JP2016503589A5 - - Google Patents

Description

先行のステップに基づき、第１の基板１４は、下方の基板１４′の左側のマーキング１７″が第１の検出ユニット３（左上方の光学系）により捕捉できるように、右側に配置されている。第１の検出ユニット３は、第２の基板１４′の左側のマーキング１７″がその光軸と一致するように、もしくはＸ−Ｙポジションを捕捉できるように、Ｘ方向及び／又はＹ方向に動かされる。第１の検出ユニット３は図３ｂによる較正ステップにおいて、理想的なポジションチャートに合わせて較正されているので、第１の検出ユニット３の実際のＸ−Ｙポジションを求めることができ、理想的なＸ−Ｙポジションに合わせてイメージングすることができる。Ｘ方向並進ユニット８及びＹ方向並進ユニット９のエンコーダポジションが記憶され、第２の基板１４′の左側のマーキング１７″に対応づけられる。

Claims (21)

1. 第１の基板（１４）を第２の基板（１４′）とアライメントして接触させる方法において、以下のステップを有する、即ち、
   ・第１の基板（１４）を第１のホルダ（４）に固定し、第２の基板（１４′）を、前記第１のホルダ（４）と向き合って配置された第２のホルダ（５）に固定し、前記第１の基板（１４）の第１の接触面と前記第２の基板（１４′）の第２の接触面との間に間隔Ａをもたせて、前記第１のホルダ（４）と前記第２のホルダ（５）との間に、前記第１の基板（１４）及び前記第２の基板（１４′）を配置するステップと、
   ・前記第１の基板（１４）の第１のマーキング（１７）と、前記第２の基板（１４′）の第２のマーキング（１７′）を、少なくとも４つの検出ユニット（３，３′，３″，３′″）によって検出するステップと、
   ただし該少なくとも４つの検出ユニットのうち、
   ａ）少なくとも２つの第１の検出ユニット（３，３″）は、少なくともＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、
   ｂ）少なくとも２つの第２の検出ユニット（３′，３′″）は検出に際して、Ｘ及びＹ方向と交差するＺ方向においてのみ移動され、
   ・Ｘ方向及び該Ｘ方向と交差するＹ方向で、前記第１のホルダ（４）及び前記第２のホルダ（５）により前記第１の基板（１４）及び前記第２の基板（１４′）を移動させることにより、前記第１の基板（１４）を前記第２の基板（１４′）に対しアライメントするステップと、
   ・アライメントされた前記第１の基板（１４）の前記第１の接触面と前記第２の基板（１４′）の前記第２の接触面とをＺ方向で接触させるステップと
   を有することを特徴とする、
   第１の基板（１４）を第２の基板（１４′）とアライメントして接触させる方法。
2. 前記アライメントするステップは、予め求められたＸ−Ｙ座標におけるポジションチャートを考慮して行われる、請求項１記載の方法。
3. 前記第２のホルダ（５）に固定された前記第２の基板（１４′）は、Ｚ方向のみに移動可能である、請求項１又は２記載の方法。
4. 前記アライメントを、１ｂａｒよりも低い圧力の空間中で行う、請求項１から３のいずれか１項記載の方法。
5. 前記検出手段をアライメント前に較正する、請求項１から４のいずれか１項記載の方法。
6. 前記検出手段を、少なくとも第１の較正基板（１３）を用いてアライメント前に較正する、請求項５記載の方法。
7. 前記検出手段を、前記第１の較正基板（１３）とは異なるように形成された第２の較正基板（１３′）も用いてアライメント前に較正する、請求項６記載の方法。
8. 前記第１の較正基板（１３）を、それぞれ向き合って配置可能な検出ユニットの光軸を較正するために用い、及び／又は、前記第１の較正基板（１３）に関して前記検出ユニットの焦点深度を較正するために用いる、請求項５から７のいずれか１項記載の方法。
9. 前記第２の基板（１３′）を、前記第１のホルダ（４）における前記第１の基板（１４）のＸ方向及びＹ方向の動きに対し、前記第１の検出ユニット（３，３″）を較正するために用いる、請求項５から８のいずれか１項記載の方法。
10. 前記第１のホルダ（４）及び前記第２のホルダ（５）による前記第１の基板（１４）及び前記第２の基板（１４′）の動きの制御及び検出と、前記検出ユニット（３，３′，３″，３′″）の動きの制御及び検出と、接触手段の動きの制御及び検出を、制御装置により制御する、請求項１から９のいずれか１項記載の方法。
