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zur Bestimmung von Gaskomponenten und/oder Gaskonzentrationen von Gasgemischen |
| DE4311985C2 (de) * | 1993-04-07 | 1996-02-08 | Mannesmann Ag | Festelektrolyt-Sensor |
| DE4311851A1 (de) * | 1993-04-10 | 1994-10-13 | Bosch Gmbh Robert | Sensoranordnung zur Bestimmung von Gaskomponenten und/oder von Gaskonzentrationen von Gasgemischen |
| DE4334672C2 (de) * | 1993-10-12 | 1996-01-11 | Bosch Gmbh Robert | Sensor zum Nachweis von Stickoxid |
| US5428307A (en) * | 1993-10-20 | 1995-06-27 | Silicon Systems, Inc. | Closed-loop peak detector topology |
| SE513477C2 (sv) * | 1993-11-08 | 2000-09-18 | Volvo Ab | Sensor för detektering av kväveoxidföreningar |
| US5397442A (en) * | 1994-03-09 | 1995-03-14 | Gas Research Institute | Sensor and method for accurately measuring concentrations of oxide compounds in gas mixtures |
| JP2885336B2 (ja) | 1994-04-21 | 1999-04-19 | 日本碍子株式会社 | 被測定ガス中のＮＯｘ濃度の測定方法及び測定装置 |
| US5672811A (en) * | 1994-04-21 | 1997-09-30 | Ngk Insulators, Ltd. | Method of measuring a gas component and sensing device for measuring the gas component |
| GB2288874A (en) * | 1994-04-28 | 1995-11-01 | Univ Middlesex Serv Ltd | Reducing gas analysis apparatus |
| DE19539357B4 (de) * | 1994-10-24 | 2011-09-15 | Denso Corporation | Luft-Brennstoffverhältnis-Erfassungseinrichtung |
| DE4439901C2 (de) * | 1994-11-08 | 1998-01-15 | Bosch Gmbh Robert | Elektrochemischer Meßfühler zur Bestimmung von Stickoxiden in Gasgemischen |
| US5879526A (en) * | 1994-11-08 | 1999-03-09 | Robert Bosch Gmbh | Electrochemical measuring sensor for determining nitrogen oxides in gas mixtures |
| SE512866C2 (sv) * | 1995-02-21 | 2000-05-29 | Volvo Ab | Anordning för analys av avgaser |
| JP3524980B2 (ja) * | 1995-03-10 | 2004-05-10 | 株式会社リケン | 窒素酸化物センサ |
| JPH08278272A (ja) * | 1995-04-10 | 1996-10-22 | Ngk Insulators Ltd | ＮＯｘセンサ |
| US5554269A (en) * | 1995-04-11 | 1996-09-10 | Gas Research Institute | Nox sensor using electrochemical reactions and differential pulse voltammetry (DPV) |
| GB9510454D0 (en) * | 1995-05-24 | 1995-07-19 | City Tech | Electrochemical gas sensor assembly |
| US5948964A (en) * | 1995-10-20 | 1999-09-07 | Ngk Insulators, Ltd. | NOx sensor and method of measuring NOx |
| JP3272215B2 (ja) | 1995-10-20 | 2002-04-08 | 日本碍子株式会社 | ＮＯｘセンサ及びＮＯｘ測定方法 |
| JP3050781B2 (ja) * | 1995-10-20 | 2000-06-12 | 日本碍子株式会社 | 被測定ガス中の所定ガス成分の測定方法及び測定装置 |
| JP3623065B2 (ja) * | 1996-02-23 | 2005-02-23 | 日本碍子株式会社 | 窒素酸化物センサ |
| JP3671100B2 (ja) * | 1996-02-23 | 2005-07-13 | 日本碍子株式会社 | 酸化物センサ |
| JP3647181B2 (ja) * | 1996-02-23 | 2005-05-11 | 日本碍子株式会社 | 窒素酸化物の測定方法 |
| JP3619344B2 (ja) * | 1996-02-23 | 2005-02-09 | 日本碍子株式会社 | 窒素酸化物の測定装置 |
| JP3537983B2 (ja) * | 1996-03-21 | 2004-06-14 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
| JP3488591B2 (ja) * | 1996-03-28 | 2004-01-19 | 日本碍子株式会社 | 酸化物センサ |
| JP3128114B2 (ja) * | 1996-04-08 | 2001-01-29 | 株式会社リケン | 窒素酸化物検出装置 |
| JP3537628B2 (ja) | 1996-05-16 | 2004-06-14 | 日本碍子株式会社 | 窒素酸化物の測定方法 |
| JP3563399B2 (ja) * | 1996-05-30 | 2004-09-08 | 日本碍子株式会社 | ガス分析計 |
| JP3470012B2 (ja) * | 1996-05-30 | 2003-11-25 | 日本碍子株式会社 | ガス分析計及びその校正方法 |
| JP3293741B2 (ja) * | 1996-06-06 | 2002-06-17 | 株式会社リケン | ＮＯｘセンサ |
| JPH1068346A (ja) * | 1996-06-21 | 1998-03-10 | Ngk Insulators Ltd | エンジン排ガス系の制御法 |
| JP3692182B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2005-09-07 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ、ガスセンサの制御方法及びガス濃度制御器 |
| JP3692183B2 (ja) * | 1996-06-28 | 2005-09-07 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ及びガス濃度制御器 |
| JP4087914B2 (ja) * | 1996-07-25 | 2008-05-21 | 日本碍子株式会社 | 脱硝システム及び脱硝方法 |
