KR20060007373A - 조정 가능한 정지 수단이 구비된 밸브 - Google Patents

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KR20060007373A
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카르멘 제이 델리시오
로니 브라운
데이비드 스테드만
자레드 팀코
개리 쉬펠
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스와겔로크 컴패니
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Abstract

밸브 또는 액추에이터용의 조정 가능한 기구가 제공된다. 상기 조정 가능한 기구는 하나 이상의 피스톤과 협력하며, 다시 밸브 요소와 협력하여 밸브 시트에 대한 밸브 요소의 축방향 이동을 제한한다. 상기 조정 가능한 기구는 축방향으로 조정될 수 있어, 피스톤 및 다이어프램이 이동하는 거리를 더 크게 하거나 작게 한다. 상기 조정 가능한 기구를 합체한 실시예는 트리클 밸브, 온/오프 밸브 및 혼합 밸브를 포함한다. 상기 조정 가능한 기구는 또한 상기 피스톤의 행정을 조정하여 상기 밸브 요소의 행정과 일치되게 하거나 그 행정을 거의 반영하도록 한다.

Description

조정 가능한 정지 수단이 구비된 밸브{VALVE WITH ADJUSTABLE STOP}
본 출원은 2003년 3월 7일 및 2004년 1월 16일에 출원된 미국 가출원 번호 제60/452,772호 및 제60/481,904호의 권리를 주장하며, 상기 출원의 개시 내용은 그 전체가 참고로서 본 명세서에 인용된다.
많은 다이어프램 밸브는 그 밸브의 개폐를 제어하기 위하여 공기압 작동(pneumatic actuation)을 이용한다. 전형적인 액추에이터는 하나 이상의 피스톤을 포함하는데, 이들 피스톤은 밸브 다이어프램에 커플링되어 다이어프램을 밸브 시트에 대해 이동시켜 밸브를 폐쇄한다. 밸브는 보통 폐쇄 또는 개방될 수 있다. 보통 폐쇄된 밸브에서, 스프링은 피스톤에 힘을 가하고 그에 따라 다이어프램을 밸브 시트에 대하여 힘을 가해 밸브를 폐쇄된 채 유지한다. 밸브를 개방하기 위하여, 공기압이 상기 액추에이터 내로 공급되어 피스톤 면 상에 작용함으로써, 피스톤을 스프링 힘에 대항하여 이동시킨다. 액추에이터 피스톤이 이동함에 따라, 그 피스톤은 다이어프램을 상기 밸브 시트로부터 맞물림 해제하여, 밸브를 개방하여 흐르도록 한다. 종래의 액추에이터에서, 상기 피스톤에는 액추에이터 및 밸브가 완전히 개방되도록 하기 위하여 추가의 행정 거리(travel distance)가 제공된다. 밸브 사이클 수명을 최대화하기 위해 밸브 조립체를 평가할 때, 흔한 고장이 액추에이터 에서 발생한다. 따라서, 밸브 조립체의 사이클 수명을 최대화하는 액추에이터를 제공하는 것이 요망된다.
본 발명은 밸브 또는 액추에이터의 이동을 제한하는 조정 가능한 기구에 관한 것이다. 상기 조정 가능한 기구는 하나 이상의 피스톤과 협력하여 다이어프램이 이동하는 축방향 거리를 결정한다. 피스톤 및 다이어프램이 이동하는 거리를 제한함으로써, 액추에이터의 사이클 수명은 증가되고, 밸브 내부에서의 유체의 유동을 조절할 수 있다. 예를 들면, 트리클 밸브(trickle valve) 또는 혼합 밸브가 형성될 수 있다. 또한, 액추에이터의 행정은 밸브 다이어프램의 행정과 일치하도록 설정될 수 있어, 액추에이터 피스톤 또는 밸브 다이어프램의 오버-행정을 방지한다. 실시예에 따라서, 밸브 또는 액추에이터의 이동을 제한하는 상기 조정 가능한 기구는 밸브 조립체의 외부로부터 접근 가능하여, 조정을 위해 밸브 조립체 또는 그 임의의 부분을 분해해야 하는 필요성을 배제해 준다.
본 발명의 이러한 특징 및 다른 특징, 이점은 첨부 도면과 함께 이하의 상세한 설명 및 청구의 범위로부터 명확해질 것이다.
본 발명은 몇몇 부품 및 부품의 구조에서 물리적 형태를 취할 수 있는데, 그 바람직한 실시예는 본 명세서의 일부를 형성하는 첨부 도면에 도시되어 있고 또 본 명세서에 상세하게 기재되어 있다.
