DE19810473A1 - Rücksaugventil - Google Patents

Description

Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf ein Rücksaugventil, das beispielsweise das Auftreten von Flüssigkeitstropfen an einer Fluidzufuhröffnung verhindert, indem ein durch einen Fluiddurchgang fließendes Fluid entsprechend einer Ver­ schiebung eines Diaphragma zurückgesaugt wird, das aber auch in der Lage ist, die Rücksaugmenge des Fluids zu stabilisie­ ren.

Bisher wurden Rücksaugventile beispielsweise in einem Produktionsprozeß zur Herstellung von Halbleiterwafern verwendet. Das Rücksaugventil hat die Funktion, das sog. Flüssigkeitstropfen zu verhindern, ein Phänomen, bei dem eine sehr geringe Menge an Beschichtungsflüssigkeit von einer Zufuhröffnung auf den Halbleiterwafer tropft, wenn die Zufuhr der Beschichtungsflüssigkeit zu dem Halbleiterwafer gestoppt wird.

Ein Rücksaugventil nach dem Stand der Technik ist in Fig. 5 dargestellt. Nähere Erläuterungen hierzu ergeben sich beispielsweise aus der japanischen Gebrauchsmusterver­ öffentlichung Nr. 8-10399.

Das Rücksaugventil 1 umfaßt einen Hauptventilkörper 18, der einen Fluiddurchgang 16 zur Herstellung einer Verbindung zwischen einer Fluideinführöffnung 12 und einer Fluidablaßöff­ nung 14 aufweist, und eine mit einem oberen Abschnitt des Hauptventilkörpers 18 gekoppelte Kappe 20. Ein Diaphragma 26, das aus einem Fluorkunststoff oder dergleichen hergestellt ist, ist verschiebbar in der Fluidkammer 16 angeordnet. Ein Durchgang 19, der der Zufuhr und Abfuhr von Luft innerhalb einer Kammer 17 dient, die von dem Diaphragma 26 abgedeckt wird, wenn das Diaphragma 26 verschoben wird, steht mit der Kammer 17 in Verbindung. Ein dickwandiger Abschnitt 22 ist in der Mitte des Diaphragmas 26 ausgebildet und ein dünnwandiger Abschnitt 24 ist um den dickwandigen Abschnitt 22 herum angeordnet.

Ein Vorsprung 27 ist an einem oberen Teil des dickwandigen Abschnitts 22 ausgebildet, wobei das Diaphragma 26 mit dem Kolben 30 dadurch verbunden ist, daß der Vorsprung 27 in einen Hohlraum 29, der in einem unteren Teil des Kolbens 30 ausgebildet ist, eingesetzt ist. Eine V-Dichtung 32, die entlang einer inneren Wandfläche des Ventilkörpers 18 gleitend angeordnet ist und eine Dichtungsfunktion übernimmt, ist an dem Kolben 30 angebracht. Außerdem ist innerhalb des Ventil­ körpers 18 eine Feder 34 angeordnet, die normalerweise den Kolben 30 nach oben drückt. Eine Zufuhröffnung 28 für unter Druck stehende Luft ist in der Kappe 20 ausgebildet, wobei eine nicht dargestellte Zufuhrquelle für unter Druck stehende Luft durch ein nicht dargestelltes Durchflußmengenkontroll­ ventil oder dergleichen mit der Zufuhröffnung 28 für unter Druck stehende Luft verbunden ist. Außerdem bezeichnet das Bezugszeichen 36 eine Einstellschraube, die an dem Kolben 30 anliegt, um eine Durchflußmenge einer Beschichtungsflüssig­ keit, die von dem Diaphragma 26 angesaugt wird, über Mittel zum Einstellen einer Verschiebung des Kolbens 30 einzustellen.

Nachfolgend wird der Betrieb und die Funktion des Rück­ saugventiles 10 beschrieben. In einem normalen Zustand, in dem eine Beschichtungsflüssigkeit von der Fluidzufuhröffnung 12 zu der Fluidablaßöffnung 14 zugeführt wird, wird das Durch­ flußmengenkontrollventil oder dergleichen gesteuert, wobei unter Druck stehende Luft von der Druckluftzufuhrquelle zu der Druckluftzufuhröffnung 28 geführt wird. Als Folge hiervon wird der Kolben 30 entsprechend dem Druck der unter Druck stehenden Luft nach unten verschoben, und das mit dem Kolben 30 gekoppelte Diaphragma 26 steht in den Fluiddurchgang 16 vor, wie es in Fig. 5 durch die gestrichelte Linie angedeutet ist.

Wenn der Durchfluß von Beschichtungsflüssigkeit durch den Fluiddurchgang 16 gestoppt wird, werden der Kolben 30 und das Diaphragma 26 unter der Wirkung einer von der Feder 34 ausgeübten elastischen Kraft gemeinsam angehoben, indem das Durchflußmengenkontrollventil oder dergleichen gesteuert und die Zufuhr von unter Druck stehender Luft, die von der Druckluftzufuhrquelle zu der Druckluftzufuhröffnung 28 gefördert wird, gestoppt wird. Zusammen mit der Steuerung der Verschiebung durch Anlage eines Endes einer Einstell­ schraube 36 wird eine festgelegte Menge an Beschichtungs­ flüssigkeit, die in dem Fluiddurchgang 16 verbleibt, unter der Wirkung eines Unterdruckes, der durch das Diaphragma 26 erzeugt wird, angesaugt. Somit wird das Tropfen von Beschich­ tungsflüssigkeit, das anderenfalls an einer mit der Fluid­ ausgangsöffnung 14 verbundenen Fluidzufuhröffnung bewirkt würde, verhindert.

Bei dem oben beschriebenen herkömmlichen Rücksaugventil 10 verformt sich jedoch, wenn das Diaphragma 26 für eine längere Zeitdauer verwendet wird, das Diaphragma 26 aufgrund des wiederholten Ansaugens von Beschichtungsflüssigkeit innerhalb des Fluiddurchgangs 16 und es besteht das Problem, daß der Ursprungszustand des Diaphragmas nicht aufrecht erhalten werden kann, wodurch sich die Menge der von dem Rücksaugventil 10 angesaugten Beschichtungsflüssigkeit ändert und die nutzbare Lebensdauer des Diaphragmas 26 verkürzt wird. Wenn, wie oben beschrieben, der Ursprungszustand des Diaphragmas 26 nicht aufrecht erhalten werden kann, werden in dem Diaphragma 26 leicht Bereiche erzeugt, in denen sich Flüssigkeit sammelt, wodurch Beschichtungsflüssigkeit, die in Kontakt mit den Regionen tritt, in denen solche Flüssigkeit gesammelt ist, verschlechtert wird. Außerdem ist es von Nachteil, daß Beschichtungsflüssigkeit, die durch den Fluiddurchgang fließt, sich mit der verschlechterten Beschichtungsflüssigkeit mischt, wodurch die Beschichtungsflüssigkeit verschmutzt wird.

