JP2008147406A - レーザによる集積回路の修正方法および装置 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 17
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 29
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 claims abstract description 22
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 19
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 23
- 239000011241 protective layer Substances 0.000 claims description 17
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 14
- 238000012937 correction Methods 0.000 claims description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 claims description 4
- 230000003111 delayed effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 31
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 9
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 9
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 8
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 8
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 6
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 3
- 239000002360 explosive Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 3
- 238000002834 transmittance Methods 0.000 description 3
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 230000032798 delamination Effects 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 2
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 2
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 2
- 230000035882 stress Effects 0.000 description 2
- 238000009966 trimming Methods 0.000 description 2
- 230000003321 amplification Effects 0.000 description 1
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000007664 blowing Methods 0.000 description 1
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
- 238000013461 design Methods 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 1
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 1
- 238000003698 laser cutting Methods 0.000 description 1
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 description 1
- 238000002161 passivation Methods 0.000 description 1
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 1
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 1
- 230000003252 repetitive effect Effects 0.000 description 1
- 239000002344 surface layer Substances 0.000 description 1
- 230000002194 synthesizing effect Effects 0.000 description 1
- 230000008646 thermal stress Effects 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/52—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames
- H01L23/522—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body
- H01L23/525—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections
- H01L23/5256—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive
- H01L23/5258—Arrangements for conducting electric current within the device in operation from one component to another, i.e. interconnections, e.g. wires, lead frames including external interconnections consisting of a multilayer structure of conductive and insulating layers inseparably formed on the semiconductor body with adaptable interconnections comprising fuses, i.e. connections having their state changed from conductive to non-conductive the change of state resulting from the use of an external beam, e.g. laser beam or ion beam
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
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- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
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- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/0604—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams
- B23K26/0613—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by a combination of beams having a common axis
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/02—Positioning or observing the workpiece, e.g. with respect to the point of impact; Aligning, aiming or focusing the laser beam
- B23K26/06—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing
- B23K26/062—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam
- B23K26/0622—Shaping the laser beam, e.g. by masks or multi-focusing by direct control of the laser beam by shaping pulses
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/08—Devices involving relative movement between laser beam and workpiece
- B23K26/083—Devices involving movement of the workpiece in at least one axial direction
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/36—Removing material
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/26—Bombardment with radiation
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- H01L21/268—Bombardment with radiation with high-energy radiation using electromagnetic radiation, e.g. laser radiation
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- H01L21/77—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate
- H01L21/78—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices
- H01L21/82—Manufacture or treatment of devices consisting of a plurality of solid state components or integrated circuits formed in, or on, a common substrate with subsequent division of the substrate into plural individual devices to produce devices, e.g. integrated circuits, each consisting of a plurality of components
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Abstract
【課題】半導体集積回路内の冗長回路の導電性リンクを切断する方法と装置を提供する。
【解決手段】
