WO2024046578A1 - Vakuumsubstrathalter mit optimierter vakuumdichtung - Google Patents

Vakuumsubstrathalter mit optimierter vakuumdichtung Download PDF

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WO2024046578A1
WO2024046578A1 PCT/EP2022/074472 EP2022074472W WO2024046578A1 WO 2024046578 A1 WO2024046578 A1 WO 2024046578A1 EP 2022074472 W EP2022074472 W EP 2022074472W WO 2024046578 A1 WO2024046578 A1 WO 2024046578A1
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vacuum
zone
substrate holder
smaller
transition
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PCT/EP2022/074472
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Inventor
Markus Wimplinger
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Ev Group E. Thallner Gmbh
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Publication date
Application filed by Ev Group E. Thallner Gmbh filed Critical Ev Group E. Thallner Gmbh
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Definitions

  • Vacuum substrate holder with optimized vacuum seal The invention relates to a vacuum substrate holder with optimized vacuum seal as well as a device for bonding and a method for bonding substrates.
  • This is a solution for multi-zone substrate holding devices for fusion and hybrid bonding.
  • substrate holding devices have become established on bonding systems for fusion and hybrid bonding, which have more than one defined vacuum zone for substrate fixation. These vacuum zones are preferably subjected to different vacuum pressures, which results in different levels of pressure on the substrate on the receiving device.
  • the bonding result can be achieved by specifically controlling the vacuum pressure for the individual zones , in particular the distortion of the substrates can be actively influenced.
  • EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 2 - In the prior art, two are separated with a vacuum seal.
  • a solution to the problem at hand would be to divide vacuum transitions into several zones and define gradations so that the vacuum transitions do not occur so abruptly.
  • These difficulties are enormously exacerbated, particularly in the production of substrate receiving devices made of ceramics such as silicon nitride or silicon carbide (SiSiC ceramics).
  • substrates in the semiconductor industry have been connected to one another using so-called bonding processes.
  • these substrates must be aligned with each other as precisely as possible.
  • One of the biggest challenges in bonding is the bonding process itself, i.e. during the bond initiation until the complete contacting of the contact surfaces of the substrates.
  • the orientation of the two substrates relative to one another can still change significantly compared to the previous orientation.
  • the substrates can be aligned very precisely with one another using alignment equipment, distortion of the substrates can occur during the bonding process itself.
  • the alignment inaccuracy at a particular point on the substrate can be a result of distortion, scaling error, lens error (magnification or reduction error), etc.
  • abrupt changes must be avoided, because abrupt distortions resulting from the bonding process can only be difficult to compensate for with compensation options, for example from post-bond lithography.
  • Gradual distortions can be more easily compensated for and at least minimized.
  • the object of the present invention is to provide a device and a method for bonding two substrates, with which the bonding accuracy is increased and a reduction in the distortions induced by bonding is achieved, since abrupt changes in the general conditions for the bonding wave are avoided.
  • the invention relates to a device for fixing a substrate, at least having a first vacuum zone with at least a first fixing element, a second vacuum zone with at least a second fixing element, receiving increases which are at least in the first vacuum zone and are arranged at least in the second vacuum zone, wherein the substrate is arranged in a fixed state on a receiving surface provided by the receiving elevations and at least one transition zone separating the first vacuum zone and the second vacuum zone from one another, the transition zone having at least one sealing structure, wherein in the fixed State the first vacuum zone and the second vacuum zone are fluidly connected to one another through the transition zone.
  • a vacuum substrate holder which provides a receiving surface for a substrate or a substrate stack, with which a gradual vacuum transition between adjacent vacuum zones can be achieved through a specifically adjusted fluidic connection in a transition zone.
  • the second zone can also be formed by the surroundings of the vacuum substrate holder, so that a correspondingly advantageous pressure equalization can be created at the periphery.
  • the receiving elevations are, in particular, knob-like projections of the same height, which are arranged on the entire vacuum substrate holder, preferably regularly and in each zone.
  • the vacuum zones or the first and second vacuum zones are separated from each other by a transition zone.
  • the transition zone is characterized in particular by the fact that at least one sealing structure is arranged within it, which separates the individual vacuum zones from one another, in which case, contrary to the prior art, a fluidic connection between the vacuum zones is provided by the transition zone. If the substrate rests on the receiving elevations or is fixed on the receiving surface, the vacuum zones are only above the EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 5 - Transition zone fluidly, the substrate, the substrate holder and the transition zone of the substrate holder form a vacuum zone.
  • the transition zone is dimensioned such that fixation by the fixing elements can still be carried out. A gradual vacuum transition between the vacuum zones can thus advantageously be ensured without restricting the function of the vacuum substrate holder.
  • the at least one fixing element is in particular one or more vacuum openings which are connected to a correspondingly regulated vacuum control unit.
  • the substrate can advantageously be fixed to the respective vacuum zone via the at least one fixing element or the fixing elements.
  • the sealing structure can be, for example, a sealing ring and is formed along the entire transition zone.
  • a radially symmetrical arrangement of the elements is preferred, with the transition zones also preferably being designed in the shape of a circular arc.
  • the transition zone can advantageously prevent abrupt changes in the vacuum values.
  • a better bonding result can be achieved with the vacuum substrate holder.
  • the at least one sealing structure has at least one opening and a flow cross-sectional area of the sealing structure can be specified through the at least one opening.
  • the sealing structure thus has a desired opening or openings to provide a certain flow cross-sectional area through the transition zone and thus from the first vacuum zone to the second vacuum zone. By dimensioning the opening, the flow behavior can be advantageously adjusted and gradual compensation can therefore be achieved.
  • the flow cross-sectional area of the sealing structure preferably also represents the flow cross-sectional area of the transition zone.
  • the at least one transition zone each has at least two sealing structures and the transition zone forms a gap between the most distant sealing structures of the at least one transition zone.
  • the transition zone has at least two sealing structures, preferably directly adjacent to the respective vacuum zone. In this way, a separation of the respective adjacent vacuum zones is advantageously possible along the entire extent in the radial direction of the transition zone.
  • an intermediate space is advantageously provided in which a gradual pressure equalization between the first vacuum zone and the second vacuum zone can take place without generating bonding errors due to abrupt changes in the vacuum transition.
  • the gap can have further sealing structures between the two most widely spaced sealing structures. This further increases the positive effect on the bonding result, as the vacuum transition can occur even more gradually.
  • the sealing structures of the same transition zone preferably have the same distance from one another.
  • the respective flow cross-sectional area of the two sealing structures that are furthest away from each other is the same size. In this way, a particularly gradual vacuum transition is possible, since the respective openings or flow cross-sectional areas of the external sealing structures of a transition zone are of the same dimensions.
  • the compensation can take place evenly in the direction of the first vacuum zone and the second vacuum zone.
  • All sealing structures in a transition zone preferably have the same structure EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 7 - flow cross-sectional area. An even balance is advantageously ensured.
  • the respective flow cross-sectional areas of all sealing structures of the at least one transition zone are therefore designed or dimensioned to be the same size.
  • the flow cross-sectional area of the intermediate space is larger than the flow cross-sectional area of the sealing structures of a transition zone.
  • a buffer is formed by the intermediate space, since compensation only takes place via the respective openings in the sealing structures, whereas within a transition zone at least one flow cross-sectional area is provided, which is larger than that of the external sealing structures. If more than two sealing structures or further sealing structures are arranged between the external sealing structures, the flow cross-sectional area of the gap is determined at locations without a sealing structure.
  • the volume provided by the gap between the external sealing structures thus advantageously provides a space for equalizing the vacuum.
  • the volume and the flow cross-sectional area of the gap can be advantageously adjusted by filling the gap with a material.
  • the flow cross-sectional area of the gap is larger by a factor of 5, preferably larger by a factor of 10, preferably larger by a factor of 30, more preferably larger by a factor of 50, even more preferably larger by a factor of 100 most preferably larger by a factor of 200, most preferably larger by more than a factor of 200, than the flow cross-sectional area of the sealing structures of a transition zone.
  • EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 8 - In other words, the opening of sealing structures is clearly none other than the cross section of the gap.
  • the at least one sealing structure has a uniform height relative to a vacuum substrate holder surface and the height of the at least one sealing structure is less than a height (H) of the receiving elevations relative to the vacuum substrate holder surface, so that in the fixed state A gap with a gap height (h) is formed between the at least one sealing structure and the substrate.
  • H height of the receiving elevations relative to the vacuum substrate holder surface
  • the vacuum seals can be reset, for example, between 100 nm and 5 ⁇ m, preferably between 100 nm and 3 ⁇ m, even more preferably between 100 nm and 500 nm.
  • the height of the knobs H1 which define a height of the support surface of the substrates, is, for example, between 100 ⁇ m and 1000 ⁇ m. In this way, a gap of the same size is provided along the entire transition zone, so that a particularly uniform vacuum transition is ensured, with the aforementioned area proving to be particularly suitable for the application.
  • the gap height is more than 10 times smaller, preferably more than 30 times smaller, more preferably more than 50 times smaller, even more preferably more than 80 times smaller, most preferably more than 100 times smaller, most preferably is more than 200 times smaller than a height of the intake increases.
  • the amount of the admission increase will be EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 9 - also determined by the. In the fixed state of the substrate, this corresponds in particular to the distance between the substrate and the vacuum substrate holder surface. The gap therefore also determines the flow cross-sectional area of the respective adjacent sealing structure.
  • the absolute height of the recording increases is less than 2000 ⁇ m, in particular less than 1000 ⁇ m, preferably less than 500 ⁇ m, more preferably less than 200 ⁇ m, most preferably less than 100 ⁇ m.
  • linear projections with a uniform axial distance are arranged on the at least one sealing structure along the transition zone.
  • the linear projections preferably extend along the entire transition zone on the sealing structures.
  • the linear projections are included in determining the height of the sealing structures. Thanks to the linear projections, the compensation can be carried out even more evenly.
  • the transition zone can be provided by a wide sealing structure having a plurality of linear projections.
  • the transition zone preferably has only one sealing structure.
  • the at least one sealing structure rests at least partially on the substrate in the fixed state and channels are formed in the at least one sealing structure offset along the transition zone.
  • the channels are also openings and can be of any design.
  • the channels preferably have a round or rectangular cross section. In this case, the channels form the flow cross-sectional area. It is particularly preferred for several and particularly preferably all of the sealing structures of a transition zone to have channels.
  • the channels are preferably arranged on the surface of the sealing structure or sealing structures facing the substrate. This means that the substrate does not rest on the sealing structure in the area of the channels.
  • all sealing structures of a transition zone have channels, which are preferably arranged regularly offset along the transition zone or along the radius, so that the flow path is enlarged. In this way, particularly gradual vacuum transitions and particularly distortion-free bonding results can be achieved.
  • a distance between the at least one first vacuum zone and the at least one second vacuum zone is less than 50 mm, preferably less than 25 mm, more preferably less than 20 mm, most preferably less than 15 mm most preferably smaller than 10 mm.
  • the transition zone is dimensioned accordingly.
  • the distances are dimensioned radially and the transition zones, which are designed in particular as circular arcs, have a radial extent corresponding to the aforementioned values. Due to the specific distance between the radially adjacent vacuum zones, a gradual transition can advantageously be achieved with conventional substrate holder diameters.
  • the flow cross-sectional area of the gap can be provided along the radial extent over a certain range, so that a EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 11 - minimal or the gap can be provided. It has been found that the distance between the vacuum zones is particularly suitable for achieving a gradual vacuum transition.
  • the at least one fixing element of a vacuum zone each has at least one fluid opening, and wherein a total flow area of the respective vacuum zone is formed by all fluid openings of the respective vacuum zone, and wherein the flow cross-sectional area of the sealing structure is connected to the respective vacuum zone adjacent transition zone smaller by a factor of 2, preferably smaller by a factor of 5, more preferably smaller by a factor of 10, even more preferably smaller by a factor of 30, most preferably smaller by a factor of 50, most preferably smaller by a factor of 100 than the total flow area of the fixing elements of the respective adjacent vacuum zone.
  • the fixing elements have one or more fluid openings in order to flood or evacuate the respective vacuum zone.
  • the total flow area is determined by the total area of all fluid openings of the fixing elements of a vacuum zone.
  • the flow cross-sectional area of the supply line of a transition zone is significantly larger than the flow cross-sectional area of the sealing structure of the adjacent transition zone or transition zones. In this way, the gradual vacuum transition can be set advantageously in relation to the parameters of the fixing elements.
  • the flow cross-sectional area of the sealing structure is more than 10 times smaller, preferably more than 30 times smaller, more preferably more than 50 times smaller, even more preferably more than 80 times smaller EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 12 - most preferably more than 100 times, most preferably more than 200 times smaller than a total opening area between the receiving elevations of a vacuum zone immediately adjacent to the transition zone.
  • the total opening area is preferably determined perpendicular to the substrate in the fixed state.
  • the total opening area of the vacuum zone towards the transition zone is determined by free areas between the receiving elevations.
  • the smallest area between the knobs of the respective vacuum zone adjacent to the transition zone i.e. the flow path of the fluid in the direction of the transition zones, forms the total opening area.
  • the vacuum substrate holder has further vacuum zones, with the further vacuum zones each being separated by further transition zones, and with vacuum zones adjacent in the radial direction each being fluidly connected to one another by the further transition zones.
  • several vacuum zones can be connected in series or are fluidly connected to one another.
  • the transition zones are preferably arranged in the direction of the expected direction of movement of a bonding wave.
  • the radially adjacent vacuum zones are each separated by a transition zone.
  • the further features can be applied analogously in a technically sensible manner and have the same, in particular further, advantages.
  • the invention further relates to a device for bonding substrates, having at least the vacuum substrate holder.
  • the vacuum substrate holder is ideal for use in a bonding device.
  • the lower substrate holder in particular is used as the vacuum substrate holder EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 13 - and offers a vacuum transition between the respective vacuum zones.
  • the bonding accuracy is significantly improved.
  • the invention further relates to a method for bonding substrates with the following steps, in particular in the following order i) providing a first substrate on the vacuum substrate holder, ii) providing a second substrate on a substrate holder and iii) bonding the first substrate to the second substrate .
  • pressure differences occurring in the respective vacuum zones of the vacuum substrate holder, in particular along a progressive bonding wave between the first substrate and the second substrate are compensated for by the at least one transition zone.
  • a particularly important aspect of the present invention is that a gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next is made possible in the area of the receiving surface of the receiving device or the vacuum substrate holder.
  • transition zones which have a larger flow cross section in the area of the transition zone compared to the flow cross section in the area of the vacuum seal, enables a gradual vacuum transition from one vacuum zone to the other.
  • the transition zones are particularly preferably not actively supplied with vacuum and do not have any fixing elements.
  • a transition zone between two vacuum zones enables the gradual vacuum transition from a first to a second vacuum zone. Changes in the substrate fixation from one vacuum zone to the other are implemented by the gradual vacuum transition generated with the possibility of design optimization, which means that the general conditions for the bonding wave also change gradually. This reduces and evens out distortions, resulting in increased quality of the bond products.
  • Both substrates are fixed by the receiving devices during bonding, in particular during the movement of the bonding wave, preferably during fusion and hybrid bonding.
  • An important aspect is that the substrates to be bonded are fixed on holding devices with several vacuum zones, which enable a gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next in the holding surface of the holding device with the help of transition zones.
  • At least one of the two substrates is curved before contacting or bonding and the curvature of at least one of the two substrates is changed during bonding, in particular while a bonding wave is running, by controlling the curvature.
  • a change in curvature means, in particular, a state that deviates from an initial state of the substrates.
  • the curvature of at least one of the substrates is described in detail in WO2017/162272A1. Its exact description is therefore omitted here.
  • the bonding is controlled in particular after contacting the contact surfaces, in particular by controlled control of the fixation of the substrates.
  • a further aspect of the present invention consists in the use of fixing elements, in particular individually switchable ones, with the aid of which a progressive bonding wave between the contact surfaces can be controlled or regulated in a controlled manner.
  • a characteristic process in bonding, in particular permanent bonding, preferably fusion bonding, is the most centric and/or point-shaped contacting of the two contact surfaces of the substrates. In general, the two substrates cannot be contacted centrally.
  • the advancing bonding wave is controlled in such a way that optimal, sequential contacting of the two, in particular progressing from the inside out, is achieved Substrates along the contact surfaces.
  • Optimal contacting means in particular that local alignment errors (“run-out” errors) at every point on the contact interface between the two substrates are minimal or, in the optimal case, even disappear.
  • the invention therefore relates in particular to a method and a system with the help of which it is possible to bond two substrates to one another in such a way that distortions, in particular distortions induced by bonding, are minimized because abrupt changes in the framework conditions for the Bonding wave can be avoided.
  • the substrates are fixed by several fixing elements, in particular divided into vacuum zones. This ensures a gradual vacuum transition from one EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 16 - vacuum zone to the next in which the receiving device is made possible by transition zones.
  • the transition zones are not supplied with vacuum and serve as a space between two different vacuum zones.
  • the vacuum is created in the gaps or transition zones due to leakage from the vacuum seals.
  • the transition zone acts in a balancing manner, since different leak rates at different locations along the vacuum seals are compensated for by the seals and/or structures in the transition zone.
  • the general conditions for the bonding wave will also change gradually. This reduces and evens out distortions, resulting in increased quality of the bond products.
