JP6927475B2 - ボンディング位置合わせのためのデバイスおよび方法 - Google Patents
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Description
第1の基板を支持するための第1のチャックの支持表面が第2のチャックの支持表面に平行になるように第2のチャックを回転させるステップと、
第1の基板を第1のチャックに搭載し、対物レンズ群から発せられて光透過性材料で作られた第2のチャックを通過する光により第1の基板上の第1の位置合わせマークを識別するステップと、
第2の基板を第2のチャックに搭載し、対物レンズ群から発せられて第2のチャックを通過する光により第2の基板上の第2の位置合わせマークを識別するステップと、
第1の位置合わせマークが第2の位置合わせマークと位置合わせされるように、第1および第2のチャックを互いに対して移動させるステップと、
を含む、ボンディング位置合わせのための方法を提供する。
第1のチャックが第2のチャックに接触するまで第1のチャックを第2のチャックに対して下方に移動させるステップであって、第2のチャックが第1のチャックの作用の下で回転するステップと、
第1のチャックにより第2のチャックに与えられる圧力を、圧力センサを使用することによりリアルタイムで検出するステップと、
圧力が所定の値に達したのに応じて、水平調節デバイスを使用しかつ第1のチャックを元の位置に戻すことにより、第2のチャックの現在の姿勢を維持するステップと、
を含むことが、好ましい。
図1を参照すると、本発明は、2枚の基板のボンディング位置合わせのための装置を提供する。ボンディング位置合わせのための装置は、プレス組立体を含み、このプレス組立体は、上部から底部に向かって、上側アクチュエータ102、上側アクチュエータ102に固定して接続されている上側チャック103、上側チャック103の支持表面に面している支持表面を有する下側チャック104、下側チャック104に固定して接続されている水平調節デバイス107、および、水平調節デバイス107に固定して接続されている下側アクチュエータ106を備える。上側チャック103は、上側チャック103により下側チャック104に印加される圧力を検出するための圧力センサ101に電気的に接続される。上側アクチュエータ102は、上側チャック103を垂直に移動させることができる。
この実施形態は、対物レンズ群105が上側チャック103の片側に配置される点で、実施形態1とは異なる。図10を参照すると、上側チャック103は、上側アクチュエータ102に固定され、かつ、光源の通過を可能にする透明な材料で作られる。同様に、水平調節デバイス107は、下側アクチュエータ106に固定して接続され、下側チャック104は、水平調節デバイス107に固定される。下側チャック104は、2つの自由度(すなわち、RxおよびRy)において偏揺れすることができる。
Claims (11)
- プレス組立体と前記プレス組立体の片側に配置された対物レンズ群とを備える、2枚の基板を接着するために使用されるボンディング位置合わせのための装置であって、前記プレス組立体が、第1のチャックおよび第2のチャックを備え、前記第1のチャックが、前記第2のチャックの支持表面に面している支持表面を有し、前記第1のチャックが、前記第2のチャックに対して移動可能であり、前記第1のチャックが、第1の基板を支持するように構成され、前記第2のチャックが、第2の基板を支持するように構成され、前記第1のチャックまたは前記第2のチャックが、回転可能な構造を有し、前記対物レンズ群に近接する前記第1のチャックおよび前記第2のチャックのうちの一方が、光透過性材料で作られ、前記対物レンズ群が、前記プレス組立体内の前記第1の基板と前記第2の基板との間の位置合わせ状況を観察するように構成され、前記第1および第2のチャックが、前記対物レンズ群によって観察された前記位置合わせ状況に基づいて互いに対して移動するように構成され、前記第1のチャックが上側チャックであり、前記第2のチャックが下側チャックであり、前記第1および第2の基板を前記第1および第2のチャックに搭載する前に、および前記上側チャックと前記下側チャックとの間に楔形状の誤差が存在する場合、前記上側チャックが前記下側チャックに向かって移動され、前記上側チャックの一部分が前記下側チャックと接触するようになっており、それによって、前記下側チャック上に回転モーメントを生じさせ、回転モーメント下で前記下側チャックが前記楔形状の誤差を除去するように回転するようになっている、ボンディング位置合わせのための装置。