半導体基板上に形成された半導体デバイス内に少なくとも導電性リンクを覆う保護層で埋め込まれた複数の導電性リンクを選択的にリンク切断する工程において、目標とするリンクに集光ビームを位置決めし、レーザの波長が400nm以下の短波長の第1のパルスレーザと波長が400nmより長い波長の第2のパルスレーザを発生し、第1と第2のパルスレーザを重畳して保護層の上から、導電性リンクに向けて照射する。第1のパルスレーザより第2のパルスレーザを時間的に遅延させて照射するとなお良い。
【選択図】 図4
【解決手段】
半導体基板上に形成された半導体デバイス内に少なくとも導電性リンクを覆う保護層で埋め込まれた複数の導電性リンクを選択的にリンク切断する工程において、目標とするリンクに集光ビームを位置決めし、レーザの波長が400nm以下の短波長の第1のパルスレーザと波長が400nmより長い波長の第2のパルスレーザを発生し、第1と第2のパルスレーザを重畳して保護層の上から、導電性リンクに向けて照射する。第1のパルスレーザより第2のパルスレーザを時間的に遅延させて照射するとなお良い。
【選択図】 図4
Description
本発明は、半導体基板上に形成される集積回路に関し、特に集積回路がDRAM、SRAMのような論理回路を含み、デバイス内部に含まれる電気的な導電性リンクを周辺の構造部分における損傷発生を防止し、高集積密度で導電性リンク構造を形成し、必要に応じて選択的に導電性リンクをレーザ切断可能にした修正方法と装置を提供する。
電子工業においてDRAM、SRAMなどの微細化は年々進展し、それにつれて内部の回路の光集積化が図られている。構造的に同種の回路が繰り返し形成される行列的配置において冗長回路もその中に組み込まれる。これらの冗長回路は不良回路と導電性リンクの切断作業で半導体集積回路の機能救済に用いられる。この導電リンクの切断にはレーザ集光ビームが用いられ、リンク幅より大きなレーザ集光スポットがリンクをめがけて照射され切断が行われる。この場合、集積回路の内部構造の高密度化により導電性リンクの隣接リンクとの間隔が短くなり、レーザスポットサイズはリンク間隔より小さいことが要求される。
従来は半導体基板であるシリコンには光吸収率が小さく、導電性リンクの材料には吸収率が高いレーザ波長の1.2μmから3μmの赤外線レーザが好んで利用され、基板には損傷が発生しないで、リンクだけを蒸発させる方法が実施されている。しかし、赤外線(IR)のレーザは集光スポットがその波長によって大きくなるため、さらなる微細化が要求される現状に反して、導電性リンクの大きさだけが他の構成素子より大きくせざるを得ない。
そこで、波長の短いレーザが試みられているが問題がある。紫外線(UV)レーザを用いる場合は、表面から加工が進行するため、リンクの上に保護層があると、この保護層を除去してからリンク層を除去するため複数パルスのUVパルスレーザ照射が必要となる(特許文献5)。UVレーザの集光性が優れているのでリンク切断をエッチング法で行う工程に先立ってレジスト層をコーティングして、選択されたリンク層の真上だけにUV集光スポットで露光し、その後現像工程でレジスト除去を行い、その後エッチングをしてリンクを切断する方法(特許文献8)などが検討されている。さらにIRレーザの代わりに波長が半分程度の可視(VIS)レーザを用いることが検討されているが、周辺構造に損傷を引き起こす問題がある。
図1において従来の1実施例を説明すると、シリコンなどの半導体基板1の上に不活性化層2が堆積される、その上に導電性リンク3が電極4を両側に有して設置され、その上に保護用の不活性層5が置かれる。これにIRパルスレーザ6を照射すると図2に示すようにレーザビームの照射された場所の不活性層5と導電性リンク3の部分は蒸発除去加工が実施されて導電性リンクが切断され導電性リンク切断除去部7が形成される。図3は平面図の概要を示し、スポットサイズ10のIRレーザを照射することで半導体基板1には損傷を与えないで導電リンク3を除去加工する場合のビーム位置とリンクの位置関係を示した。
波長が1.2μmから3μmのIRレーザを用いた場合、シリコンに対する透過率が高い波長であるためシリコン基板の損傷は微小である。しかしながら、レーザ集光スポットサイズ10を大きくしなければならず、リンクの間隔として8μmから10μm程度の距離が必要になる。これが高集積回路の設計に障害となる。一方、VISパルスレーザビーム65を用い、スポットサイズをIRレーザの半分以下に短波長化すると導電性リンクを切断した後に、切断部周辺にクラック8などの損傷が発生しやすい。また、図2の導電性リンク3と半導体基板上の不活性層2との間の剥離が生じることもある。これらは集積回路の信頼性上不都合である。この原因としては導電性リンク上に形成される保護用不活性層が可視レーザに対して透明であるところに導電性リンクが爆発的蒸発を起こすので周辺に衝撃を与えクラックや剥離などの損傷を与えるためと推察される。
本願発明による解決しようとする課題は、繰り返しQスイッチレーザパルスの出力を用いて導電性リンク切断を実施する場合、リンク切断場所周辺に損傷を発生することを防止した導電性リンクのレーザ切断方法並びにそれを実施する装置を提供することにある。
本発明は、前記課題を解決するために、半導体基板上に形成された半導体集積回路内に少なくとも導電性リンクを覆う保護層で埋め込まれた複数の導電性リンクを選択的にレーザ照射することによって切断するレーザによる集積回路の修正方法において、目標とする導電性リンクにレーザを位置決めするステップ、レーザの波長が400nm以下の紫外ビームである第1のパルスレーザと波長が400nmより長い可視ビームである第2のパルスレーザを発生するステップ、第1と第2のパルスレーザを重畳するステップ、及び前記保護層の上から重畳された第1と第2のパルスレーザ前記導電性リンクに向けて照射することにより切断するステップを有することを特徴とする。
また、前記切断するステップにおいて第1のパルスレーザより第2のパルスレーザを時間的に遅延させて前記導電性リンクに向けて照射することを特徴とする。
また、第1のパルスレーザを前記保護層に焦点を合わせて照射し、第2のパルスレーザを前記導電性リンクに焦点を合わせて照射することを特徴とする。
