DE69817238T2

DE69817238T2 - Rücksaugventil

Info

Publication number: DE69817238T2
Application number: DE69817238T
Authority: DE
Inventors: Yoshihiro Tsukuba-gun Ibaraki-ken Fukano; Tetsuro Tsukuba-gun Ibaraki-ken Maruyama
Original assignee: SMC Corp
Current assignee: SMC Corp
Priority date: 1997-03-14
Filing date: 1998-03-06
Publication date: 2004-06-17
Anticipated expiration: 2018-03-07
Also published as: JPH10252918A; EP0864792A2; DE69817238D1; US6029903A; EP0864792A3; JP4035666B2; EP0864792B1

Description

HINTERGRUND DER ERFINDUNG
Gebiet der Erfindung:
Die vorliegende Erfindung betrifft ein Rücksaugventil, mit dem das Tropfen von Flüssigkeit, wie es bspw. an einer Versorgungsöffnung eines Flüssigkeitsdurchgangs auftritt, durch Rücksaugen einer bestimmten Menge von durch den Fluiddurchgang fließenden Fluids verhindert wird, indem eine Membran verschoben wird, wobei auch die angesaugte Menge der Flüssigkeit stabilisiert werden kann.
Beschreibung des Standes der Technik:
Bisher sind bspw. Halbleiterwafer-Herstellungsprozesse bekannt, bei denen ein Rücksaugventil verwendet wird. Wenn die Zufuhr von Beschichtungsflüssigkeit auf den Halbleiterwafer gestoppt wird, ist in dem Rücksaugventil eine Funktion vorgesehen, um ein sogenanntes Flüssigkeitsabtropfen zu vermeiden, bei dem geringe Mengen der Beschichtungsflüssigkeit von einem Versorgungsanschluss auf den Halbleiterwafer tropfen.
Das Rücksaugventil entsprechend einer solchen herkömmlichen Technik ist in 5 gezeigt und bspw. durch das japanische Gebrauchsmuster mit der Publikationsnummer 8-10399 offenbart.
Ein solches Rücksaugventil 1 weist einen Hauptventilkörper 5 auf, in dem ein eine Fluideinlassöffnung 2 und eine Fluidauslassöffnung 3 verbindender Fluiddurchgang 4 ausgebildet ist, und beinhaltet eine Kappe 6, welche an einem oberen Abschnitt des Hauptventilkörpers 5 angeschlossen ist. Eine aus einem dickwandigen Abschnitt und einem dünnwandigen Abschnitt aufgebaute Membran 7 ist im Zentrum des Flüssigkeitsdurchgangs 4 angeordnet. Eine nicht dargestellte Druckfluid-Versorgungsquelle ist an die Kappe 6 angeschlossen, wobei die Kappe 6 ferner mit einem Druckfluidzufuhranschluss 8 zum Zuführen von Druckluft zum Betreiben einer Membran unter einer Umschaltwirkung eines (nicht dargestellten) Richtungssteuerungsventils zu betreiben.
Ein Kolben 9 ist an die Membran 7 angepasst, wobei eine in den Kolben 9 aufgenommen V-Dichtung 10 gleitbar entlang einer inneren Wandfläche des Hauptventilkörpers 5 vorgesehen ist und eine Dichtfunktion übernimmt. Ferner ist in dem Hauptventilkörper 5 eine Feder 11 vorgesehen, welche den Kolben 9 normalerweise in eine Richtung nach oben drückt.
Eine Einstellschraube 12 ist oben auf der Kappe 6 angeordnet, welche durch Vergrößern oder Verkleinern ihres eingedrehten Abschnitts gegen den Kolben 9 stößt, wodurch der durch die Membran 7 angesaugte Menge der Beschichtungsflüssigkeit eingestellt wird.
Eine Beschichtungsflüssigkeits-Versorgungsquelle 13, in der die Beschichtungsflüssigkeit aufgenommen ist, ist an die zweite Fluideinlassöffnung 2 über eine Röhre 14 angeschlossen, und ferner ist eine Richtungssteuerungsventilanordnung 15, welche bspw. durch einen von dem Rücksaugventil 1 separat aufgebautes AN/AUS-Ventil gebildet ist, zwischen der Beschichtungsflüssigkeits-Zufuhrquelle 13 und der Fluideinlassöffnung 2 angeschlossen. Durch Anregung und Nicht-Anregung dient die Richtungssteuerungsventilanordnung 15 dazu, zwischen einem Beschichtungsflüssigkeitszufuhrzustand und einem Nicht-Zufuhrzustand in Bezug auf das Rücksaugventil 1 zu schalten.
Der Betrieb des Rücksaugventils 1 soll jetzt in Grundzügen erläutert werden. In einem üblichen Zustand, in dem Fluid von der Fluideinlassöffnung 2 zu der Fluidauslassöffnung 3 zugeführt wird, sind der Kolben 9 und die Membran 7 zusammen nach unten verschoben, in Übereinstimmung mit der Wirkung des von dem Druckfluidzufuhranschluss 8 zugeführten Druckfluids. Die an den Kolben 9 angekoppelte Membran 7 steht, wie in 5 durch die zweifach gepunktete Linie dargestellt, in den Fluiddurchgang 4 vor.
Wenn an diesem Punkt durch einen Umschaltvorgang der Richtungssteuerungsventilanordnung 15 der Fluss der Beschichtungsflüssigkeit in dem Fluiddurchgang 4 angehalten wird, werden in diesem Fall durch Anhalten der Zufuhr von Druckluft von dem Druckluftzufuhranschluss 8 der Kolben 9 und die Membran 7 zusammen durch eine elastische Kraft der Feder 11 nach oben geschoben, wobei die in dem Fluiddurchgang 4 verbleibende Beschichtungsflüssigkeit durch eine negative Druckwirkung der Membran 7 angesaugt wird, so dass ein unerwünschtes Tropfen von Flüssigkeit von einem nicht dargestellten Zufuhranschluss vermieden werden kann.
Übrigens ist in dem Rücksaugventil 1 gemäß dieser herkömmlichen Technik eine separat aufgebaute Richtungssteuerungsventilanordnung 15 zwischen der Beschichtungsflüssigkeitszufuhrquelle 13 und dem Rücksaugventil 1 angeordnet, wobei aufgrund einer AN/AUS-Operation der Richtungssteuerungsventilanordnung 15 durch eine Antriebseinheit 16 die Beschichtungsflüssigkeit im Inneren des Fluiddurchgangs 4 des Rücksaugventils 1 zugeführt oder alternativ deren Zufuhr gestoppt wird.
