JP2007165716A - レーザー結晶化装置及び結晶化方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】レーザー結晶化装置500は、レーザー光発生指示信号の入力に基づいてパルス・レーザー光を発生するレーザー光源と、位相シフタ24とを具備し、被処理基板30を保持し、レーザー光源によるパルス・レーザー光照射位置に対して所定方向に連続移動する基板保持ステージ40と、基板保持ステージ40の位置を計測する位置計測手段50と、位置計測手段50により計測された位置に基づいて前記パルス・レーザー光の発生を指示する信号発生手段60とを具備する。
【選択図】図5
Description
本発明のさらに他の1態様によるレーザー結晶化方法は、被処理基板を保持した基板保持ステージを所定の方向に連続移動させる基板連続移動工程と、前記連続移動中の前記基板保持ステージの予め定められた位置を計測する位置計測工程と、前記計測された位置の情報に基づいて前記レーザー光の発生を指示する指示信号を出力するレーザー光発生指示工程と、前記指示信号を受信したときパルス・レーザー光を発生させるレーザー光発生工程と、前記パルス・レーザー光を変調するパルス・レーザー光変調工程と、前記変調されたパルス・レーザー光を前記被処理基板に照射して、前記被処理基板に設けられた被結晶化薄膜の照射領域を溶融し、結晶化させる結晶化工程とを具備することを特徴とする。
本発明の第1の実施形態のレーザー結晶化装置100の一例を図1に示す。レーザー結晶化装置100は、結晶化光学系2、基板保持ステージ40、ステージ位置計測システム50、及びレーザー光の発生を指示するための信号を発生するシステム、例えば、レーザー・トリガ信号発生システム60を具備する。結晶化処理プロセスの間、基板保持ステージ40は、予め定められた速度で停止することなく連続移動される。レーザー結晶化装置100は、ステージ位置計測システム50による前記基板保持ステージの予め定められた位置の計測結果に基づいて被処理基板30の所定の位置に結晶化用レーザー光を照射する。
(650mm/500mm/sec)×(550mm/10mm)=71.5sec
になる。実際には、レーザー結晶化装置100は、基板保持ステージ40上に載置された被処理基板30の1回のX方向走査が終わるとY方向に移動させて、X方向の走査をその都度反転させて合計55回繰り返す。そのため、結晶化プロセスには、Y方向に移動させるための時間、及びX方向の移動を反転させるための減速及び加速時間が必要になる。これらを勘案しても結晶化プロセスのスループットは、1時間当り20〜30枚程度処理することができるため、高スループットを実現できる。
第1の実施形態では、移動している基板保持ステージ40のX方向の移動速度の変動を補正して、位置決め精度を高めている。しかし、エア・ベアリングとリニア・モータ駆動機構を使用した高精度の基板保持ステージ40の制御装置であっても500mm/sec程度の高速移動の場合、Y方向及びZ方向の直進度は、良い場合でも10μm程度である。したがって、1μm以下の位置精度でレーザー光を照射することが要求されているレーザー結晶化装置100は、X方向に基板保持ステージ40を移動させながら、同時にY方向及び/若しくはZ方向の位置補正を実施する必要がある。
第1及び第2の実施形態では、結晶化用光学系2は1組であったが、第3の実施形態は、複数の結晶化用光学系2Nを有するレーザー結晶化装置の例である。
本発明の第4の実施形態は、2組の結晶化用光学系2A,2Bを使用して、半導体膜32上の数μm離れた位置に連続してレーザー光を照射して結晶化するレーザー結晶化装置800である。
=6×10−6(sec)=6μsec
一方、PMELA装置におけるレーザー光の照射による結晶化は、レーザー光照射後、0.1〜0.2μsecで完了する。そのため、6μsecの遅延時間後の2回目のレーザー光照射時には、1回目のレーザー光照射による結晶化が完全に終了しおり、非単結晶半導体膜33中には、大きな結晶粒が形成されている。
Claims (10)
- レーザー光発生指示信号の入力に基づいてパルス・レーザー光を発生するレーザー光源と、