また、第1と第2のパルスレーザを発生するステップが、1つのレーザ媒体から基本波を発生させるステップ、前記基本波から高調波を生成するステップ、及び、第2のパルスレーザの波長として前記基本波を、第1のパルスレーザの波長として前記高調波を選択するステップまたは第2のパルスレーザの波長として前記高調波を、第1のパルスレーザの波長としてより高次の前記高調波を選択するステップを有することを特徴とする。
一方、本発明は、前記課題を解決するために、半導体基板上に形成された半導体集積回路内に少なくとも導電性リンクを覆う保護層で埋め込まれた複数の導電性リンクを選択的にレーザ照射することによって切断するレーザによる集積回路の修正装置において、目標とする導電性リンクにレーザを位置決めする手段レーザの波長が400nm以下の紫外ビームである第1のパルスレーザと波長が400nmより長い可視ビームである第2のパルスレーザを発生する手段、及び第1と第2のパルスレーザを重畳する手段、
を有することを特徴とする。
を有することを特徴とする。
また、第2のパルスレーザを前記導電性リンクに照射する時間を第1のパルスレーザより遅延させる手段をさらに有することを特徴とする。
また、前記遅延させる手段が第1のパルスレーザより第2のパルスレーザの光路長を長くする手段であることを特徴とする。
また、第1のパルスレーザを前記保護層に焦点を合わせて照射した後第2のパルスレーザを前記導電性リンクに焦点を合わせて照射する手段を有することを特徴とする。
また、第1と第2のパルスレーザを発生する手段が、基本波を発生させる1つのレーザ媒体、前記基本波から高調波を生成する手段、及び、第2のパルスレーザの波長として前記基本波を、第1のパルスレーザの波長として前記高調波を選択する手段または第2のパルスレーザの波長として前記高調波を、第1のパルスレーザの波長としてより高次の前記高調波を選択する手段からなることを特徴とする。
本発明によれば、Qスイッチレーザパルスの波長を不活性層に吸収特性を有するレーザパルスと不活性層には透過特性を有し、導電性リンクには光吸収特性を有するVISレーザパルスを重畳して多波長重畳ビームとし、不活性層上から不活性層を通過して導電性リンクを照準して照射する。これにより、不活性層と導電性リンクのレーザ照射光路を同時にエネルギー注入して、過熱軟化した場所から導電性リンク物質を外部に蒸発させることにより、発熱部分の熱応力の発生を防止し、損傷の発生を防止した導電リンクの切断方法を実現する。
本発明の不活性層と導電性リンクからなる多層膜の切断除去加工にIR波長域のQスイッチレーザ発振器とその出力パルスから非線形光学結晶を用いて得られる高調波発生技術を用いたUVレーザ光とVISレーザ光の重畳レーザパルスを導電性リンクに集光して照射する多波長パルスレーザによる照射を行うことで、光学的、熱的な物理的特性の異なる多層構造をレーザビーム照射領域において蒸発除去し導電性リンクを切断する。その際に従来試みられているVIS波長域のパルスレーザだけの照射時に発生することがある、導電性リンクの周辺部のクラック発生や層間の剥離を防止することが可能になる。
さらに、レーザビームの波長はUV並びにVIS波長域を用いるために波長がIRレーザより短く、従って、従来の加工に用いたシリコンに透過性を有する波長1.2μmから3.0μmの赤外線レーザによる集光スポットの大きさを半分以下に微小化でき、従って集積回路のリンク配列の幅、隣接するリンクの配置間隔を従来の間隔より短縮でき高集積化が図れる。さらにUV光とVIS光のレーザを重畳して照射することにより微細な集光スポットを形成できる上に照射する不活性層や導電性リンクを形成する材料の物理的特性の選択範囲を拡大できる。このことは高信頼性、高集積化されたメモリの製造に大きく寄与する。
VISレーザパルスをUVレーザパルスより遅延して照射した場合には、先に照射されたUVレーザパルスにより、保護層が加熱され軟化または蒸発される。その後、VISレーザパルスにより、導電性リンクが加熱され蒸発される。このため、導電性リンクが蒸発するときは、すでに保護層が軟化または蒸発しているので、周辺への過度の応力衝撃が一層軽減される。したがって、周辺部のクラックや層間の剥離などの発生はさらに防止される。
また、UVレーザパルスを保護層に焦点を合わせて照射し、さらにVISレーザパルスを導電性リンクに焦点を合わせて照射することでこれらの効果が一層高まる。
以下、図4〜図6を参照して、本発明の好ましい実施例について説明する。
図4において、多波長パルスレーザを発生する構成を示す。シリコンなど、半導体集積回路の作成された半導体基板70が、精密位置決めテーブル71に搭載され、その上にレーザビームを集積回路の導電性リンク76上の選択された所定の位置に設定され、導電性リンク76に集光照射するため集光レンズ69がリンクに対応する位置に設置される。集光レンズ69にUVパルスレーザビーム66とVISパルスレーザビーム65が重畳した多波長レーザビーム67が全反射ミラー68で反射されて導かれ集光される。この集光点が導電性リンクの中心に照射される構成が示される。加工用多波長レーザビーム67の発生は、以下のようである。
レーザ媒体54、例えばNd:YAGレーザロッド、超音波Qスイッチ53、非線形光学結晶55をレーザ共振器ミラー56,52の間に配置する。レーザ発振波長において高反射特性を有し、光励起ビーム80の波長には透過率の高いミラー52を通じて、励起用波長に適合する半導体レーザダイオード50からの発散性発振光である光励起ビーム80を集光レンズ51で収束性ビーム81としてレーザロッドであるレーザ媒体54に集光して導く。ロッド軸と光励起ビーム80を同軸に配置して収束性ビーム81でレーザロッドを光励起する。これによりレーザ媒体内に分布する活性イオンが励起され反転分布による光増幅作用を持つ。
超音波Qスイッチ53によるレーザ共振器ミラー52−56内の発振光路82の光学的損失のオン、オフ制御によって、Qスイッチレーザパルスを発生する。Qスイッチ53では、音響波を発生させるトランスジューサ(図示せず)へ印加する高周波(RF)パワーのオン、オフにより、該音響波を受ける超音波プリズム(図示せず)媒体内に発生する屈折率の粗密波形成による透過光の回折作用の有無によって光学的損失の大小を起こす。