Ungeachtet dessen werden bei einem Rücksaugventil 1 gemäß dieser herkömmlichen Technik Rohrverbindungsarbeitsschritte zwischen dem Rücksaugventil 1 und der Richtungssteuerungsventilanordnung 15 notwendig, wodurch sich die Komplexität des Systems erhöht. Zusätzlich sind die Richtungs steuerungsventilanordnung 5 und die Antriebseinheit 16 zum Bewirken ihrer AN/AUS-Operation außerhalb des Rücksaugventils 1 vorzusehen. Im Ergebnis wird ein gewisser Raum für die Verbindung der Richtungssteuerungsventilanordnung 15 und der Antriebseinheit 16 notwendig, wodurch sich der gesamte Installationsraum vergrößert und der Nachteil steigender Ausrüstungskosten ergibt.
Ferner wird durch die Röhren, die zwischen dem Rücksaugventil 1 und der Richtungssteuerungsventilanordnung 15 angeschlossen werden, der Fluiddurchgangswiderstand mit dem Nachteil vergrößert, dass die Antwortgenauigkeit (Antwortverhalten) der Membran 7 verschlechtert wird.
Ein Rücksaugventil gemäß dem Oberbegriff von Anspruch 1 ist in dem Dokument DD 204 979 offenbart, bei dem eine Flüssigkeit zum Aufbringen auf einen Silikonwafer durch eine Einlassöffnung eingeführt und durch eine Auslassöffnung abgelassen wird. Ein Fluiddruck wird durch eine weitere Öffnung zum Expandieren einer ersten Membran zugeführt. Dadurch wird die Verschiebung eines Schwimmpins bewirkt, welcher gegen eine andere Membran zum Öffnen des Ventils drückt und es ermöglicht, dass Flüssigkeit zwischen den Eingangs- und Auslassöftnungen fließt. Beim Nachlassen des Fluiddrucks an der weiteren Öffnung zieht sich die erste Membran zurück und das Ventil schließt, während gleichzeitig ein negativer Druck erzeugt wird, welcher ein Zurückziehen von Flüssigkeit in die Auslassöffnung bewirkt.
ZUSAMMENFASSUNG DER ERFINDUNG
Es ist eine allgemeine Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Rücksaugventil vorzusehen, bei dem es möglich wird, dass der vorzusehende Raum für das Rücksaugventil verringert wird und der Installationsraum daher effektiv genutzt werden kann, indem eine Richtungssteuerungsventilanordnung und eine Antriebseinheit zum Bewirken ihrer AN/AUS-Operation unnötig werden.
Eine Hauptaufgabe der vorliegenden Erfindung liegt darin, ein Rücksaugventil vorzusehen, bei dem das Rücksaugventil einfach angeordnet und installiert werden kann, indem Rohrverbindungsanschlüsse zum Verbinden einer Richtungssteuerungsventilanordnung und einer Antriebseinheit an das Rücksaugventil vermieden werden.
Es ist eine weitere Aufgabe der vorliegenden Erfindung, ein Rücksaugventil vorzusehen, bei dem die Antwortgenauigkeit einer Membran verbessert werden kann, indem der Durchgangswiderstand des Fluidflusses durch einen Fluiddurchgang reduziert wird.
Entsprechend der vorliegenden Erfindung wird ein Rücksaugventil mit den Merkmalen des Anspruchs 1 vorgesehen.
Vorteilhafte Ausführungsformen der Erfindung sind aus den abhängigen Ansprüchen ersichtlich.
Die oben beschriebenen und andere Aufgaben, Merkmale und Vorteile der vorliegenden Erfindung werden aus der nachfolgenden Beschreibung in Zusammenhang mit den begleitenden Zeichnungen deutlich, in denen bevorzugte Ausführungsformen der vorliegenden Erfindung als erläuternde Beispiele gezeigt sind.
KURZBESCHREIBUNG DER ZEICHNUNG
1 ist eine perspektivische Ansicht des Rücksaugventils gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
2 ist ein vertikaler Querschnitt des Rücksaugventils gemäß 1, welcher die Verschiebung einer Membran und das Ansaugen einer Beschichtungsflüssigkeit in einem Durchgang zeigt.
3 ist ein vertikaler Querschnitt eines Rücksaugventils gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
4 ist ein vertikaler Querschnitt eines Rücksaugventils gemäß einer noch anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung.
5 ist ein vertikaler Querschnitt eines Rücksaugventils entsprechend der herkömmlichen Technik.
DETAILLIERTE BESCHREIBUNG DER BEVORZUGTEN AUSFÜHRUNGSFORMEN
In 1 bezeichnet Bezugszeichen 20 ein Rücksaugventil gemäß einer Ausführungsform der vorliegenden Erfindung. Das Rücksaugventil 20 ist durch eine Kupplung 24 mit einem Paar an ihr in einem festgelegten getrennten Abstand abnehmbar angeschlossenen Röhren 22a, 22b und einen Hauptkörper 26 gebildet, der integral oben auf der Kupplung 24 angeordnet ist.
Die Kupplung 24 weist auf einen Kupplungskörper 34 mit einem an einem Ende ausgebildeten ersten Anschluss 28, einem an einem anderen Ende davon ausgebildeten zweiten Anschluss 30 zusammen mit einem den ersten Anschluss 28 und den zweiten Anschluss 30 verbindenden Fluiddurchgang 32, jeweils an den ersten Anschluss 28 und den zweiten Anschluss 30 angeschlossene innere Elemente 36, die in Öffnungen der Röhren 22a, 22b eingesetzt sind, und Schließmuttern 38 auf, welche die Flüssigkeitsdichtheit der Verbin dungen der Röhren 22a, 22b durch Aufschrauben auf in die Enden des Kupplungskörpers 34 eingeschnittene Gewinde erreichen.
Ein AN/AUS-Ventil 42 zum Öffnen und Schließen des Fluiddurchgangs 32 durch Aufsitzen auf und Abheben von einem Sitz 40 ist zentral in dem Kupplungskörper 34 angeordnet. Das AN/AUS-Ventil 42 weist ein elastomeres Element 44 auf, welches sich von einem Hohlraum an dem unteren Teil des Kupplungskörpers 34 erstreckt, nach oben gerichtet ist und durch seine elastische Form auf dem Sitz 40 aufsitzt, und weist ferner ein Federelement 46 auf, welches den zentralen Abschnitt des elastomeren Elements 44 normalerweise durch die elastische Kraft des Federelementes 46 nach oben vorspannt. Bezugszeichen 48 zeigt einen in der Nähe des Sitzes 40 ausgebildeten weggeschnittenen Bereich an. Ferner ist der zentrale Bereich des elastomeren Elements 44 etwas dicker ausgebildet als seine anderen Teile.