前記レーザー光源からの光路に設けられ前記パルス・レーザー光を変調して所定の光強度分布のパルス・レーザー光を透過させる位相シフタとを具備し、
前記位相シフタにより変調された前記パルス・レーザー光を被処理基板に設けられた被結晶化処理薄膜に照射して、この被結晶化処理薄膜の照射領域を溶融して結晶化するレーザー結晶化装置であって、
前記被処理基板を保持し、前記レーザー光源によるパルス・レーザー光照射位置に対して所定方向に連続移動する基板保持ステージと、
前記所定方向に連続移動する前記基板保持ステージの位置を計測する位置計測手段と、
前記位置計測手段により計測された前記基板保持ステージの位置に基づいて前記パルス・レーザー光の発生を指示する信号発生手段と
を具備することを特徴とするレーザー結晶化装置。 - 前記基板保持ステージは、X方向のレーザー光照射位置への合わせ制御系、Y方向のレーザー光照射位置への合わせ制御系およびZ方向の焦点位置に合わせるための制御系などを有することを特徴とする請求項1記載のレーザー結晶化装置。
- レーザー光発生指示信号の入力に基づいてパルス・レーザー光を発生する複数のレーザー光源と、
各レーザー光源からの光路に設けられ各々のパルス・レーザー光を変調して所定の光強度分布のパルス・レーザー光を透過させる複数の位相シフタとを具備し、
前記各位相シフタにより変調された複数の前記パルス・レーザー光を被処理基板に設けられた薄膜に照射して、この薄膜の照射領域を溶融して結晶化するレーザー結晶化装置であって、
前記被処理基板を保持し、前記レーザー光源からのパルス・レーザー光照射位置において所定方向に連続移動する基板保持ステージと、
前記所定方向に連続移動する前記基板保持ステージの位置を計測する位置計測手段と、
前記位置計測手段により計測された前記基板保持ステージの位置に基づいて前記パルス・レーザー光の発生を指示するレーザー光発生指示信号を発生する信号発生手段と
を具備することを特徴とするレーザー結晶化装置。 - 前記複数のレーザー光源は、前記連続移動方向に直交する第2の方向の前記薄膜上の異なる位置に同時にパルス・レーザー光を照射するように配置されることを特徴とする請求項3に記載のレーザー結晶化装置。
- 前記複数のレーザー光源から発生された前記パルス・レーザー光による照射は、前記連続移動方向上で前記薄膜上の異なる位置を照射するように配置されることを特徴とする請求項3に記載のレーザー結晶化装置。
- 前記レーザー光源は、前記レーザー光発生指示信号の入力に同期して前記パルス・レーザー光を発生することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1に記載のレーザー結晶化装置。
- 被処理基板を保持した基板保持ステージを所定の方向に連続移動させる基板連続移動工程と、
前記連続移動中の前記基板保持ステージの予め定められた位置を計測する位置計測工程と、
前記計測された位置の情報に基づいてレーザー光の発生を指示する指示信号を出力するレーザー光発生指示工程と、
前記指示信号を受信したときパルス・レーザー光を発生させるレーザー光発生工程と、
前記パルス・レーザー光を変調するパルス・レーザー光変調工程と、
前記変調されたパルス・レーザー光を前記被処理基板に照射して、前記被処理基板に設けられた被結晶化薄膜の照射領域を溶融し、結晶化させる結晶化工程と
を具備することを特徴とするレーザー結晶化方法。 - 前記被処理基板を照射する前記パルス・レーザー光は、複数のパルス・レーザー光路を有し、前記被処理基板の異なる領域を照射することを特徴とする請求項7記載のレーザー結晶化方法。
- 連続移動中の前記基板保持ステージの予め定められた位置を計測する前記位置計測工程は、X方向及びY方向について予め定められた位置に位置合わせし、Z方向について焦点位置に位置合わせすることを特徴とする請求項7又は8に記載のレーザー結晶化方法。
- 前記レーザー光発生工程は、前記レーザー光発生指示信号の入力に同期してパルス・レーザー光を発生することを特徴とする請求項7又は8に記載のレーザー結晶化方法。
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