  • the fixing means of the receiving devices are controlled in particular in such a way that a controlled deformation/change in curvature of at least one of the substrates occurs.
  • An upper substrate is pulled downwards in a controlled manner on the one hand by gravity and on the other hand by a bonding force acting along the bonding shaft and between the substrates.
  • the upper substrate is thus connected to the lower substrate radially from the center towards the side edge.
  • the upper substrate is kept fixed during the entire period in which the bonding wave is running and that the bonding wave can progress by successively switching off the fixing elements, in particular starting with the fixing elements inside the substrate holder. Continuation of the bonding wave can in particular also be promoted by the two substrate holders moving relative to one another as the bonding wave progresses.
  • the fixing elements are either attached vacuum holes, one or more circular vacuum lips or comparable vacuum elements, with the help of which the wafer or substrate can be fixed.
  • a pin in the central bore or a line from which an excess pressure can be generated by an introduced gas between the substrate holder and the substrate is used for the controllable deflection of the fixed substrate (curvature means and/or curvature changing means).
  • the substrates can have any shape, but are preferably circular. The diameter of the substrates is standardized in particular industrially.
  • the bonding device or device for bonding has two receiving devices, one for the upper substrate and one for the lower substrate.
  • the two receiving devices are generally not completely identical, since at least one of the receiving devices has one or more deformation elements in order to be able to deform one of the substrates.
  • the receiving devices for the upper and lower substrates have fixing means, in particular several fixing elements.
  • the fixing elements can be grouped in vacuum zones. All fixing elements in a vacuum zone can be switched at the same time.
  • all fixing elements of a vacuum zone can be controlled by a single control element, in particular a control valve.
  • all fixing elements in a zone can be switched individually. This means that several fixing elements can be used simultaneously to fix or loosen the substrate EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 18 - controlled within the zone They can be controlled individually, but create a very individual deformation property of the substrate in their vacuum zone.
  • the zones, or vacuum zones are dimensioned in particular as usual for zone vacuum substrate holders and can, for example, assume the following geometries: single-surface, circle segment, tiled, in particular as a triangle, square or hexagon.
  • the fixations can in particular be controlled electronically.
  • the fixing property of the holding surface of the receiving device is controlled by the number of fixing elements per unit area and the pressure set in each case.
  • Vacuum fixation is the preferred type of fixation.
  • the fixing elements can be subjected to negative pressure for fixation.
  • the fixing elements can also be subjected to excess pressure.
  • the vacuum fixation consists of several vacuum tracks that emerge from the substrate surface of the substrate holder.
  • the vacuum paths can preferably be controlled individually.
  • the fixing elements consist of holes.
  • the fixing elements are provided with vacuum lips. Some vacuum paths and/or vacuum holes are combined to form vacuum zones that can be controlled individually and therefore evacuated or flooded. However, each vacuum zone is independent of the other vacuum zones.
  • the vacuum zones are preferably constructed in a ring shape. This results in a targeted, radially symmetrical fixation and/or detachment of a substrate from the inside to the outside EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 19 - Recording facility enables. Reference is made to the possibility of vacuum zones from publications WO2017/162272A1.
  • the vacuum zones are evenly distributed on the holding surfaces.
  • the vacuum zones are located in an edge region of the holding surface of the receiving device. The edge region extends in particular up to half the radius, preferably up to a quarter of the radius, of the holding surface of the receiving device.
  • a knob receiving device is a receiving device whose surface is not flat, but consists of several small elevations or receiving elevations, the knobs, which form a holding plane and carry the substrate on it.
  • Such a recording device is described in detail in the publications WO2015/113641A1 and WO2017/162272A1, to which reference is made here.
  • the use of such a receiving device is advantageous in order to enable the smallest possible contact area between the substrate and the holding surface of the receiving device, so that contamination of the back of the substrate is reduced to a minimum or so that no contamination occurs at all.
  • the height of the knobs is in particular less than 1 mm, preferably less than 500 ⁇ m, more preferably less than 200 ⁇ m, most preferably less than 100 ⁇ m. In a preferred embodiment, the height of the knobs is between 100 ⁇ m and 1000 ⁇ m.
  • the number of fixing elements per vacuum zone is arbitrary. In particular, there is preferably at least 1 fixing element in a vacuum zone EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 20 - at least 2 fixing elements, more than 10, more preferably more than 20, even more preferably more than 50, most preferably more than 100.
  • a vacuum zone is activated by switching on all fixing elements within the vacuum zone with a preferably adjustable pressure, which specifies the respective holding force of the zone.
  • An important aspect is that between the vacuum zones there are also zones or transition zones without fixing elements and without vacuum supply. These zones are structured in such a way that a gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next in the holding surface of the receiving device is possible.
  • the distance between two vacuum zones is in particular smaller than 50 mm, preferably smaller than 25 mm, even more preferably smaller than 20 mm, most preferably smaller than 15 mm, most preferably smaller than 10 mm.
  • the distance would be the distance between the inner ring of an outer circle segment and the outer ring of an inner circle segment.
  • new stress patterns arise from the fixation of the substrates. If forces act on the substrates, for example resting on structures of the holding surface, an asymmetrical deformation occurs. Forces that act on substrates include, for example, the gravitational force and the suction forces of the individual vacuum zones.
  • This asymmetrical deformation is still present during the contact between the two substrates and/or during the bonding process and necessarily leads to an asymmetrical propagation of the bonding wavefront and thus to a EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 21 - undesirable run-out effect.
  • There are also surfaces or zones without fixing elements between the vacuum zones and these surfaces are designed or structured in such a way that a gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next is possible in the holding surface of the receiving device. The gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next enables a reduction in distortion because abrupt changes in the conditions for the bonding wave are avoided.
  • abrupt changes in the distortions are avoided because the general conditions for the bonding wave change gradually and not abruptly along the different vacuum zones.
  • Abrupt changes must be avoided because abrupt distortions resulting after the bonding process are difficult to compensate for, for example, with compensation options from post-bond lithography.
  • Gradual distortions can be partially minimized more easily.
  • the finer the structures to be imaged the more dependent the quality of the semiconductor components produced is on errors, in particular distortions, of the components used.
  • the gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next is implemented through design optimization of areas between the vacuum zones.
  • the areas between the vacuum zones are areas without fixing elements and are not actively supplied with vacuum. These areas between one vacuum zone and the next are called transition zones.
  • the individual transition zones between the different vacuum zones can be designed differently.
  • the basic idea of the invention is that in the holding surface of the receiving device in the area of the vacuum seal between two EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 22 - Vacuum zone structures Sealing structures are incorporated which are able to ensure a gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next.
  • the structures are preferably designed in such a way that this gradual vacuum transition occurs evenly at all locations along the vacuum seal.
  • the structures can be structures in the vacuum seals themselves, for example channels, or recessed vacuum seals, for example by changing the dimensions, or structuring the spaces in the area of the transition zone.
  • the transition zones permanently allow more or less leakage gas to pass through, similar to labyrinth or throttle gap seals.
  • a leak is an opening or gap in an enclosed space through which gases can escape (enter in a vacuum).
  • the flow resistance depends, for example, on the gap height.
  • a gap height that is too small means very high flow resistance.
  • the flow resistance in the area of the vacuum seals, in the area of the transition zone and in the area of the vacuum zones is controlled in such a way that there is an equalization between two vacuum zones in the transition zone, since the vacuum is in the transition zone compensated for by leakage at the vacuum seals or at the structures.
  • the resetting of the vacuum seals relative to the support plane of the substrates on the holding surface of the receiving device defines the gap height h, which is intended to allow leakage.
  • vacuum seals can be set back between 1 ⁇ m and 5 ⁇ m, preferably between 1 ⁇ m and 3 ⁇ m.
  • the height of the knobs which define a height of the support surface of the substrates, is, for example, between 100 ⁇ m and 1000 ⁇ m.
  • more than one vacuum seal in particular a sealing ring, is placed between two vacuum zones. The zones between the vacuum seals are not actively supplied with vacuum. The vacuum is created in this space due to leakage from the vacuum seals.
  • This gap acts as a leveller, since different leak rates at different locations along the vacuum seals are compensated for above the vacuum seals. This is particularly the case if the flow cross section in the area of the gap is larger than the cross section of the leak in the area of the individual vacuum seals.
  • These cross sections are preferably optimized for the best possible result.
  • the height of the vacuum seal between a vacuum zone and a transition zone is set back relative to the surface of the substrate support, in particular knobs. This distance (gap height) is chosen so that it is significantly smaller than the height of the knobs.
  • the gap height is in particular more than 10 times smaller, preferably more than 30 times smaller, more preferably more than 50 times smaller, even more preferably more than 80 times smaller, most preferably more than 100 times smaller, most preferably more than 200 times smaller than the height the nubs.
  • the cross section of the leak should be significantly smaller than the cross section of the supply line.
  • the cross section of the leak is in particular smaller by a factor of 2, preferably smaller by a factor of 5, preferably smaller by a factor of 10, more preferably smaller by a factor of 30, even more preferably smaller by a factor of 50, most preferably smaller by a factor of 100, etc most preferably by more than a factor of 100 smaller than the cross section of the supply line. This ensures that the leakage is the defining resistance in the system and that the vacuum values in the area of the support surface (retaining surface) can be controlled specifically and precisely.
  • the vacuum seals between a vacuum zone and a transition zone or the vacuum seals that are located in the transition zone between two vacuum zones are not set back relative to the surface of the substrate support. Instead, small channels are incorporated into the vacuum seal at several points at regular intervals along the course. The cross section of these channels is chosen so that it is significantly smaller than the cross section in the area of the knobs.
  • the EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 25 - Cross section of the channels is more than 10 times smaller, preferably more than 30 times smaller, more preferably more than 50 times smaller, even more preferably more than 80 times smaller, most preferably more than 100 times smaller, most preferably more than 200 times smaller than the cross section in the area of the knobs. This ensures that the pressure drop occurs predominantly in the area of the vacuum seal and that the vacuum is homogeneous in the area of the vacuum zone.
  • another important design criterion is that the cross section of the leak should be significantly smaller than the cross section of the supply line.
  • the cross section of the leak is in particular smaller by a factor of 2, preferably smaller by a factor of 5, preferably smaller by a factor of 10, more preferably smaller by a factor of 30, even more preferably smaller by a factor of 50, most preferably smaller by a factor of 100, etc most preferably by more than a factor of 100 smaller than the cross section of the supply line.
  • This ensures that the leakage is the defining resistance in the system and that the vacuum values in the area of the support surface (retaining surface) can be controlled specifically and precisely.
  • multiple vacuum seals are used in the transition zone. Additional vacuum seals are thus arranged between the vacuum seals that define the transition between a vacuum zone and a transition zone.
  • the vacuum transition between two vacuum zones fed with vacuum can be divided and graded into individual vacuum steps.
  • the resistances of the individual vacuum seals are chosen to be the same or the vacuum seals are manufactured in the same way, the individual intermediate levels of the vacuum values can be evenly distributed.
  • the vacuum gradation can be deliberately divided non-linearly by choosing the cross section of the leak, but rather chosen according to the requirements of the process EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 26 - will be.
  • the space between the vacuum seals acts as a compensator so that the vacuum gradient is as uniform as possible over the entire length of the vacuum seal.
  • the flow cross section of the gap should preferably be chosen to be larger than the cross section of the leak.
  • the gap should have a cross section larger by a factor of 5, preferably larger by a factor of 10, preferably larger by a factor of 30, more preferably larger by a factor of 50, even more preferably larger by a factor of 100, most preferably larger by a factor of 200, on most preferably by more than a factor of 200 larger than the leak.
  • the transition zone between two vacuum zones enables short evacuation times and short ventilation times.
  • the cross section of the leakage is chosen to be as small as possible, which means that the cross section of the gap in the transition zone can also be small.
  • a further aspect of the invention is to select the distances between the individual vacuum seals so that the vacuum gradient can essentially be maintained even while the bonding wave is running.
  • the substrate is partially lifted off the receiving device in the area of the contact point between the two substrates while the bonding wave is running, which can locally lead to increased leakage in the area of the vacuum seal.
  • This change in the local vacuum gradient in the transition zone is counteracted by optimizing the distances between several (up to n) vacuum seals in a transition zone.
  • the device for bonding a substrate surface of a first substrate to a second substrate surface of a second substrate has a first receiving device for receiving the first substrate, a second receiving device for receiving the second substrate, the holding surfaces
  • the receiving devices have alternating vacuum zones with fixing elements and intermediate transition zones without fixing elements and without vacuum supply.
  • a substrate holder can additionally have sensors with the help of which physical and/or chemical properties between the fixed substrate and the recording device can be measured and can be used in a control loop to control the fixations, in particular the vacuum values.
  • a method for bonding a first substrate surface of a first substrate to a second substrate surface of a second substrate using a device is provided.
  • a first process step of a first process a first substrate is loaded and fixed on a first recording device and a second substrate on a second recording device.
  • a second process step of a first process the two substrates are aligned with one another. The orientation of the substrates is not described in detail here. In this respect we refer to the publications WO2015/082020A1 and WO2014/202106A1.
  • a third process step of a first process the two substrates are brought closer together by a relative movement of the two substrate holders to one another.
  • the first and/or the second substrate is curved.
  • the substrates are bonded after contacting at the bond initiation point and the bonding wave is monitored and controlled.
  • the alignment and bonding within the alignment device and/or within the bonding device preferably takes place at normal pressure.
  • the substrates are fixed to the receiving devices by vacuum or negative pressure.
  • the holding vacuum is preferably between 5 mbar and 950 mbar negative pressure.
  • the holding vacuum is the fixing force of the fixing elements.
  • the pressure is in particular between 0.01 mbar and 1000 mbar, preferably between 0.01 mbar and 800 mbar, even more preferably between 0.01 mbar and 500 mbar, most preferably between 0.01 mbar and 100 mbar, most preferably between 0.01 mbar and 50 mbar.
  • the differential pressure between the larger, external pressure and the smaller, internal pressure in the vacuum fixing elements is then the contact pressure on the substrate, which leads to the fixation of the substrate.
  • Figure 1 is a top view of a vacuum substrate holder of a first embodiment according to the invention
  • Figure 2 is a top view of a vacuum substrate holder of a second embodiment of the invention
  • Figure 3 is a top view of a third embodiment according to the invention
  • Figure 4a is a cross-sectional view of the holding surface of the vacuum substrate holder from Figure 3 with a transition zone in a first embodiment according to the invention
  • Figure 4b is a cross-sectional view of the holding surface of a Vacuum substrate holder with a transition zone in a second embodiment according to the invention
  • Figure 4c is a cross-sectional view of the holding surface of a vacuum substrate holder with a transition zone in a third embodiment according to the invention
  • Figure 4d is a cross-sectional view of the holding surface of a vacuum substrate holder with a transition zone in a fourth embodiment according to the invention
  • Figure 4g shows a cross-sectional view of the holding surface of the vacuum substrate holder from Figure 3 with a transition zone in a seventh embodiment according to the invention.
  • the same components or components with the same function are marked with the same reference numerals.
  • the figures show simplified, not necessarily true-to-scale representations of the EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 30 - receiving devices with fixing elements and transition zones without fixing elements.
  • Figure 1 shows a top view of a receiving device according to the invention or of a vacuum substrate holder according to the invention in a first embodiment.
  • the vacuum zones 5, 5′, 5′′ and the transition zones 6, 6′, 6′′ are arranged in a ring shape, in particular annular shape, in the illustrated embodiment.
  • the receiving device 1 according to Figure 1 has a holding surface with several fixing elements, in particular vacuum fixing elements 4, 4 ', 4''.
  • the fixing elements 4, 4 ', 4'' can be designed differently.
  • the outermost fixing element 4 is designed in particular to be fully circumferential and circular.
  • the inner fixing elements are arranged symmetrically to the center of the receiving device 1.
  • the fixing elements 4', 4'' are designed in particular as thin depressions, which can preferably be evacuated via a fluid opening 7 and thus act as a vacuum fixing element.
  • the fixing elements 4, 4', 4'' from Figure 1 each define a vacuum zone 5, 5', 5''.
  • Figure 1 shows vacuum zones 5, 5 ', 5'' which are arranged symmetrically to the center of the receiving device 1.
  • the vacuum zones 5, 5', 5" are separated by transition zones 6, 6', 6".
  • the transition zones 6, 6', 6'' each separate two different vacuum zones and are not supplied with vacuum. This means that they do not have their own fixing elements.
  • a transition zone between two vacuum zones enables the gradual vacuum transition from a first to a second vacuum zone.
  • the transition zone 6' lies, for example, between the vacuum zone 5' and the vacuum zone 5''.
  • the distance between two vacuum zones is in particular smaller than 50 mm, preferably smaller than 25 mm, even more preferably smaller than 20 mm EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 31 - most preferred smaller than 15 mm, smaller than 10 mm.
  • the vacuum zones are designed as circular segments according to Figure 1, then the distance is the distance between the inner circular ring of an outer circular segment and the outer circular ring of an inner circular segment.
  • the number of fixing elements per vacuum zone is arbitrary. In particular, there is at least 1 fixing element, preferably at least 2 fixing elements, preferably more than 10, more preferably more than 20, even more preferably more than 50, most preferably more than 100, in a vacuum zone.