Eine Stützplatte 50 ist zum Unterstützen des elastomeren Elementes 44 in einem zentralen Teil des Kupplungskörpers 34 angeordnet, wobei ein Schraubenelement 52 in einer Gewindeöffnung der Stützplatte 50 zum Einstellen eines trennenden Abstandes zwischen dem elastomeren Element 44 und dem Sitz 40 angeordnet ist. Ferner ist an einem Ende des Schraubenelementes 52 ein Loch 54 zum Tragen des Federelementes 46 ausgebildet. Ferner ist eine Gegenmutter 56 zum Beibehalten einer festen Position des Schraubenelementes 52 angeordnet.
Der Hauptkörper 26 weist einen Ventilkörper 62, welcher an einen oberen Teil des Kupplungskörpers 34 angeschlossen ist und einen darin angeordneten Rücksaugmechanismus 60 in einer in seinem Inneren ausgebildeten Kammer 58 hat, sowie ein Abdeckelement 64 auf, das an einem oberen Teil des Ventilkörpers 62 ausgebildet ist und eine Öffnung des Ventilkörpers 62 abschließt.
Der Rücksaugmechanismus 60 weist einen in Richtungen der Pfeile X₁ und X₂ verschiebbaren Schaft 68, wobei letzterer durch eine integral in dem Ventilkörper 62 ausgebildete Führung 66 geführt wird, und ein Federelement 70 auf, welches mit einem Flansch des Schaftes 68 in Eingriff steht und den Schaft 68 durch seine elastische Kraft normalerweise in eine nach oben gerichtete Richtung (Pfeil X₁) vorspannt.
Eine erste Membran 74, die mit einer oberen Oberfläche des Schaftes 68 in Eingriff steht, erstreckt sich von einem oberen Teil des Schaftes 68, wobei durch Zuführen eines Steuerdruckes in eine obere Richtung der ersten Membran 74 eine erste Membrankammer (Steuerkammer) 74 zum Einwirken auf die erste Membran 74 ausgebildet ist.
Andererseits ist eine zweite Membrankammer 80, welche durch die zweite Membran (flexibles Element) 78 abgeschlossen wird, an einem unteren Teil des Schaftes 68 ausgebildet. Ferner ist die zweite Membran 78 durch in Eingriff stehen eines dickwandigen Abschnitts des zweiten Membran 78 mit einer Vielzahl von Krallen 82, welche an einem unteren Ende des Schaftes 68 ausgebildet sind, integral zum Verschieben mit dem Schaft 68 angeordnet.
Eine Bodenfläche eines zentralen Teils der zweiten Membran 78 ist zum Stoßen gegen eine obere Fläche des zentralen Teils des oben erwähnten elastischen Elementes 44 angeordnet, wobei die zweite Membran 78 und das elastomere Element 44 so angeordnet sind, dass sie durch Verschiebung des Schaftes 68 beide gemeinsam betrieben werden.
Genauer drückt durch die Zufuhr eines Steuerdrucks in die erste Membrankammer 76 und Verschieben des Schaftes 68 in eine nach unten gerichtete Richtung (Pfeil X₂) der dickwandige Abschnitt der zweiten Membran nach unten (in die Richtung des Pfeiles X₂) auf den zentralen Abschnitt des elastomeren Elementes 44 des AN/AUS-Ventils 42 gegen eine elastische Kraft des Federelementes 46. Demgemäß hebt sich der zentrale Teil des elastomeren Elementes 44, welches das AN/AUS-Ventil 42 ausmacht, von dem Sitz 40 ab, wobei es eine Verbindung zwischen dem ersten Anschluss 28 und dem zweiten Anschluss 30 erzeugt, wodurch Druckfluid entlang des Fluiddurchgangs 32 fließt.
Ferner ist ein ringförmiges Pufferelement 84, welches bspw. aus einem Gummimaterial oder dgl. gebildet ist, auf einer oberen Oberfläche der zweiten Membran 78 ausgebildet, um einen dünnwandigen Abschnitt der zweiten Membran 78 zu unterstützen, wobei das Pufferelement 84 durch ein im Querschnitt L-förmiges Halteelement 86 gehalten wird, welches an ein unteres Ende des Schaftes 68 angeschlossen ist.
In diesem Fall ist die zweite den Rücksaugmechanismus 60 ausmachende Membran 78 koaxial mit dem das AN/AUS-Ventil 42 ausmachenden elastomeren Elementes 44 angeordnet. Dabei soll der Begriff "koaxial" so definiert sein, dass er alle Anordnungen umfasst, in denen die Achsen der zweiten Membran 78 und des elastomeren Elementes 44 dieselben sind, wobei die Achsen der zweiten Membran 78 und des elastomeren Elementes 44 ungefähr parallel ausgebildet sind, und in denen die Achsen der zweiten Membran 78 und des elastomeren Elementes 44 im Wesentlichen als die Gleichen vorgesehen sind, jedoch bis zu einer gewissen Toleranz eine Abweichung voneinander aufweisen.
Ferner ist ein die zweite Membrankammer 80 mit der Atmosphäre verbindender Durchgang 88 in dem Ventilkörper 62 ausgebildet, wobei durch Zuführen und Ablassen von Luft in der zweiten Membrankammer 80 durch den Durchgang 88 die zweite Membran 78 ruhig betrieben werden kann.
Ein Steuerdurchgang 90 ist in dem Abdeckelement 64 ausgebildet und steht mit der ersten Membrankammer 76 in Verbindung, um der ersten Membrankammer 76 einen Steuerdruck zuzuführen. Ferner ist eine Gewindeöffnung in einem zentralen Teil des Abdeckelementes 64 mit einem in die Gewindeöffnung eingeschraubten Stopper 92 ausgebildet, um einen Verschiebungsbetrag der ersten Membran 74 zu regulieren. Der Stopper 92 wird durch eine Gegenmutter 94 in einer festen Position gehalten.
Das Rückstellventil 20 gemäß dieser Ausführungsform der Erfindung ist im Wesentlichen wie zuvor beschrieben aufgebaut. Als nächstes wird eine Erläuterung des Betriebs und der dabei auftretenden Wirkungen gegeben.
Als erstes wird eine Beschichtungsflüssigkeits-Zufuhrquelle 96 mit einer darin gespeicherten Beschichtungsflüssigkeit an die mit dem ersten Anschluss 28 des Rücksaugventils 20 in Verbindung stehende Röhre 22a angeschlossen, wobei ein Beschichtungsflüssigkeitstropfapparat 98 mit einer Düse 99 zum Tropfen einer Beschichtungsflüssigkeit auf einen Halbleiterwafer 97 an die mit dem zweiten Anschluss 30 in Verbindung stehende Röhre 22b angeschlossen ist. Ferner ist eine nicht dargestellte Druckfluid-Versorgungsquelle an den Steuerdurchgang 90 angeschlossen.