도 1은 본 명세서에서 설명하는 본 발명의 제1 실시예를 포함하는 밸브의 단 면도.
도 2는 본 명세서에서 설명하는 본 발명의 제2 실시예를 포함하는 밸브의 단면도.
도 3은 본 명세서에서 설명하는 본 발명을 포함하는 3방향 밸브의 단면도.
도 4는 제1 상태에 있는 3방향 밸브의 유로를 보여주는 도면이다.
도 5는 제2 상태에 있는 3방향 밸브의 유로를 보여주는 도면이다.
도 6은 단일 흐름을 분할하는, 제3 상태에 있는 3방향 밸브의 유로를 보여주는 도면.
도 7은 2개의 흐름을 혼합하는 제3 상태에 있는 3방향 밸브의 유로를 보여주는 도면.
도 8은 단일 세트의 나사 조정 가능한 정지 기구를 포함하는 액추에이터의 단면도.
도 9는 두 세트 나사를 포함하는 조정 가능한 정지 기구가 합체된 액추에이터의 단면도.
도 10은 단일편의 포트 조정 가능한 정지 기구가 합체된 액추에이터의 단면도.
도 11은 2-부재의 포트 조정 가능한 정지 기구가 합체된 액추에이터의 단면도.
도 12는 조정 가능한 단부 캡을 고정하는 측면 핀이 포함된 액추에이터의 단면도.
본 발명은 유체의 흐름을 제어하는 밸브에 관한 것으로서, 상이한 구조의 밸브에 적용 가능하다. 또한, 본 발명은 액추에이터 피스톤의 행정 제한을 통해 액추에이터의 사이클 수명을 개선하는 기구를 제공한다. 상기 행정 제한 기구는 액추에이터 피스톤에 대하여 포지티브 정지 수단 또는 다른 행정 제한 기구를 제공하여, 피스톤 오버-행정을 최소화 또는 배제하고 사이클 수명을 최대화한다. 상기 액추에이터 피스톤 행정 제한은 또한 근접 감지를 위해, 예컨대 유도 근접 센서(inductive proximity sensor)를 사용할 수 있도록 해준다. 본 발명의 행정 제한 양태는 밸브 다이어프램에 의해 요구되는 행정과 같이, 상기 행정이 미리 정한 거리로 설정될 수 있도록 해준다. 따라서, 밸브 다이어프램의 변형 또는 액추에이터 피스톤의 오버-행정 없이, 더 큰 행정을 갖고 있는 액추에이터를 더 작은 다이어프램 행정을 갖고 있는 밸브와 함께 사용할 수 있다. 본 발명은 밸브가 완전히 개방되는 것 이외의 상태에 있도록 상기 행정을 원하는 위치로 제한함으로써 밸브를 통한 물질의 흐름을 정밀하게 그리고 반복 가능하게 제어할 수 있도록 해준다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따라 구성된 밸브(10)를 보여준다. 밸브(10)는 밸브 본체 또는 베이스(12)를 포함한다. 밸브 베이스(12)는 제1 및 제2 통로(16, 18)에 의해 밸브(10)의 제1 및 제2 포트(20, 22)에 각각 연결되는 밸브 챔버(14)를 형성한다. 밸브 베이스(12)는 제2 통로(18)의 내부 종단부에 위치하는 밸브 시트(26)를 구비한다. 밸브 챔버(14) 부근에서 하우징(24)이 밸브 베이스(12)에 고정되어 있다. 통상적으로, 유체는 제1 통로(18)를 통해 밸브(10) 내부로 들어가고 제2 통로(16)를 통해 밖으로 나온다. 밸브(10)를 통한 유로는 용례에 따라 필요한 경우에는 역전될 수 있다. 또한, 당업자라면 쉽게 이해할 수 있는 바와 같이, 밸브(10)는 다른 구조를 가질 수 있고, 이러한 밸브는 후술하는 조정 가능한 행정 특징부를 합체할 수 있다. 따라서, 본 발명은 다이어프램 밸브에 제한되지 않는다.