Außerdem sind der Kolben 30 und der dickwandige Abschnitt 22 des Diaphragma 26 miteinander verschraubt, wobei aufgrund eines allmählichen Lösens der Schraube ein Freiraum an einem Verbindungsabschnitt zwischen dem Kolben 30 und dem Diaphrag­ ma 26 erzeugt werden kann. Als Folge eines solchen Freiraumes oder Spieles treten Fehler bei der Verschiebung des Diaphrag­ mas 26 auf, die auf ein Problem hindeuten, das Fehler hinsichtlich hinsichtlich der von dem Rücksaugventil an­ gesaugten Flüssigkeitsmenge erzeugt werden.

Es ist daher eine wesentliche Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Rücksaugventil zu schaffen, das in der Lage ist, Änderungen der angesaugten Fluidmenge zu verhindern, wenn ein durch einen Fluiddurchgang fließendes Fluid durch die Zufuhr eines Unterdruckes zu einer Kammer, in der das Diaphragma angeordnet ist, durch ein Diaphragma angesaugt wird, und wobei das Fluid in der Verschiebungsrichtung des Diaphragmas angesaugt wird. Ferner soll selbst im Falle des wiederholten Ansaugens von Beschichtungsflüssigkeit das Diaphragma nicht dauerhaft deformiert werden, um eine Stabilisierung der Menge der angesaugten Beschichtungsflüssig­ keit und eine Verlängerung der nutzbaren Lebensdauer des Diaphragmas zu erreichen.

Diese Aufgabe wird mit der Erfindung im wesentlichen durch die Merkmale des Anspruchs 1 gelöst. Erfindungsgemäß wird eine erste Membran des Diaphragmas durch in einer zweiten Membran des Diaphragmas ausgebildete Öffnungen ansaugt, wenn ein Unterdruck in der Kammer aufgebaut wird.

In Weiterbildung der vorliegenden Erfindung können Fehler in dem angesaugten Fluid minimiert werden, indem ein dickwandiger Abschnitt des Diaphragmas von einem zylindrischen Element umgeben wird, indem eine Schraube mit einem konischen Abschnitt in einen Raum des zylindrischen Elements einge­ schraubt wird, indem der konische Abschnitt in einen im Querschnitt V-förmigen Absatz in dem dickwandigen Abschnitt eingesetzt wird, und indem der dickwandige Abschnitt in dem zylindrischen Element gehalten wird, wodurch die Erzeugung eines Freiraums zwischen dem Diaphragma und dem konischen Abschnitt verhindert wird.

Erfindungsgemäß ist außerdem vorgesehen, ein Rücksaugventil zu schaffen, das in der Lage ist, einen Verschiebungsweg und eine Verschiebungsgeschwindigkeit des Diaphragmas entsprechend der Verschiebung des Diaphragmas durch ein elektrisches Stellglied zuverlässig zu steuern.

Durch einstückige Ausbildung des Rücksaugventiles mit einem On/Off-Ventil wird erfindungsgemäß außerdem erreicht, daß das Rücksaugventil-System klein gebaut und leicht installiert werden kann.

Weitere Ziele, Vorteile und Anwendungsmöglichkeiten der Erfindung ergeben sich aus der nachfolgenden Beschreibung eines Ausführungsbeispiels und der Zeichnung. Dabei bilden alle beschriebenen und/oder bildlich dargestellten Merkmale für sich oder in beliebiger Kombination den Gegenstand der Erfindung, unabhängig von ihrer Zusammenfassung in den Ansprüchen oder deren Rückbeziehung.

Es zeigen:

Fig. 1 einen Teilschnitt durch ein Rücksaugventil gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung,

Fig. 2A einen vergrößerten Teilschnitt, der das Diaphragma in verschobenem Zustand zeigt,

Fig. 2B einen vergrößerten Teilschnitt, der den Aufbau des Diaphragmas verdeutlicht,

Fig. 3A einen vergrößerten Teilschnitt, der ein On/Off- Ventildiaphragma in verschobenem Zustand zeigt,

Fig. 3B einen vergrößerten Teilschnitt, der den Aufbau des On/Off-Ventildiaphragmas verdeutlicht,

Fig. 4 ein Diagramm, das bei einem Rücksaugventil gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung die Größe der Verschiebung des Diaphragmas relativ zur Zeit zeigt, und

Fig. 5 einen schematischen Schnitt durch ein Rücksaugven­ til nach dem Stand der Technik.

In Fig. 1 bezeichnet das Bezugszeichen 40 ein Rücksaugventil gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Rücksaugventil 40 weist einen länglich ausgestalteten Ventilkörper 42 mit einer an einer Endseite des Ventilkör­ pers 42 ausgebildeten ersten Öffnung 48 und einer an der anderen Endseite ausgebildeten zweiten Öffnung 50 auf. Verbindungselemente 54a, 54b, die mit Enden von Rohren 52a, 52b gekoppelt sind, sind in den entsprechenden Öffnungen 48, 50 angeordnet, wobei die Enden der Rohre 52a, 52b mit Stufen 56a, 56b gekoppelt sind, die an dem äußeren Umfang der Verbindungselemente 54a, 54b ausgebildet sind, und dadurch die Position der Rohre 52a, 52b festlegen. Entsprechende Außenge­ winde 58a, 58b sind an Enden des Ventilkörpers 52 vorgesehen, wobei die Rohre 52a, 52b durch die Verbindungselemente 54a, 54b unter Pressung an den ersten und zweiten Öffnungen 48, 50 des Ventilkörpers gehalten werden, indem Verriegelungs­ muttern 60a, 60b auf die Außengewinde 58a, 58b geschraubt werden.