Nach Ausführung dieser vorbereitenden Maßnahmen wird die nicht dargestellte Druckfluid-Versorgungsquelle aktiviert und Druckfluid (Steuerdruck) in den Steuerdurchgang 90 eingeführt. Das von dem Steuerdurchgang 90 eingeführte Druckfluid wird der ersten Membrankammer 76 zugeführt, und unter der Wirkung des Steuerdrucks biegt sich die erste Membran 74 und der Schaft 68 wird in Richtung des Pfeiles X₂ nach unten gedrückt.
Entsprechend wird die zweite Membran 78, die an ein unteres Ende des Schaftes 68 angeschlossen ist, nach unten auf den zentralen Teil des elastomeren Elementes 44 des AN/AUS-Ventils 42 gegen eine elastische Kraft des Federelementes 46 gedrückt. Dadurch werden der zentrale Teil der zweiten Membran 78 und der zentrale Teil des elastomeren Elementes 44 des AN/AUS-Ventils 42 gemeinsam in einer Einheit nach unten in Richtung des Pfeiles X₂ betätigt, wobei sie in einem sich aneinander abstützenden Zustand verbleiben, woraus der in 1 dargestellte Zustand resultiert. Im Ergebnis hebt sich das elastomere Element 44 durch Verschiebung des elastomeren Elementes 44, welches das AN/AUS-Ventil 42 ausmacht, von dem Sitz 40 ab, bildet dabei einen AN-Zustand und stellt eine Verbindung zwischen dem ersten Anschluss 28 und dem zweiten Anschluss 30 her.
Auf diese Weise fließt aufgrund des sich unter der Wirkung des in die erste Membrankammer 76 zugeführten Steuerdruckes in einem AN-Zustand befindenden AN/AUS-Ventils 42 von der Beschichtungsflüssigkeits-Zufuhrquelle 96 zugeführte Beschichtungsflüssigkeit durch den Fluiddurchgang 32, und die Beschichtungsflüssigkeit wird durch die Düse 99 des Beschichtungsflüssigkeits-Tropfapparates 98 auf den Halbleiterwafer 97 getropft. So wird eine (nicht dargestellte) Beschichtungsschicht mit einer gewünschten Dicke auf dem Halbleiterwafer 97 ausgebildet.
Nachdem eine vorbestimmte Menge von Beschichtungsflüssigkeit dem Halbleiterwafer 97 durch den Beschichtungsflüssigkeitstropfapparat 98 zugeführt worden ist, wird die Zufuhr von Steuerdruck zu der ersten Membrankammer 76 durch einen Schaltvorgang eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils gestoppt und der Steuerdruck zur Atmosphäre abgelassen.
Indem in diesem Fall die Membrankammer 76 in einen atmosphärischen Zustand versetzt wird, werden die erste Membran 74, der Schaft 68 und die zweite Membran 78 gemeinsam unter der Wirkung der elastischen Kraft des Federelementes 70 nach oben (Pfeil X₁) verschoben und gleichzeitig der zentrale Abschnitt des das AN/AUS-Ventil 42 ausmachenden elastomeren Elementes 44 unter der Wirkung der elastischen Kraft des Federelementes 46 elastisch nach oben verformt.
Genauer wird der zentrale Teil des das AN/AUS-Ventil 42 ausmachenden elastomeren Elementes 44 unter der Wirkung der elastischen Kraft des Federelementes 46 elastisch verformt und auf dem Sitz 40 aufgesetzt, während es in einem sich abstützenden Zustand mit der unteren Oberfläche des zentralen Teils der zweiten Membran 78 verbleibt. So wird die Verbindung zwischen dem ersten Anschluss 28 und dem zweiten Anschluss 30 unterbrochen. Im Ergebnis wird die Zufuhr von Beschichtungsflüssigkeit zu dem Halbleiterwafer 97 gestoppt und der tropfende Zustand von Beschichtungsflüssigkeit aus der Düse 99 des Beschichtungsflüssigkeitstropfapparates 98 mit Bezug auf den Halbleiterwafer 97 wird ebenso gestoppt. Wenn dies geschieht, besteht die Gefahr, dass unerwünschtes Tropfen von Flüssigkeit auftreten kann, weil die Beschichtungsflüssigkeit, welche der auf den Halbleiterwafer 97 getropften unmittelbar vorausgeht, im Inneren der Düse 99 des Beschichtungsflüssigkeitstropfapparates 98 verbleibt.
An diesem Punkt werden nach dem Aufsetzen des das AN/AUS-Ventil 42 ausmachenden elastomeren Elementes 44 auf den Sitz 40, die erste Membran 74, der Schaft 68 und die zweite Membran 78 unter der Wirkung der elastischen Kraft des Federelementes 70 integral nach oben in Richtung des Pfeiles X₁ verschoben, so dass sie den in 2 dargestellten Zustand erreichen, und durch eine durch die zweite Membran 78 erzeugte negative Druckwirkung wird die in der Düse 99 verbleibende Beschichtungsflüssigkeit zurückgesaugt.
Genauer wird die erste Membran 74 hochgehoben, bis sie gegen ein Ende des Stoppers 92 stößt, und weiter hebt sich die zweite Membran 78 durch die Verschiebung der zweiten Membran 78 in Richtung des Pfeiles X₁ durch den Schaft 68 um einen vorgegebenen Abstand koaxial von dem das AN/AUS-Ventil 42 ausmachenden elastomeren Element 44 ab. Ferner bewegt sich, wie in 2 dargestellt, die zweite Membran 78 nach oben, wobei sie einen negativen Druckeffekt erzeugt, so dass eine feste Menge von Beschichtungsflüssigkeit im Inneren des Fluiddurchgangs 32 entlang der Richtung des Pfeiles A durch den weggeschnittenen Bereich 48 gesaugt wird. Im Ergebnis wird eine bestimmte Menge von Beschichtungsflüssigkeit, welche im Inneren der Düse 99 des Beschichtungsflüssigkeitstropfapparates 98 verbleibt, in Richtung der Seite des Rücksaugventils 20 zurückbewegt, wodurch das Vermeiden eines unerwünschten Tropfens von Flüssigkeit in Bezug auf den Halbleiterwafer 97 ermöglicht wird.
Ferner werden die erste Membran 74, der Schaft 68 und die zweite Membran 78 nach unten (in Richtung des Pfeiles X₂) verschoben, wenn durch Schalten eines nicht dargestellten Richtungssteuerventils der ersten Membrankammer 76 von einer Druckfluid-Versorgungsquelle wieder Steuerungsdruck zugeführt wird, und durch Abheben des das AN/AUS-Ventils 42 ausmachenden elastomeren Elementes von dem Sitz 40 gegen die elastische Kraft des Federelementes 46 wird der in 1 dargestellte Zustand wiederhergestellt, wobei das Tropfen von Beschichtungsflüssigkeit auf den Halbleiterwafer 47 wieder begonnen wird.