Qスイッチレーザパルスが共振器内の発振光路82に発生すると、活性イオンからのレーザ放射の基本波長λと共振器光路内に設置された非線形光学結晶55による第2高調波の波長λ/2とが混ざったビームがレーザ共振器ミラー56から共振器外にビーム83として放出される。このレーザ共振器ミラー56の光透過特性は第2高調波には透過率が高く、レーザ発振の基本波波長には高い反射率を有する。これによりレーザ発振基本波成分のパワーは共振器内に高いパワー密度で滞留し、非線形結晶において高調波に効率よく変換され、変換された高調波成分はレーザ共振器ミラー56で反射されないで共振器の外部にビーム83として出力される。
Nd:YAGであれば、基本波の発振波長λが1064nmであり、第2高調波であるVISビームの波長はλ/2である532nm、第3高調波ではλ/3の波長である355nm、第4高調波ではλ/4の波長である266nmとなる。この発明において、VISは波長400nmを越え700nm以下を定義し、UVビームは波長400nm以下であれば、発明の効果が得られる。したがって、第2高調波はVISビーム、第3及び第4高調波はUVビームとなる。
レーザ媒体54としてNd:YAGレーザロッド以外のものを用いる場合で、レーザ発振の基本波の波長がVISに属し、第2、第3等の高調波がUVに属する場合は、基本波の波長をVISパルスレーザとして用い、それらの高調波のいずれかをUVパルスレーザとすればよい。
共振器外に放出されたビーム83は、さらに短波長となる第2高調波と基本波との混合波成分である第3高調波(波長λ/3)、又は第2高調波の高調波として基本波の第4高調波(波長λ/4)に変換するための非線形結晶58に導かれる。非線形光学結晶による更なる高調波への変換効率を向上させるため、非線形結晶内の入射ビームのパワー密度を増加させるために集光レンズ57を用いて集光し、その集光点近傍に非線形光学結晶58を設置し、波長λ/3又は波長λ/4のUVビームを含む重畳ビーム85に変換する。
VISビームとUVビームの重畳ビーム85を再度平行にコリメートするためにレンズ59、60を設けて平行ビーム87にビーム特性を変換する。平行ビーム87はビーム分岐素子61でVISパルスレーザビーム65とUVパルスレーザビーム66に分岐し、UVパルスレーザビーム66は距離的に短い光路でビーム合成素子64に導き、VISパルスレーザビーム65は全反射ミラー62,63から成る迂回光路を経由させて時間遅延を与える。ビーム合成素子64にて、UVパルスレーザビーム66とVISパルスレーザビーム65を同軸上に再度重畳させ、導電性リンク76を切断するための加工用多波長レーザビーム67を得る。ビーム分岐素子61及びビーム合成素子64は、VISパルスレーザビーム65に時間遅延を与える必要がない場合は省略できる。加工用多波長レーザビーム67は全反射ミラー68及び集光レンズ69を経由して導電性リンク76に導き、不活性層と導電性リンクを蒸発除去する。
VISパルスレーザビーム65に時間遅延を与える場合は、まず保護用の不活性層5に集光レンズ69の焦点を合わせてUVパルスレーザビーム66を照射し、遅延時間のうちに導電性リンク3に集光レンズ69の焦点をあわせてからVISパルスレーザビーム65を照射することが可能である。
図5の導電性リンク切断の断面図に示されるように、この2波長成分のVISパルスレーザビーム65とUVパルスレーザビーム66は加工用多波長レーザビーム67としてシリコンなどの半導体基板1上に形成された多層構造の導電性リンク3を含む表面の不活性層5に照射される。不活性層が通常は可視光に対しては透過性が大きく、UVビームには不透明で吸収性であるので不活性層では主としてUVビームが吸収され、照射部位を加熱軟化させる、一方、UVビームと同時又は時間的に遅延して同一場所に照射するVISビームは、表面における光吸収割合は小さく、内部に置かれた導電性リンク3に達し、加熱し蒸発させる。ここで導電性リンク3のVISビームが照射された領域は急激に高温度になり爆発的に圧力が高くなる。このUVビームとVISビームの2波長重畳照射のために、表面上層に置かれた不活性層5がUVビームで溶融又は軟化を起こし、層内部で爆発的な圧力増大を起こすことにより、周囲に圧力を及ぼすが、軟化を起こしている上方のUV照射された不活性層を吹き飛ばすことで圧力の排出を起こす。従って、内部の導電リンク3部の高温化による周辺への過度の応力衝撃は軽減されるので、導電リンク3の下層の不活性層2や半導体基板1におけるクラック、それらの構成層間での剥離などによるリンク切断周辺領域での損傷の発生を回避できる。
このように、上層で爆発的な衝撃を吸収することによる孔生成がUVビーム照射で形成された軟化層により防止され、同時的に内部の導電性リンク3の蒸発除去により切断が実行され、図6に示すような加工部断面72が形成される。
以上本発明の実施例を説明した。特許請求の範囲に記載された発明の技術的思想から逸脱することなく、これらに変更を施すことができることは明らかである。
本発明の活用例として、半導体メモリのシリコンウエハ冗長性回路の導電性リンクの回路素子の切断、その他、多層構造電子素子の層内部における除去切断に有効である。表面保護層として不活性層を表面に形成されたコンデンサ、抵抗、インダクタンスなどのトリミング、LCD表示パネル修正加工、PDP表示装置の修正加工、回路基板の機能トリミングその他半導体基板のレーザ精密加工に適用できる。高集積回路製造において、加工幅の微小化、加工除去物の減少などにより製品歩留まり向上により電子部品の製造コストの低減が可能になる。
1:半導体基板
2:半導体基板上の不活性層
3:導電性リンク
4:導電性リンク電極
5:保護用の不活性層
6:IRパルスレーザ
7:導電性リンク切断除去部
8:VISレーザビーム照射でリンク切断部周辺に発生するクラック
10:IRパルスレーザ集光スポット
11:導電性リンクの配列間隔
12:導電性リンクの電極間隔