Innerhalb des Ventilkörpers 42 ist ein Fluiddurchgang 64 ausgebildet und weist einen Fluiddurchgang 62 auf, der mit einem Rohr 52a in Verbindung steht, und einen Fluiddurch­ gang 64, der mit dem anderen Rohr 52b in Verbindung steht. Die entsprechenden Fluiddurchgänge 62, 64, die wie in Fig. 1 dargestellt, innerhalb des Ventilkörpers 42 nach oben gebogen sind, kommunizieren mit einem Hohlraum 66 in dem Ventilkör­ per 42. Eine Öffnung 68 ist im wesentlichen in der Mitte des einen Fluiddurchgangs 62. Wie in den Fig. 2A und 2B dar­ gestellt ist, ist eine Stufe 70 an einer durch die Öffnung 68 gebildeten Wand ausgebildet. Eine Kante einer ersten Membran 74, die ein Diaphragma 72 bildet, ist an der Stufe 70 angebracht, und ein dickwandiger Abschnitt 76 ist in der Mitte der ersten Membran 74 ausgebildet. Die erste Membran 74 ist beispielsweise aus einem Fluorkunststoffmaterial oder dergleichen hergestellt. Eine zweite Membran 80, die das Diaphragma 72 bildet, ist an einer oberen Fläche der ersten Membran 74 angeordnet, wobei die zweite Membran 80 beispiels­ weise aus einem mit einem Grundgewebe versehenen Gummimaterial hergestellt ist. Die erste Membran 74 und die zweite Membran 80 sind als getrennte Körper ausgebildet, die einstückig verbunden sind, indem einer auf den anderen aufgesetzt wird. In der Mitte der zweiten Membran 80 ist eine Öffnung 82 ausgebildet, durch die sich der dickwandige Abschnitt 76 erstreckt. Ferner ist in der zweiten Membran 80 eine Vielzahl von ringartig um den Umfang der Membran 80 angeordneten kleinen Öffnungen 84 vorgesehen.

Ein Flansch 108 eines zylindrischen Elementes 98, das mit dem dickwandigen Abschnitt verbunden ist, ist an einem oberen Teil des Diaphragmas 72 angeordnet und weist an seiner unteren Fläche eine gebogene Oberfläche 110 auf. Als Folge hiervon wird die Form der zweiten Membran 80 entlang der gekrümmten Fläche 110 aufrecht erhalten, wenn die zweite Membran 80 in Kontakt mit dem Flansch 108 tritt. Ein Vorsprung 104 ist um einen inneren Umfang des zylindrischen Elements 98 ausge­ bildet, wodurch eine Nut 106, die in Umfangsrichtung um den äußeren Umfang des dickwandigen Abschnitts 76 ausgebildet ist, auf den Vorsprung 104 paßt. Nicht dargestellte Innengewinde sind in dem inneren Umfang des zylindrischen Elements 98 bis zu der Stufe 100 ausgebildet, wobei an einem unteren Teil eines stangenartigen Verschiebungselements 86 ausgebildete Außengewinde 92 in die Innengewinde eingeschraubt werden. Ein konischer Abschnitt 90 ist an einem unteren Ende des Ver­ schiebungselements 86 ausgebildet und in einen im Querschnitt V-förmigen Hohlraum 88 eingesetzt, welcher an einem oberen Teil des dickwandigen Abschnitts 76 ausgebildet ist. Der vertikale Querschnitt des konischen Abschnitts 90 entspricht etwa dem vertikalen Querschnitt des Hohlraums 88; der konische Abschnitt 90 ist jedoch etwas größer ausgebildet als der Hohlraum 88 selbst. Als Folge hiervon tritt, wenn das Außengewinde 92 in das zylindrische Element 98 eingeschraubt und der konische Abschnitt 90 in Richtung des Pfeiles A relativ zu dem zylindrischen Element 98 verschoben wird, der konische Abschnitt immer weiter in den Hohlraum 88 ein, was bewirkt, daß die den Hohlraum 88 begrenzende Wand radial nach außen expandiert. Da aber der äußere Umfang des dickwandigen Abschnitts 76 mit der Innenwand des zylindrischen Elements 98 verbunden ist, wird der dickwandige Abschnitt 76 zusammen­ gedrückt und durch den konischen Abschnitt 90 und das zylindrische Element 98 gehalten. Dementsprechend wird im Gegensatz zu der Verwendung der herkömmlichen Schraubenbe­ festigung kein Freiraum an dem Verbindungsbereich des Diaphragmas 72 erzeugt.

Ein Flansch 94 ist in dem Verschiebungselement 86 an einem oberen Abschnitt der Schraube 92 mit Außengewinde ausgebildet. Zusätzlich ist ein abgerundeter Oberflächenabschnitt 96 an einem oberen Ende des Verschiebungselements 86 ausgebildet.

Ein Stützelement 112 umgibt einen äußeren Umfangsoberflächen­ abschnitt des Ventilkörpers 42, wobei eine Kante des Diaphrag­ mas 72 sandwichartig zwischen dem Stützelement 112 und einer Stufe 70 des Ventilkörpers 42 aufgenommen wird. Durch das Diaphragma 72 wird eine eingeschlossene Kammer 114 in dem Stützelement 112 gebildet, wobei darin ein Durchgang 116 in gegenseitiger Verbindung mit der Kammer 114 ausgebildet ist. Eine Öffnung 118 ist an einem oberen Oberflächenabschnitt der Kammer 114 ausgebildet, durch die das zylindrische Element 98 hindurchtritt, wobei ein Flansch 120 an einer entlang der Öffnung 112 gebildeten Wand angeordnet ist. Ein Ende einer Spulenfeder 122, die das zylindrische Element 198 umgibt, sitzt auf einer oberen Fläche des Stützelements 112 auf, und das andere Ende der Spulenfeder 122 sitzt an dem Flansch 94 des Verschiebungselements 86 auf. Als Folge hiervon wird das Verschiebungselement 86 durch die Spulenfeder 122 in der Richtung des Pfeiles B vorgespannt.

Ein Körper 124 ist an einem oberen Abschnitt des Stützel­ ements 112 befestigt, wobei der Körper 124 einen in seinem unteren Abschnitt ausgebildeten Hohlraum 126 aufweist, der mit der Öffnung 118 in Verbindung steht. Ein O-Ring 128 ist entlang einer Öffnung des Hohlraums 126 angeordnet, um eine Leckage von unter Druck stehender Luft oder dergleichen zu verhindern. Eine Öffnung 130 ist in dem Körper 124 ausge­ bildet, die mit dem Hohlraum 126 in Verbindung steht, wobei das Verschiebungselement gleitend in die Öffnung 130 einge­ setzt ist. Ein Hohlraum 132 ist an einem oberen Abschnitt des Körpers 124 ausgebildet und steht in Verbindung mit der Öffnung 130. Wie in Fig. 1 dargestellt ist, ist eine erste lineare schwingspulenartige Einziehvorrichtung 134a, die ein elektrisches Stellglied bildet, in dem Hohlraum 132 an­ geordnet. Die lineare schwingspulenartige Verschiebungsvor­ richtung 134a umfaßt ein Gehäuse 136a mit einem länglichen Stab 140a, der in Richtung der Pfeile A und B verschieblich innerhalb einer Kammer 138a des Gehäuses 136a angeordnet ist. Ein unteres Ende des Stabes 140a liegt gegen den abgerundeten Oberflächenabschnitt 96 des Verschiebungselements 86 an. Ein fester Eisenkern 142a, ist in einem oberen Mittelbereich innerhalb der Kammer 138a angeordnet, wobei der feste Eisenkern 142a so geformt ist, daß er sich nur über eine festgelegte Länge entlang einer Längsrichtung des Gehäu­ ses 136a erstreckt.

