JP2023126680A5 - 半導体装置 - Google Patents
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- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 claims 1
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 claims 1
Claims (5)
- 第1乃至第7のトランジスタを有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、出力信号配線と常に導通し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、クロック信号線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、電源線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記出力信号配線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのゲートは、信号線と常に導通し、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方は、配線と常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記配線と常に導通し、
前記電源線が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記電源線の電位が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方の電位が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第3のトランジスタは、マルチゲート型のトランジスタ構造であり、
前記第4のトランジスタは、シングルゲート型のトランジスタ構造である半導体装置。 - 第1乃至第9のトランジスタを有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第1の出力信号配線と常に導通し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、クロック信号線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、電源線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第1の出力信号配線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのゲートは、信号線と常に導通し、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方は、配線と常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記配線と常に導通し、
前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第2の出力信号配線と常に導通し、
前記第8のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記クロック信号線と常に導通し、
前記第8のトランジスタのゲートは、前記第1のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第9のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2の出力信号配線と常に導通し、
前記電源線が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記電源線の電位が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方の電位が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方が少なくとも前記第9のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第2の出力信号配線と導通状態であるとき、前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方の電位が少なくとも前記第9のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第2の出力信号配線に入力され、
前記第3のトランジスタは、マルチゲート型のトランジスタ構造であり、
前記第4のトランジスタは、シングルゲート型のトランジスタ構造である半導体装置。 - 第1乃至第7のトランジスタを有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、出力信号配線と常に導通し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、クロック信号線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、電源線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記出力信号配線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのゲートは、信号線と常に導通し、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方は、配線と常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記配線と常に導通し、
前記電源線が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記電源線の電位が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方の電位が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第3のトランジスタは、マルチゲート型のトランジスタ構造であり、
前記第4のトランジスタは、シングルゲート型のトランジスタ構造であり、
前記第1乃至第7のトランジスタの少なくとも一は、
ゲート電極として機能する領域を有する第1の導電層と、
前記第1の導電層上のゲート絶縁膜として機能する領域を有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上のチャネル形成領域として機能する領域を有する酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層上のソース電極として機能する領域を有する第2の導電層と、
前記酸化物半導体層上のドレイン電極として機能する領域を有する第3の導電層と、
前記酸化物半導体層上、前記第2の導電層上及び前記第3の導電層上の第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層上の第3の絶縁層と、を有し、
前記第1の絶縁層は、窒素と、シリコンと、を有する絶縁膜と、酸素と、シリコンと、を有する絶縁膜とがこの順に積層された積層構造を有し、
前記第2の絶縁層は、酸素と、シリコンと、を有し、
前記第3の絶縁層は、窒素と、シリコンと、を有する半導体装置。 - 第1乃至第9のトランジスタを有し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第1の出力信号配線と常に導通し、
前記第1のトランジスタのソース又はドレインの他方は、クロック信号線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの一方は、電源線と常に導通し、
前記第2のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第1の出力信号配線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第3のトランジスタのゲートは、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記電源線と常に導通し、
前記第4のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第4のトランジスタのゲートは、信号線と常に導通し、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第3のトランジスタのソース又はドレインの他方と常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第6のトランジスタのソース又はドレインの他方は、配線と常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第7のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記配線と常に導通し、
前記第8のトランジスタのソース又はドレインの一方は、第2の出力信号配線と常に導通し、
前記第8のトランジスタのソース又はドレインの他方は、前記クロック信号線と常に導通し、
前記第8のトランジスタのゲートは、前記第1のトランジスタのゲートと常に導通し、
前記第9のトランジスタのソース又はドレインの一方は、前記第2の出力信号配線と常に導通し、
前記電源線が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記電源線の電位が少なくとも前記第3のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートと導通状態であるとき、前記第5のトランジスタのソース又はドレインの他方の電位が少なくとも前記第5のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第1のトランジスタのゲートに入力され、
前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方が少なくとも前記第9のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第2の出力信号配線と導通状態であるとき、前記第9のトランジスタのソース又はドレインの他方の電位が少なくとも前記第9のトランジスタのチャネル形成領域を介して前記第2の出力信号配線に入力され、
前記第3のトランジスタは、マルチゲート型のトランジスタ構造であり、
前記第4のトランジスタは、シングルゲート型のトランジスタ構造であり、
前記第1乃至第9のトランジスタの少なくとも一は、
ゲート電極として機能する領域を有する第1の導電層と、
前記第1の導電層上のゲート絶縁膜として機能する領域を有する第1の絶縁層と、
前記第1の絶縁層上のチャネル形成領域として機能する領域を有する酸化物半導体層と、
前記酸化物半導体層上のソース電極として機能する領域を有する第2の導電層と、
前記酸化物半導体層上のドレイン電極として機能する領域を有する第3の導電層と、
前記酸化物半導体層上、前記第2の導電層上及び前記第3の導電層上の第2の絶縁層と、
前記第2の絶縁層上の第3の絶縁層と、を有し、
前記第1の絶縁層は、窒素と、シリコンと、を有する絶縁膜と、酸素と、シリコンと、を有する絶縁膜とがこの順に積層された積層構造を有し、
前記第2の絶縁層は、酸素と、シリコンと、を有し、
前記第3の絶縁層は、窒素と、シリコンと、を有する半導体装置。 - 請求項3又は請求項4において、
前記酸化物半導体層は、In、Ga及びZnを有する、半導体装置。
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