In der vorliegenden Ausführungsform sind der Rücksaugventilmechanismus 60, welcher den Schaft 68 und die zweite Membran 78 aufweist, und ein AN/AUS-Ventil 42 mit dem elastomeren Element 44 koaxial angeordnet. Ferner sind die zweite Membran 78, welche eine negative Druckwirkung erzielt, und das elastomere Element 44, welches den Fluiddurchgang 32 öffnet/schließt, für einen Tandembetrieb aufgebaut.
Im Ergebnis werden bei der vorliegenden Ausführungsform keine Röhrenverbindungen zwischen dem Rücksaugventil 20 und dem AN/AUS-Ventil 42 benötigt, und darüber hinaus kann im Gegensatz zur herkömmlichen Technik der Installationsraum effektiv genutzt werden, weil ein bestimmter Raum zur Installation einer separat aufgebauten Richtungssteuerungsventileinrichtung 15 und einer Antriebseinrichtung 16 dafür nicht notwendig sind.
Ferner ist in der vorliegenden Ausführungsform das AN/AUS-Ventil 42 so angeordnet, dass es im Tandembetrieb mit dem Rücksaugmechanismus 60 betrieben wird und ferner wird eine separate Antriebseinrichtung zum Antreiben des AN/AUS-Ventils 42 im Gegensatz zur herkömmlichen Technik unnötig, indem diese integral mit dem Rücksaugmechanismus 60 ausgebildet wird, wobei der Gesamtapparat in kleinen Abmessungen vorgesehen werden kann. Demgemäß kann eine Reduktion der Produktionskosten erreicht werden.
Weil darüber hinaus keine Rohrverbindung zwischen dem Rücksaugventil 20 und dem AN/AUS-Ventil 42 notwendig ist, wird eine Erhöhung des Fluiddurchgangswiderstands vermieden, so dass die Antwortgenauigkeit der ersten Membran 74, welche durch den Steuerdruck betrieben wird, erhöht werden kann, und im Inneren des Fluiddurchgangs 32 verbleibende Beschichtungsflüssigkeit kann rasch durch die zweite Membran 78 zurückgesaugt werden.
Als nächstes ist in 3 ein Rücksaugventil 100 gemäß einer anderen Ausführungsform der vorliegenden Erfindung gezeigt. Strukturelle Elemente, die mit denen des in 1 gezeigten Rücksaugventils 20 übereinstimmen, sind mit denselben Bezugszeichen versehen, und im Folgenden werden nur die von diesen verschiedenen Elemente beschrieben.
Das Rücksaugventil 100 unterscheidet sich von dem Rücksaugventil 20 gemäß 1 darin, dass eine Steuerung 102 zum Steuern eines Druckfluids (Steuerdruck) vorgesehen ist, welches dem Rücksaugmechanismus 60 zugeführt wird.
Die Steuerung 102 weist ein über eine Platte 104 integral mit dem Ventilkörper 62 zusammengebautes Gehäuse 106 auf, wobei ein Druckfluidversorgungsanschluss 108a und ein Druckfluidablassanschluss 108b in der Platte 104 ausgebildet sind.
Im Inneren des Gehäuses sind ein erstes elektromagnetisches Ventil 110, welches als Zufuhrventil zum Steuern des der ersten Membrankammer 76 durch den Steuerdurchgang 90 zugeführten Steuerdrucks dient, ein zweites elektromagnetisches Ventil 112, welches als Ablassventil zum Ablassen von durch das erste elektromagnetische Ventil 110 zugeführten Druckfluids nach außen dient, und ein Drucksensor 115 angeordnet, welcher einen durch das erste elektromagnetische Ventil 110 zugeführten Steuerdruck misst und ein entsprechendes Drucksignal an die Hauptsteuereinheit 114 ausgibt.
Das erste elektromagnetische Ventil 110 und das zweite elektromagnetische Ventil 112 sind jeweils normal geschlossene Ventiltypen, wobei jeweils durch Ausgabe eines Stromsignals an elektromagnetische Spulen 116 des ersten und des zweiten elektromagnetischen Ventils 110, 112 von der Hauptsteuereinheit 114 darin befindliche Ventilkörper 118a, 118b in Richtung des Pfeils X₁ gezogen werden, wodurch ein offener Ventilzustand erzeugt wird.
Zusammen mit der Anzeige der durch den Drucksensor 115 gemessenen Druckwerte auf einer LED-Einrichtung 120, wie benötigt, werden auch ein gestellte Druckwerte auf der LED-Einrichtung 120 angezeigt, die über eine nicht dargestellte Tastatureingabeeinrichtung über einen Stecker 122 gesetzt werden.
Eine nicht dargestellte MPU (Multi-Prozessor-Einheit) mit Funktionen, die für verschiede Mittel zum Steuern, Auswerten, Durchführen, Berechnen und Speichern dienen, ist in der Hauptsteuereinheit 114 vorgesehen, wobei durch Anregung und Nicht-Anregung des ersten elektromagnetischen Ventils 110 und des zweiten elektromagnetischen Ventils 112 durch Ausgabe von Steuersignalen der MPU der der ersten Membrankammer 76 zugeführte Steuerdruck gesteuert wird.
Ferner sind in der Platte 104 ein erster Durchgang 124 zum Vorsehen einer Verbindung zwischen dem Druckfluid-Versorgungsanschluss 108a und dem ersten elektromagnetischen Ventil 110, ein zweiter Durchgang 126 zum Vorsehen einer Verbindung zwischen dem ersten elektromagnetischen Ventil 110 und dem zweiten elektromagnetischen Ventil 112, ein dritter Durchgang 128, welcher von dem zweiten Durchgang 126 abzweigt und einen Steuerdruck zu dem Drucksensor 115 führt, ein Steuerdurchgang 90, welcher von dem zweiten Durchgang 126 abzweigt und einen Steuerdruck der ersten Membrankammer 76 zuführt, und ein vierter Durchgang 130 zum Vorsehen einer Verbindung zwischen dem zweiten elektromagnetischen Ventil 112 und dem Fluiddruck-Ablassanschluss 108b angeordnet.
Wenn in diesem Fall der elektromagnetischen Spule 116 des ersten elektromagnetischen Ventils 110 ein Stromsignal von der Hauptsteuereinheit 114 zugeführt wird, verschiebt sich der Ventilkörper 118a, wodurch ein offener Ventilzustand resultiert und eine Verbindung zwischen dem ersten Durchgang 124 und dem zweiten Durchgang 126 erzeugt wird. Demgemäß wird von dem Fluiddruck-Versorgungsanschluss 108a zugeführtes Druckfluid (Steuerdruck) der ersten Membrankammer 76 durch den ersten Durchgang 124, den zweiten Durchgang 126 und den Steuerdurchgang 90 zugeführt.