Außerdem ist ein Permanentmagnet 146a innerhalb der Kam­ mer 138a um einen festen Abstand getrennt von dem Eisen­ kern 142a angeordnet und an einer Innenwand des Gehäuses 136a mit Hilfe eines Halteelements 144a befestigt. In diesem Fall wird ein im wesentlichen horizontal gerichtetes magnetisches Feld in einem Raum zwischen dem Permanentmagneten 146a und dem festen Eisenkern 142a ausgebildet. Außerdem ist ein Ver­ schiebungselement (Spule) 150a, auf die eine elektromagneti­ sche Spule gewunden ist, zwischen dem festen Eisenkern 142a und dem Permanentmagneten 146a angeordnet, wobei das Ver­ schiebungselement 150a gemeinsam mit dem Stab 140a verschieb­ bar ist. Außerdem ist ein festgelegter Freiraum zwischen dem festen Eisenkern 142a und dem Verschiebungselement 150a vorgesehen. Das Bezugszeichen 152a bezeichnet Leitungen, durch die ein Strom zu der elektromagnetischen Spule 158a fließt.

Ein Führungselement 154a ist an einer Innenwand des Gehäu­ ses 136a angeordnet, wobei das Führungselement 154a den Stab 140a durch Verbindung mit einer Führungsschiene 156a, die in dem Stab 140a ausgebildet ist, entlang einer geraden Linie führt.

Ein Encoder 160a ist an einer dem Führungselement 154a gegenüberliegenden Seite an der Innenwand des Gehäuses 136a über ein Halteelement 158a befestigt. Der Encoder 160a umfaßt einen nicht dargestellten Fotosensor, der an einer Seite des Gehäuses 136a befestigt ist und eine nicht dargestellte Glasskala, die an einer Seite des Stabes 140a befestigt ist und durch ein Glassubstrat gebildet wird, auf dem an festge­ legten Abständen Skalenwerten vorgesehen sind. In diesem Fall wird die Größe der Verschiebung des Stabes 140a durch den nicht dargestellten Fotosensor über die Glasskala fest­ gestellt, wobei ein Detektionssignalausgang von dem Fotosensor über Leitungen 146a zu nicht dargestellten Steuereinrichtungen zurückgeführt wird. Dementsprechend wird auf der Basis des Fotosensor-Detektionssignales die Größe einer Verschiebung des Stabes 140a durch die Steuereinrichtungen hochgenau gesteuert.

Ein On/Off-Ventil 164 liegt einer Öffnung der Fluiddurch­ gänge 62, 64 des Ventilkörpers 42 gegenüber. Das On/Off- Ventil 164 ist, wie in den Fig. 3A und 3B gezeigt, mit einem On/Off-Ventildiaphragma 168 ausgestattet, welches an einer Stufe 166, die an einer Wand des Hohlraums 66 ausgebildet ist, anliegt. Das On/Off-Ventildiaphragma 168 besteht, ähnlich wie das Diaphragma 72, aus einer ersten Membran 170 und einer zweiten Membran 172, wobei die zweite Membran 172 eine Vielzahl darin ausgebildeter, in einem Ring angeordneter kleiner Öffnungen 174 aufweist. Ein dickwandiger Abschnitt 176 ist in der Mitte der ersten Membran 170 ausgebildet. Als Folge hiervon, setzt, wenn der dickwandige Abschnitt 146 in Richtung des Pfeiles A verschoben wird, der dickwandige Abschnitt 176 aufgrund der Biegung der ersten Membran 170 auf einem Sitz 180 auf, der an einer Öffnung des Fluiddurchgangs 62 ausgebildet ist, wodurch der Zugang zu dem Fluiddurchgang 62 verschlossen wird. Andererseits wird, wenn der dickwandige Abschnitt in Richtung des Pfeiles B verschoben wird, eine Verbindung zwischen dem Fluiddurchgang 62 und dem Fluiddurchgang 64 hergestellt. Ein im Querschnitt V-förmiger Absatz 182 ist an einem oberen Abschnitt des dickwandigen Abschnitts 172 ausgebildet. Außerdem ist eine umlaufende Nut 184 in einer äußeren Wand des dickwandigen Abschnitts 172 ausgebildet.

Ein Halteelement 186 ist um den Ventilkörper 42 angeordnet, wobei Kanten der ersten Membran 170 und der zweiten Mem­ bran 172 sandwichartig zwischen dem Halteelement 186 und einer Stufe 166 des Ventilkörpers 42 aufgenommen sind. Eine Kammer 187, die durch ein On/Off-Ventildiaphragma 186 blockiert wird, ist in dem Halteelement 186 ausgebildet. Ein Durchgang 188, der mit der Kammer 187 in Verbindung steht, ist in dem Halteelement 186 ausgebildet, wobei der Durchgang 188 mit einem Außenabschnitt des Halteelements 186 in Verbindung steht. Ein Vorsprung 190, der in den Hohlraum 66 vorspringt, ist in dem Halteelement 186 ausgebildet, wobei eine Öff­ nung 192 in eine Mitte des Vorsprungs 190 vorgesehen ist. Ein dickwandiger Abschnitt 176 des On/Off-Ventildiaphragmas 168 ist in die Öffnung 192 eingesetzt, und ein Flansch 164 ist an einer entlang der Öffnung 192 ausgebildeten Wand angeordnet.