| US5689059A (en) * | 1996-08-14 | 1997-11-18 | Motorola, Inc. | Selective gas sensor |
| EP0862056B1 (en) * | 1996-09-17 | 2006-02-22 | Kabushiki Kaisha Riken | Gas sensor |
| JP3544437B2 (ja) * | 1996-09-19 | 2004-07-21 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
| JP3863974B2 (ja) * | 1996-10-31 | 2006-12-27 | 株式会社日本自動車部品総合研究所 | ガス検出装置 |
| US6214208B1 (en) | 1996-12-02 | 2001-04-10 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring NOx gas concentration |
| US6695964B1 (en) | 1996-12-02 | 2004-02-24 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Method and apparatus for measuring NOx gas concentration |
| JP3796333B2 (ja) * | 1996-12-20 | 2006-07-12 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
| EP0878709B1 (en) | 1997-03-21 | 2004-08-25 | NGK Spark Plug Co. Ltd. | Method and apparatus for measuring NOx gas concentration |
| US6303011B1 (en) * | 1997-06-23 | 2001-10-16 | Kabushiki Kaisha Riken | Gas sensor |
| JPH1114589A (ja) * | 1997-06-23 | 1999-01-22 | Ngk Insulators Ltd | ガスセンサ |
| JPH1137972A (ja) * | 1997-07-14 | 1999-02-12 | Ngk Insulators Ltd | ガスセンサ |
| US6290829B1 (en) | 1997-07-14 | 2001-09-18 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas sensor |
| US6254750B1 (en) * | 1997-07-29 | 2001-07-03 | Ecm Engine Control And Monitoring | Exhaust emission sensors |
| US6026639A (en) | 1997-11-03 | 2000-02-22 | Engelhard Corporation | Apparatus and method for diagnosis of catalyst performance |
| JP3878339B2 (ja) * | 1997-11-14 | 2007-02-07 | 株式会社リケン | 窒素酸化物センサ |
| AU1282199A (en) | 1997-11-14 | 1999-06-07 | Engelhard Corporation | Vehicular on-board monitoring system sensing combined hc/nox emissions for catalytic converter evaluation |
| US6071476A (en) * | 1997-11-14 | 2000-06-06 | Motorola, Inc. | Exhaust gas sensor |
| US5989398A (en) * | 1997-11-14 | 1999-11-23 | Motorola, Inc. | Calorimetric hydrocarbon gas sensor |
| US6015533A (en) * | 1997-11-14 | 2000-01-18 | Motorola Inc. | Sensor housing for a calorimetric gas sensor |
| JP3701114B2 (ja) * | 1997-12-22 | 2005-09-28 | 日本碍子株式会社 | ＮＯｘ分解電極の酸化防止方法 |
| GB9809653D0 (en) * | 1998-05-06 | 1998-07-01 | Secr Defence Brit | Gas sensing assembly |
| US6274016B1 (en) * | 1998-06-29 | 2001-08-14 | Kabushiki Kaisha Riken | Nitrogen oxide gas sensor |
| DE19830829C1 (de) * | 1998-07-09 | 1999-04-08 | Siemens Ag | Verfahren zur Regeneration eines NOx-Speicherkatalysators |
| JP4005273B2 (ja) * | 1998-09-16 | 2007-11-07 | 株式会社デンソー | ガス濃度検出装置 |
| US6401522B1 (en) | 1999-09-22 | 2002-06-11 | Ngk Insulators, Ltd. | Gas analyzer and method of calibrating the same |
| US6360159B1 (en) | 2000-06-07 | 2002-03-19 | Cummins, Inc. | Emission control in an automotive engine |
| US20020029980A1 (en) * | 2000-08-04 | 2002-03-14 | Ngk Insulators, Ltd. | Trace oxygen measuring apparatus and measuring method |
| US6616820B2 (en) | 2000-12-15 | 2003-09-09 | Delphi Technologies, Inc. | Exhaust species sensing method and device |
| JP4344486B2 (ja) | 2001-03-09 | 2009-10-14 | 日本碍子株式会社 | ガスセンサ |
| US6581571B2 (en) | 2001-06-12 | 2003-06-24 | Deere & Company | Engine control to reduce emissions variability |
| US6598596B2 (en) | 2001-09-28 | 2003-07-29 | University Of Florida | Solid state potentiometric gaseous oxide sensor |
| DE10152176A1 (de) * | 2001-10-23 | 2003-04-30 | Bosch Gmbh Robert | Sensorelement und Verfahren zur Bestimmung von Gaskomponenten |
| EP1661514B1 (en) * | 2002-09-16 | 2008-07-23 | Aerocrine Ab | Apparatus and method for diagnostic gas analysis |
| DE10316645A1 (de) * | 2003-04-11 | 2004-10-28 | Robert Bosch Gmbh | Vorrichtung zum Betreiben eines Gassensors |
| US20080017510A1 (en) * | 2004-05-26 | 2008-01-24 | Nair Balakrishnan G | NOx Gas Sensor Method and Device |