13:導電性リンクの幅
50:励起用半導体レーザダイオード
51:集光レンズ
52:レーザ共振器ミラー
53:超音波Qスイッチ
54:レーザ媒体(レーザロッド)
55、58:非線形光学結晶
56:レーザ共振器ミラー
57:集光レンズ
59、60ビームコリメート用レンズ
61:ビーム分岐素子
64:ビーム合成素子
65:VISパルスレーザビーム
66:UVパルスレーザビーム
67:加工用多波長レーザビーム
62、63、68:全反射ミラー
69:集光レンズ
70:半導体集積回路の作成された半導体基板
71:位置決めテーブル
72:紫外レーザと可視レーザの重畳ビームによる加工部断面
76:導電性リンク
80:光励起ビーム
81:収束性ビーム
82:発振光路
83:ビーム
85:重畳ビーム
87:平行ビーム
2:半導体基板上の不活性層
3:導電性リンク
4:導電性リンク電極
5:保護用の不活性層
6:IRパルスレーザ
7:導電性リンク切断除去部
8:VISレーザビーム照射でリンク切断部周辺に発生するクラック
10:IRパルスレーザ集光スポット
11:導電性リンクの配列間隔
12:導電性リンクの電極間隔
13:導電性リンクの幅
50:励起用半導体レーザダイオード
51:集光レンズ
52:レーザ共振器ミラー
53:超音波Qスイッチ
54:レーザ媒体(レーザロッド)
55、58:非線形光学結晶
56:レーザ共振器ミラー
57:集光レンズ
59、60ビームコリメート用レンズ
61:ビーム分岐素子
64:ビーム合成素子
65:VISパルスレーザビーム
66:UVパルスレーザビーム
67:加工用多波長レーザビーム
62、63、68:全反射ミラー
69:集光レンズ
70:半導体集積回路の作成された半導体基板
71:位置決めテーブル
72:紫外レーザと可視レーザの重畳ビームによる加工部断面
76:導電性リンク
80:光励起ビーム
81:収束性ビーム
82:発振光路
83:ビーム
85:重畳ビーム
87:平行ビーム
Claims (9)
- 半導体基板上に形成された半導体集積回路内に少なくとも導電性リンクを覆う保護層で埋め込まれた複数の導電性リンクを選択的にレーザ照射することによって切断するレーザによる集積回路の修正方法において、
目標とする導電性リンクにレーザを位置決めするステップ、
レーザの波長が400nm以下の紫外ビームである第1のパルスレーザと波長が400nmより長い可視ビームである第2のパルスレーザを発生するステップ、
第1と第2のパルスレーザを重畳するステップ、及び
前記保護層の上から重畳された第1と第2のパルスレーザを前記導電性リンクに向けて照射することにより切断するステップ
を有することを特徴とするレーザによる集積回路の修正方法。 - 前記切断するステップにおいて
第1のパルスレーザより第2のパルスレーザを時間的に遅延させて前記導電性リンクに向けて照射することを特徴とする請求項1に記載のレーザによる集積回路の修正方法。 - さらに、第1のパルスレーザを前記保護層に焦点を合わせて照射し、第2のパルスレーザを前記導電性リンクに焦点を合わせて照射することを特徴とする請求項2に記載のレーザによる集積回路の修正方法。
- 第1と第2のパルスレーザを発生するステップが、1つのレーザ媒体から基本波を発生させるステップ、前記基本波から高調波を生成するステップ、及び、第2のパルスレーザの波長として前記基本波を、第1のパルスレーザの波長として前記高調波を選択するステップまたは第2のパルスレーザの波長として前記高調波を、第1のパルスレーザの波長としてより高次の前記高調波を選択するステップを有することを特徴とする、請求項1ないし3のいずれか1項に記載のレーザによる集積回路の修正方法。
- 半導体基板上に形成された半導体集積回路内に少なくとも導電性リンクを覆う保護層で埋め込まれた複数の導電性リンクを選択的にレーザ照射することによって切断するレーザによる集積回路の修正装置において、
目標とする導電性リンクにレーザを位置決めする手段
レーザの波長が400nm以下の紫外ビームである第1のパルスレーザと波長が400nmより長い可視ビームである第2のパルスレーザを発生する手段、及び
第1と第2のパルスレーザを重畳する手段、
を有することを特徴とする
レーザによる集積回路の修正装置。 - 第2のパルスレーザを前記導電性リンクに照射する時間を第1のパルスレーザより遅延させる手段をさらに有することを特徴とする請求項5に記載のレーザによる集積回路の修正装置。
- 前記遅延させる手段が第1のパルスレーザより第2のパルスレーザの光路長を長くする手段であることを特徴とする請求項6に記載のレーザによる集積回路の修正装置。
- さらに、第1のパルスレーザを前記保護層に焦点を合わせて照射した後第2のパルスレーザを前記導電性リンクに焦点を合わせて照射する手段を有することを特徴とした請求項6または7のいずれか1項に記載のレーザによる集積回路の修正装置。
- 第1と第2のパルスレーザを発生する手段が、
基本波を発生させる1つのレーザ媒体、前記基本波から高調波を生成する手段、及び、第2のパルスレーザの波長として前記基本波を、第1のパルスレーザの波長として前記高調波を選択する手段または第2のパルスレーザの波長として前記高調波を、第1のパルスレーザの波長としてより高次の前記高調波を選択する手段からなることを特徴とする、請求項5ないし8のいずれか1項に記載のレーザによる集積回路の修正装置。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006332663A JP2008147406A (ja) | 2006-12-08 | 2006-12-08 | レーザによる集積回路の修正方法および装置 |
TW096146722A TW200837811A (en) | 2006-12-08 | 2007-12-07 | Repairing method and device for correcting integrated circuit by laser |
