JP2019051541A - レーザ加工前に光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正するレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
Description
本開示の他の態様は、光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正した上で、ワークをレーザ加工するレーザ加工装置であって、レーザ発振器と、レーザ発振器からレーザ光を導光してワークの表面に集光するための外部光学系と、外部光学系から出射するレーザ光の焦点位置を移動させるための駆動制御部と、レーザ光の光軸に対して垂直に配置されていてレーザ光に対して一定の反射率を有するハーフミラーと、ハーフミラーを透過したレーザ光を除去するレーザ光除去部と、ハーフミラーで反射してレーザ加工装置内に戻る戻り光のエネルギ量を測定する戻り光測定部と、レーザ加工前に外部光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正する加工条件補正部と、を備え、加工条件補正部は、ハーフミラーに向かって予め定めた位置に焦点位置を合わせる指令を駆動制御部に対して行う駆動指令部と、ハーフミラーに向かってレーザ加工に使用する程度に高い出力でレーザ光を出射する指令をレーザ発振器に対して行う高出力指令部と、外部光学系が温められていないレーザ出射開始期間内に戻り光測定部によって測定された第一測定値と、外部光学系が温められた一定時間経過期間内に戻り光測定部によって測定された第二測定値との比較に基づいて、焦点移動量を計算する焦点移動量計算部と、計算した焦点移動量に基づいて、加工条件における焦点位置を補正する焦点位置補正部と、を有する、レーザ加工装置を提供する。
本開示の別の態様は、光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正した上で、ワークをレーザ加工するレーザ加工装置であって、レーザ発振器と、レーザ発振器からレーザ光を導光してワークの表面に集光するための外部光学系と、外部光学系から出射するレーザ光の焦点位置を移動させるための駆動制御部と、レーザ光の光軸に対して垂直に配置されていてレーザ光に対して一定の反射率を有するハーフミラーと、ハーフミラーを透過したレーザ光を除去するレーザ光除去部と、ハーフミラーで反射してレーザ加工装置内に戻る戻り光のエネルギ量を測定する戻り光測定部と、レーザ加工前に外部光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正する加工条件補正部と、を備え、加工条件補正部は、ハーフミラーの表面に焦点位置を合わせる指令を駆動制御部に対して行う第一駆動指令部と、ハーフミラーに向かってレーザ加工に使用する程度に高い出力でレーザ光を出射する指令をレーザ発振器に対して行う第一高出力指令部と、ハーフミラーの表面より上方及び下方に焦点位置を移動する指令を駆動制御部に対して行う第二駆動指令部と、上方及び下方に焦点位置を合わせた状態でレーザ光をそれぞれ出射する指令をレーザ発振器に対して行う第二高出力指令部と、ハーフミラーの表面に焦点位置を合わせた状態で測定された第一測定値と、ハーフミラーの表面より上方及び下方に焦点位置を合わせた状態でそれぞれ測定された複数の第二測定値と、を含むグラフを作成するグラフ作成部と、グラフから焦点位置を計算し、計算した焦点位置とハーフミラーの表面に合わせるように指令した焦点位置との差分に基づいて、焦点移動量を計算する焦点移動量計算部と、計算した焦点移動量に基づいて、加工条件における焦点位置を補正する焦点位置補正部と、を有する、レーザ加工装置を提供する。
2 ウインド
3 反射板
4 戻り光測定部
5 ハーフミラー
10 レーザ加工装置
11 レーザ発振器
12 外部光学系
13 数値制御装置
14 レーザ光除去部
20 駆動制御部
21 加工条件補正部
22 記憶部
30 駆動指令部
31 低出力指令部
32 レーザパワー補正部
40 レーザ加工装置
41 加工条件補正部
42 高出力指令部
43 焦点移動量計算部
44 焦点位置補正部
45 レーザパワー補正部
50 レーザ加工装置
51 加工条件補正部
52 第一駆動指令部
53 第一高出力指令部
54 第二駆動指令部
55 第二高出力指令部
56 グラフ作成部
57 焦点移動量計算部
60 戻り光測定部
70 戻り光測定部
Claims (8)
- 光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正した上で、ワークをレーザ加工するレーザ加工装置であって、
レーザ発振器と、
前記レーザ発振器からレーザ光を導光してワークの表面に集光するための外部光学系と、
前記外部光学系から出射するレーザ光の焦点位置を移動させるための駆動制御部と、
前記レーザ光の光軸に対して垂直に配置されていて前記レーザ光に対して一定の反射率を有する反射板と、
前記反射板で反射して前記レーザ加工装置内に戻る戻り光のエネルギ量を測定する戻り光測定部と、
前記外部光学系が汚染されていない状態で前記反射板に向かって予め定めた位置に焦点位置を合わせて前記反射板を溶融又は変形させない程度に低い予め定めた出力でレーザ光を出射したときの前記戻り光のエネルギ量に基づく基準値を記憶する記憶部と、
レーザ加工前に前記外部光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正する加工条件補正部と、
を備え、
前記加工条件補正部は、