| US7442555B2 (en) * | 2004-12-28 | 2008-10-28 | Nair Balakrishnan G | Ammonia gas sensor method and device |
| US20090065370A1 (en) * | 2004-12-28 | 2009-03-12 | Nair Balakrishnan G | Ammonia gas sensor method and device |
| US20060231422A1 (en) * | 2005-04-14 | 2006-10-19 | Honeywell International Inc. | Switched gas sensor |
| US7611612B2 (en) * | 2005-07-14 | 2009-11-03 | Ceramatec, Inc. | Multilayer ceramic NOx gas sensor device |
| US7820028B2 (en) * | 2005-09-02 | 2010-10-26 | Honeywell International Inc. | Oxides of nitrogen gas sensors and methods |
| US7294252B2 (en) * | 2005-10-07 | 2007-11-13 | Delphi Technologies, Inc. | NOx sensor and methods of using the same |
| US20070289870A1 (en) * | 2006-06-14 | 2007-12-20 | Nair Balakrishnan G | Ammonia Gas Sensor With Dissimilar Electrodes |
| JP2010519514A (ja) * | 2007-02-16 | 2010-06-03 | セラマテック・インク | 選択性および検出感度の改善されたＮＯｘセンサー |
| US20080230385A1 (en) * | 2007-03-22 | 2008-09-25 | Lankheet Earl W | NOx SENSING SYSTEM HAVING NOx SENSOR AND METHOD FOR DETERMINING A NOx CONCENTRATION UTILIZING THE NOx SENSOR |
| US7652479B2 (en) * | 2007-08-06 | 2010-01-26 | Scribner Associates, Inc. | Electrolyte measurement device and measurement procedure |
| US8103458B2 (en) * | 2008-12-18 | 2012-01-24 | Delphi Technologies, Inc. | Exhaust gas sensing system and method for determining concentrations of exhaust gas constituents |
| US8051700B2 (en) * | 2008-09-29 | 2011-11-08 | Delphi Technologies, Inc. | Exhaust gas sensor and method for determining concentrations of exhaust gas constituents |
| KR101052617B1 (ko) * | 2008-09-30 | 2011-07-29 | 주식회사 시오스 | 질소산화물 가스센서 |
| DE102011085841A1 (de) * | 2011-11-07 | 2013-05-08 | Endress + Hauser Conducta Gesellschaft für Mess- und Regeltechnik mbH + Co. KG | Verfahren zur Bestimmung und/oder Überwachung zumindest einer Prozessgröße eines Mediums, elektrochemischer Sensor und System |
| US9164080B2 (en) | 2012-06-11 | 2015-10-20 | Ohio State Innovation Foundation | System and method for sensing NO |
| CN103884758B (zh) * | 2012-12-24 | 2016-04-13 | 中国科学院上海硅酸盐研究所 | 制备氧化锆基NOx传感器的方法 |
| US9719957B2 (en) * | 2013-01-08 | 2017-08-01 | Ngk Spark Plug Co., Ltd. | Gas sensor element and gas sensor |
| DE102014214368A1 (de) * | 2014-07-23 | 2016-01-28 | Siemens Aktiengesellschaft | Gassensor zur Detektion von NO und/oder NO2 und Betriebsverfahren für einen solchen Gassensor |
| EP3705880A1 (en) * | 2016-03-24 | 2020-09-09 | Kerdea Technologies, Inc. | Resistive based nox sensing method and apparatus |
| DE102019209456B3 (de) * | 2019-06-28 | 2020-06-18 | Vitesco Technologies GmbH | Verfahren zum signal-optimierten Betreiben eines NOx/NH3-Abgassensors für eine Brennkraftmaschine |
| DE102021001401A1 (de) * | 2020-03-19 | 2021-09-23 | Ngk Insulators, Ltd. | Gassensor |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4772376A (en) * | 1986-03-11 | 1988-09-20 | Nissan Motor Co., Ltd. | Air/fuel ratio sensor having oxygen sensor cell and oxygen pump cell |
| JPH0730067B2 (ja) * | 1986-03-28 | 1995-04-05 | ダイセル化学工業株式会社 | γ−ピロン誘導体の製造法 |
| JPH0672861B2 (ja) * | 1986-08-04 | 1994-09-14 | 日本碍子株式会社 | ＮＯｘセンサ |
| JPH0820410B2 (ja) * | 1988-02-19 | 1996-03-04 | 日産自動車株式会社 | 窒素酸化物濃度の計測装置 |
-
1988
- 1988-04-30 JP JP63108049A patent/JP2636883B2/ja not_active Expired - Fee Related
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- 1989-04-27 US US07/343,682 patent/US4927517A/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Publication date |
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| US4927517A (en) | 1990-05-22 |
| JPH01277751A (ja) | 1989-11-08 |
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