Ein Körper 196 ist an einem oberen Teil des Halteelements 186 befestigt. Ein Hohlraum 198, der mit der Öffnung 192 in Verbindung steht, ist in dem Körper 196 ausgebildet, wobei ein O-Ring 200 entlang einer Öffnung des Hohlraums 198 angeordnet ist. Ein weiterer Hohlraum 204, der über eine Öffnung 202 mit dem Hohlraum 198 in Verbindung steht, ist an einem oberen Abschnitt des Körpers 196 ausgebildet. Wie in Fig. 1 dar­ gestellt ist, ist eine zweite lineare schwingspulenartige Einziehvorrichtung 134b, die ein elektrisches On/Off-Ventil- Stellglied bildet, in dem Hohlraum 204 angeordnet. Die zweite lineare schwingspulenartige Verschiebevorrichtung 134b ist ähnlich aufgebaut wie die erste lineare schwingspulenartige Verschiebevorrichtung 134a. Dementsprechend sind vergleichbare Elemente mit denselben Bezugszeichen versehen und durch den Zusatz "b" ergänzt. Auf die erneute detaillierte Beschreibung dieser Elemente wird verzichtet.

Ein stabförmiges Verschiebeelement 206 ist an einem unteren Abschnitt des Stabes 140b der zweiten linearen schwingspulen­ artigen Verschiebeeinrichtung 134b befestigt. Das Verschiebee­ lement 206 ist in die Öffnung 202 und den Hohlraum 198 eingesetzt. An einem äußeren Umfang des Verschiebeelements 206 ist, wie in Fig. 3A dargestellt, ein Flansch 208 ausgebildet, wobei ein Ende einer Spulenfeder 210 auf einer oberen Fläche des Flansches 208 aufsitzt, und wobei das andere Ende der Spulenfeder 210 an einer oberen Fläche aufsitzt, die durch den Hohlraum 198 gebildet wird. Dementsprechend ist das Ver­ schiebeelement 206 normalerweise durch die Spulenfeder 210 in Richtung des Pfeiles A vorgespannt. Ein Verschiebeelement 206 ist mit dem dickwandigen Abschnitt 176 des Diaphragmas verbunden, und auf ähnliche Weise ist ein konischer Abschnitt 212 an einem Ende des Verschiebeelements 206 ausgebildet, wobei der konische Abschnitt 212 zunehmend in einen Hohlraum 182 des dickwandigen Abschnitts 176 einführt wird, wodurch der dickwandige Abschnitt 176 durch ein zylindrisches Element 216 ergriffen wird, das in Gewindeeingriff mit Außengewinden 214 steht, die an dem konischen Abschnitt 212 und dem Verschiebee­ lement 206 ausgebildet sind.

Das Rücksaugventil 40 gemäß der Ausführungsform der Erfindung ist im wesentlichen wie oben beschrieben aufgebaut. Nachfol­ gend wird eine Beschreibung seiner Funktion gegeben:
Zunächst wird, wie in Fig. 1 dargestellt, eine Beschichtungs­ flüssigkeitstropfvorrichtung 236 mit einer Düse 234, die zum Auftropfen einer Beschichtungsflüssigkeit einem Halbleiterwa­ fer 230 gegenüberliegt, mit einem Rohr 250a verbunden, das mit einer ersten Öffnung 58 des Rücksaugventiles 40 in Verbindung steht. Andererseits wird eine Beschichtungsflüssigkeits­ zufuhrquelle 232, die eine Beschichtungsflüssigkeit zum Auftropfen auf den Halbleiterwafer 230 aufnimmt, mit einem Rohr 52b verbunden, das mit der zweiten Öffnung 50 in Verbindung steht. Außerdem wird eine Unterdruckerzeugungs­ quelle 240 jeweils mit Durchgängen 116 und 188 verbunden, wobei die Unterdruckerzeugungsquelle 240 normalerweise in aktiviertem Zustand ist. Zusätzlich werden die erste lineare schwingspulenartige Verschiebungseinrichtung 134a und die zweite lineare schwingspulenartige Verschiebungseinrichtung 134b mit einer Steuerung 242 verbunden.

An diesem Punkt wird, wenn die erste lineare schwingspulen­ artige Verschiebungseinrichtung 134a von der Steuerung 242 betrieben wird und ein Strom zu der elektromagnetischen Spule 148a fließt, in der elektromagnetischen Spule 148a eine elektromagnetische Kraft erzeugt. Als Folge der Wechsel­ wirkungen zwischen dem magnetischen Feld, das durch den Permanentmagneten 246a gebildet wird, und dem festen Eisenkern 142a sowie der obengenannten elektromagnetischen Kraft nach Flemming's linke Hand-Regel wird das Verschiebe­ element 150a, um das die elektromagnetische Spule 148a, gewunden ist, gemeinsam mit dem Stab 140a verschoben. Die elektromagnetische Kraft kann durch eine entsprechende Einstellung der Größe des durch die elektromagnetische Spule 148a fließenden Stromes so eingestellt werden, daß sie eine gewünschte Größe und Kontinuitätszeit hat. Außerdem kann durch eine Umkehrung der Polarität des durch die elektromagnetische Spule 148a fließenden Stromes die Richtung der Kraft von der Richtung des Pfeiles A in die Richtung des Pfeiles B und umgekehrt umgeschaltet werden.

Wenn der Stab 140a in der Richtung des Pfeiles A wie oben beschrieben verschoben wird, wird das Verschiebeelement 86 entgegen der Wirkung der Spulenfeder 122 verschoben und der dickwandige Abschnitt 76 des Diaphragmas 72 wird verschoben, um in den Durchflußdurchgang 62 einzutreten. Außerdem wird die zweite lineare schwingspulenartige Verschiebeeinrichtung 134b durch die Steuerung 242 betrieben, wodurch der dickwandige Abschnitt 176 des On/Off-Ventil-diaphragmas 186 von dem Sitz 180 abhebt und die Durchflußdurchgänge 62 und 64 in Verbindung miteinander gebracht werden.

Außerdem ist die Unterdruckerzeugungsquelle 240 normalerweise aktiviert, so daß der erzeugte Unterdruck auf die erste Membran 74 durch die kleinen Öffnungen 84 in der zweiten Membran 80 wirkt. Als Folge hiervon wird die erste Membran 74 in Kontakt mit der zweiten Membran 80 angesaugt und durch die zweite Membran 80 gestützt, und die erste Membran 74 wird in einem Zustand gehalten, in dem sie gegenüber (d. h. weg von) dem Durchflußdurchgang 62 gebogen ist (vgl. Fig. 2B).