Wenn andererseits der elektromagnetischen Spule 116 des zweiten elektromagnetischen Ventils 112 ein Stromsignal von der Hauptsteuereinheit 114 zugeführt wird, verschiebt sich der Ventilkörper 118b, wodurch ein offener Ventilzustand resultiert und eine Verbindung zwischen dem zweiten Durchgang 126 und dem vierten Durchgang 130 erzeugt wird. Demgemäß wird Druckfluid (Steuerdruck) im Inneren der ersten Membrankammer 76 durch den vierten Durchgang 130 und den Druckfluid-Ablassanschluss 108b zur Atmosphäre abgelassen.
Als nächstes werden der Betrieb und die Wirkungen des Rücksaugventils 100 gemäß dieser Ausführungsform beschrieben. Betrieb und Wirkungen, die dieselben sind, wie die des Rücksaugventils 20, werden weggelassen, und nur davon unterschiedliche Punkte werden betont.
Eine nicht dargestellte Druckfluid-Versorgungsquelle wird aktiviert, wobei Druckfluid in den Druckfluid-Versorgungsanschluss 108 eingeführt wird, und ferner wird der Hauptsteuereinheit 114 ein Eingabesignal über nicht dargestellte Eingabemittel zugeführt. Auf Basis des Eingangssignals erzeugt die Hauptsteuereinheit 114 ein elektrisches Signal an das erste elektromagnetische Ventil 110, welches dadurch in einen offenen Ventilzustand gesetzt wird. Zu dieser Zeit ist das zweite elektromagnetische Ventil 112 deaktiviert und in einem geschlossenen Ventilzustand.
Demgemäß wird von dem Druckfluid-Versorgungsanschluss 108a eingeführtes Druckfluid (Steuerdruck) der ersten Membrankammer 76 durch den ersten Durchgang 124, den zweiten Durchgang 126 und den Steuerdurchgang 90 zugeführt. Die erste Membran 74 wird durch die Wirkung des der ersten Membrankammer 76 zugeführten Steuerdrucks verschoben, wobei es den Schaft 68 in Richtung des Pfeiles X₂ drückt. Im Ergebnis wird die zweite Membran 78, welche mit dem unteren Ende des Schaftes 68 verbunden ist, und das das AN/AUS-Ventil 42 ausmachende elastomere Element 44 gemeinsam verschoben, wobei durch Abheben des elastomeren Elementes 44 weg von dem Sitz 40 der erste Anschluss 28 und der zweite Anschluss 30 miteinander verbunden werden (siehe doppelt gepunktete Linie in 3). Zusätzlich fließt von einer Beschichtungsflüssigkeitszufuhrquelle 96 zugeführte Beschichtungsflüssigkeit durch das Rücksaugventil 100 und wird über einen Beschichtungsflüssigkeitstropfapparat 98 auf den Halbleiterwafer 97 getropft.
Ferner wird der der ersten Membrankammer 46 zugeführte Steuerdruck dem Drucksensor 115 durch den dritten Durchgang 128 zugeführt, und ein von dem Drucksensor 115 ausgegebenes Messsignal der Hauptsteuereinheit 114 zugeführt, wodurch eine Feedback-Steuerung erreicht wird.
In diesem Zustand gibt die Hauptsteuereinheit 114 ein Nicht-Anregungssignal an das erste elektromagnetische Ventil 110, wodurch das erste elektromagnetische Ventil 110 in einen geschlossenen Ventilzustand gesetzt wird, und gleichzeitig ein Anregungssignal an die zweite elektromagnetische Ventileinheit 112 aus, und das zweite elektromagnetische Ventil 112 nimmt einen offenen Ventilzustand an. Demgemäß wird die Zufuhr von Steuerdruck in die erste Membrankammer 76 gestoppt und zusätzlich das in der ersten Membrankammer 76 verbleibende Druckfluid durch den vierten Durchgang 130 und den Druckfluid-Ablassanschluss 108b in die Atmosphäre abgelassen. Zu dieser Zeit wird die erste Membran 74 in Richtung des Pfeiles X₁ unter der Wirkung der elastischen Kraft des Federelementes 70 angehoben und erreicht den in 3 dargestellten Zustand.
Genauer wird die erste Membran 74 angehoben, und durch eine damit integrale Verschiebung der zweiten Membran 78 über den Schaft 68 in Richtung des Pfeiles X₁ wird ein negativer Druckeffekt erzeugt. Zu dieser Zeit wird eine definierte Menge der Beschichtungsflüssigkeit im Inneren des Fluiddurchgangs 32 entlang der Richtung des Pfeiles A gesaugt. Im Ergebnis wird alle Beschichtungsflüssigkeit, die im Inneren der Düse 99 des Beschichtungsflüssigkeitstropfapparates 98 verbleibt, in Richtung der Seite des Rücksaugventils 100 zurückgeführt, wodurch ein unerwünschtes Tropfen von Beschichtungsflüssigkeit auf den Halbleiterwafer 97 verhindert werden kann.
Ferner wird in dem Fall, in dem das Tropfen von Beschichtungsflüssigkeit wieder aufgenommen wird, ein Anregungssignal von der Hauptsteuereinheit 114 an das erste elektromagnetische Ventil 110 ausgegeben, wodurch dieses in einen AN-Zustand versetzt wird, und gleichzeitig ein Nicht-Anregungssignal an das zweite elektromagnetische Ventil 112 ausgegeben, wodurch dieses in einen AUS-Zustand versetzt wird. Dadurch wird der anfängliche Zustand wieder hergestellt und das Tropfen von Beschichtungsflüssigkeit auf den Halbleiterwafer 97 wieder gestartet.
In der vorliegenden Ausführungsform kann der Steuerdruck mit guter Genauigkeit durch die ersten und zweiten elektromagnetischen Ventile 110 und 112 eingestellt werden, welche elektrisch durch die Hauptsteuereinheit 114 gesteuert werden. Im Ergebnis kann die Antwortgenauigkeit der durch den Steuerdruck betriebenen ersten Membran 74 verbessert werden, und in dem Fluiddurchgang 32 verbleibende Beschichtungsflüssigkeit kann schnell zurückgesaugt werden.
Ferner wird durch Steuern des Steuerdrucks durch die Steuerung 102 die Qualität der Beschichtungsflüssigkeit, welche durch den Rücksaugmecha nismus 60 zurückgezogen wird, nicht verloren, und die Flussmenge der angesaugten Beschichtungsflüssigkeit kann stabilisiert werden.
Als nächstes wird ein Rücksaugventil 140 gemäß einer noch weiteren Ausführungsform der vorliegenden Erfindung, welche in 4 gezeigt ist, beschrieben. Das Rücksaugventil 140 unterscheidet sich von dem Rücksaugventil 20 gemäß 1 darin, dass die Membran 78 durch einen Schaft 144 verschoben wird, welcher durch die Wirkung einer durch eine elektromagnetische Spule 142 erzeugten elektromagnetischen Kraft verschoben wird.