  • 1 fixing element is in a vacuum zone.
  • Several vacuum zones arranged one behind the other can be controlled, in particular activated or deactivated, so that the local fixation of the substrates can be regulated.
  • a vacuum zone is activated by switching on all fixing elements within the vacuum zone.
  • the recording device 1 can also have different sensors 8, in particular pressure measuring sensors and/or distance sensors.
  • In the base body 2 of the recording device 1 there are measurement holes 3 on the holding surface for measuring process parameters from the back of the substrates.
  • In the center of the substrate holder 1 there can be a deforming element, in particular a pin or a nozzle, as a curvature changing agent.
  • FIG. 2 shows a simplified top view of a receiving device 1', with the vacuum zones 5, 5', 5'', 5''' and the intermediate transition zones 6, 6', 6'', 6''' in several rings, preferably circular rings , are arranged around the center of the receiving device 1 '.
  • the fixing elements 4, 4', 4'', 4'' shown in simplified form are each evacuated via their own, separately controllable fluid openings 7.
  • the fixing elements 4, 4', 4'', 4''' are set back, in particular milled, with respect to the substrate holder surface.
  • the recording device 1 ' according to Figure 2 has predominantly transparent measurement holes 3 in order to be able to carry out measurements from the back of the substrates to monitor the process parameters.
  • at least the upper substrate holder has measurement holes.
  • the measurement holes are in particular designed to be closable and/or sealed.
  • Distance sensors 8 can be integrated into the recording device 1' in order to measure the distance between the holding surface and the charged substrate at any time.
  • Figure 3 shows a top view of a recording device 1'' in a third embodiment.
  • the fixing elements 4, 4', 4'' are evacuated via their own lines or fluid openings 7 and are in particular recessed, preferably milled, recesses in which knobs 9 are located.
  • the fixing elements 4, 4 ', 4'' from Figure 3 each define a vacuum zone 5, 5', 5''.
  • Figure 3 shows vacuum zones 5, 5 ', 5'' which are arranged symmetrically to the center of the receiving device 1.
  • the vacuum zones 5, 5', 5'' are separated by transition zones 6, 6'.
  • the transition zones 6, 6' each separate two different vacuum zones and are not actively supplied with vacuum.
  • the transition zone 6 enables a gradual vacuum transition between the vacuum zone 5 and the vacuum zone 5 '.
  • the transition zone 6' enables a gradual vacuum transition between the vacuum zone 5' and the vacuum zone 5''.
  • EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 33 - Figure 3 shows an enlarged view of a transition zone 6.
  • a vacuum zone and a transition zone are each separated by vacuum seals.
  • the surface of the transition zone 6 can be structured.
  • the structures 10 can, for example, be further vacuum seals that are reduced from the height of the holding surface of the substrates.
  • the vacuum zones 5, 5' with fixing elements 4, 4' are each evacuated via separate fluid openings 7 and are structured as a knobbed surface. The substrates are fixed by evacuating the space between the knobs.
  • transition zone(s) are shown and explained in more detail in Figures 4a to 4f.
  • the receiving device 1'' according to FIG. 3 several vacuum zones, in particular several vacuum zones lying next to one another, can be grouped and switched together. In this way, a larger area can advantageously be switched as required, so that the bonding process and the detachment from the receiving device 1'' is possible even more flexibly and precisely.
  • the optimal number of vacuum zones per circumference, as well as the optimal number of vacuum zones along the radial directions, as well as the optimal design of the transition zones in between can be optimized in particular by empirical measurements and/or by simulations.
  • Both substrates to be bonded to one another are fixed, in particular by a controllable fixation, particularly over large areas of the surface, in such a way that the factors influencing the bonding wave that forms and propagates are reduced as much as possible.
  • a gradual vacuum transition from one vacuum zone to the next in the holding surface of the receiving device through the transition zones that are not actively supplied with vacuum makes it possible to reduce the distortions induced by bonding, since abrupt changes in the general conditions for the bonding wave are avoided.
  • EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 34 - Figure 4a shows a true-to-scale view of a cross section of a first embodiment of the holding surface of a receiving device.
  • the transition zone 6 is located between two vacuum zones 5 and 5 '.
  • the vacuum zones 5, 5' have a knob structure with knobs 9 with a height H1 and are evacuated via a fluid opening 7, 7'.
  • the transition zone 6 is not actively supplied with vacuum.
  • the width or the diameter of the receiving elevations, in particular knobs is in particular smaller than 5 mm, preferably smaller than 2 mm, even more preferably smaller than 1 mm, most preferably smaller than 500 ⁇ m, most preferably smaller than 200 ⁇ m. In a preferred embodiment, the width is between 100 ⁇ m and 2 mm.
  • the height of the receiving elevations is in particular smaller than 2 mm, preferably smaller than 1 mm, even more preferably smaller than 500 ⁇ m, most preferably smaller than 200 ⁇ m.
  • the ratio between the width or diameter of the receiving elevations and the height of the receiving elevations is greater than 0.01, preferably greater than 1, more preferably greater than 2, most preferably greater than 10, most preferably greater than 20.
  • the vacuum zones 5, 5 ' with fixing elements 4, 4 ' serve to fix the substrate (not shown). Vacuum seals separate the surface of the transition zone 6 from the two vacuum zones 5, 5 '.
  • the transition zone according to Figure 4a also shows two further structures, in particular vacuum seals. There is a gap 11 between two vacuum seals in the transition zone 6.
  • the gradual vacuum transition from one vacuum zone 5, 5 'to the other is determined by the height of the vacuum seals 10 between two vacuum zones 5, 5' and by the selection of the quantity and height of the Structures in the intermediate transition zone 6 are determined.
  • the embodiment according to Figure 4a shows another two vacuum seals as structure 10.
  • the flow resistance is in the area EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 35 - the vacuum seals 10, in the transition zone with gaps 11 and in the area of the vacuum zones 5, 5 'controlled so that there is an equalization between two vacuum zones 5, 5' in the transition zone 6 , since the vacuum in the transition zone 6 is equalized by leakage at the vacuum seals and at the structures 10.
  • the resetting of the vacuum seals 10 relative to the support plane of the substrates on the holding surface of the receiving device defines the gap height h, which is intended to allow leakage.
  • the vacuum seals can be reset, for example, between 100 nm and 5 ⁇ m, preferably between 100 nm and 3 ⁇ m, even more preferably between 100 nm and 500 nm.
  • the height of the knobs H1 which define a height of the support surface of the substrates, is, for example, between 100 ⁇ m and 1000 ⁇ m.
  • Figure 4b shows a second embodiment of the transition zone 6'. In this embodiment too, the vacuum seals 10' are set back relative to the support plane of the substrates (height of the knobs H1).
  • the gap 11' is filled up to a height H2 according to FIG. 4b, so that the volume of the gaps 11' of the transition zone 6' is smaller. This allows the equalization between two vacuum zones 5, 5' in the transition zone 6' to be controlled.
  • Figure 4c shows a third embodiment of the transition zone 6'' with an additional vacuum seal in the transition zone 6''. According to Figure 4c, the vacuum seals 10'' have a height H3 which is significantly smaller than the height of the knobs H1 for supporting the substrate.
  • the vacuum zones 5, 5' are evacuated via a fluid opening 7, 7', while the transition zone 6'' is not actively supplied with vacuum.
  • the vacuum seals 10''' are between a vacuum zone 5, 5' and a transition zone 6''' or the vacuum seals 10''', which are located in the transition zone 6''' between two vacuum zones 5, 5', are not set back relative to the surface of the substrate support. Instead, small channels 12 are incorporated into the vacuum seal 10''' at several points at regular intervals along the course. The cross section of these channels 12 is chosen so that it is significantly smaller than the cross section in the area of the knobs 9.
  • the cross section of the channels is in particular more than 10 times smaller, preferably more than 30 times smaller, more preferably more than 50 times smaller, more preferably more than 80 times smaller, most preferably more than 100 times smaller, most preferably more than 200 times smaller than the cross section in the area of the knobs 9. This ensures that the pressure drop predominantly takes place in the area of the vacuum seal 10''' and there is homogeneity of the vacuum in the area of the vacuum zone 5, 5 '. There are spaces 11''' between two vacuum seals with channels.
  • the cross section of the leak or the flow cross section area of the sealing structures should be significantly smaller than the cross section of the supply line.
  • the cross section of the leak is in particular smaller by a factor of 2, preferably smaller by a factor of 5, more preferably smaller by a factor of 10, even more preferably smaller by a factor of 30, most preferably smaller by a factor of 50, most preferably smaller by a factor of 100 the cross section of the supply line.
  • the axial distance of the vacuum seals or vacuum structures 10''' is preferably between 0.5 mm and 50 mm, more preferably between 2 mm and 50 mm, even more preferably between 5 mm and 50 mm.
  • the width of the vacuum structures is in particular between 0.5 ⁇ m EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 37 - and 1 mm, preferably between and 750 ⁇ m, more preferably between 5 ⁇ m and 500 ⁇ m.
  • Figure 4e shows a fifth embodiment of the transition zone 6 IV , where the area of the transition zone is largely filled and only line structures 10 with a height H4 smaller than the height of the knobs H1 or with a gap height h are set back relative to the knob surface.
  • the line structures are arranged on a wide vacuum seal.
  • the axial distance between the line structures is uniform and is in particular 1.5 ⁇ m.
  • the uniform axial distance of the line structures is preferably between 0.1 ⁇ m and 10 ⁇ m, more preferably between 0.5 ⁇ m and 5 ⁇ m.
  • the vacuum zones 5, 5' with knobs 9 are actively evacuated via the fluid openings 7, 7'.
  • Figure 4f shows a detail of a cross-sectional view of the holding surface of a substrate receiving device with a fixed substrate 13, with a transition zone 6 in a sixth embodiment.
  • Figure 4f shows knobs 9 with a height H, the gap height h of the recessed vacuum seals and structures 10 and the axial distance t between structures.
  • H, h and t as well as the number of vacuum seals or structures in the transition zone 6 enables a design optimization of the transition zone 6.
  • FIG 4g shows a seventh embodiment of the transition zone Vne 6 with additional vacuum seals 10 in the transition zone 6 analogous to Figure 4c.
  • the vacuum seals 10 V have a height H3 EV Group E EV TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 38 - is significantly smaller than the height H1 for supporting the substrate.
  • the vacuum seals 10 are located between two rows of receiving elevations 9 or rows of knobs.
  • the vacuum zones 5, 5 'w are evacuated via a fluid opening 7, 7', while the transition zone 6 is not actively supplied with vacuum becomes.
  • the vacuum seals or sealing structures can be set back, for example, between 100 nm and 5 ⁇ m, preferably between 100 nm and 3 ⁇ m, even more preferably between 200 nm and 1 ⁇ m, most preferably between 200 nm and 500 nm, in comparison to the recording area provided by the recording increases.
  • the axial distance between the knobs is preferably between 1 mm and 8 mm, more preferably between 2 mm and 6 mm.
  • the width or the diameter of the receiving elevations, in particular knobs is in particular smaller than 5 mm, preferably smaller than 2 mm, even more preferably smaller than 1 mm, most preferably smaller than 500 ⁇ m, most preferably smaller than 200 ⁇ m. In a preferred embodiment, the width is between 100 ⁇ m and 2 mm.
  • the width of the sealing structures 10V is smaller than the axial distance of the knobs and is in particular smaller than 5 mm, preferably smaller than 2 mm, more preferably smaller than or equal to 1 mm.

Abstract

Vakuumsubstrathalter (1) zur Fixierung eines Substrats (13), aufweisend: a) eine erste Vakuumzone (5, 5', 5", 5"') mit mindestens einem ersten Fixierelement (4, 4', 4", 4"'), b) eine zweite Vakuumzone (5, 5', 5", 5"') mit mindestens einem zweiten Fixierelement (4, 4', 4", 4"'), c) Aufnahmeerhöhungen (9) die zumindest in der ersten Vakuumzone (5, 5', 5", 5"') und zumindest in der zweiten Vakuumzone (5, 5', 5", 5"`) angeordnet sind, wobei das Substrat (13) in einem fixierten Zustand auf einer durch die Aufnahmeerhöhungen (9) bereitgestellten Aufnahmefläche angeordnet ist und d) mindestens eine die erste Vakuumzone (5, 5', 5", 5"') und die zweite Vakuumzone (5, 5', 5", 5"') voneinander trennende Übergangszone (6, 6', 6", 6"', 6IV, 6V), wobei die Übergangszone (6, 6', 6", 6"', 6IV, 6V) mindestens eine Dichtungsstruktur (10, 10', 10", 10"', 10IV, 10V) aufweist.