Nachdem die oben beschriebenen Vorbereitungsschritte abge­ schlossen sind, wird die Beschichtungsflüssigkeitszufuhrquel­ le 232 aktiviert, so daß Beschichtungsflüssigkeit von einem Rohr 62b durch die Durchgänge 62, 64 fließt und der Beschich­ tungsflüssigkeittropfvorrichtung 236 zugeführt wird, durch welche Beschichtungsflüssigkeit von der Düse 234 auf den Halbleiterwafer 230 getropft wird. Als Folge hiervon wird eine nicht dargestellte Beschichtungsschicht mit einer gewünschten Dicke auf dem Halbleiterwafer 230 ausgebildet. Zu dieser Zeit besteht keine Besorgnis, daß der dickwandige Abschnitt 76 des Diaphragmas 72 in Richtung des Pfeiles B verschoben wird, obwohl die Beschichtungsflüssigkeit innerhalb des Fluiddurch­ gangs 62 gegen das Diaphragma 72 in Richtung des Pfeiles B drückt, weil das Diaphragma 72 durch die zweite Membran 80 gestützt wird.

Nach dem Aufbringen einer gewünschten Menge an Beschichtungs­ flüssigkeit auf den Halbleiterwafer 230 wird die dem On/Off- Ventil 164 zugeordnete zweite lineare schwingspulenartige Verschiebeeinrichtung 134b durch die Steuerung 242 betrieben, wodurch der Stab 140b in Richtung des Pfeiles A verschoben wird. Wie in Fig. 3A dargestellt ist, kommt der dickwandige Abschnitt 176 des On/Off-Ventildiaphragmas 168 in Kontakt mit dem Sitz 180, wodurch die Verbindung zwischen den Fluiddurch­ gängen 62, 64 unterbrochen wird. Dementsprechend wird das Tropfen von Beschichtungsflüssigkeit aus der Düse 234 der Beschichtungsflüssigkeitstropfvorrichtung 268 auf den Halbleiterwafer 230 gestoppt.

In diesem Fall verbleibt die Beschichtungsflüssigkeit, die der Beschichtungsflüssigkeit, die auf den Halbleiterwafer 230 getropft wurde, unmittelbar nachfolgt, innerhalb der Düse 234 und es besteht die Befürchtung, daß ein Flüssigkeitstropfen auftreten kann. Um dieser Befürchtung zu begegnen, wird die erste lineare schwingspulenartige Verschiebeeinrichtung 134a durch die Steuerung 242 betrieben, und, wenn der Stab 140a in Richtung des Pfeiles B verschoben wird, verschiebt sich aufgrund der elastischen Kraft der Spulenfeder 122 auch das Verschiebeelement 86 in Richtung des Pfeiles B. Aus diesem Grund wird, wie durch die durchgezogenen Linien in Fig. 2B angedeutet, der dickwandige Abschnitt 76 des Diaphragmas 72 in Richtung des Pfeiles B verschoben, wodurch eine festgelegte Menge an Beschichtungsflüssigkeit innerhalb des Fluiddurch­ gangs 62 durch einen in dem Fluiddurchgang 62 erzeugten Unterdruck angesaugt wird. Als Folge hiervon wird jegliche Beschichtungsflüssigkeit innerhalb der Düse 234 der Beschich­ tungsflüssigkeitstropfvorrichtung 236 in Richtung des Pfeiles D zurückgeführt, wodurch unerwünschtes Flüssigkeits­ tropfen auf den Halbleiterwafer 230 verhindert werden kann (vgl. Fig. 1).

Zu dieser Zeit kann die Verschiebung der Stäbe 140a, 140b einfach und genau gesteuert werden, weil die linearen schwingspulenartigen Verschiebeeinrichtungen 134a, 134b elektrisch gesteuert werden. Als Folge hiervon können, wie durch die durchgezogene Linie in Fig. 4 dargestellt ist, die Diaphragmen 72, 186 sanft verschoben werden. Bei einer Verschiebung der Diaphragmen wird kein Überschwingen E der Diaphragmen erzeugt, wie es durch die unterbrochenen Linien in Fig. 4 angedeutet ist und bei einer herkömmlichen Technik auftritt, wenn die Verschiebungsgeschwindigkeit der Diaphrag­ men durch den Druck von Druckluft gesteuert wird. Dement­ sprechend wird beispielsweise beim Einsatz des On/Off-Ventiles 164 die Erzeugung von Luftblasen aufgrund des Auftretens eines solchen Überschwingens unterdrückt und Qualitätsverschlechte­ rungen der auf den Halbleiterwafer 230 aufgebrachten Beschich­ tungsflüssigkeit werden verhindert.

Außerdem kann die Verschiebung des Diaphragmas 72 hochgenau gesteuert werden, weil die Steuerung 242 die Verschiebung des Stabes 140a auf der Basis eines Verschiebungsgrößensignals des Stabinputs von dem Encoder 160a der ersten linearen schwings­ pulenartigen Verschiebeeinrichtung 134a steuert. Dement­ sprechend kann die Menge an Beschichtungsflüssigkeit, die von dem Rücksaugventil 40 angesaugt wird, mit hoher Präzision gesteuert werden.

Außerdem besteht die Befürchtung, daß die erste Membran 74 in einem nach unten gebogenen Zustand deformiert wird, wenn das Diaphragma 72 als Folge des dadurch in dem Fluiddurchgang 62 erzeugten Unterdruckes in Richtung des Pfeiles B verschoben wird. Bei der vorliegenden Ausführungsform wird jedoch unter der Wirkung der Unterdruckzufuhrquelle 240 eine gleiche Saugkraft auf die erste Membran 74 aufgebracht, und die erste Membran 74 wird in ihrem korrekten nach oben gebogenen Zustand gehalten, weil sie durch direkten Kontakt mit der zweiten Membran 80 abgestützt wird (vgl. Fig. 2B).

