JP7087283B2 - 計測装置および計測方法 - Google Patents
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Description
図1から図5を参照して、本実施の形態に係る計測装置および計測方法について詳細に説明する。まず、図1および図2を参照して、本実施の形態に係る計測装置10の構成の一例について説明する。図1は、計測装置10が対象物の計測を行う場合の構成を示している。
つまり、受光器18は、レンズ34から出射された発光素子12からの照射光が対象物OBで反射し、再度レンズ34を透過した光束の少なくとも一部を受光するように構成されている。また、本実施の形態では、レンズ32の光軸とレンズ34の光軸とが共通の光軸Mとされ、この光軸Mが、発光器14の発光素子12Cの中心、および後述する絞り40の開口部42の中心を通っている。
受光素子16としては、特に制限はないが、例えば、フォトダイオード(Photodiode:PD)、電荷結合素子(Charge-Coupled Device:CCD)等が用いられる。
図6を参照して、本実施の形態に係る計測装置および計測方法について説明する。本実施の形態は、上記実施の形態に係る計測装置10の鏡筒部分を変更したものである。従って、同様の構成には同じ符号を付して詳細な説明を省略する。
図7を参照して、本実施の形態に係る計測装置、および計測方法について説明する。本実施の形態は、上記実施の形態に係る計測装置において、受光器18の回転方法を変更したものである。従って、計測装置の本体は図2(a)に示す計測装置10、または図6(a)に示す計測装置10Aとされているので、必要に応じ同図を参照することとし図示を省略する。
この場合、レンズ32、受光器18、絞り40、レンズ34を一体として鏡筒に収納してもよい。また、上記各実施の形態では受光器18とレンズ34とを一体に回転させる形態を例示して説明したが、これに限られず、受光器18のみを回転させる形態としてもよい。
12、12A、12B、12C 発光素子
14 発光器
14A 基板
16 受光素子
18 受光器
18A 基板
18B 開口部
20 制御部
30 光学系
32 レンズ
34 レンズ
40 絞り
42 開口部
52 移動装置駆動部
54 鏡筒回転駆動部
60 鏡筒
62、62A 下部鏡筒
64 上部鏡筒
70 ラッチ機構
90 計測装置
100 CPU
102 ROM
104 RAM
200 表面
BUS バス
D1、D2、D3 方向
DA 非受光領域
IF 照射光
M 光軸
RF 反射光
OB 対象物
RA 受光領域
T 計測領域
Claims (11)
- 対象物へ照射する照射光を発光する発光部と、
前記発光部から発光された前記照射光の発散度合いを変える第1のレンズと、
前記第1のレンズから出射された前記照射光を絞る絞り部と、
前記絞り部を通過した前記照射光を前記対象物の予め定められた方向から照射するように集光する第2のレンズと、
複数の受光素子が予め定められた方向に配置されかつ前記絞り部と前記第2のレンズとの間に配置されるとともに前記照射光が前記対象物に照射されて反射した反射光を受光する受光部と、
前記照射光の前記対象物に対する照射位置を維持したまま前記照射光の照射方向を回転軸として前記受光部の前記対象物に対する相対的な位置を回転させると共に、前記発光部と前記対象物とを一体かつ同心で回転させる回転機構である回転部と、
を含む計測装置。 - 前記回転部は、前記第1のレンズ、前記絞り部、および前記第2のレンズの少なくとも1つを前記受光部と一体かつ同心でさらに回転させる回転機構である
請求項1に記載の計測装置。 - 前記回転部は、前記受光部および前記第2のレンズが一体として収納された鏡筒を含む 請求項2に記載の計測装置。
- 前記鏡筒には前記絞り部がさらに一体として収納されている
請求項3に記載の計測装置。 - 前記対象物を前記予め定められた方向と交差する方向に移動させる移動部をさらに含む 請求項1から請求項4のいずれか1項に記載の計測装置。
- 前記回転部は、前記第1のレンズ、前記絞り部、前記第2のレンズ、前記受光部の各々が一体として収納された鏡筒を含む
請求項1に記載の計測装置。 - 前記発光部は、複数の発光素子が前記予め定められた方向と交差する方向に配置されている
請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の計測装置。 - 前記複数の発光素子の各々の発光と、前記複数の受光素子の各々の受光光量の取得とを制御する制御部をさらに含み、
前記制御部は前記複数の発光素子の各々を順次発光させ、かつ前記複数の発光素子の発光のつど前記複数の受光素子によって受光光量が取得されるように制御する
請求項7に記載の計測装置。 - 前記回転部は、前記回転軸を中心として予め定められた角度ステップで回転し、
前記制御部は、前記予め定められた角度ステップごとに受光光量が取得されるように制御する
請求項8に記載の計測装置。 - 前記回転部は、前記回転軸を中心として連続的に回転し、
前記制御部は、前記回転部を回転させつつ受光光量が取得されるように制御する
請求項8に記載の計測装置。 - 対象物へ照射する照射光を発光する発光部と、前記発光部から発光された前記照射光の発散度合いを変える第1のレンズと、前記第1のレンズから出射された前記照射光を絞る絞り部と、前記絞り部を通過した前記照射光を前記対象物の予め定められた方向から照射するように集光する第2のレンズと、複数の受光素子が予め定められた方向に配置されかつ前記絞り部と前記第2のレンズとの間に配置されるとともに前記照射光が前記対象物に照射されて反射した反射光を受光する受光部と、を含む計測装置を用いた計測方法であって、
前記照射光の前記対象物に対する照射位置を維持したまま前記照射光の照射方向を回転軸とし、前記発光部と前記対象物とを一体かつ同心で回転させて前記受光部の前記対象物に対する相対的な位置を回転させつつ前記複数の受光素子によって前記反射光の受光光量を取得する
計測方法。
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JP2018205171A JP2018205171A (ja) | 2018-12-27 |
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Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008098451A (ja) | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Nikon Corp | ウエハ検査装置 |
JP2009229234A (ja) | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2011215016A (ja) | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Fujifilm Corp | 非球面形状測定装置 |
US20120248347A1 (en) | 2011-04-01 | 2012-10-04 | Stmicroelectronics S.R.I. | Confocal optical detector, detector array, and manufacturing method thereof |
JP2015072175A (ja) | 2013-10-02 | 2015-04-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 検査装置 |
Family Cites Families (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5544986A (en) * | 1978-09-27 | 1980-03-29 | Mitsubishi Electric Corp | Measuring device |
-
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Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008098451A (ja) | 2006-10-12 | 2008-04-24 | Nikon Corp | ウエハ検査装置 |
JP2009229234A (ja) | 2008-03-21 | 2009-10-08 | Fujinon Corp | 光波干渉測定装置 |
JP2011215016A (ja) | 2010-03-31 | 2011-10-27 | Fujifilm Corp | 非球面形状測定装置 |
US20120248347A1 (en) | 2011-04-01 | 2012-10-04 | Stmicroelectronics S.R.I. | Confocal optical detector, detector array, and manufacturing method thereof |
JP2015072175A (ja) | 2013-10-02 | 2015-04-16 | 富士ゼロックス株式会社 | 検査装置 |
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