Das Rücksaugventil 140 weist einen linearen, schwingspulenartigen Ventilantrieb 148 auf, welcher als elektrisches Stellglied arbeitet und welcher integral in einem an einen oberen Teil der Kupplung 24 angeschlossenen Ventilkörper 146 angeordnet ist. Der Ventilantrieb 148 hat ein Gehäuse 150, in dem ein longitudinaler Schaft 144 im Inneren einer Kammer 152 des Gehäuses 150 entlang den Richtungen der Pfeile X₁ und X₂ verschiebbar angeordnet ist. Ein fester Eisenkern 154, der durch einen (nicht dargestellten) Pin befestigt ist, ist an einer oberen zentralen Stelle im Inneren der Kammer 152 angeordnet, wobei der feste Eisenkern 154 so ausgebildet ist, dass er sich um eine vorgegebene Strecke entlang einer axialen Richtung des Gehäuses 150 erstreckt.
Ferner ist ein Permanentmagnet 158 im Inneren der Kammer 152 angeordnet, wobei der Permanentmagnet 158 an einer Innenwandoberfläche des Gehäuses durch ein Halteelement 156 in einem vorgegebenen Abstand von dem festen Eisenkern 154 befestigt ist. In diesem Fall ist ein ungefähr paralleles magnetisches Feld zwischen dem Permanentmagnet 158 und dem festen Kern 154 ausgebildet. Ferner ist ein Verschiebungselement 160 mit einer darauf gewickelten elektromagnetischen Spule 172 zwischen dem festen Eisenkern 154 und dem Permanentmagneten 158 aufgenommen, wobei das Verschiebungselement 160 zum integralen Verschieben mit dem Schaft 144 durch einen (nicht dargestellten) Verbindungspin angeordnet ist. Ferner ist ein festgelegter Zwischenraum zwischen dem festen Eisenkern 150 und dem Verschiebungselement 160 vorgesehen. Bezugszeichen 162 deutet Anschlussleitungen zum Zuführen von Strom zu der elektromagnetischen Spule 142 an.
Ein Führungselement 164 ist mit einer Schraubverbindung an eine Innenwand des Gehäuses 150 durch das Halteelement 156 angeschlossen, wobei das Führungselement 164 den Schaft 144 entlang einer geraden Linie durch Eingriff mit einer Ausnehmung 166 des Schaftes 144 führt und ferner dazu dient, den Verschiebungsbetrag des Schaftes 144 zu regulieren.
Ein Encoder 170 ist auf einer dem Führungselement 164 gegenüberliegenden Innenwandoberfläche des Gehäuses 150 durch ein Halteelement 168 befestigt. Der Encoder 170 weist einen nicht dargestellten Fotosensor auf, welcher an einer Seite des Gehäuses 150 befestigt ist, und eine nicht dargestellte Glasskala, welche auf dem Schaft 144 befestigt und durch eine Glasplatte mit darauf in festgelegten Intervallen ausgebildeten Skalenwerten gebildet wird. In diesem Fall wird der Verschiebungsbetrag des Schaftes 144 von dem Fotosensor durch die Glasskala gemessen, und ein von dem Fotosensor ausgegebenes Detektionssignal wird an ein nicht dargestelltes Steuerungsmittel über die Anschlussleitung 172 zurückgeführt. Entsprechend kann der Verschiebungsbetrag des Schaftes 144 mit hoher Genauigkeit durch die Sterueungsmittel basierend auf dem Fotosensor-Detektionssignal gesteuert werden.
Als nächstes werden Betrieb und Wirkungen des Rücksaugventils 140 gemäß dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung erläutert. Eine Erläuterung der Wirkungen und Betriebsweisen, welche dieselben sind wie die in den zuvor erwähnten Ausführungsformen, werden weggelassen, und nur die Punkte, die unterschiedlich sind, werden hervorgehoben.
Zunächst wird eine nicht dargestellte elektrische Quelle angeregt, und Strom fließt zu der elektromagnetischen Spule 142. In diesem Fall werden durch die Wirkung der (nachfolgend beschriebenen) elektromagnetischen Kraft, die durch die elektromagnetische Spule 142 erzeugt wird, der Schaft 144 und die Membran 78 integral in Richtung des Pfeiles X₂ verschoben, wobei sich das das AN/AUS-Ventil 42 ausmachende elastomere Element 44 von dem Sitz 40 abhebt und ein Verbindungszustand zwischen dem ersten Anschluss 28 und dem zweiten Anschluss 30 hergestellt wird (vgl. die doppelt gepunktete Linie in 4).
Demgemäß wird Beschichtungsflüssigkeit von der Beschichtungsflüssigkeits-Zufuhrquelle 96 zugeführt, fließt durch das Rücksaugventil 140 und wird auf den Halbleiterwafer 97 durch den Beschichtungsflüssigkeitstropfapparat 98 getropft.
Wenn während des oben beschriebenen Zustandes ein Strom mit einer Polarisation entgegengesetzt zu der vorbeschriebenen durch die elektromagnetische Spule 142 fließt, wird durch einen wechselseitigen Effekt mit dem magnetischen Feld, welches durch den Permanentmagneten 158 und den festen Eisenkern 154 gebildet wird, entsprechend der Linke-Hand-Regel von Flemming eine elektromagnetische Kraft durch die elektromagnetische Spule 142 erzeugt. Unter Wirkung der elektromagnetischen Kraft werden das Verschiebungselement 160 mit der darum gewickelten Spule 142 und der Schaft 144 integral in Richtung des Pfeils X₁ verschoben. Durch geeignete Einstellung der Höhe des elektrischen Stromes, welcher durch die elektromagnetische Spule 142 fließt, kann die elektromagnetische Kraft auf die gewünschte Größe eingestellt werden. Ferner kann, wie zuvor dargestellt, durch Umkehrung der Polarität des durch die elektromagnetische Spule 142 fließenden Stromes die Richtung der Kraft von der Richtung des Pfeils X₁ zu der von X₂ und umgekehrt verändert werden.
Auf diese Weise werden durch Verschiebung des Schaftes 144 in Richtung des Pfeils X₁ unter Wirkung der elektromagnetischen Kraft der Spule 142 die Membran 78 und das das AN/AUS-Ventil 42 ausmachende elastomere Element 44 gemeinsam angehoben, und durch Aufsitzen des elastomeren Elementes 44 auf dem Sitz 40 die Zufuhr von Beschichtungsflüssigkeit gestoppt. Zusätzlich werden unter Wirkung der durch die elektromagnetische Spule 142 erzeugten elektromagnetischen Kraft das Verschiebungselement 160 und der Schaft 144 weiter angehoben, wodurch sich die Membran 78 von dem elastomeren Element 44 abhebt, und ein fester Betrag von Beschichtungsflüssigkeit im Inneren des Fluiddurchgangs 32 durch eine Ansaugwirkung der Membran 78 angesaugt, da sich die Membran 78 in den in 4 gezeigten Zustand verschiebt. Im Ergebnis wird die in der Düse 99 des Beschichtungsflüssigkeitstropfapparates 98 in Richtung des Rücksaugventils 140 zurückgeführt, wodurch ein unerwünschtes Tropfen von Flüssigkeit in Bezug auf den Halbleiterwafer 97 verhindert werden kann.