Wenn dem Halbleiterwafer 230 erneut Beschichtungsflüssigkeit zugeführt wird, wird die Steuerung 242 reaktiviert, wodurch der Stab 140 der zweiten linearen schwingspulenartigen Verschiebeeinrichtung 134b einstückig mit dem dickwandigen Abschnitt 176 des Diaphragmas 168 verschoben und eine Verbindung zwischen den Durchgängen 62 und 64 hergestellt wird. Als Folge hiervon wird, wie oben beschrieben, die Beschichtungsflüssigkeit der Beschichtungsflüssigkeitstropf­ vorrichtung 236 zugeführt und tropft von der Düse 234 auf den Halbleiterwafer 230. Zu dieser Zeit wird die erste lineare schwingspulenartige Verschiebeeinrichtung 134a von der Steuerung 242 betrieben, und bei einer Verschiebung des Stabes 140a in Richtung des Pfeiles A wird der dickwandige Abschnitt 76 des Diaphragmas 72 einstückig mit dem Ver­ schiebeelement 86 in Richtung des Pfeiles A verschoben, so daß Beschichtungsflüssigkeit durch den Durchgang 62 nach außen gedrückt wird. Als Folge hiervon wird nun die Beschichtungs­ flüssigkeit, die von der Düse 234 in Richtung des Pfeiles D während der Verhinderung von Flüssigkeitstropfen zurückgeführt wurde, nun in Richtung des Pfeiles C zugeführt, wobei die Beschichtungsflüssigkeit schnell wieder auf den Halbleiterwa­ fer 230 tropft. Zu dieser Zeit liegt die zweite Membran 80 gegen die gekrümmte Oberfläche 110 an, die an der unteren Fläche des Flansches 108 ausgebildet ist, so daß die Form der zweiten Membran 80 entlang der gekrümmten Oberfläche 110 aufrecht erhalten wird. Dementsprechend kann eine Änderung der Menge der Beschichtungsflüssigkeit, die aus dem Fluiddurch­ gang 62 nach außen gedrückt wird, verhindert werden und beim Beginn der Zufuhr von Beschichtungsflüssigkeit besteht keine Befürchtung einer Änderung der Beschichtungsflüssigkeitsmenge, die auf den Halbleiterwafer 230 getropft wird.

Bei der vorliegenden Ausführungsform wird das Diaphragma 62 entsprechend dem der Kammer 114 zugeführten Unterdruck angesaugt und in einem gekrümmten Zustand in der Richtung der Verschiebung des Diaphragmas 72 gehalten, bzw. genauer gesagt in einer Richtung weg von dem Fluiddurchgang 62. Als Folge hiervon biegt sich das Diaphragma 72 nicht zu dem Fluiddurch­ gang 62 hin, wenn das Diaphragma 72 durch Aktivierung der linearen schwingspulenartigen Verschiebeeinrichtung 134 verschoben wird und ein Unterdruck in dem Fluiddurchgang 62 erzeugt wird. Daher können alle Befürchtungen einer Änderung der Menge an Beschichtungsflüssigkeit, die durch das Rück­ saugventil 40 angesaugt wird, beseitigt werden.

Außerdem wird bei der vorliegenden Ausführungsform im Vergleich zu einem einschichtigen Aufbau des Diaphragmas, wie es bei dem Stand der Technik verwendet wird, eine zweischich­ tige Struktur bestehend aus aufeinander gestapelten ersten und zweiten Membranen 74, 80 verwendet. Da die erste Membran 74 durch Aktivierung der Unterdruckerzeugungsquelle 240 in Kontakt mit der zweiten Membran 80 gesaugt wird und da die Form der ersten Membran 74 in einem nach oben gekrümmten Zustand gehalten wird, wird die erste Membran 74 nicht durch den Druck deformiert, der durch die durch den Fluiddurchgang 62 fließende Beschichtungsflüssigkeit aufgebracht wird. Durch das Aufsetzen der zweiten Membran 80, die einen hohen Widerstand gegenüber einem auf die erste Membran 74 aufge­ brachten Druck aufweist, kann ein hoher Druckwiderstand erreicht werden. Außerdem besteht keine Befürchtung, daß eine Ansammlung von Flüssigkeit innerhalb des Diaphragmas selbst auftritt, so daß keine Verschlechterung oder Verschmutzung des Fluids, das durch den Fluiddurchgang 62 fließt, auftritt.

In diesem Fall wird, wenn die Membran durch einstückig miteinander verklebte Membrankörper aus Kunstharz und Membrankörper aus Gummi unter Verwendung eines Klebstoffs oder dergleichen geformt wäre, eine Relativverschiebung zwischen dem Kunstharz-Membrankörper und dem Gummi-Membrankörper durch die Klebstoffoberfläche reguliert, die zwischen dem Kunstharz- Membrankörper und dem Gummi-Membrankörper gebildet ist, so daß ein Problem hinsichtlich einer Behinderung einer gleichmäßigen Flexibilität der druckaufnehmenden Oberfläche besteht.

Im Hinblick auf dieses Problem werden bei der vorliegenden Ausführungsform eine erste, aus Kunstharz hergestellte Membran 74 und eine zweite, aus Gummi hergestellte Membran 80 verwendet, die aufeinandergeschichtet angeordnet sind. Daher sind die ersten und zweiten Membranen 74 und 80 getrennt und unabhängig verschiebbar, so daß das Diaphragma gleichmäßig flexibel bleibt und eine Verbesserung ihrer Reaktionsgenau­ igkeit möglich wird.

Außerdem wird der dickwandige Abschnitt 76 der ersten Membran 74 zwischen einem konischen Abschnitt 90 und einer inneren Wand eines zylindrischen Elements 68 ergriffen, die so aufgebaut sind, daß sie durch die erste lineare schwing­ spulenartige Verschiebeeinrichtung 134a verschiebbar sind. Somit wird kein Freiraum zwischen dem Diaphragma 72 und dem konischen Abschnitt 90 erzeugt, und eine hohe Stabilität der durch das Diaphragma 72 angesaugten Fluidmenge kann aufrecht erhalten bleiben.

Außerdem wird die Reaktionszeit des Diaphragmas verkürzt, weil ein elektrisches Stellglied dazu verwendet wird, das Diaphrag­ ma 72 zu verschieben, und das zum Ansaugen des Fluids verwendete Diaphragma 72 wird durch elektrische Steuerungen angetrieben, im Gegensatz zu der herkömmlichen Technik, die Druckluft oder dergleichen verwendet. Außerdem kann der Vorgang des Stoppens der Zufuhr von Fluid bis das Fluid zurückgesaugt wird schnell durchgeführt werden.

Bei der oben beschriebenen Ausführungsform weisen die elektrischen Stellglieder eine lineare Schwingspulen-Verschie­ beeinrichtung auf. Die Erfindung ist jedoch nicht hierauf beschränkt. Beispielsweise kann auch ein lineares Stellglied mit einer Kugelspindel verwendet werden, die an der Rotations­ achse eines drehenden Gleichstrommotors oder eines drehenden Schrittmotors angeordnet ist, wobei die Drehung der Ku­ gelspindel durch ein Verschiebungselement in eine direkte Linearbewegung umgesetzt wird.