11. 第１の基板（１４）を第２の基板（１４′）とアライメントして接触させる装置において、
    ・第１の基板（１４）を固定し移動させる第１のホルダ（４）と、該第１のホルダ（４）と向き合って配置され、第２の基板（１４′）を固定し移動させる第２のホルダ（５）とが設けられており、前記第１の基板（１４）の第１の接触面と前記第２の基板（１４′）の第２の接触面との間に間隔Ａをもたせて、Ｘ方向及び該Ｘ方向と交差するＹ方向ならびに前記Ｘ及びＹ方向と交差するＺ方向において、前記第１のホルダ（４）と前記第２のホルダ（５）との間で、前記第１の基板（１４）及び第２の基板（１４′）をアライメント可能であり、
    ・少なくとも４つの検出ユニット（３，３′，３″，３′″）が設けられており、該少なくとも４つの検出ユニットのうち、
    ａ）少なくとも２つの第１の検出ユニット（３，３″）は、少なくともＸ方向及びＹ方向に移動可能であり、
    ｂ）少なくとも２つの第２の検出ユニット（３′，３′″）は、Ｚ方向のみに移動可能であり、
    ・前記第２の基板（１４′）に対しアライメントされた前記第１の基板（１４）を、Ｚ方向で前記第２の基板（１４′）と接触させる接触手段と、
    ・前記第１のホルダ（４）及び前記第２のホルダ（５）による前記第１の基板（１４）及び前記第２の基板（１４′）の動きの制御及び検出と、前記検出ユニット（３，３′，３″，３′″）の動きの制御及び検出と、前記接触手段の動きの制御及び検出のための制御装置と
    が設けられていることを特徴とする、
    第１の基板（１４）を第２の基板（１４′）とアライメントして接触させる装置。
12. 前記第１のホルダ（４）は、Ｘ方向並進ユニットと、Ｙ方向並進ユニットと、Ｚ方向並進ユニットとを有する、請求項１１記載の装置。
13. 前記Ｘ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＸ方向並進ユニットであり、前記Ｙ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＹ方向並進ユニットであり、前記Ｚ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＺ方向並進ユニットである、請求項１２記載の装置。
14. 前記第２のホルダ（５）は、Ｚ方向並進ユニットを有する、請求項１１から１３のいずれか１項記載の装置。
15. 前記Ｚ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＺ方向並進ユニットである、請求項１４記載の装置。
16. 前記少なくとも２つの第１の検出ユニット（３，３″）はそれぞれ、前記第１のホルダ（４）の側方に対向して配置されており、及び／又は、前記少なくとも２つの第２の検出ユニット（３′，３′″）はそれぞれ、前記第２のホルダ（５）の側方に対向して配置されている、請求項１１から１５のいずれか１項記載の装置。
17. 前記少なくとも２つの第１の検出ユニット（３，３″）はそれぞれ、Ｘ方向並進ユニットと、Ｙ方向並進ユニットと、Ｚ方向並進ユニットとを有する、請求項１１から１６のいずれか１項記載の装置。
18. 前記Ｘ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＸ方向並進ユニットであり、前記Ｙ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＹ方向並進ユニットであり、前記Ｚ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＺ方向並進ユニットである、請求項１７記載の装置。
19. 前記少なくとも２つの第２の検出ユニット（３′，３′″）はそれぞれ、Ｚ方向並進ユニットを有する、請求項１１から１８のいずれか１項記載の装置。
20. 前記Ｚ方向並進ユニットは、直線的にのみ移動可能なＺ方向並進ユニットである、請求項１９記載の装置。
21. それぞれ１つの第１の検出ユニット（３，３″）と、それぞれ１つの第２の検出ユニット（３′，３′″）とを、互いに向き合うように配置可能である、請求項１１から２０のいずれか１項記載の装置。