Description

EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO B e s c h r e i b u n g Vakuumsubstrathalter mit optimierter Vakuumdichtung Die Erfindung betrifft einen Vakuumsubstrathalter mit optimierter Vakuumdichtung sowie eine Vorrichtung zum Bonden und ein Verfahren zum Bonden von Substraten. Dabei handelt es sich um eine Lösung für Multi- Zonen Substrataufnahmeeinrichtungen für das Fusions- und Hybrid-Bonden. In den letzten Jahren haben sich Substrataufnahmeeinrichtungen auf Bonding Anlagen für Fusions- und Hybridbonding durchgesetzt, die mehr als eine definierte Vakuumzone zur Substratfixierung aufweisen. Diese Vakuumzonen werden mit Vorzug mit unterschiedlichen Vakuumdrücken beaufschlagt, was eine unterschiedlich starke Anpressung des Substrats an der Aufnahmeeinrichtung zur Folge hat. Da die Haltekraft beziehungsweise Anpresskraft des Substrats an die Aufnahmeeinrichtung einen Einfluss auf den Verlauf der Bondwelle beziehungsweise insbesondere auf die, während dem Bondvorgang in das Bonding Interface eingebrachte (mechanische) Spannung hat, kann somit durch gezielte Steuerung des Vakuum Drucks für die einzelnen Zonen das Bondergebnis, insbesondere die Verzerrung der Substrate aktiv beeinflusst werden. Insbesondere wird auf die Möglichkeit von Vakuumzonen aus der WO2017/162272A1 verwiesen. Abrupte Übergänge von einer Vakuumzone zur anderen führen durch eine abrupte Veränderung der Rahmenbedingungen für die Bondwelle zu einer lokal sprunghaft verändernden Spannung und somit Verzerrung im gebondeten Wafer Paar. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 2 - Im Stand der Technik werden zwei mit einer Vakuumdichtung getrennt. Eine Lösung für das vorliegende Problem wäre es, Vakuumübergänge in mehreren Zonen zu unterteilen und Abstufungen zu definieren, damit die Vakuumübergänge nicht so abrupt erfolgen. Dies führt jedoch zu einer extremen Erhöhung der Komplexität des Probenhalters und der damit assoziierten Ansteuerung mit Pneumatik und Elektronik, die einerseits wirtschaftlich wenig erstrebenswert ist, andererseits aber auch mechanisch nur schwer oder gar nicht realisierbar ist, da der Bauraum begrenzt ist und die Verbohrung der Vielzahl an Anspeisungen in der Substrataufnahmeeinrichtung nicht oder nur mehr schwer möglich ist. Diese Schwierigkeiten werden insbesondere bei der Herstellung von Substrataufnahmeeinrichtungen aus Keramik wie beispielsweise Siliziumnitrid oder Siliziumkarbid (SiSiC Keramik) enorm verschärft. Seit einigen Jahren werden in der Halbleiterindustrie Substrate durch sogenannte Bondprozesse miteinander verbunden. Vor der Verbindung müssen diese Substrate möglichst genau zueinander ausgerichtet werden. Eine der größten Herausforderungen beim Bonden besteht beim Bondvorgang selbst, also während der Bondinitiierung bis zur vollständigen Kontaktierung der Kontaktflächen der Substrate. Hierbei kann sich die Ausrichtung der beiden Substrate zueinander gegenüber der vorherigen Ausrichtung noch maßgeblich ändern. Obwohl die Substrate durch Ausrichtungsanlagen sehr genau zueinander ausgerichtet werden können, kann es während des Bondvorgangs selbst zu Verzerrungen der Substrate kommen. Die Ausrichtungsungenauigkeit an einem bestimmten Punkt am Substrat kann ein Resultat einer Verzerrung, eines Skalierungsfehlers, eines Linsenfehlers (Vergrößerungs- beziehungsweise Verkleinerungsfehlers) etc. sein. Insbesondere abrupte Änderungen sind zu vermeiden, denn aus dem Bondprozess resultierende abrupte Verzerrungen können nur schwer mit Kompensationsmöglichkeiten, beispielsweise aus der Post Bond Lithographie kompensiert werden. Graduelle Verzerrungen können hingegen leichter kompensiert und zumindest minimiert werden. Je feiner die abzubildenden EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 3 - Strukturen sind, umso stärker ist der erzeugten Halbleiterbauelemente von Fehlern, insbesondere Verzerrungen, der eingesetzten Komponenten abhängig. Im Stand der Technik existieren mehrere Verfahren und Anlagen, mit deren Hilfe versucht werden kann, einen Einfluss auf den Bondvorgang zu nehmen, wie beispielsweise in EP2656378B1 oder WO2014/191033A1. Aufgabe der vorliegenden Erfindung ist es, eine Vorrichtung und ein Verfahren zum Bonden zweier Substrate vorzusehen, mit welchen die Bondgenauigkeit erhöht wird und eine Reduktion der durch Bonden induzierten Verzerrungen erreicht wird, da abrupte Veränderungen der Rahmenbedingungen für die Bondwelle vermieden werden. Es ist daher die Aufgabe der Erfindung, die im Stand der Technik aufgeführten Nachteile zumindest zum Teil zu beseitigen, insbesondere vollständig zu beseitigen. Insbesondere ist es eine Aufgabe der Erfindung einen verbesserten Vakuumsubstrathalter sowie eine verbesserte Vorrichtung und Verfahren zum Bonden aufzuzeigen. Weiterhin ist es Aufgabe der vorliegenden Erfindung einen Vakuumsubstrathalter bereitzustellen, mit welchem die Bondgenauigkeit erhöht und eine Reduktion der durch Bonden induzierten Verzerrungen erreicht wird. Die vorliegende Aufgabe wird mit den Merkmalen der nebengeordneten Ansprüche gelöst. Vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung sind in den Unteransprüchen angegeben. In den Rahmen der Erfindung fallen auch sämtliche Kombinationen aus zumindest zwei in der Beschreibung, in den Ansprüchen und/oder den Zeichnungen angegebenen Merkmalen. Bei angegebenen Wertebereichen sollen auch innerhalb der genannten Grenzen liegende Werte als Grenzwerte offenbart gelten und in beliebiger Kombination beanspruchbar sein. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 4 - Demnach betrifft die Erfindung ein zur Fixierung eines Substrats, zumindest aufweisend eine erste Vakuumzone mit mindestens einem ersten Fixierelement, eine zweite Vakuumzone mit mindestens einem zweiten Fixierelement, Aufnahmeerhöhungen die zumindest in der ersten Vakuumzone und zumindest in der zweiten Vakuumzone angeordnet sind, wobei das Substrat in einem fixierten Zustand auf einer durch die Aufnahmeerhöhungen bereitgestellten Aufnahmefläche angeordnet ist und mindestens eine die erste Vakuumzone und die zweite Vakuumzone voneinander trennende Übergangszone, wobei die Übergangszone mindestens eine Dichtungsstruktur aufweist, wobei in dem fixierten Zustand die erste Vakuumzone und die zweite Vakuumzone durch die Übergangszone fluidisch miteinander verbunden sind. In anderen Worten wird ein Vakuumsubstrathalter bereitgestellt , welcher eine Aufnahmefläche für ein Substrat oder ein Substratstapel bereitstellt , mit welchem durch eine gezielt eingestellte fluidische Verbindung in einer Übergangszone ein gradueller Vakuumübergang zwischen benachbarten Vakuumzonen erreicht werden kann. Dabei kann die zweite Zone auch durch die Umgebung des Vakuumsubstrathalters gebildet werden, so dass an der Peripherie ein entsprechend vorteilhafter Druckausgleich geschaffen werden. Dabei handelt es sich bei den Aufnahmeerhöhungen insbesondere um gleich hohe noppenartige Vorsprünge, welche auf dem gesamten Vakuumsubstrathalter, vorzugsweise regelmäßig und in jeder Zone angeordnet sind. Die Vakuumzonen bzw. die erste sowie zweite Vakuumzone sind dabei durch eine Übergangszone voneinander getrennt. Die Übergangszone zeichnet sich insbesondere dadurch aus, dass mindestens eine Dichtungsstruktur innerhalb dieser angeordnet ist, welche die einzelnen Vakuumzonen voneinander trennt, wobei vorliegend entgegen dem Stand der Technik eine fluidische Verbindung zwischen den Vakuumzonen durch die Übergangszone bereitgestellt wird. Wenn das Substrat auf den Aufnahmeerhöhungen aufliegt beziehungsweise auf der Aufnahmefläche fixiert ist, sind die Vakuumzonen nur noch über die EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 5 - Übergangszone fluidisch bildet das Substrat, der Substrathalter und die Übergangszone des Substrathalters eine Vakuumzone. Dabei ist die Übergangszone so dimensioniert, dass eine Fixierung durch die Fixierelemente weiterhin durchführbar ist. Somit kann vorteilhaft ein gradueller Vakuumübergang zwischen den Vakuumzonen sichergestellt werden, ohne die Funktion des Vakuumsubstrathalters einzuschränken. Bei dem mindestens einen Fixierelement handelt es sich insbesondere um ein oder mehrere Vakuumöffnungen, welche an eine entsprechend geregelte Vakuumsteuereinheit angeschlossen sind. Über das mindestens eine Fixierelement beziehungsweise die Fixierelemente kann vorteilhaft die Fixierung des Substrates an die jeweilige Vakuumzone erfolgen. Die Dichtungsstruktur kann beispielsweise ein Dichtring sein und ist entlang der gesamten Übergangszone ausgebildet. Wie für Vakuumsubstrathalter üblich, ist eine radialsymmetrische Anordnung der Elemente bevorzugt, wobei auch die Übergangszonen vorzugsweise kreisbogenförmig ausgebildet sind. Durch die Übergangszone können vorteilhaft abrupte Änderungen der Vakuumwerte verhindert werden. Zudem kann ein besseres Bondergebnis mit dem Vakuumsubstrathalter erzielt werden. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die mindestens eine Dichtungsstruktur mindestens eine Öffnung aufweist und durch die mindestens eine Öffnung eine Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstruktur vorgebbar ist. Die Dichtungsstruktur weist somit eine gewünschte Öffnung oder gewünschte Öffnungen auf, um eine bestimmte Strömungsquerschnittsfläche durch die Übergangszone hindurch und somit von der ersten Vakuumzone zu der zweiten Vakuumzone bereitzustellen. Durch die Dimensionierung der Öffnung ist das Strömungsverhalten vorteilhaft einstellbar und somit ein gradueller Ausgleich erzielbar. Die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstruktur stellt dabei vorzugsweise auch die Strömungsquerschnittsfläche der Übergangszone dar. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 6 - In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die mindestens eine Übergangszone jeweils mindestens zwei Dichtungsstrukturen aufweist und die Übergangszone zwischen den am weitesten voneinander entfernten Dichtungsstrukturen der mindestens einen Übergangszone einen Zwischenraum ausbildet. In dieser besonders bevorzugten Ausführungsform, weist die Übergangszone zumindest zwei an vorzugsweise unmittelbar an die jeweilige Vakuumzone angrenzende Dichtungsstrukturen auf. Auf diese Weise ist vorteilhaft entlang der gesamten Ausdehnung in radialer Richtung der Übergangszone eine Trennung der jeweiligen angrenzenden Vakuumzonen möglich. Zudem wird vorteilhaft ein Zwischenraum bereitgestellt , in welchem ein gradueller Druckausgleich zwischen der ersten Vakuumzone und der zweiten Vakuumzone erfolgen kann, ohne Bondfehler durch abrupte Änderungen beim Vakuumübergang zu erzeugen. Der Zwischenraum kann dabei weitere Dichtungsstrukturen zwischen den beiden am weitesten beabstandeten Dichtungsstrukturen aufweisen. Dadurch wird der positive Effekt auf das Bondergebnis weiter verstärkt, da der Vakuumübergang noch gradueller erfolgen kann. Dabei weisen vorzugsweise die Dichtungsstrukturen derselben Übergangszone jeweils den gleichen Abstand zueinander auf. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die jeweilige Strömungsquerschnittsfläche der beiden am weitesten voneinander entfernten Dichtungsstrukturen gleich groß ist. Auf diese Weise ist ein besonders gradueller Vakuumübergang möglich, da die jeweiligen Öffnungen beziehungsweise Strömungsquerschnittsflächen der jeweils außenliegenden Dichtungsstrukturen einer Übergangszone gleich dimensioniert sind. Zudem kann der Ausgleich gleichmäßig in Richtung der ersten Vakuumzone und der zweiten Vakuumzone erfolgen. Bevorzugt weisen sämtliche Dichtungsstrukturen einer Übergangszone die gleiche EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 7 - Strömungsquerschnittsfläche auf. wird vorteilhaft ein gleichmäßiger Ausgleich sichergestellt . Somit sind die jeweilige Strömungsquerschnittsflächen sämtlicher Dichtungsstrukturen der mindestens einen Übergangszone gleich groß ausgebildet beziehungsweise dimensioniert. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die Strömungsquerschnittsfläche des Zwischenraums größer ist als die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstrukturen einer Übergangszone. In anderen Worten wird durch den Zwischenraum ein Puffer gebildet, da ein Ausgleich nur über die jeweiligen Öffnungen in den Dichtungsstrukturen erfolgt, wohingegen innerhalb einer Übergangszone zumindest eine Strömungsquerschnittsfläche bereitgestellt wird, welche größer ist also die der außenliegenden Dichtungsstrukturen. Wenn mehr als zwei Dichtungsstrukturen beziehungsweise weitere Dichtungsstrukturen zwischen den außenliegenden Dichtungsstrukturen angeordnet sind, wird die Strömungsquerschnittsfläche des Zwischenraums an Stellen ohne eine Dichtungsstruktur bestimmt. Das durch den Zwischenraum bereitgestellte Volumen zwischen den außenliegenden Dichtungsstrukturen stellt somit vorteilhaft einen Raum zum Ausgleich des Vakuums bereit. Dabei kann das Volumen sowie die Strömungsquerschnittsfläche des Zwischenraums vorteilhaft durch Auffüllen des Zwischenraums mit einem Material angepasst werden. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die Strömungsquerschnittsfläche des Zwischenraums um ein Faktor 5 größer, vorzugsweise um ein Faktor 10 größer, bevorzugt um ein Faktor 30 größer, bevorzugter um ein Faktor 50 größer, noch bevorzugter um ein Faktor 100 größer, am bevorzugtesten um ein Faktor 200 größer, am allerbevorzugtesten um mehr als ein Faktor 200 größer ist als die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstrukturen einer Übergangszone. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 8 - In anderen Worten ist die Öffnung Dichtungsstrukturen deutlich keiner als der Querschnitt des Zwischenraums. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die mindestens eine Dichtungsstruktur eine gleichmäßige Höhe relativ zu einer Vakuumsubstrathalteroberfläche aufweist und die Höhe der mindestens einen Dichtungsstruktur geringer ist als eine Höhe (H) der Aufnahmeerhöhungen relativ zu der Vakuumsubstrathalteroberfläche, so dass in dem fixierten Zustand zwischen der mindestens einen Dichtungsstruktur und dem Substrat ein Spalt mit einer Spalthöhe (h) ausgebildet ist. In anderen Worten ist die Höhe der Dichtungsstrukturen einer Übergangszone entlang der Übergangszone gleich groß. Der Spalt zwischen dem Substrat und der Dichtungsstruktur ist somit ebenfalls gleich groß. Somit ist die Dichtungsstruktur im Vergleich zu der durch die Aufnahmeerhöhungen bereitgestellte Aufnahmefläche zurückgesetzt. Somit ist für diese Ausführungsform ein Dichtring prädestiniert. Die Vakuumdichtungen können beispielsweise zwischen 100 nm und 5 µm, bevorzugt zwischen 100 nm und 3 µm, noch bevorzugter zwischen 100 nm und 500 nm zurückgesetzt werden. Im Vergleich dazu beträgt die Höhe der Noppen H1, die eine Höhe der Auflagefläche der Substrate definieren, beispielsweise zwischen 100 µm und 1000 µm. Auf diese Weise ist entlang der gesamten Übergangszone ein gleich großer Spalt bereitgestellt , so dass ein besonders gleichmäßiger Vakuumübergang sichergestellt ist, wobei der vorgenannte Bereich sich für die Anwendung als besonders geeignet herausgestellt hat. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die Spalthöhe mehr als 10 mal kleiner, vorzugsweise mehr als 30 mal kleiner, bevorzugter mehr als 50 mal kleiner, noch bevorzugter mehr als 80 mal kleiner, am bevorzugtesten mehr als 100 mal kleiner, am allerbevorzugtesten mehr als 200 mal kleiner als eine Höhe der Aufnahmeerhöhungen ist. Die Höhe der Aufnahmeerhöhung wird dabei EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 9 - ebenfalls von der bestimmt. Diese entspricht im fixierten Zustand des Substrates insbesondere dem Abstand zwischen dem Substrat und der Vakuumsubstrathalteroberfläche. Der Spalt gibt somit ebenfalls die Strömungsquerschnittsfläche der jeweilig angrenzenden Dichtungsstruktur vor. Es hat sich herausgestellt , dass die vorbezeichneten Größenverhältnisse besonders geeignet für einen graduellen Vakuumübergang sind und somit ein sehr gutes Bondergebnis erzielt werden kann. Die absolute Höhe der Aufnahmeerhöhungen ist kleiner als 2000 µm, insbesondere kleiner als 1000 µm, mit Vorzug kleiner als 500 µm, mit größerem Vorzug kleiner als 200 µm, mit größtem Vorzug kleiner als 100 µm. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass auf der mindestens einen Dichtungsstruktur entlang der Übergangszone linienförmige Vorsprünge mit einem gleichmäßigen axialen Abstand angeordnet sind. Die linienförmigen Vorsprünge erstrecken sich dabei vorzugsweise entlang der gesamten Übergangszone auf den Dichtungsstrukturen. Die linienförmigen Vorsprünge werden bei der Bestimmung der Höhe der Dichtungsstrukturen mit einbezogen. Durch die linienförmigen Vorsprünge kann der Ausgleich noch gleichmäßiger erfolgen. Dabei sind vorzugsweise mehr als zwei, noch bevorzugter mehr als drei linienförmige Vorsprünge mit einem gleichbleibenden Abstand zueinander auf einer Dichtungsstruktur angeordnet. Dabei kann in einer Ausführungsform die Übergangszone durch eine breite und mehrere linienförmige Vorsprünge aufweisende Dichtungsstruktur bereitgestellt werden. Bevorzugt weist in dieser Ausführungsform die Übergangszone nur eine Dichtungsstruktur auf. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die mindestens eine Dichtungsstruktur im fixierten Zustand zumindest teilweise an dem Substrat anliegt und entlang der Übergangszone versetzt Kanäle in der mindestens einen Dichtungsstruktur ausgebildet sind. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 10 - Die Dichtungsstruktur die Dichtungsstrukturen einer Übergangszone sind somit nicht zurückversetzt und kontaktieren das Substrat. Die Kanäle sind ebenfalls wie die Spalte Öffnungen und können beliebig ausgebildet sein. Bevorzugt weisen die Kanäle einen runden oder rechteckigen Querschnitt auf. Die Kanäle bilden in diesem Fall die Strömungsquerschnittsfläche aus. Dabei weisen besonders bevorzugt mehrere und besonders bevorzugt sämtliche Dichtungsstrukturen einer Übergangszone Kanäle auf. Die Kanäle sind bevorzugt an der dem Substrat zugewandten Oberfläche der Dichtungsstruktur beziehungsweise der Dichtungsstrukturen angeordnet. Somit liegt das Substrat im Bereich der Kanäle nicht auf der Dichtungsstruktur auf. Besonders bevorzugt weisen sämtliche Dichtungsstrukturen einer Übergangszone Kanäle auf, welche vorzugsweise entlang der Übergangszone beziehungsweise entlang des Radius regelmäßig versetzt angeordnet sind, so dass der Strömungsweg vergrößert wird. Auf diese Weise sind besonders graduelle Vakuumübergänge sowie besonders verzerrungsfreie Bondergebnisse erzielbar. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass ein Abstand zwischen der mindesten einen ersten Vakuumzone und der mindestens einen zweiten Vakuumzone kleiner als 50 mm, vorzugsweise kleiner als 25 mm, noch bevorzugter kleiner als 20 mm, am bevorzugtesten kleiner als 15 mm, am allerbevorzugtesten kleiner als 10 mm ist. In anderen Worten ist die Übergangszone entsprechend bemaßt. Bei einem kreisrunden Vakuumsubstrathalter sind die Abstände radial bemessen und die insbesondere als Kreisbögen ausgebildeten Übergangszonen weisen den vorbezeichneten Werten entsprechend eine radiale Ausdehnung auf. Durch den bestimmten Abstand zwischen den radial benachbarten Vakuumzonen kann vorteilhaft ein gradueller Übergang bei üblichen Substrathalterdurchmessern erzielt werden. Zudem kann die Strömungsquerschnittsfläche des Zwischenraums entlang der radialen Ausdehnung über einen gewissen Bereich bereitgestellt werden, so dass ein EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 11 - minimales beziehungsweise des Zwischenraums bereitgestellt werden kann. Es hat sich herausgestellt , dass der Abstand zwischen den Vakuumzonen besonders geeignet ist, um einen graduellen Vakuumübergang zu erreichen. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass das mindestens eine Fixierelement einer Vakuumzone jeweils mindestens eine Fluidöffnung aufweist, und wobei durch sämtliche Fluidöffnungen der jeweiligen Vakuumzone zusammen eine Gesamtströmungsfläche der jeweiligen Vakuumzone ausgebildet ist, und wobei die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstruktur der an die jeweilige Vakuumzone angrenzenden Übergangszone um ein Faktor 2 kleiner, vorzugsweise um ein Faktor 5 kleiner, bevorzugter um ein Faktor 10 kleiner, noch bevorzugter um ein Faktor 30 kleiner, am bevorzugtesten um ein Faktor 50 kleiner, am allerbevorzugtesten um ein Faktor 100 kleiner als die Gesamtströmungsfläche der Fixierelemente der jeweiligen angrenzenden Vakuumzone ist. Die Fixierelemente weisen eine oder mehrere Fluidöffnungen auf, um die jeweilige Vakuumzone zu fluten oder zu evakuieren. Die Gesamtströmungsfläche wird durch die Gesamtfläche aller Fluidöffnungen der Fixierelemente einer Vakuumzone vorgegeben. In anderen Worten ist also die Strömungsquerschnittsfläche der Zuleitung einer Übergangszone deutlich größer als die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstruktur der angrenzenden Übergangszone beziehungsweise Übergangszonen. Auf diese Weise kann der graduelle Vakuumübergang im Verhältnis zu den Parametern der Fixierelemente vorteilhaft eingestellt werden. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstruktur mehr als 10 mal kleiner, vorzugsweise mehr als 30 mal kleiner, bevorzugter mehr als 50 mal kleiner, noch bevorzugter mehr als 80 mal kleiner, am EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 12 - bevorzugtesten mehr als 100 mal am allerbevorzugtesten mehr als 200 mal kleiner als eine Gesamtöffnungsfläche zwischen den Aufnahmeerhöhungen einer unmittelbar an die Übergangszone angrenzende Vakuumzone. Dabei wird die Gesamtöffnungsfläche vorzugsweise senkrecht zum Substrat im fixierten Zustand bestimmt. Die Gesamtöffnungsfläche der Vakuumzone hin zu der Übergangszone wird durch freie Flächen zwischen den Aufnahmeerhöhungen vorgegeben. In anderen Worten bildet die kleinste Fläche zwischen den an die Übergangszone angrenzenden Noppen der jeweiligen Vakuumzone, also der Strömungsweg des Fluids in Richtung der Übergangszonen, die Gesamtöffnungsfläche. Auf diese Weise kann ein besonders schonender und verzerrungsfreier Bondprozess mit dem Vakuumsubstrathalter durchgeführt werden. In einer bevorzugten Ausführungsform des Vakuumsubstrathalters ist vorgesehen, dass der Vakuumsubstrathalter weitere Vakuumzonen aufweist, wobei die weiteren Vakuumzonen jeweils durch weitere Übergangszonen getrennt sind, und wobei in radialer Richtung benachbarte Vakuumzonen jeweils fluidisch durch die weiteren Übergangszonen miteinander verbunden sind. In anderen Worten können mehrere Vakuumzonen in Reihe geschaltet sein beziehungsweise sind miteinander fluidisch verbunden. Dabei sind die Übergangszonen vorzugsweise in Richtung der zu erwartenden Bewegungsrichtung einer Bondwelle angeordnet. Die jeweils radial benachbarten Vakuumzonen sind dabei jeweils durch eine Übergangszone getrennt. In dieser Ausführungsform sind die weiteren Merkmale in technisch sinnvollerweise auf analog anwendbar und weisen dieselben, insbesondere weiter verstärken, Vorteile auf. Weiterhin betrifft die Erfindung eine Vorrichtung zum Bonden von Substraten aufweisend zumindest den Vakuumsubstrathalter. Der Vakuumsubstrathalter ist für die Anwendung in einer Bondvorrichtung prädestiniert. Der insbesondere untere Substrathalter ist dabei als der Vakuumsubstrathalter EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 13 - ausgebildet und bietet einen Vakuumübergang zwischen den jeweiligen Vakuumzonen. Dabei wird die Bondgenauigkeit deutlich verbessert. Weiterhin betrifft die Erfindung ein Verfahren zum Bonden von Substraten mit den folgenden Schritten, insbesondere in der folgenden Reihenfolge i) Bereitstellung eines ersten Substrates auf dem Vakuumsubstrathalter, ii) Bereitstellung eines zweiten Substrates auf einem Substrathalter und iii) Bonden des ersten Substrates mit dem zweiten Substrat. Dabei werden insbesondere bei dem Bonden in Schritt iii) auftretende Druckunterschiede in den jeweiligen Vakuumzonen des Vakuumsubstrathalters, insbesondere entlang einer fortschreitenden Bondwelle zwischen dem ersten Substrat und dem zweiten Substrat, durch die mindestens eine Übergangszone ausgeglichen. Ein besonders wichtiger Aspekt der vorliegenden Erfindung ist es, dass ein gradueller Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten im Bereich der Aufnahmefläche der Aufnahmeeinrichtung beziehungsweise dem Vakuumsubstrathalter ermöglicht wird. Dies ermöglicht eine Reduktion der durch Bonden induzierten Verzerrungen (engl.: Bonding Induced Distortion), da abrupte Veränderungen der Rahmenbedingungen für die Bondwelle vermieden werden. Durch die gezielte Strukturierung beziehungsweise durch die Übergangszone kann ein gradueller Vakuumübergang zwischen zwei Vakuumzonen erreicht werden. Durch die Einführung von Übergangszonen, die einen größeren Strömungsquerschnitt im Bereich der Übergangszone im Vergleich zum Strömungsquerschnitt im Bereich der Vakuumdichtung haben, wird ein gradueller Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur anderen ermöglich. Die Übergangszonen werden besonders bevorzugt nicht aktiv mit Vakuum versorgt und besitzen keine Fixierelemente. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 14 - Der Vakuumsubstrathalter kontrollierten, graduellen Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten. Eine Übergangszone zwischen zwei Vakuumzonen ermöglicht den graduellen Vakuumübergang von jeweils einer ersten zu einer zweiten Vakuumzone. Veränderungen der Substratfixierung von einer Vakuumzone zur anderen werden durch den erzeugten graduellen Vakuumübergang mit der Möglichkeit der Design Optimierung implementiert, womit auch die Rahmenbedingungen für die Bondwelle sich graduell ändern. Dadurch werden Verzerrungen reduziert und vergleichmäßigt, was zu einer erhöhten Qualität der Bondprodukte führt. Beide Substrate werden während des Bondens, insbesondere während des Laufs der Bondwelle, vorzugsweise beim Fusions- und Hybrid-Bonden, durch die Aufnahmeeinrichtungen fixiert. Ein wichtiger Aspekt ist, dass die zu bondenden Substrate auf Aufnahmeeinrichtungen mit mehreren Vakuumzonen fixiert werden, die mit Hilfe von Übergangszonen einen graduellen Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten in der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung ermöglichen. Dies ermöglicht eine Reduktion der durch Bonden induzierten Verzerrungen, da durch eine Vergleichmäßigung der Fixierung abrupte Veränderungen der Rahmenbedingungen für die Bondwelle vermieden werden. In einer bevorzugten Ausführungsform wird mindestens eines der beiden Substrate vor der Kontaktierung oder dem Bonden gekrümmt und die Krümmung mindestens eines der beiden Substrate wird während des Bondens, insbesondere während des Laufs einer Bondwelle, durch Steuerung der Krümmung geändert. Mit Krümmungsänderung ist insbesondere ein von einem Ausgangszustand der Substrate abweichender Zustand gemeint. Die Krümmung mindestens eines der Substrate wird ausführlich in der WO2017/162272A1 beschrieben. Auf dessen genaue Beschreibung wird daher hier verzichtet. Dabei wird das Bonden insbesondere nach einer Kontaktierung der Kontaktflächen, insbesondere durch kontrollierte Steuerung der Fixierung der Substrate, gesteuert. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 15 - Dabei befindet sich zwischen Vakuumzonen eine Übergangszone ohne Fixierelemente, die nicht aktiv mit Vakuum versorgt wird. Ein weiterer Aspekt der vorliegenden Erfindung besteht in der Anwendung von, insbesondere einzeln schaltbaren Fixierelementen, mit deren Hilfe eine sich fortschreitende Bondwelle zwischen den Kontaktflächen kontrolliert gesteuert oder geregelt werden kann. Ein charakteristischer Vorgang beim Bonden, insbesondere Permanentbonden, vorzugsweise Fusionsbonden, ist die möglichst zentrische und/oder punktförmige Kontaktierung der beiden Kontaktflächen der Substrate. Im Allgemeinen kann die Kontaktierung der beiden Substrate auch nicht zentrisch erfolgen. Durch eine Gestaltung der Fixierung beider Substrate zusammen mit einer Kontrolle, Steuerung oder Regelung der Krümmung und/oder der Loslösung mindestens eines der beiden Substrate wird die fortschreitende Bondwelle so gesteuert, dass eine optimale, sequentielle, insbesondere von innen nach außen fortschreitende, Kontaktierung der beiden Substrate entlang der Kontaktflächen erfolgt. Unter einer optimalen Kontaktierung versteht man insbesondere, dass lokale Ausrichtungsfehler („run-out" Fehler) an jeder Stelle der Kontaktgrenzfläche zwischen den beiden Substraten, minimal ist oder im optimalen Fall sogar verschwindet. Die unterschiedlichen run-out Fehler werden ausführlich in der WO2014/191033A1 beschrieben und referenziert. Die Erfindung betrifft somit insbesondere eine Methode und eine Anlage, mit deren Hilfe man in der Lage ist, zwei Substrate so miteinander zu Bonden, dass Verzerrungen, insbesondere durch Bonden induzierte Verzerrungen, minimiert werden da abrupte Veränderungen der Rahmenbedingungen für die Bondwelle vermieden werden. Dabei ist eine Fixierung der Substrate durch mehrere, insbesondere in Vakuumzonen gegliederte, Fixierelemente vorgesehen. Somit wird ein gradueller Vakuumübergang von einer EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 16 - Vakuumzone zur nächsten in der der Aufnahmeeinrichtung durch Übergangszonen ermöglicht. Die Übergangszonen werden nicht mit Vakuum versorgt und dienen als Zwischenraum zwischen zwei unterschiedliche Vakuumzonen. Das Vakuum stellt sich in den Zwischenräumen beziehungsweise Übergangszonen durch Leckage an den Vakuumdichtungen ein. Dabei fungiert die Übergangszone vergleichmäßigend, da unterschiedliche Leckraten an unterschiedlichen Orten entlang der Vakuumdichtungen über die Dichtungen und/oder Strukturen in der Übergangszone ausgeglichen werden. Durch die Vergleichmäßigung der Substratfixierung von einer Vakuumzone zur anderen durch den erzeugten graduellen Vakuumübergang werden die Rahmenbedingungen für die Bondwelle sich auch graduell ändern. Dadurch werden Verzerrungen reduziert und vergleichmäßigt, was zu einer erhöhten Qualität der Bondprodukte führt. Nach der erfolgten Kontaktierung der Zentren beider Substrate werden die Fixiermittel der Aufnahmeeinrichtungen insbesondere so angesteuert, dass eine kontrollierte Verformung/Krümmungsänderung zumindest eines der Substrate erfolgt. Ein oberes Substrat wird einerseits durch die Schwerkraft und andererseits bedingt durch eine entlang der Bondwelle und zwischen den Substraten wirkende Bondkraft kontrolliert nach unten gezogen. Das obere Substrat wird somit radial vom Zentrum zum Seitenrand hin mit dem unteren Substrat verbunden. Es kommt so zu einer Ausbildung einer radialsymmetrischen Bondwelle, die insbesondere vom Zentrum zum Seitenrand verläuft. Denkbar ist auch, dass das obere Substrat während dem gesamten Zeitabschnitt, in dem die Bondwelle läuft, fixiert gehalten wird und ein Fortschreiten der Bondwelle durch ein sukzessives Ausschalten der Fixierelemente, insbesondere beginnend mit den Fixierelemente im Inneren des Substrathalters voranschreiten kann. Ein Fortlaufen der Bondwelle kann insbesondere auch dadurch begünstigt werden, dass während dem Fortschreiten der Bondwelle eine relative Annäherung der beiden Substrathalter zueinander erfolgt. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 17 - Bei den Fixierelementen handelt es gemäß einer Ausführungsform der Erfindung entweder um angebrachte Vakuumlöcher, eine oder mehrere kreisrunde Vakuumlippen oder vergleichbare Vakuumelemente, mit deren Hilfe der Wafer beziehungsweise Substrat fixiert werden kann. Ein Stift in der zentrischen Bohrung oder eine Leitung, aus dem ein Überdruck, durch ein eingeleitetes Gas, zwischen dem Substrathalter und dem Substrat erzeugt werden kann, dienen der steuerbaren Durchbiegung des fixierten Substrats (Krümmungsmittel und/oder Krümmungsänderungsmittel). Die Substrate können jede beliebige Form besitzen, sind aber bevorzugt kreisrund. Der Durchmesser der Substrate ist insbesondere industriell genormt. Für Wafer sind die industrieüblichen Durchmesser, 1 Zoll, 2 Zoll, 3 Zoll, 4 Zoll, 5 Zoll, 6 Zoll, 8 Zoll, 12 Zoll und 18 Zoll. Einzelne Ausführungsformen können aber grundsätzlich jedes Substrat, unabhängig von dessen Durchmesser handhaben. Die Bondvorrichtung beziehungsweise Vorrichtung zum Bonden hat zwei Aufnahmeeinrichtungen, eine für das obere Substrat und eine für das untere Substrat. Die beiden Aufnahmeeinrichtungen sind im Allgemeinen nicht vollständig identisch, da mindestens eine der Aufnahmeeinrichtungen ein oder mehrere Verformungselemente aufweist, um eines der Substrate verformen zu können. Die Aufnahmeeinrichtungen für das obere und das untere Substrat verfügen über Fixiermittel, insbesondere mehrere Fixierelemente. Die Fixierelemente können in Vakuumzonen gruppiert sein. Alle Fixierelemente einer Vakuumzone können gleichzeitig geschaltet werden. Vorzugsweise können alle Fixierelemente einer Vakuumzone durch ein einzelnes Steuerelement, insbesondere ein Steuerventil , angesteuert werden. In einer weniger bevorzugten Ausführungsform können alle Fixierelemente in einer Zone individuell geschalten werden. So können mehrere Fixierelemente gleichzeitig zur Fixierung beziehungsweise zum Lösen des Substrats EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 18 - innerhalb der Zone angesteuert sie können zwar individuell angesteuert werden, erzeugen aber in ihrer Vakuumzone eine sehr individuelle Verformungseigenschaft des Substrats. Die Zonen, beziehungsweise Vakuumzonen, sind insbesondere wie für Zonenvakuumsubstrathalter üblich dimensioniert und können beispielsweise folgende Geometrien annehmen: Einflächig, Kreissegment, Gekachelt, insbesondere als Dreieck, Viereck oder Sechseck. Die Fixierungen sind insbesondere elektronisch ansteuerbar. Die Fixiereigenschaft der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung wird durch die Anzahl der Fixierelemente pro Einheitsfläche sowie den jeweils eingestellten Druck gesteuert. Dabei ist die Vakuumfixierung die bevorzugte Fixierungsart. Die Fixierelemente sind mit Unterdruck zur Fixierung beaufschlagbar. Zum Loslösen des Substrats können die Fixierelemente auch mit Überdruck beaufschlagt werden. Die Vakuumfixierung besteht in einer ersten Ausführungsform aus mehreren Vakuumbahnen, die an der Substratoberfläche des Substrathalters austreten. Die Vakuumbahnen sind vorzugsweise einzeln ansteuerbar. In einer weiteren Ausführungsform bestehen die Fixierelemente aus Löchern. In einer weiteren Ausführungsform werden die Fixierelemente mit Vakuumlippen versehen. Einige Vakuumbahnen und/oder Vakuumlöchern werden zu Vakuumzonen vereint, die einzeln ansteuerbar, daher evakuiert oder geflutet werden können. Jede Vakuumzone ist allerdings unabhängig von den anderen Vakuumzonen. Damit erhält man die Möglichkeit des Aufbaus einzeln ansteuerbarer Vakuumzonen. Die Vakuumzonen sind vorzugsweise ringförmig konstruiert. Dadurch wird eine gezielte, radialsymmetrische, insbesondere von Innen nach Außen durchgeführte Fixierung und/oder Loslösung eines Substrats von der EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 19 - Aufnahmeeinrichtung ermöglicht. wird auf die Möglichkeit von Vakuumzonen aus den Druckschriften WO2017/162272A1 verwiesen. In einer weiteren Ausführungsform sind die Vakuumzonen gleichmäßig an den Halteflächen verteilt . In einer weiteren Ausführungsform befinden sich die Vakuumzonen in einem Randbereich der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung. Der Randbereich erstreckt sich insbesondere bis zum halben Radius, vorzugsweise bis zu einem Viertel des Radius, der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung. Des Weiteren wird die Verwendung einer Aufnahmeeinrichtung mit Noppen (engl.: pin chuck) offenbart. Unter einer Noppen-Aufnahmeeinrichtung versteht man eine Aufnahmeeinrichtung, dessen Oberfläche nicht eben ist, sondern aus mehreren kleinen Erhebungen beziehungsweise Aufnahmeerhöhungen, den Noppen, besteht, welche eine Halteebene bilden und darauf das Substrat tragen. Eine derartige Aufnahmeeinrichtung ist ausführlich in den Druckschriften WO2015/113641A1 und WO2017/162272A1 beschrieben, auf die hier hingewiesen wird. Die Verwendung einer derartigen Aufnahmeeinrichtung ist vorteilhaft, um eine möglichst geringe Kontaktfläche zwischen dem Substrat und der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung zu ermöglichen, sodass die Kontaminierung der Substratrückseite auf ein Minimum reduziert wird beziehungsweise sodass überhaupt keine Kontaminierung stattfindet. Die Höhe der Noppen ist insbesondere kleiner als 1 mm, mit Vorzug kleiner als 500 µm, mit größerem Vorzug kleiner als 200 µm, mit größtem Vorzug kleiner als 100 µm. In einer bevorzugten Ausführungsform beträgt die Höhe der Noppen zwischen 100 µm und 1000 µm. Die Anzahl der Fixierelemente pro Vakuumzone ist beliebig. Insbesondere befinden sich in einer Vakuumzone mindestens 1 Fixierelement, vorzugsweise EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 20 - mindestens 2 Fixierelemente, mehr als 10, bevorzugter mehr als 20, noch bevorzugter mehr als 50, am bevorzugtesten mehr als 100. Mehrere hintereinander angeordnete Vakuumzonen können gesteuert werden, insbesondere aktiviert oder deaktiviert werden, sodass die lokale Fixierung der Substrate geregelt werden kann. Insbesondere wird eine Vakuumzone aktiviert durch Einschalten aller Fixierelemente innerhalb der Vakuumzone mit einem vorzugsweise einstellbaren Druck, welcher die jeweilige Haltekraft der Zone vorgibt. Ein wichtiger Aspekt ist, dass sich zwischen den Vakuumzonen auch Zonen beziehungsweise Übergangszonen ohne Fixierelemente und ohne Vakuum Anspeisung befinden. Diese Zonen sind so strukturiert, dass ein gradueller Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten in der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung ermöglicht wird. Der Abstand zwischen zwei Vakuumzonen ist insbesondere kleiner als 50 mm, vorzugsweise kleiner als 25 mm, noch bevorzugter kleiner als 20 mm, am bevorzugtesten kleiner als 15 mm, am allerbevorzugtesten kleiner als 10 mm. Sind die Vakuumzonen als Kreissegmente ausgelegt, dann wäre der Abstand die Distanz zwischen dem inneren Kreisring eines äußeren Kreissegments und dem äußeren Kreisring eines inneren Kreissegments. Zusätzlich zu den mechanischen Spannungen durch die Fixierung des Substrats auf dem Vakuumsubstrathalter, die möglicherweise in Vorprozessschritten bereits im Substrat erzeugt wurden, entstehen neue Spannungsmuster durch die Fixierung der Substrate. Wirken Kräfte auf die Substrate, die beispielsweise auf Strukturen der Haltefläche aufliegen, so entsteht eine asymmetrische Verformung. Kräfte, die auf Substrate einwirken sind beispielsweise die Gravitationskraft und die Ansaugkräfte der einzelnen Vakuumzonen. Diese asymmetrische Verformung ist noch während des Kontakts zwischen den beiden Substraten und/oder während des Bondvorgangs vorhanden und führt notwendigerweise zu einer asymmetrischen Ausbreitung der Bondwellenfront und damit zu einem EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 21 - unerwünschten run-out Effekt. als Verzerrung in das Bondinterface mit eingebaut werden. Dabei befinden sich zwischen den Vakuumzonen auch Flächen beziehungsweise Zonen ohne Fixierelemente und diese Flächen werden so konzipiert beziehungsweise strukturiert, dass ein gradueller Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten in der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung möglich ist. Der graduelle Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten ermöglicht eine Reduktion der Verzerrungen da abrupte Veränderungen der Rahmenbedingungen für die Bondwelle vermieden werden. Insbesondere werden abrupte Veränderungen der Verzerrungen vermieden, dadurch dass sich die Rahmenbedingungen für die Bondwelle entlang der unterschiedlichen Vakuumzonen graduell und nicht abrupt ändern. Abrupte Änderungen sind zu vermeiden, denn nach dem Bondprozess resultierende abrupte Verzerrungen können beispielsweise nur schwer mit Kompensationsmöglichkeiten aus der Post Bond Lithographie kompensiert werden. Graduelle Verzerrungen können hingegen leichter teils minimiert werden. Je feiner die abzubildenden Strukturen sind, umso stärker ist die Qualität der erzeugten Halbleiterbauelemente von Fehlern, insbesondere Verzerrungen, der eingesetzten Komponenten abhängig. Der graduelle Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten wird durch Design Optimierung von Flächen zwischen den Vakuumzonen implementiert. Die Flächen zwischen den Vakuumzonen sind Flächen ohne Fixierelemente und werden nicht aktiv mit Vakuum versorgt. Diese Flächen zwischen einer Vakuumzone und der nächsten werden als Übergangszone bezeichnet. Die einzelnen Übergangszonen zwischen den unterschiedlichen Vakuumzonen können unterschiedlich ausgestaltet sein. Auf den Aufnahmeeinrichtungen befinden sich somit mindestens zwei Vakuumzonen und mindestens eine Übergangszone. Grundgedanke der Erfindung ist, dass in der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung im Bereich der Vakuumdichtung zwischen zwei EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 22 - Vakuumzonen Strukturen Dichtungsstrukturen eingearbeitet werden, welche in der Lage sind, einen graduellen Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten zu gewährleisten. Mit Vorzug sind die Strukturen so ausgestaltet, dass dieser graduelle Vakuumübergang gleichmäßig an allen Orten entlang der Vakuumdichtung erfolgt. Die Strukturen können Strukturen in den Vakuumdichtungen selber sein, beispielsweise Kanäle, oder zurückgesetzte Vakuumdichtungen, beispielsweise durch Änderung der Dimensionen, oder eine Strukturierung der Zwischenräume im Bereich der Übergangszone. Die Übergangszonen lassen permanent – ähnlich wie Labyrinth-, oder Drosselspaltdichtungen – mehr oder weniger Leck-Gas durch. Ein Leck ist eine Öffnung beziehungsweise einen Spalt in einem abgeschlossenen Raum, durch die Gase austreten (bei Vakuum eintreten) können. Der Strömungswiderstand hängt beispielsweise von der Spalthöhe ab. Eine zu kleine Spalthöhe bedeutet einen sehr hohen Strömungswiderstand. Durch Zurücksetzen der Vakuumdichtung, beispielsweise eine Ringdichtung, gegenüber der Auflageebene der Substrate auf der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung wird der Strömungsquerschnitt im Bereich der Vakuumdichtung durch die Spalthöhe bestimmt. Dieser Strömungsquerschnitt im Bereich der Vakuumdichtung ist viel kleiner als im Bereich der Auflagefläche, wo der Strömungsquerschnitt durch die Höhe der Noppen bestimmt wird. Im Stand der Technik wird keine Übergangszone zwischen einer Vakuumzone und der nächsten eingebaut. Somit befindet sich eine Vakuumdichtung zwischen zwei Vakuumzonen. Durch Zurücksetzen dieser einen Vakuumdichtung gegenüber der Auflageebene der Substrate auf der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung bleibt der Strömungswiderstand im Bereich der Vakuumdichtung enorm im Vergleich zum Strömungswiderstand im Bereich der Vakuumzonen. Durch die Einführung von Übergangszonen, die einen größeren Strömungsquerschnitt im Bereich der Übergangszone im Vergleich zum EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 23 - Strömungsquerschnitt im Bereich haben, wird ein gradueller Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur anderen erst möglich. Der graduelle Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur anderen wird durch die Höhe der Vakuumdichtungen zwischen zwei Vakuumzonen und durch die Auswahl der Strukturen in der dazwischen liegenden Übergangszone bestimmt. Durch Gestaltung (Design) der Übergangszone und der Vakuumdichtungen wird der Strömungswiderstand im Bereich der Vakuumdichtungen, im Bereich der Übergangszone und im Bereich der Vakuumzonen so gesteuert, dass es zu einer Vergleichmäßigung zwischen zwei Vakuumzonen in der Übergangszone kommt, da sich das Vakuum in der Übergangszone durch Leckage an den Vakuumdichtungen beziehungsweise an den Strukturen ausgleicht. Das Zurücksetzen der Vakuumdichtungen gegenüber der Auflageebene der Substrate auf der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung definiert die Spalthöhe h, die eine Leckage ermöglichen soll. Vakuumdichtungen können beispielsweise zwischen 1 µm und 5 µm, bevorzugt zwischen 1 µm und 3 µm zurückgesetzt werden. Im Vergleich dazu beträgt die Höhe der Noppen, die eine Höhe der Auflagefläche der Substrate definieren, beispielsweise zwischen 100 µm und 1000 µm. In einer Ausführungsform werden zwischen zwei Vakuumzonen mehr als eine Vakuumdichtung, insbesondere Dichtring, gesetzt. Die Zonen zwischen den Vakuumdichtungen werden dabei nicht aktiv mit Vakuum versorgt. Das Vakuum stellt sich in diesem Zwischenraum durch Leckage an den Vakuumdichtungen ein. Dabei fungiert dieser Zwischenraum vergleichmäßigend, da unterschiedliche Leckraten an unterschiedlichen Orten entlang der Vakuumdichtungen über den Vakuumdichtungen ausgeglichen werden. Dies ist insbesondere dann der Fall, wenn der Strömungsquerschnitt im Bereich des Zwischenraums größer ist als der Querschnitt der Leckage im Bereich der einzelnen Vakuumdichtungen. Mit Vorzug werden diese Querschnitte für ein möglichst bestes Ergebnis optimiert. Insbesondere wird die Spalthöhe für die Vakuumdichtungen beziehungsweise Strukturen EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 24 - optimiert. Dies führt zu einer der Leckage im Bereich der Vakuumdichtung(en). In einer weiteren Ausführungsform wird die Höhe der Vakuumdichtung zwischen einer Vakuumzone und einer Übergangszone gegenüber der Oberfläche der Substratauflage, insbesondere Noppen, zurückgesetzt. Dabei wird dieser Abstand (Spalthöhe) so gewählt, dass er wesentlich kleiner ist als die Höhe der Noppen. Die Spalthöhe ist insbesondere mehr als 10 mal kleiner, vorzugsweise mehr als 30 mal kleiner, bevorzugter mehr als 50 mal kleiner, noch bevorzugter mehr als 80 mal kleiner, am bevorzugtesten mehr als 100 mal kleiner, am allerbevorzugtesten mehr als 200 mal kleiner als die Höhe der Noppen. Damit ist gewährleistet, dass der Druckabfall überwiegend im Bereich der Vakuumdichtung stattfindet und eine Homogenität des Vakuums im Bereich der Vakuumzone gegeben ist. Ein weiteres wichtiges Auslegungskriterium ist, dass der Querschnitt der Leckage wesentlich kleiner sein soll als der Querschnitt der Zuleitung. Der Querschnitt der Leckage ist insbesondere um ein Faktor 2 kleiner, vorzugsweise um ein Faktor 5 kleiner, bevorzugt um ein Faktor 10 kleiner, bevorzugter um ein Faktor 30 kleiner, noch bevorzugter um ein Faktor 50 kleiner, am bevorzugtesten um ein Faktor 100 kleiner, am allerbevorzugtesten um mehr als ein Faktor 100 kleiner als der Querschnitt der Zuleitung. Damit ist gewährleistet, dass die Leckage der definierende Widerstand im System ist, sowie dass die Vakuum Werte im Bereich der Auflagefläche (Haltefläche) gezielt und genau geregelt werden können. In einer weiteren Ausführungsform werden die Vakuumdichtungen zwischen einer Vakuumzone und einer Übergangszone beziehungsweise die Vakuumdichtungen, die sich in der Übergangszone zwischen zwei Vakuumzonen befinden, gegenüber der Oberfläche der Substratauflage nicht zurückgesetzt. Anstatt dessen werden in der Vakuumdichtung entlang dem Verlauf an mehreren Stellen in regemäßigen Abständen kleine Kanäle eingearbeitet. Dabei wird der Querschnitt dieser Kanäle so gewählt, dass er wesentlich kleiner ist als der Querschnitt im Bereich der Noppen. Der EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 25 - Querschnitt der Kanäle ist mehr als 10 mal kleiner, vorzugsweise mehr als 30 mal kleiner, bevorzugter mehr als 50 mal kleiner, noch bevorzugter mehr als 80 mal kleiner, am bevorzugtesten mehr als 100 mal kleiner, am allerbevorzugtesten mehr als 200 mal kleiner als der Querschnitt im Bereich der Noppen. Damit ist gewährleistet, dass der Druckabfall überwiegend im Bereich der Vakuumdichtung stattfindet und eine Homogenität des Vakuums im Bereich der Vakuumzone gegeben ist. Auch in dieser Ausführungsform ist ein weiteres wichtiges Auslegungskriterium, dass der Querschnitt der Leckage wesentlich kleiner sein soll als der Querschnitt der Zuleitung. Der Querschnitt der Leckage ist insbesondere um ein Faktor 2 kleiner, vorzugsweise um ein Faktor 5 kleiner, bevorzugt um ein Faktor 10 kleiner, bevorzugter um ein Faktor 30 kleiner, noch bevorzugter um ein Faktor 50 kleiner, am bevorzugtesten um ein Faktor 100 kleiner, am allerbevorzugtesten um mehr als ein Faktor 100 kleiner als der Querschnitt der Zuleitung. Damit ist gewährleistet, dass die Leckage der definierende Widerstand im System ist, sowie dass die Vakuum Werte im Bereich der Auflagefläche (Haltefläche) gezielt und genau geregelt werden können. In einer weiteren Ausführungsform werden mehrere Vakuumdichtungen in der Übergangszone verwendet. Zwischen den Vakuumdichtungen, die den Übergang zwischen einer Vakuumzone und einer Übergangszone definieren, werden somit weitere Vakuumdichtungen angeordnet. Durch das Anordnen mehrerer (mindestens einer) Vakuum Zwischen-Dichtungen, kann der Vakuumübergang zwischen zwei mit Vakuum angespeisten Vakuumzonen somit in einzelne Vakuumschritte unterteilt und abgestuft werden. In einer bevorzugten Ausführungsform können, wenn die Widerstände der einzelnen Vakuumdichtungen gleich gewählt werden beziehungsweise die Vakuumdichtungen gleich gefertigt werden, die einzelnen Zwischenstufen der Vakuumwerte gleichmäßig verteilt sein. In einer weiteren, vorteilhaften Ausführungsform kann durch die Wahl des Querschnittes der Leckage die Vakuum-Abstufung bewusst nicht-linear unterteilt werden, sondern gemäß den Erfordernissen des Prozesses gewählt EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 26 - werden. Der Zwischenraum Vakuumdichtungen fungiert dabei ausgleichend, so dass der Vakuumgradient über die gesamte Länge der Vakuumdichtung möglichst gleichmäßig ist. Dabei ist bevorzugt den Strömungsquerschnitt des Zwischenraums größer zu wählen als den Querschnitt der Leckage. Insbesondere soll der Zwischenraum einen Querschnitt um ein Faktor 5 größer, vorzugsweise um ein Faktor 10 größer, bevorzugt um ein Faktor 30 größer, bevorzugter um ein Faktor 50 größer, noch bevorzugter um ein Faktor 100 größer, am bevorzugtesten um ein Faktor 200 größer, am allerbevorzugtesten um mehr als ein Faktor 200 größer als die Leckage aufweisen. In einer weiteren Ausführungsform ermöglicht die Übergangszone zwischen zwei Vakuumzonen kurze Evakuierzeiten und kurze Belüftungszeiten. In dieser besonders optimierten Ausführungsform wird der Querschnitt der Leckage (Spalthöhe) möglichst klein gewählt, womit in weiterer Folge der Querschnitt des Zwischenraums in der Übergangszone ebenfalls klein ausfallen kann. Kleine Volumina der Zwischenräume in der Übergangszone haben insbesondere den Vorteil, dass schnellere Evakuier- und Belüftungszeiten der Aufnahmeeinrichtung möglich sind und somit eine bessere Leistung im dynamischen Einsatz möglich wird. Ein weiterer Aspekt der Erfindung ist, die Abstände der einzelnen Vakuumdichtungen so zu wählen, dass der Vakuum Gradient auch während dem Lauf der Bondwelle im Wesentlichen erhalten werden kann. Bei niedrigen Anpressdrücken, erreicht durch niedrige Vakuumwerte, wird das Substrat während dem Lauf der Bondwelle teilweise von der Aufnahmeeinrichtung im Bereich des Kontaktpunkts zwischen den beiden Substraten abgehoben, was lokal zu einer erhöhten Leckage im Bereich der Vakuumdichtung führen kann. Diese Veränderung des lokalen Vakuum Gradienten in der Übergangszone wird mit der Optimierung der Abstände von mehreren (bis zu n) Vakuumdichtungen in einer Übergangszone entgegengewirkt. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 27 - Die Vorrichtung zum Bonden einer Substratoberfläche eines ersten Substrats mit einer zweiten Substratoberfläche eines zweiten Substrats weist eine erste Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme des ersten Substrats, eine zweite Aufnahmeeinrichtung zur Aufnahme des zweiten Substrats, wobei die Halteflächen der Aufnahmeeinrichtungen alternierend Vakuumzonen mit Fixierelemente und dazwischenliegende Übergangszonen ohne Fixierelemente und ohne Vakuum Anspeisung aufweisen. Ein Substrathalter kann zusätzlich über Sensoren verfügen, mit deren Hilfe physikalische und/oder chemische Eigenschaften zwischen dem fixierten Substrat und der Aufnahmeeinrichtung vermessen werden können und in einer Regelschleife zur Steuerung der Fixierungen, insbesondere der Vakuumwerte, verwendet werden können. Insbesondere wird auch auf die Vorrichtungen aus den Druckschriften WO2017/162272A1 Bezug genommen. Weitere Vorrichtungsmerkmale werden somit hier nicht im Detail beschrieben. Weiterhin wird ein Verfahren zum Bonden einer ersten Substratoberfläche eines ersten Substrats mit einer zweiten Substratoberfläche eines zweiten Substrats mittels einer Vorrichtung bereitgestellt . Insbesondere wird auch auf die bereits veröffentlichten Verfahrensschritte aus den Druckschriften WO2017/162272A1 verwiesen. In einem ersten Prozessschritt eines ersten Prozesses werden ein erstes Substrat auf einer ersten Aufnahmeeinrichtung und ein zweites Substrat auf einer zweiten Aufnahmeeinrichtung geladen und fixiert. In einem zweiten Prozessschritt eines ersten Prozesses werden die beiden Substrate zueinander ausgerichtet. Die Ausrichtung der Substrate wird hier nicht im Detail beschrieben. Insofern wir auf die Druckschriften WO2015/082020A1 und WO2014/202106A1 Bezug genommen. In einem dritten Prozessschritt eines ersten Prozesses erfolgt eine Annäherung der beiden Substrate durch eine Relativbewegung der beiden Substrathalter zueinander. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 28 - In einem vierten Prozessschritt Prozesses erfolgt eine Krümmung des ersten und/oder des zweiten Substrats. In einem fünften Prozessschritt eines ersten Prozesses erfolgt das Bonden der Substrate nach Kontaktierung an der Bondinitiierungsstelle und die Überwachung und Steuerung der Bondwelle. Das Ausrichten und Bonden innerhalb der Ausrichtungseinrichtung und/oder innerhalb der Bondeinrichtung findet bevorzugt bei Normaldruck statt. Die Substrate werden durch Vakuum bzw. Unterdruck an den Aufnahmeeinrichtungen fixiert. Das Haltevakuum liegt bevorzugt zwischen 5 mbar und 950 mbar Unterdruck. Das Haltevakuum ist dabei die Fixierkraft der Fixierelemente. In den Vakuumfixierungen liegt der Druck insbesondere zwischen 0,01 mbar und 1000 mbar, vorzugsweise zwischen 0,01 mbar und 800 mbar, noch bevorzugter zwischen 0,01 mbar und 500 mbar, am bevorzugtesten zwischen 0,01 mbar und 100 mbar, am allerbevorzugtesten zwischen 0,01 mbar und 50 mbar. Der Differenzdruck zwischen dem größeren, äußeren Druck und dem kleineren, inneren Druck in den Vakuumfixierelementen ist dann der Anpressdruck auf das Substrat, welcher zur Fixierung des Substrats führt. Weitere Vorteile, Merkmale und Einzelheiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung bevorzugter Ausführungsbeispiele sowie anhand der Zeichnungen. Diese zeigen schematisch in: Figur 1 eine Aufsicht auf einen Vakuumsubstrathalter einer ersten erfindungsgemäßen Ausführungsform, Figur 2 eine Aufsicht auf einen Vakuumsubstrathalter einer zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform, EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 29 - Figur 3 eine Aufsicht auf eine einer dritten erfindungsgemäßen Ausführungsform, Figur 4a eine Querschnittsansicht der Haltefläche des Vakuumsubstrathalters aus Figur 3 mit einer Übergangszone in einer ersten erfindungsgemäßen Ausführungsform, Figur 4b eine Querschnittsansicht der Haltefläche eines Vakuumsubstrathalters mit einer Übergangszone in einer zweiten erfindungsgemäßen Ausführungsform, Figur 4c eine Querschnittsansicht der Haltefläche eines Vakuumsubstrathalters mit einer Übergangszone in einer dritten erfindungsgemäßen Ausführungsform, Figur 4d eine Querschnittsansicht der Haltefläche eines Vakuumsubstrathalters mit einer Übergangszone in einer vierten erfindungsgemäßen Ausführungsform, Figur 4e eine Querschnittsansicht der Haltefläche eines Vakuumsubstrathalters mit einer Übergangszone in einer fünften erfindungsgemäßen Ausführungsform, Figur 4f ein Ausschnitt einer Querschnittsansicht der Haltefläche eines Vakuumsubstrathalters mit einem fixierten Substrat sowie mit einer Übergangszone in einer sechsten erfindungsgemäßen Ausführungsform. Figur 4g eine Querschnittsansicht der Haltefläche des Vakuumsubstrathalters aus Figur 3 mit einer Übergangszone in einer siebten erfindungsgemäßen Ausführungsform, In den Figuren sind gleiche Bauteile oder Bauteile mit der gleichen Funktion mit den gleichen Bezugszeichen gekennzeichnet. Die Figuren zeigen vereinfachte, nicht notwendigerweise maßstabsgetreue Darstellungen der EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 30 - Aufnahmeeinrichtungen mit mit Fixierelemente und Übergangszonen ohne Fixierelemente. Figur 1 zeigt eine Aufsicht auf eine erfindungsgemäßen Aufnahmeeinrichtung beziehungsweise auf einen erfindungsgemäßen Vakuumsubstrathalter in einer ersten Ausführungsform. Die Vakuumzonen 5, 5‘, 5‘‘ und die Übergangszonen 6, 6‘, 6‘‘ sind in der dargestellten Ausführungsform ringförmig, insbesondere kreisringförmig, angeordnet. Die Aufnahmeeinrichtung 1 gemäß Figur 1 besitzt eine Haltefläche mit mehreren Fixierelemente, insbesondere Vakuumfixierelemente 4, 4‘, 4‘‘. Die Fixierelemente 4, 4‘, 4‘‘ können unterschiedlich ausgeführt sein. Das Äußerste Fixierelement 4 ist insbesondere voll umfänglich und kreisförmig konstruiert. Die inneren Fixierelemente sind symmetrisch zum Zentrum der Aufnahmeeinrichtung 1 angeordnet. Die Fixierelemente 4‘, 4' ' sind insbesondere als dünne Vertiefungen ausgeführt, die vorzugsweise über eine Fluidöffnung 7 evakuiert werden können und damit als Vakuumfixierelement wirken. Die Fixierelemente 4, 4‘, 4‘‘ aus Figur 1 definieren jeweils eine Vakuumzone 5, 5‘, 5‘‘. Figur 1 zeigt Vakuumzonen 5, 5‘, 5‘‘ die symmetrisch zum Zentrum der Aufnahmeeinrichtung 1 angeordnet sind. Die Vakuumzonen 5, 5‘, 5‘‘ werden durch Übergangszonen 6, 6‘, 6‘‘ getrennt. Die Übergangszonen 6, 6‘, 6‘‘ trennen jeweils zwei unterschiedliche Vakuumzonen und werden nicht mit Vakuum gespeist. Damit weisen diese keine eigenen Fixierelemente auf. Eine Übergangszone zwischen zwei Vakuumzonen ermöglicht den graduellen Vakuumübergang von jeweils einer ersten zu einer zweiten Vakuumzone. Die Übergangszone 6‘ liegt beispielsweise zwischen der Vakuumzone 5‘ und der Vakuumzone 5‘‘. Der Abstand zwischen zwei Vakuumzonen ist insbesondere kleiner als 50 mm, vorzugsweise kleiner als 25 mm, noch bevorzugter kleiner als 20 mm, am EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 31 - bevorzugtesten kleiner als 15 mm, kleiner als 10 mm. Sind die Vakuumzonen als Kreissegmente ausgelegt gemäß Figur 1, dann ist der Abstand die Distanz zwischen dem inneren Kreisring eines äußeren Kreissegments und dem äußeren Kreisring eines inneren Kreissegments. Die Anzahl der Fixierelemente pro Vakuumzone ist beliebig. Insbesondere befinden sich in einer Vakuumzone mindestens 1 Fixierelement, vorzugsweise mindestens 2 Fixierelemente, vorzugsweise mehr als 10, bevorzugter mehr als 20, noch bevorzugter mehr als 50, am bevorzugtesten mehr als 100. In Figur 1 befindet sich 1 Fixierelement in einer Vakuumzone. Mehrere hintereinander angeordnete Vakuumzonen können gesteuert werden, insbesondere aktiviert oder deaktiviert werden, sodass die lokale Fixierung der Substrate geregelt werden kann. Insbesondere wird eine Vakuumzone aktiviert durch Einschalten aller Fixierelemente innerhalb der Vakuumzone. Die Aufnahmeeinrichtung 1 kann noch über unterschiedliche Sensoren 8, insbesondere Druckmesssensoren und/oder Abstandssensoren verfügen. Im Grundkörper 2 der Aufnahmeeinrichtung 1 sind auf der Haltefläche Vermessungslöcher 3 zum Vermessen von Prozessparametern von der Rückseite der Substrate. Im Zentrum des Substrathalters 1 kann sich ein Verformelement, insbesondere ein Stift oder eine Düse, befinden als Krümmungsänderungsmittel. Figur 2 zeigt eine vereinfachte Aufsicht einer Aufnahmeeinrichtung 1‘, wobei die Vakuumzonen 5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘ und die dazwischenliegenden Übergangszonen 6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘ in mehreren Ringen, bevorzugt Kreisringen, um das Zentrum der Aufnahmeeirichtung 1‘ herum angeordnet sind. Die vereinfacht dargestellten Fixierelemente 4, 4‘, 4' ' , 4‘‘‘ werden jeweils über eigene, getrennt steuerbare, Fluidöffnungen 7 evakuiert. In einer besonders bevorzugten Ausführungsform sind die Fixierelemente 4, 4‘, 4' ' , 4‘‘‘ in Bezug auf die Substrathalteroberfläche zurückgesetzt, insbesondere gefräst. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 32 - Werden Ladestifte verwendet , können diese beispielsweise mit einer Dichtung versehen werden. Die Aufnahmeeinrichtung 1‘ gemäß Figur 2 verfügt über überwiegend transparente Vermessungslöcher 3, um von der Rückseite der Substrate Messungen zur Überwachung der Prozessparameter durchführen zu können. Vorzugsweise besitzt mindestens der obere Substrathalter Vermessungslöcher. Die Vermessungslöcher sind insbesondere verschließbar und/oder gedichtet ausgebildet. Abstandssensoren 8 können in der Aufnahmeeinrichtung 1‘ integriert werden, um den Abstand zwischen der Haltefläche und dem geladenen Substrat zu jedem beliebigen Zeitpunkt zu messen. Figur 3 zeigt eine Aufsicht einer Aufnahmeeinrichtung 1‘‘ in einer dritten Ausführungsform. Die Fixierelemente 4, 4‘, 4' ' werden über eigene Leitungen beziehungsweise Fluidöffnungen 7 evakuiert und sind insbesondere zurückgesetzte, vorzugsweise ausgefräste, Vertiefungen, in denen sich Noppen 9 befinden. Die Fixierelemente 4, 4‘, 4‘‘ aus Figur 3 definieren jeweils eine Vakuumzone 5, 5‘, 5‘‘. Figur 3 zeigt Vakuumzonen 5, 5‘, 5‘‘ die symmetrisch zum Zentrum der Aufnahmeeinrichtung 1 angeordnet sind. Die Vakuumzonen 5, 5‘, 5‘‘ werden durch Übergangszonen 6, 6‘ getrennt. Die Übergangszonen 6, 6‘ trennen jeweils zwei unterschiedliche Vakuumzonen und werden nicht aktiv mit Vakuum gespeist. Die Übergangszone 6 ermöglicht einen graduellen Vakuum Übergang zwischen der Vakuumzone 5 und der Vakuumzone 5‘. Anlog ermöglicht die Übergangszone 6‘ einen graduellen Vakuum Übergang zwischen der Vakuumzone 5‘ und der Vakuumzone 5‘‘. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 33 - Figur 3 zeigt einen vergrößerten einer Übergangszone 6. Eine Vakuumzone und eine Übergangszone werden jeweils durch Vakuumdichtungen getrennt. Die Fläche der Übergangszone 6 kann strukturiert sein. Die Strukturen 10 können beispielsweise weitere Vakuumdichtungen sein, die von der Höhe der Haltefläche der Substrate herabgesetzt sind. Die Vakuumzonen 5, 5‘ mit Fixierelemente 4, 4‘ werden jeweils über getrennte Fluidöffnungen 7 evakuiert und sind als Noppenoberfläche strukturiert. Die Fixierung der Substrate findet durch die Evakuierung des Raumes zwischen den Noppen statt. Unterschiedliche Ausführungsformen der Übergangszone(n) werden in Figuren 4a bis 4f dargestellt und näher erläutert. In der Aufnahmeeinrichtung 1‘‘ gemäß Figur 3 sind mehrere Vakuumzonen, insbesondere mehrere nebeneinander liegende Vakuumzonen, gruppierbar und gemeinsam schaltbar. So kann vorteilhaft je nach Bedarf eine größere Fläche geschaltet werden, sodass der Bondvorgang und die Ablösung von der Aufnahmeeinrichtung 1‘‘ noch flexibler und exakter möglich ist. Die optimale Anzahl der Vakuumzonen pro Kreisumfang, sowie die optimale Anzahl der Vakuumzonen entlang der radialen Richtungen, sowie die optimale Gestaltung der dazwischenliegenden Übergangszonen können insbesondere durch empirische Messungen und/oder durch Simulationen optimiert werden. Dabei werden beide miteinander zu bondenden Substrate, insbesondere durch eine, insbesondere über weite Flächenteile, kontrollierbare Fixierung so fixiert, dass die Einflussfaktoren auf die sich ausbildende und ausbreitende Bondwelle möglichst reduziert werden. Durch einen graduellen Vakuumübergang von einer Vakuumzone zur nächsten in der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung durch die nicht aktiv mit Vakuum gespeisten Übergangszonen wird eine Reduktion der durch Bonden induzierten Verzerrungen ermöglicht, da abrupte Veränderungen der Rahmenbedingungen für die Bondwelle vermieden werden. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 34 - Die Figur 4a zeigt eine maßstabsgetreue, Ansicht eines Querschnitts einer ersten Ausführungsform der Haltefläche einer Aufnahmeeinrichtung. Die Übergangszone 6 befindet sich zwischen zwei Vakuumzonen 5 und 5‘. Die Vakuumzonen 5, 5‘ besitzen eine Noppenstruktur mit Noppen 9 mit einer Höhe H1 und werden über eine Fluidöffnung 7, 7‘ evakuiert. Die Übergangszone 6 wird nicht aktiv mit Vakuum versorgt. Die Breite beziehungsweise der Durchmesser der Aufnahmeerhöhungen, insbesondere Noppen, ist insbesondere kleiner als 5 mm, vorzugsweise kleiner als 2 mm, noch bevorzugter kleiner als 1 mm, am bevorzugtesten kleiner als 500 μm, am allerbevorzugtesten kleiner als 200 µm. In einer bevorzugten ausführungsform liegt die Breite zwischen 100 µm und 2 mm. Die Höhe der Aufnahmeerhöhungen, insbesondere Noppen, ist insbesondere kleiner als 2mm, vorzugsweise kleiner als 1 mm, noch bevorzugter kleiner als 500μm, am bevorzugtesten kleiner als 200μm. Insbesondere ist das Verhältnis zwischen der Breite beziehungsweise dem Durchmesser der Aufnahmeerhöhungen und der Höhe der Aufnahmeerhöhungen größer als 0.01, vorzugsweise größer als 1, noch bevorzugter größer als 2, am bevorzugtesten größer als 10, am allerbevorzugtesten größer als 20. Die Vakuumzonen 5, 5‘ mit Fixierelemente 4, 4‘ dienen zur Fixierung des Substrats (nicht dargestellt). Vakuumdichtungen trennen die Fläche der Übergangszone 6 von den zwei Vakuumzonen 5, 5‘. Die Übergangszone gemäß Figur 4a zeigt zusätzlich zwei weitere Strukturen, insbesondere Vakuumdichtungen. Zwischen zwei Vakuumdichtungen in der Übergangszone 6 befindet sich jeweils ein Zwischenraum 11. Der graduelle Vakuumübergang von einer Vakuumzone 5, 5‘ zur anderen wird durch die Höhe der Vakuumdichtungen 10 zwischen zwei Vakuumzonen 5, 5‘ und durch die Auswahl der Menge und der Höhe der Strukturen in der dazwischen liegenden Übergangszone 6 bestimmt. Die Ausführungsform gemäß Figur 4a zeigt weitere zwei Vakuumdichtungen als Struktur 10. Durch Gestaltung der Übergangszone 6 wird der Strömungswiderstand im Bereich EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 35 - der Vakuumdichtungen 10, im Übergangszone mit Zwischenräume 11 und im Bereich der Vakuumzonen 5, 5‘ so gesteuert, dass es zu einer Vergleichmäßigung zwischen zwei Vakuumzonen 5, 5‘ in der Übergangszone 6 kommt, da sich das Vakuum in der Übergangszone 6 durch Leckage an den Vakuumdichtungen und an den Strukturen 10 ausgleicht. Das Zurücksetzen der Vakuumdichtungen 10 gegenüber der Auflageebene der Substrate auf der Haltefläche der Aufnahmeeinrichtung definiert die Spalthöhe h, die eine Leckage ermöglichen soll. Die Vakuumdichtungen können beispielsweise zwischen 100 nm und 5 µm, bevorzugt zwischen 100 nm und 3 µm, noch bevorzugter zwischen 100 nm und 500 nm zurückgesetzt werden. Im Vergleich dazu beträgt die Höhe der Noppen H1, die eine Höhe der Auflagefläche der Substrate definieren, beispielsweise zwischen 100 µm und 1000 µm. Figur 4b zeigt eine zweite Ausführungsform der Übergangszone 6‘. Auch in dieser Ausführungsform sind die Vakuumdichtungen 10‘ gegenüber der Auflageebene der Substrate (Höhe der Noppen H1) zurückgesetzt. Der Zwischenraum 11‘ ist gemäß Figur 4b bis zu einer Höhe H2 aufgefüllt , damit das Volumen der Zwischenräume 11‘ der Übergangszone 6‘ kleiner ausfällt . Dadurch kann die Vergleichmäßigung zwischen zwei Vakuumzonen 5, 5‘ in der Übergangszone 6‘ gesteuert werden. Figur 4c zeigt eine dritte Ausführungsform der Übergangszone 6‘‘ mit einer zusätzlichen Vakuumdichtung in der Übergangszone 6‘‘. Gemäß Figur 4c haben die Vakuumdichtungen 10‘‘ eine Höhe H3 die deutlich kleiner ist als die Höhe der Noppen H1 zur Auflage des Substrats. Die Vakuumzonen 5, 5‘ werden über einer Fluidöffnung 7, 7‘ evakuiert, während die Übergangszone 6‘‘ nicht aktiv mit Vakuum versorgt wird. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 36 - In einer vierten Ausführungsform 6‘‘‘ gemäß Figur 4d werden die Vakuumdichtungen 10‘‘‘ zwischen einer Vakuumzone 5, 5‘ und einer Übergangszone 6‘‘‘ beziehungsweise die Vakuumdichtungen 10‘‘‘, die sich in der Übergangszone 6‘‘‘ zwischen zwei Vakuumzonen 5, 5‘ befinden, gegenüber der Oberfläche der Substratauflage nicht zurückgesetzt. Anstatt dessen werden in der Vakuumdichtung 10‘‘‘ entlang dem Verlauf an mehreren Stellen in regemäßigen Abständen kleine Kanäle 12 eingearbeitet. Dabei wird der Querschnitt dieser Kanäle 12 so gewählt, dass er wesentlich kleiner ist als der Querschnitt im Bereich der Noppen 9. Der Querschnitt der Kanäle ist insbesondere mehr als 10 mal kleiner, vorzugsweise mehr als 30 mal kleiner, bevorzugter mehr als 50 mal kleiner, noch bevorzugter mehr als 80 mal kleiner, am bevorzugtesten mehr als 100 mal kleiner, am allerbevorzugtesten mehr als 200 mal kleiner als der Querschnitt im Bereich der Noppen 9. Damit ist gewährleistet, dass der Druckabfall überwiegend im Bereich der Vakuumdichtung 10‘‘‘ stattfindet und eine Homogenität des Vakuums im Bereich der Vakuumzone 5, 5‘ gegeben ist. Zwischen zwei Vakuumdichtungen mit Kanälen befinden sich Zwischenräume 11‘‘‘. Dabei soll der Querschnitt der Leckage beziehungsweise die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstrukturen wesentlich kleiner sein als der Querschnitt der Zuleitung. Der Querschnitt der Leckage ist insbesondere um ein Faktor 2 kleiner, vorzugsweise um ein Faktor 5 kleiner, bevorzugter um ein Faktor 10 kleiner, noch bevorzugter um ein Faktor 30 kleiner, am bevorzugtesten um ein Faktor 50 kleiner, am allerbevorzugtesten um ein Faktor 100 kleiner als der Querschnitt der Zuleitung. Damit ist gewährleistet, dass die Leckage der definierende Widerstand im System ist, sowie dass die Vakuum Werte im Bereich der Auflagefläche (Haltefläche) gezielt und genau geregelt werden können. Der axiale Abstand der Vakuumdichtungen beziehungsweise Vakuumstrukturen 10‘‘‘ beträgt vorzugsweise zwischen 0,5 mm und 50 mm, bevorzugter zwischen 2 mm und 50 mm, noch bevorzugter zwischen 5 mm und 50 mm. Die Breite der Vakuumstrukturen liegt insbesondere zwischen 0,5 µm EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 37 - und 1 mm, vorzugsweise zwischen und 750 µm, bevorzugter zwischen 5 µm und 500 µm. Figur 4e zeigt eine fünfte Ausführungsform der Übergangszone 6 IV wobei die Fläche der Übe IVrgangszone weitgehend aufgefüllt ist und lediglich Linien- Strukturen 10 mit einer Höhe H4 kleiner als die Höhe der Noppen H1 beziehungsweise mit einer Spalthöhe h gegenüber der Noppenfläche zurück gesetzt sind. Die Linien-Strukturen sind auf einer breiten Vakuum-Dichtung angeordnet. Der axiale Abstand der Linien-Strukturen ist gleichmäßig und beträgt insbesondere 1,5 µm. Bevorzugt beträgt der gleichmäßige axiale Abstand der Linien-Strukturen zwischen 0,1 µm und 10 µm, noch bevorzugter zwischen 0,5 µm und 5 µm. Die Vakuumzonen 5, 5‘ mit Noppen 9 werden aktiv über die Fluidöffnungen 7, 7‘ evakuiert. Figur 4f zeigt ein Ausschnitt einer Querschnittsansicht der Haltefläche einer Substrataufnahmeeinrichtung mit einem fixierten Substrat 13, mit einer Übergangszone 6 in einer sechsten Ausführungsform. Figur 4f zeigt Noppen 9 mit einer Höhe H, die Spalthöhe h der zurückgesetzten Vakuumdichtungen und Strukturen 10 sowie der axiale Abstand t zwischen Strukturen. Die Auswahl von H, h und t sowie die Anzahl der Vakuumdichtungen beziehungsweise Strukturen in der Übergangszone 6 ermöglicht eine Designoptimierung der Übergangszone 6. Durch die Vergleichmäßigung der Substratfixierung von einer Vakuumzone zur anderen durch den erzeugten graduellen Vakuumübergang über die Übergangszone werden die Rahmenbedingungen für die Bondwelle sich auch graduell ändern. Dadurch werden Verzerrungen reduziert und vergleichmäßigt, was zu einer erhöhten Qualität der Bondprodukte führt. Figur 4g zeigt eine siebte Ausführu V Vngsform der Übergangszo Vne 6 mit zusätzlichen Vakuumdichtungen 10 in der Übergangszone 6 analog Figur 4c. Gemäß Figur 4g haben die Vakuumdichtungen 10V eine Höhe H3 die EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 38 - deutlich kleiner ist als die Höhe H1 zur Auflage des Substrats. In die Vser bevorzugten Ausführungsform befinden sich die Vakuumdichtungen 10 zwischen zwei Reihen von Aufnahmeerhöhungen 9 beziehungsweise Noppen-Reihen. Die Noppen 9, welche eine Halteebene bilden und V darauf das Substrat tragen, stützen das Substrat auch in der Übergangszone 6. Die Vakuumzonen 5, 5‘ w Verden über einer Fluidöffnung 7, 7‘ evakuiert, während die Übergangszone 6 nicht aktiv mit Vakuum versorgt wird. Die Vakuumdichtungen beziehungsweise Dichtungsstrukturen können beispielsweise zwischen 100 nm und 5 µm, bevorzugt zwischen 100 nm und 3 µm, noch bevorzugter zwischen 200 nm und 1 µm, am allerbevorzugtesten zwischen 200 nm und 500 nm zurückgesetzt werden im Vergleich zu der durch die Aufnahmeerhöhungen bereitgestellte Aufnahmefläche. Bevorzugt beträgt der axiale Abstand der Noppen zwischen 1 mm und 8 mm, noch bevorzugter zwischen 2 mm und 6 mm. Die Breite beziehungsweise der Durchmesser der Aufnahmeerhöhungen, insbesondere Noppen, ist insbesondere kleiner als 5 mm, vorzugsweise kleiner als 2 mm, noch bevorzugter kleiner als 1 mm, am bevorzugtesten kleiner als 500 μm, am allerbevorzugtesten kleiner als 200 µm. In einer bevorzugten ausführungsform liegt die Breite zwischen 100 µm und 2 mm. Die Breite der Dichtungsstrukturen 10V ist kleiner als der axiale Abstand der Noppen und ist insbesondere kleiner als 5 mm, vorzugsweise kleiner als 2 mm, noch bevorzugter kleiner oder gleich 1 mm.
EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 39 - B e z u g s z e i c h e n l i s t e 1 Vakuumsubstrathalter, Aufnahmeeinrichtung, Substrataufnahmeeinrichtung, Substrathalter 2 Grundkörper 3 Vermessungsloch 4, 4‘, 4‘‘, 4‘‘‘ Fixierelemente 5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘ Vakuumzone 6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 IV, 6V Übergangszone 7, 7‘ Fluidöffnung 8 Sensor 9 Aufnahmeerhöhungen, Noppen 10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 IV, 10V Dichtungsstruktur, Struktur, Vakuumdichtung 11, 11‘, 11‘‘, 11‘‘‘, 11V Zwischenraum 12 Kanal, Öffnung 13 Substrat H, H1, H2, H3, H4 Höhe h Spalthöhe t axialer Abstand der Dichtungsstrukturen

Claims

EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 40 - P a t e n t a n s p r ü c h e 1) Vakuumsubstrathalter (1) zur Fixierung eines Substrats (13), aufweisend: a) eine erste Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) mit mindestens einem ersten Fixierelement (4, 4‘, 4‘‘, 4‘‘‘), b) eine zweite Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) mit mindestens einem zweiten Fixierelement (4, 4‘, 4‘‘, 4‘‘‘), c) Aufnahmeerhöhungen (9) die zumindest in der ersten Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) und zumindest in der zweiten Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) angeordnet sind, wobei das Substrat (13) in einem fixierten Zustand auf einer durch die Aufnahmeerhöhungen (9) bereitgestellten Aufnahmefläche angeordnet ist und d) mindestens eine die erste Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) und die zweite Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) voneinander tre gszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 IV nnende Übergan , 6V), wobei die Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6IV IV, 6V V) mindestens eine Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 , 10) aufweist, dadurch gekennzeichnet, dass in dem fixierten Zustand die erste Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) und die zweite Vaku IVumz Vone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) durch die Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 , 6) fluidisch miteinander verbunden sind. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 41 - 2. Vakuumsubstrathalter (1) nach Anspruch 1, wobei die mindestens e htungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 I ine Dic V, 10V) mindestens eine Öffnung aufweist und durch die mindestens eine Öffnung eine Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 IV, 10V) vorgebbar ist. 3. Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden A In Vspr Vüche, wobei die mindestens eine Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 , 6) je IVweils mindestens zwei Dichtungsstrukturen (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 , 10V) aufweist und die Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6IV V , 6) zwischen den am weitesten voneinander entfernten Dichtungsstrukturen (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘ IV V I‘ V, 10 V , 10) der mindestens einen Übergangszon Ve (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 , 6) einen Zwischenraum (11, 11‘, 11‘‘, 11‘‘‘, 11 ) ausbildet. 4. Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die jeweilige Strömungsquerschnittsfläche der beiden am weitesten vo IVneina Vnder entfernten Dichtungsstrukturen (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 , 10) gleich groß ist. 5. Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die St Vrömungsquerschnittsfläche des Zwischenraums (11, 11‘, 11‘‘, 11‘‘‘, 11) größer ist als die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstrukturen (10, 10‘, 10‘ 0‘‘‘, 10 IV ‘, 1 , 10V) einer Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6IV, 6V). EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 42 - 6. Vakuumsubstrathalter (1) einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die St Vrömungsquerschnittsfläche des Zwischenraums (11, 11‘, 11‘‘, 11‘‘‘, 11) um ein Faktor 5 größer, vorzugsweise um ein Faktor 10 größer, bevorzugter um ein Faktor 30 größer, noch bevorzugter um ein Faktor 50 größer, am bevorzugtesten um ein Faktor 100 größer, am allerbevorzugtesten um ein Faktor 200 größer als die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtungsstrukturen (1 ‘, 10 IV, 10V 0 ) einer Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6I, 10‘, 10‘‘, 10‘‘ V, 6V) ist. 7. Vakuumsubstrathalter (1) nach Anspruch 1, wobei die mindestens eine Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 IV, 10V) eine gleichmäßige Höhe (H1, H2, H3, H4) relativ zu einer Vakuumsubstrathalteroberfläche aufweist und die Höhe (H1, H2, H3, H4) de Ir V min Vdestens einen Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 , 10) geringer ist als eine Höhe (H) der Aufnahmeerhöhungen (9) relativ zu der Vakuumsubstrathalteroberfläche, so dass in dem fixierten Zustand zwi Is Vchen V der mindestens einen Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 , 10) und dem Substrat (13) ein Spalt mit einer Spalthöhe (h) ausgebildet ist. 8. Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Spalthöhe (h) mehr als 10 mal kleiner, vorzugsweise mehr als 30 mal kleiner, bevorzugter mehr als 50 mal kleiner, noch bevorzugter mehr als 80 mal kleiner, am bevorzugtesten mehr als 100 mal kleiner, am allerbevorzugtesten mehr als 200 mal kleiner als eine Höhe (H) der Aufnahmeerhöhungen (9) ist. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 43 - 9. Vakuumsubstrathalter (1) einem der vorhergehenden Ansprüch Ie V, wob Vei die mindestens eine Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 , 10) im fixierten Zustand zumindest teilweise an dem S Iu Vbstr Vat (13) anliegt und entlang der Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 , 6) versetzt Kanäle (12) in ‘‘, 10‘‘‘, 10 I der mindestens einen Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10 V, 10V) ausgebildet sind. 10. Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei ein Abstand zwischen der mindesten einen ersten Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) und der mindestens einen zweiten Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) kleiner als 50 mm, vorzugsweise kleiner als 25 mm, noch bevorzugter kleiner als 20 mm, am bevorzugtesten kleiner als 15 mm, am allerbevorzugtesten kleiner als 10 mm ist. 11. Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei das mindestens eine Fixierelement (4, 4‘, 4‘‘, 4‘‘‘), einer Vakuumzone jeweils mindestens eine Fluidöffnung (7, 7‘) aufweist, und wobei durch sämtliche Fluidöffnungen (7, 7‘) der jeweiligen Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) zusammen eine Gesamtströmungsfläche der jeweiligen Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) ausgebildet ist, und wobei die Strömungsqu IVersch Vnittsfläche der Dichtungsstruktur (10, 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 , 10) der an die jeweilige Vakuum IVzon Ve (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) angrenzenden Übergangszone (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 , 6) um ein Faktor 2 kleiner, vorzugsweise um ein Faktor 5 kleiner, bevorzugter um ein Faktor 10 kleiner, noch bevorzugter um ein Faktor 30 kleiner, am bevorzugtesten um ein Faktor 50 kleiner, am allerbevorzugtesten um ein Faktor 100 kleiner als die Gesamtströmungsfläche der Fixierelemente (4, 4‘, 4‘‘, 4‘‘‘), der jeweiligen angrenzenden Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) ist. EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 44 - 12. Vakuumsubstrathalter (1) einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei die Strömungsquerschnittsfläche der Dichtstruktu , 10‘, 10‘‘, 10‘‘‘, 10 IV r (10 , 10V) mehr als 10 mal kleiner, vorzugsweise mehr als 30 mal kleiner, bevorzugter mehr als 50 mal kleiner, noch bevorzugter mehr als 80 mal kleiner, am bevorzugtesten mehr als 100 mal kleiner, am allerbevorzugtesten mehr als 200 mal kleiner als eine Gesamtöffnungsfläche zwischen den Aufnahmeerhöh (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6Iu Vngen (9) einer unmittelbar an die Übergangszone , 6V) angrenzende Vakuumzone (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) ist. 13. Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der vorhergehenden Ansprüche, wobei der Vakuumsubstrathalter weitere Vakuumzonen (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) aufweist, wobei die weiteren Vakuumzonen (5, 5‘ eweils durch weitere Übergangszonen (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6I, V 5‘‘, 5‘‘‘) j , 6V) getrennt sind, und wobei in radialer Richtung benachbarte Vakuumzonen (5, 5‘, 5‘‘, 5‘‘‘) jew Ie Vils fluidisch durch die weiteren Übergangszonen (6, 6‘, 6‘‘, 6‘‘‘, 6 , 6V) miteinander verbunden sind.
EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 45 - 14. Vorrichtung zum Bonden von aufweisend zumindest einen Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1-13.
EV Group E E.V TGha 1ll0n4e1r2 G1m-WbHO - 46 - 15. Verfahren zum Bonden von Substraten mit den folgenden Schritten, insbesondere in der folgenden Reihenfolge: i) Bereitstellung eines ersten Substrates (13) auf einem Vakuumsubstrathalter (1) nach wenigstens einem der Ansprüche 1-13, ii) Bereitstellung eines zweiten Substrates auf einem Substrathalter, iii) Bonden des ersten Substrates (13) mit dem zweiten Substrat.
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