Obwohl die vorliegende Erfindung mit Bezug auf eine detail­ lierte Beschreibung einer bevorzugten Ausführungsform erläutert wurde, ist die Erfindung nicht auf die beschriebene Ausführungsform beschränkt. Auch ist die Art der Beschich­ tungsflüssigkeit nicht festgelegt. Schließlich können im Rahmen der beigefügten Ansprüche Änderungen vorgenommen werden, die den Schutzumfang der Erfindung nicht verlassen.

Claims (9)

1. Rücksaugventil (40) mit einem Ventilkörper (42), in dem eine erste Öffnung (48) und eine zweite Öffnung (50) sowie ein Fluiddurchgang (62), der die erste Öffnung (48) und die zweite Öffnung (50) verbindet, ausgebildet sind, mit einem verschieb­ bar in einer in dem Ventilkörper (42) ausgebildeten Kammer (114) angeordneten Diaphragma (72), wobei das Diaphragma (72) eine erste Membran (74) und eine zweite Membran (80) aufweist, die auf die erste Membran (74) aufgesetzt ist und eine Vielzahl von Öffnungen (84) aufweist, und mit einem Stellglied (134a) zum Verschieben des Diaphragmas (72), wobei ein Fluid, das durch den Fluiddurchgang (62) fließt, durch eine Ver­ schiebung des Diaphragmas (72) unter Aktivierung des Stell­ glieds (134a) angesaugt wird, und wobei die erste Membran (74) in der gleichen Richtung gesaugt wird, wie das Diaphragma (72) unter einem durch einen Durchgang (116) in dem Ventilkörper (42) in die Kammer (114) eingeführten Unterdruck verschoben wird, und wobei die erste Membran (42) gleichzeitig durch die Öffnungen (84) in der zweiten Membran (80) in Kontakt mit der zweiten Membran (80) gesaugt wird.

2. Rücksaugventil nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß das Diaphragma (72) außerdem ein zylindrisches Ele­ ment (98) aufweist, das eine äußere Oberfläche eines dickwan­ digen Abschnitts (76) des Diaphragmas (72) umgibt, daß ein Schraubelement (92) mit einem konischen Abschnitt (90) in einen inneren Freiraum des zylindrischen Elements (98) eingesetzt ist, daß der konische Abschnitt (90) in einen im Querschnitt V-förmigen Absatz (88) in dem dickwandigen Abschnitt (76) eingesetzt ist, und daß der dickwandige Abschnitt (76) des Diaphragmas (72) an einem Ende des zylindrischen Elements (98) durch eine radial nach außen gerichtete Expansion des dickwandigen Abschnitts (76) getragen wird.

3. Rücksaugventil nach Anspruch 1 oder 2, gekennzeichnet durch einen Flansch (108), der eine gekrümmte Oberfläche (110) aufweist, so daß bei einer Verschiebung des Diaphragmas (72) zusammen mit dem zylindrischen Element (98) zu dem Fluiddurch­ gang (62) hin die zweite Membran (80) gegen die gekrümmte Oberfläche (110) anliegt und dadurch entlang der gekrümmten Oberfläche (110) gestützt wird.

4. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 1 bis 3, dadurch gekennzeichnet, daß das Stellglied eine lineare schwingspulen­ artige Verschiebeeinrichtung (134a) aufweist, wobei die lineare schwingspulenartige Verschiebeeinrichtung (134a) einen Stab (140a) aufweist, der durch Aktivierung der linearen schwingspulenartigen Verschiebeeinrichtung (134a) verschoben wird, wobei das Diaphragma (72) gemeinsam mit dem Stab (140a) verschoben wird.

5. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 1 bis 4, gekennzeichnet durch ein On/Off-Ventil (164), das in dem Ventilkörper (42) angeordnet ist, um eine Verbindung zwischen der ersten Öffnung (48) und der zweiten Öffnung (50) herzu­ stellen bzw. zu unterbrechen.

6. Rücksaugventil nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß das On/Off-Ventil (164) ein On/Off-Ventildiaphragma (168) zur Herstellung und Unterbrechung einer Verbindung zwischen der ersten Öffnung (48) und der zweiten Öffnung (50) und ein On/Off-Ventilstellglied (134b) zur Verschiebung des On/Off- Ventildiaphragmas (168) aufweist, wobei in einer Kammer (187), in der das On/Off-Ventildiaphragma (168) angeordnet ist, durch einen Durchgang (188), der in dem Ventilkörper (142) an­ geordnet ist, unter Aktivierung einer Unterdruckerzeugungs­ quelle (240) ein Unterdruck erzeugt, und wobei das On/Off- Ventildiaphragma (168) in derselben Richtung gesaugt wird, in der die Verschiebung unter der Wirkung des Unterdruckes erfolgt.

7. Rücksaugventil nach Anspruch 6, dadurch gekennzeichnet, daß das On/Off-Ventildiaphragma (168) eine erste Membran (170) und eine zweite Membran (172) aufweist, die auf eine Seite der ersten Membran (170) aufgesetzt ist, wobei die erste Membran (170) durch eine in der zweiten Membran (172) ausgebildete Öffnung (174) durch Aktivierung der Unterdruckerzeugungsquelle (240) in Kontakt mit der zweiten Membran (172) gesaugt wird.

8. Rücksaugventil nach Anspruch 6 oder 7, gekennzeichnet durch ein zylindrisches Element (216), das an dem On/Off- Ventildiaphragma (168) angeordnet ist und eine äußere Fläche eines dickwandigen Abschnitts (176) des On/Off-Ventildiaphrag­ mas (168) umgibt, ein Schraubelement (214) mit einem konischen Abschnitt (212), der in einen Innenraum des zylindrischen Elements (216) eingesetzt ist, wobei der konische Ab­ schnitt (212) in einen im Querschnitt V-förmigen Absatz (182) in dem dickwandigen Abschnitt (176) eingesetzt ist, und wobei der dickwandige Abschnitt (176) des On/Off-Ventildiaphragmas (168) durch eine radial nach außen gerichtete Expansion des dickwandigen Abschnitts (176) in einem Ende des zylindrischen Elements (216) gehalten wird.

9. Rücksaugventil nach einem der Ansprüche 6 bis 8, dadurch gekennzeichnet, daß das On/Off-Ventilstellglied (134b) eine lineare schwing-spulenartige Verschiebeeinrichtung (134b) aufweist, wobei die lineare schwingspulenartige Verschiebeein­ richtung (134b) einen Stab (140b) aufweist, der durch Aktivierung der linearen schwingspulenartigen Verschiebeein­ richtung (134b) verschoben wird, wobei das On/Off-Ventildi­ aphragma (168) einstückig mit dem Stab (140b) verschoben wird.