JP6633297B2 - レーザ加工装置、及び、レーザ加工装置の集光角設定方法 - Google Patents
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Description
また、本明細書では、スポット光の面積のばらつきによる加工品質の低下を簡素な構成で低減できる技術を開示する。
また、上記のレーザ加工装置によると、上述した離間した位置で面積が一致するように集光部を設定することにより、ワークの加工面の全域においてスポット光の面積のばらつきを低減できる。
また、本明細書によって開示されるレーザ加工装置の集光角設定方法によれば、スポット光の面積のばらつきによる加工品質の低下を簡素な構成で低減できる。
実施形態を図1ないし図11によって説明する。
図1を参照して、本実施形態に係るレーザ加工装置としてのレーザ溶着装置1の構成について説明する。レーザ溶着装置1は二つの樹脂部材Aと樹脂部材Bとをレーザ光によって溶着するものである。樹脂部材Aはレーザ光をほぼ透過する素材で形成されている一方、樹脂部材Bはレーザ光を吸収する素材で形成されており、樹脂部材Bがレーザ光を吸収して溶融するとその熱によって樹脂部材Aも溶融し、それにより樹脂部材Aと樹脂部材Bとが溶着される。
制御部20はCPU、ROM、RAMなどを備えている。CPUはROMに記憶されている制御プログラムを実行することによってレーザ溶着装置1の各部を制御する。ROMにはCPUによって実行される制御プログラムや制御に用いる各種のデータ等が記憶されている。RAMはCPUが各種の処理を実行するための主記憶装置として用いられる。なお、制御部20はCPUに替えてFPGA(Field Programmable Gate Array)やASIC(Application Specific Integrated Circuit)などを備えていてもよい。
なお、走査部25はレーザ光を偏向可能なものであればよく、例えばガルバノミラーに替えてポリゴンミラーを用いるものであってもよいし、ガルバノミラーとポリゴンミラーとを組み合わせて用いるものであってもよい。
次に、図3を参照して、集光部23及び設定部24の具体的な構成について説明する。集光部23は拡大レンズ23A及び集光レンズ23Bを備えている。レーザ光Lは拡大レンズ23Aによってビーム径が拡げられ、集光レンズ23Bによって集光角θaで集光される。
ホルダ24Bは円筒状の部材であり、レーザ光Lの光軸方向に移動可能に筐体24Aの内部に嵌合挿入されている。また、ホルダ24Bには外周面に図示しない凸部が設けられている。一方、筐体24Aの内周面にはその凸部をレーザ光Lの光軸方向に案内する図示しないガイド溝が形成されており、そのガイド溝にホルダ24Bの凸部が嵌ることによってホルダ24Bがレーザ光Lの光軸周りに回動してしまうことが規制されている。
調整ネジ24Dも円筒状に形成されている。調整ネジ24Dは前側部分の内側に筐体24Aの後側部分が嵌合されて筐体24Aの外周周りに回動可能に筐体24Aに取り付けられている。調整ネジ24Dの内周面にはホルダ移動部24Cの外周面に形成されているねじ山に噛み合うねじ山が形成されている。
圧縮コイルばね24Eはホルダ24Bを後側に押圧するものである。
図4は、レーザ光Lが垂直に照射される位置に焦点が合っている状態を示している。なお、本実施形態ではレーザ光Lが垂直に照射される位置は加工エリア12(図6参照)の中心である。加工エリア12とはワークを配置できる最大のエリアである。ただし、レーザ光Lが垂直に照射される位置が走査部25の振れ角の端になる場合はレーザ光Lが垂直に照射される位置が加工エリア12の中心からずれる場合もある。
すなわち、図4に示す状態は、レーザ光Lが垂直に照射される位置に形成されるスポット光の面積と、レーザ光Lが斜めに照射される位置に形成されるスポット光の面積とがばらついている状態である。
図6において点線11はワークBの加工面上をレーザ光Lが走査する加工パターンの一例を示している。加工パターン11の中心はレーザ光が垂直に照射される位置であり、加工パターン11上でレーザ光の光路長が最小となる位置である。加工パターン11の四隅はレーザ光が斜めに照射される位置であり、加工パターン11上でレーザ光の光路長が最大となる位置である。また、図6において点線12はレーザ溶着装置1の加工エリア12を示している。本実施形態に係るレーザ溶着装置1は加工エリア12の外側にもレーザ光を照射できるものとする。
図7は、レーザ光Lが斜めに照射される位置に焦点が合っている状態を示している。ここでは、レーザ光Lが平行光であると仮定したとき、レーザ光Lが斜めに照射される位置に形成されるスポット光の面積は、レーザ光Lが垂直に照射される位置に形成されるスポット光の面積の107%になるとする。
設定部24は、レーザ光Lが垂直に照射される位置に形成されるスポット光の面積と斜めに照射される位置に形成されるスポット光の面積とが一致するように設定可能に集光角θaの設定範囲が設定されている。言い換えると、スポット光の面積が一致する集光角θaに設定できるようにホルダ24Bの移動範囲が設定されている。
次に、図9、図10及び図11を参照して、レーザ光Lが垂直に照射される位置に形成されるスポット光の面積と斜めに照射される位置に形成されるスポット光の面積とが一致するように集光角θaが設定された場合における、それらの間にある位置に形成されるスポット光の面積について説明する。
次に、図1を参照して、レーザパワー監視部26の構成について説明する。レーザパワー監視部26はレーザ光Lの光路上に配置されてレーザ光Lの一部を一定比率で反射するビームスプリッタ26A、ビームスプリッタ26Aによって反射されたレーザ光を集光する集光レンズ26B、集光レンズ26Bによって集光されたレーザ光を受光し、受光量に応じた電圧を出力するパワーディテクタ26C、パワーディテクタ26Cから出力された電圧に応じた信号をレーザパワーの相関値として制御部20に出力する図示しない出力部などを備えている。