US12/517,651 US20100009550A1 (en) | 2006-12-08 | 2007-12-07 | Method and apparatus for modifying integrated circuit by laser |
KR1020097014026A KR20090094129A (ko) | 2006-12-08 | 2007-12-07 | 레이저에 의한 집적회로의 수정 방법 및 장치 |
PCT/JP2007/073672 WO2008069307A1 (ja) | 2006-12-08 | 2007-12-07 | レーザによる集積回路の修正方法および装置 |
CNA2007800454619A CN101611488A (zh) | 2006-12-08 | 2007-12-07 | 用激光对集成电路进行修正的方法及装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006332663A JP2008147406A (ja) | 2006-12-08 | 2006-12-08 | レーザによる集積回路の修正方法および装置 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008147406A true JP2008147406A (ja) | 2008-06-26 |
Family
ID=39492182
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006332663A Pending JP2008147406A (ja) | 2006-12-08 | 2006-12-08 | レーザによる集積回路の修正方法および装置 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20100009550A1 (ja) |
JP (1) | JP2008147406A (ja) |
KR (1) | KR20090094129A (ja) |
CN (1) | CN101611488A (ja) |
TW (1) | TW200837811A (ja) |
WO (1) | WO2008069307A1 (ja) |
Families Citing this family (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US8598490B2 (en) | 2008-03-31 | 2013-12-03 | Electro Scientific Industries, Inc. | Methods and systems for laser processing a workpiece using a plurality of tailored laser pulse shapes |
US8526473B2 (en) * | 2008-03-31 | 2013-09-03 | Electro Scientific Industries | Methods and systems for dynamically generating tailored laser pulses |
US8476552B2 (en) * | 2008-03-31 | 2013-07-02 | Electro Scientific Industries, Inc. | Laser systems and methods using triangular-shaped tailored laser pulses for selected target classes |
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-
2006
- 2006-12-08 JP JP2006332663A patent/JP2008147406A/ja active Pending
-
2007
- 2007-12-07 TW TW096146722A patent/TW200837811A/zh unknown
- 2007-12-07 WO PCT/JP2007/073672 patent/WO2008069307A1/ja active Application Filing
- 2007-12-07 CN CNA2007800454619A patent/CN101611488A/zh active Pending
- 2007-12-07 US US12/517,651 patent/US20100009550A1/en not_active Abandoned
- 2007-12-07 KR KR1020097014026A patent/KR20090094129A/ko not_active Application Discontinuation
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
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JP2002134616A (ja) * | 2000-10-24 | 2002-05-10 | Fujitsu Ltd | ヒューズの切断方法及びヒューズ切断装置 |
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Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2008069307A1 (ja) | 2008-06-12 |
KR20090094129A (ko) | 2009-09-03 |
CN101611488A (zh) | 2009-12-23 |
US20100009550A1 (en) | 2010-01-14 |
TW200837811A (en) | 2008-09-16 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A02 | Decision of refusal |
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