Bei dieser Ausführungsform wird die Antwortzeit der Membran 78 verkürzt, weil die Membran 78, welche eine negative Druckwirkung erzeugt, durch eine elektrische Steuerung betrieben wird. Daher kann die Aktion vom Aufsetzen des das AN/AUS-Ventil 42 ausmachenden elastomeren Elements 44 auf dem Sitz 40 und dem Stoppen der Beschichtungsflüssigkeitszufuhr bis zum Zurücksaugen eines festen Betrags der Beschichtungsflüssigkeit in kurzer Zeit ausgeführt werden.
Ferner ist bei dieser Ausführungsform der vorliegenden Erfindung aufgrund der Verwendung einer elektrischen Steuerung eine hochpräzise Steuerung möglich. Ungeachtet dessen werden Effekte von Druckveränderungen der Druckfluid-Zufuhrquelle nicht erhalten, und die Durchflussmenge der Beschich tungsflüssigkeit, welche durch das Rücksaugventil 140 angesaugt wird, kann stabil gehalten werden.

Claims

Rücksaugventil mit: einer Kupplung (24), welche einen Fluiddurchgang (32), mit einem ersten Anschluss (28), der an einem Ende ausgebildet ist, und einem zweiten Anschluss (30), der an dem anderen Ende des Fluiddurchgangs (32) ausgebildet ist, aufweist; einem Rücksaugventilmechanismus (60) zum Ansaugen eines Fluids in den Fluiddurchgang (32) unter der Unterdruckwirkung eines flexiblen Elements (78); und einem AN/AUS Ventil (42), welches das flexible Element (78) und ein damit koaxial angeordnetes elastomeres Element (44) aufweist, wobei der Fluiddurchgang (32) durch das Aufsetzen des elastomeren Elements (44) auf einem Sitz (40) und durch Trennung desselben vom Sitz (40) geöffnet und geschlossen wird, und einem Federelement (46), welches das elastomere Element (44) durch eine elastische Kraft des Federelements (46) in Richtung des flexiblen Elements (78) vorspannt, wobei das elastomere Element (44) durch Verstellen des flexiblen Elements (78) mit dem flexiblen Element (78) bewegt wird, dadurch gekennzeichnet, dass das flexible Element (78) an einem in einem Hauptkörper (26, 146) verstellbar angeordneten Schaft (68, 144) angebracht ist, wobei das flexible Element (78) durch den Schaft (68, 144) mit diesem gemeinsam verstellt wird, und dass das flexible Element (78) an einer dem Schaft (68, 144) gegenüberliegenden Seite direkt an dem elastomeren Element (44) anliegt.
Rücksaugventil nach Anspruch 1, wobei die Kupplung (24), der Rücksaugmechanismus (60) und das AN/AUS Ventil (42) integral zusammengesetzt sind.
Rücksaugventil nach Anspruch 1, wobei das flexible Element als Membran (78) ausgebildet ist.
Rücksaugventil nach Anspruch 1, wobei der Rücksaugmechanismus (60) folgendes aufweist: eine erste Membran (74), die unter der Wirkung eines von einem Druckfluidversorgungsanschluss zugeführten Steuerdrucks verstellt wird; den Schaft (68), welcher gemeinsam mit der Membran (74) verstellt wird; eine zweite Membran (78), die mit einem Ende des Schafts (68) verbunden und gemeinsam mit dem Schaft (68) verstellbar ist; und ein Federelement (70), das den Schaft (68) in eine vorbestimmte Richtung vorspannt.
Rücksaugventil nach Anspruch 1, wobei ein zentraler Abschnitt des elastomeren Elements (44) dem flexiblen Element (78) zugewandt ist, und durch dessen Verstellen über eine elastische Kraft des Federelements (46) der zentrale Abschnitt auf dem Sitz (40) aufsetzt, und wobei weiterhin durch Verstellen des flexiblen Elements (78) in eine Richtung weg vom elastomeren Element (44) ein Unterdruck bewirkt wird.
Rücksaugventil nach Anspruch 1, welches weiterhin ein Justierelement zum Anpassen eines trennenden Abstandes zwischen dem elastomeren Element (44) und dem Sitz (40) aufweist.
Rücksaugventil nach Anspruch 1, weiterhin mit: einem Versorgungsventil (110) und einem Auslaufventil (112) zum Anpassen des dem flexiblen Element zugeführten Steuerdrucks durch Zuführen und Ablassen des Steuerdrucks; und einer Steuerung (102), die entsprechende elektrische Signale an das Versorgungsventil (110) und das Auslaufventil (112) ausgibt, um das Versorgungsventil (110) und das Auslaufventil (112) jeweils zu aktivieren und zu deaktivieren.
Rücksaugventil nach Anspruch 7, welches weiterhin eine in der Steuerung (102) angeordnete Hauptsteuereinheit (114) aufweist, um das Versorgungsventil (110) und des Auslaufventil (112) elektrisch zu steuern.
Rücksaugventil nach Anspruch 7, wobei das Versorgungsventil und das Auslaufventil jeweils ein erstes elektromagnetisches Ventil (110) und ein zweites elektromagnetisches Ventil (112) aufweisen.
Rücksaugventil nach Anspruch 6, wobei das Justierelement eine an einen zentralen Bereich des Kupplungskörpers (34) gekoppelte Stützplatte (50) aufweist, ein in ein Gewinde der Stützplatte (50) eingreifendes Schraubelement (52), welches an seinem einen Ende ein Loch (54) zum Tragen des Federelements (46) hat, und eine Gegenmutter (56), die das Schraubelement (52) hält.
Rücksaugventil nach Anspruch 1, weiterhin mit: einem elektrischen Linearstellglied zum Verstellen des Schaftes (144) und somit des flexiblen Elementes (78) entlang einer axialen Richtung des Hauptkörpers (146).
Rücksaugventil nach Anspruch 11, wobei das elektrische Linearstellglied einen Linearschwingspulentyp aufweist.
Rücksaugventil nach Anspruch 11, wobei die Kupplung (24), der Rücksaugmechanismus (60), das AN/AUS Ventil (42) und das elektrische Linearstellglied integral zusammengesetzt sind.