ここでは制御部20による制御処理としてワークの加工処理、レーザパワーの監視処理、及び、ティーチング処理について説明する。
ワークの加工処理はレーザ発振器22や走査部25を制御してワークBを加工する処理である。制御部20はレーザ発振器22を制御してレーザ光Lを出射させ、加工パターン11やワーク間距離に従って走査部25を制御することにより、レーザ光Lを偏向してワークBの加工面を走査する。これによりワークBが加工される。
レーザパワーの監視処理はレーザ発振器22のレーザパワーが異常になった場合にエラーを出力する処理である。レーザパワーは必ずしも一定ではなく、高くなったり低くなったりすることがある。あるいは、経時変化によってレーザパワーが劣化することもある。
・走査速度を速くした場合(レーザパワーの補正値が1より大きい場合)は、エラー判定閾値の上限値をオフセット値分大きくする。
・走査速度を補正していない場合(レーザパワーの補正値が1の場合)は、補正されていない元のエラー判定閾値を用いる。なお、エラー判定閾値が補正されている場合は補正を戻す。
ティーチング処理は前述したエラー判定閾値を自動で設定する処理である。ティーチング処理では、制御部20は実際にレーザ溶着装置1を制御してワークBを加工し、加工中に取得したレーザパワーの相関値の最大値と最小値とからエラー判定閾値の上限値と下限値とを設定するとともに、オフセット値を計算する。なお、通常の加工とは異なり、ティーチング処理のための加工では制御部20はレーザパワーのエラー判定は行わない。
以上説明したレーザ溶着装置1によると、平坦な加工面にレーザ光Lを垂直に照射したときに形成されるスポット光の面積と位置Pにレーザ光を斜めに照射したときに形成されるスポット光Lの面積とが略一致するようにレーザ光を集光するよう集光部23を設定することにより、収束レンズを用いなくてもスポット光Lの面積のばらつきを低減できる。このためレーザ溶着装置1の構成を簡素にすることができる。また、集光部23は加工中に走査部25に追従する必要がないので集光部23の構造を簡素にすることもできる。このため、スポット光Lの面積のばらつきによる加工品質の低下を簡素な構成で低減でき、製造コストを低減できる。
また、レーザ溶着装置1によると、位置Pで面積が一致するようにレーザ光Lを集光するよう集光部23を設定することにより、ワークBの加工面の全域においてスポット光の面積のばらつきを低減できる。
次に、本発明の関連技術を図6によって説明する。
前述した実施形態1では、焦点位置を設定するとき、ワークBの加工面から外れた位置Pにレーザ光Lを照射して焦点位置を設定する場合を例に説明した。これに対し、ワークBの加工面上にレーザ光Lを照射して焦点位置を設定してもよい。具体的には例えば、図6に示す加工パターン11において、加工パターン11の四隅にレーザ光Lを照射して焦点位置を設定してもよい。
本明細書によって開示される技術は上記記述及び図面によって説明した実施形態に限定されるものではなく、例えば次のような実施形態も技術的範囲に含まれる。
ただし、位置Pを加工エリア12内に設定する場合は、位置Pが固定されているとワークが大きい場合にワークの加工面上に位置Pが位置してしまうので、ワークの加工面の全域においてスポット光の面積のばらつきを低減できるようにするために、位置Pの位置を調整可能に構成されていてもよい。このようにすると、ワークの大きさが変わった場合にそのワークの加工面から外れた位置に集光位置を調整することにより、ワークの大きさが変わってもワークの加工面の全域においてスポット光の面積のばらつきを低減できる。
Claims (4)
- レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を偏向してワークの加工面を走査する走査部と、
前記レーザ発振器と前記走査部との間に設けられ、前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を集光する集光部と、
前記集光部の集光角を設定するための設定部と、
を備え、
前記設定部では、前記ワークの加工面の高さにおいて、前記レーザ光が垂直に照射される位置から、当該垂直に照射される位置からワークの加工面上の最遠点までの距離より離間した位置に前記レーザ光の焦点位置を配し、かつ前記レーザ光を垂直に照射した状態で前記ワークを加工可能なように前記集光角を設定し、前記ワークの加工の際には前記レーザ光の焦点は前記焦点位置で固定され、前記レーザ光が前記ワークの加工面上に垂直に照射される位置でのスポット光の面積と、前記ワークの加工面の高さにおいて前記離間した位置でのスポット光の面積とが略一致するように設定する、レーザ加工装置。 - 前記集光部の焦点位置を調整可能に構成されている、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- 前記集光部は、前記ワークの加工面上における当該レーザ加工装置の加工エリアの外側の位置に前記焦点位置を配する、請求項1に記載のレーザ加工装置。
- レーザ光を出射するレーザ発振器と、
前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を偏向してワークの加工面を走査する走査部と、
前記レーザ発振器と前記走査部との間に設けられ、前記レーザ発振器から出射されたレーザ光を集光する集光部と、
ワークの加工前に前記集光部の集光角を設定するための設定部と、
を備えるレーザ加工装置の集光角設定方法であって、
平坦な加工面にレーザ光を垂直に照射したときに形成されるスポット光の面積と、当該スポット光が形成される位置から離間した位置にレーザ光を斜めに照射し、前記離間した位置に前記レーザ光の焦点位置を配したときに形成されるスポット光の面積とが略一致するように前記設定部を用いて集光角を設定し、
前記ワークの加工の際には前記レーザ光の焦点は前記焦点位置に固定して加工する、レーザ加工装置の集光角設定方法。
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