- 前記プレス組立体が、前記上側チャックに結合された上側アクチュエータおよび/または前記下側チャックに結合された下側アクチュエータをさらに備え、前記上側アクチュエータが、前記上側チャックを移動させるように構成され、前記下側アクチュエータが、前記下側チャックを移動させるように構成される、請求項1に記載のボンディング位置合わせのための装置。
- 前記回転可能な構造を有する前記チャックが、前記回転可能な構造を有する前記チャックを回転させるための水平調節デバイスを備える、請求項1に記載のボンディング位置合わせのための装置。
- 前記水平調節デバイスが、前記回転可能な構造を有する前記チャックの下方に均等に分布された3つの水平調節機構を含み、前記3つの水平調節機構のそれぞれが、前記回転可能な構造を有する前記チャックを水平面に対して回転させることができるように、高さが自己調節可能である、請求項3に記載のボンディング位置合わせのための装置。
- 前記対物レンズ群が、前記下側チャックの下方に配置され、前記下側チャックが、光透過性材料で作られる、請求項1に記載のボンディング位置合わせのための装置。
- 前記対物レンズ群が、前記上側チャックの上方に配置され、前記上側チャックが、光透過性材料で作られる、請求項1に記載のボンディング位置合わせのための装置。
- 前記対物レンズ群が、画像センサに電気的に接続され、前記画像センサが、前記対物レンズ群を介して前記観察された位置合わせ状況を撮像するように構成される、請求項1に記載のボンディング位置合わせのための装置。
- 前記第1のチャックが、前記第1のチャックが受ける圧力を検出するように構成された圧力センサにさらに接続される、請求項1に記載のボンディング位置合わせのための装置。
- 第1のチャックを第2のチャックに対して、前記第1のチャックが前記第2のチャックと接触するまで、下方に移動させ、前記第1のチャックと前記第2のチャックとの間に楔形状の誤差が存在する場合、前記第1のチャックの一部分が前記第2のチャックと接触し、それによって、前記第2のチャック上に回転モーメントを生じさせ、回転モーメント下で前記第2のチャックが前記楔形状の誤差を除去するように回転し、第1の基板を支持するための前記第1のチャックの支持表面が前記第2のチャックの支持表面に平行になるようになっている、ステップと、
前記第1の基板を前記第1のチャックに搭載し、対物レンズ群から発せられて光透過性材料で作られた前記第2のチャックを通過する光により前記第1の基板上の第1の位置合わせマークを識別するステップと、
第2の基板を前記第2のチャックに搭載し、前記対物レンズ群から発せられて前記第2のチャックを通過する光により前記第2の基板上の第2の位置合わせマークを識別するステップと、
前記第1の位置合わせマークが前記第2の位置合わせマークと位置合わせされるように、前記第1および第2のチャックを互いに対して移動させるステップと、
を含む、ボンディング位置合わせのための方法。 - 前記第1の位置合わせマークが前記第2の位置合わせマークと位置合わせされた後に、前記対物レンズ群を使用することにより位置合わせ状況を検出するステップをさらに含み、また、前記位置合わせ状況が受入れられなかった場合、前記第1の位置合わせマークが前記第2の位置合わせマークと位置合わせされるまで、検出されたずれに基づいて前記第1および前記第2のチャックを互いに対してさらに移動させるステップをさらに含む、請求項9に記載のボンディング位置合わせのための方法。
- 前記第1のチャックの前記支持表面を前記第2のチャックの前記支持表面に平行になるように調節するステップが、
前記第1のチャックにより前記第2のチャックに与えられる圧力を、圧力センサを使用することによりリアルタイムで検出するステップと、
前記圧力が所定の値に達したのに応じて、水平調節デバイスを使用しかつ前記第1のチャックを元の位置に戻すことにより、前記第2のチャックの現在の姿勢を維持するステップと、
をさらに含む請求項9に記載のボンディング位置合わせのための方法。
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