前記反射板に向かって前記予め定めた位置と同じ位置に焦点位置を合わせる指令を前記駆動制御部に対して行う駆動指令部と、
前記反射板に向かって前記予め定めた出力と同じ低い出力でレーザ光を出射する指令を前記レーザ発振器に対して行う低出力指令部と、
前記戻り光測定部によって測定された測定値と前記基準値とに基づいて、前記加工条件におけるレーザパワーを補正するレーザパワー補正部と、
を有することを特徴とするレーザ加工装置。 - 光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正した上で、ワークをレーザ加工するレーザ加工装置であって、
レーザ発振器と、
前記レーザ発振器からレーザ光を導光してワークの表面に集光するための外部光学系と、
前記外部光学系から出射するレーザ光の焦点位置を移動させるための駆動制御部と、
前記レーザ光の光軸に対して垂直に配置されていて前記レーザ光に対して一定の反射率を有するハーフミラーと、
前記ハーフミラーを透過したレーザ光を除去するレーザ光除去部と、
前記ハーフミラーで反射して前記レーザ加工装置内に戻る戻り光のエネルギ量を測定する戻り光測定部と、
レーザ加工前に前記外部光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正する加工条件補正部と、
を備え、
前記加工条件補正部は、
前記ハーフミラーに向かって予め定めた位置に焦点位置を合わせる指令を前記駆動制御部に対して行う駆動指令部と、
前記ハーフミラーに向かってレーザ加工に使用する程度に高い出力でレーザ光を出射する指令を前記レーザ発振器に対して行う高出力指令部と、
前記外部光学系が温められていないレーザ出射開始期間内に前記戻り光測定部によって測定された第一測定値と、前記外部光学系が温められた一定時間経過期間内に前記戻り光測定部によって測定された第二測定値との比較に基づいて、焦点移動量を計算する焦点移動量計算部と、
計算した焦点移動量に基づいて、前記加工条件における焦点位置を補正する焦点位置補正部と、
を有することを特徴とするレーザ加工装置。 - さらに、前記外部光学系が汚染されていない状態で前記ハーフミラーに向かって前記予め定めた位置と同じ位置に焦点位置を合わせてレーザ光を出射したときの前記戻り光のエネルギ量に基づく基準値を記憶する記憶部を備え、
前記加工条件補正部は、さらに、
前記外部光学系が温められていないレーザ出射開始期間内に前記戻り光測定部によって測定された前記第一測定値と前記基準値とに基づいて、前記加工条件におけるレーザパワーを補正するレーザパワー補正部を有する、請求項2に記載のレーザ加工装置。 - 光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正した上で、ワークをレーザ加工するレーザ加工装置であって、
レーザ発振器と、
前記レーザ発振器からレーザ光を導光してワークの表面に集光するための外部光学系と、
前記外部光学系から出射するレーザ光の焦点位置を移動させるための駆動制御部と、
前記レーザ光の光軸に対して垂直に配置されていて前記レーザ光に対して一定の反射率を有するハーフミラーと、
前記ハーフミラーを透過したレーザ光を除去するレーザ光除去部と、
前記ハーフミラーで反射して前記レーザ加工装置内に戻る戻り光のエネルギ量を測定する戻り光測定部と、
レーザ加工前に前記外部光学系の汚染レベルに応じて加工条件を補正する加工条件補正部と、
を備え、
前記加工条件補正部は、
前記ハーフミラーの表面に焦点位置を合わせる指令を前記駆動制御部に対して行う第一駆動指令部と、
前記ハーフミラーに向かってレーザ加工に使用する程度に高い出力でレーザ光を出射する指令を前記レーザ発振器に対して行う第一高出力指令部と、
前記ハーフミラーの表面より上方及び下方に焦点位置を移動する指令を前記駆動制御部に対して行う第二駆動指令部と、
前記上方及び下方に焦点位置を合わせた状態でレーザ光をそれぞれ出射する指令を前記レーザ発振器に対して行う第二高出力指令部と、
前記ハーフミラーの表面に焦点位置を合わせた状態で測定された第一測定値と、前記ハーフミラーの表面より上方及び下方に焦点位置を合わせた状態でそれぞれ測定された複数の第二測定値と、を含むグラフを作成するグラフ作成部と、
前記グラフから焦点位置を計算し、計算した焦点位置と前記ハーフミラーの表面に合わせるように指令した焦点位置との差分に基づいて、焦点移動量を計算する焦点移動量計算部と、
計算した前記焦点移動量に基づいて、前記加工条件における焦点位置を補正する焦点位置補正部と、
を有することを特徴とするレーザ加工装置。 - さらに、前記外部光学系が汚染されていない状態で前記ハーフミラーの表面に焦点位置を合わせてレーザ光を出射したときの前記戻り光のエネルギ量に基づく基準値を記憶する記憶部を備え、
前記加工条件補正部は、さらに、
前記外部光学系が温められていないレーザ出射開始期間内に前記戻り光測定部によって測定された第三測定値と前記基準値とに基づいて、前記加工条件におけるレーザパワーを補正するレーザパワー補正部を有する、請求項4に記載のレーザ加工装置。 - 前記戻り光測定部が外部光学系の内部に配置されている、請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記戻り光測定部が前記レーザ発振器の内部に配置されている、請求項1から5のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
- 前記戻り光測定部の応答速度が20μ秒以下である、請求項1から7のいずれか1項に記載のレーザ加工装置。
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