밸브 부재(30)가 밸브 챔버(14) 내에 배치되어 있다. 밸브 부재(30)는, 예컨대 미국 특허 번호 제6,123,320호에 나타나 있는 것과 같은 종류의 가요성 다이어프램일 수 있으며, 상기 미국 특허는 그 개시 내용 전체가 참고로서 본 명세서에 인용된다. 밸브 부재(30)는 가요성 다이어프램(32)을 포함한다. 다이어프램(32)의 외주부(34)는 밸브 베이스(12)와 밸브 하우징(24) 사이에 구속되어 있다. 밸브 부재(30)의 스템부(36)에는 밸브 시트(26)와 맞물려 제2 통로(18)를 개폐할 수 있는 선단부(38)가 구비되어 있다.
밸브(10)는 하우징(24)에 의해 부분적으로 형성된 실린더(40)를 포함한다. 피스톤(42)은 밸브(10)의 종방향 중심축(44)을 따라 하우징(24)에 대해 상대적으로 활주 이동하도록 실린더(40) 내에 지지된다. 피스톤(42)에는 밸브 챔버(14)를 향해 제공된 단부면(46)이 있다. 밸브 부재(30)의 단부(48)는 피스톤(42)에 나사식으로 고정되어 있지만, 다른 커플링 기구도 사용될 수 있다.
하우징(24)에는 압축 포트(도시 생략)가 구비되어 있는데, 상기 압축 포트를 통해 가압 하의 공기 또는 다른 유체가 실린더(40) 내로 들어갈 수 있다. 따라서, 실린더(40)는 도 1에서 보았을 때 상측 방향으로 피스톤(42)의 단부면(46)에 힘을 가하도록 압축될 수 있다. 캡(50)이 밸브 베이스(12) 반대쪽의 하우징(24)에 고정되어 있다. 캡(50)은 실린더(40)의 상측 단부를 폐쇄한다. 캡(50)에는 스프링 시트를 형성하는 환형 단부 벽(52)이 있다. 단부 벽(52)에는 캡(50) 내의 관통공으로서 형성된 중앙 개구(54)가 있다.
압축 스프링(56)이 밸브(10) 내부에 배치되어 스프링 시트(52)와 피스톤(52) 사이에 작용한다. 스프링(56)은 밸브 챔버(14)를 향하는 방향, 즉 도 1에서 보았을 때 하측 방향으로 피스톤(42)에 힘을 가한다. 그 결과, 실린더(40) 내에서의 피스톤(42)의 위치는, 피스톤(42) 상에 제1 방향으로 작용하는 스프링(56)과 피스톤(42) 상에 반대의 제2 방향으로 작용하는 실린더 내의 유체의 힘 사이의 상호 작용에 의해 제어된다. 밸브 부재(30)가 피스톤(42)에 고정되어 있기 때문에, 밸브 챔버(14) 내의 밸브 부재(30)의 위치 역시 스프링(56)의 힘과 실린더(40) 내의 유체의 반대 방향 힘 사이의 상호 작용에 의해 제어된다.
밸브(10)는 조정기(60)를 포함한다. 조정기(60)는 캡(50) 내의 중앙 개구(54)를 통해 자유로이 연장되는 로드형 부재이다. 조정기(60)의 내측 단부(62)는 피스톤(42) 내로 나사 결합되어 있다. 그 결과, 조정기(60)는 스프링(56) 및 실린더(40) 내의 유체에 의해 가해지는 힘의 영향 하에서 피스톤(42)과 함께 축방향으로 이동 가능하게 고정된다. 조정기(60)의 외측 단부(64)가 캡(50)의 중앙 개구(54)를 통해 돌출한다. 외측 단부(64)에는 수나사부가 형성되어 있다. 잠금 너트 조립체(66)가 조정기(60) 상에 배치되어 있다. 잠금 너트 조립체(66)는 제1 잠금 너트(68)와 제2 잠금 너트(70)를 포함한다. 제1 잠금 너트(68)는 조정기(60)의 외 측 단부(64) 상에서 캡(50)의 단부 벽(52)과의 맞물림 위치로 나사 결합되어 있다. 제2 잠금 너트(70)는 조정기(60) 상에서 제1 잠금 너트(68)와의 맞물림 위치로 나사 결합되어 있다. 이러한 맞물림은 제1 잠금 너트(68)를 조정기(60) 상의 소정의 위치에 고정한다.
밸브(10)는 가압 하의 유체가 실린더(40)로 유입되도록 함으로써 동작된다. 상기 유체 압력이 피스톤 단부면(46)에 작용하여 피스톤(42)을 스프링(56)의 편향력에 대항하여 상측으로 이동시킨다. 그 결과, 밸브 부재(30)는 밸브 시트(26)로부터 벗어나, 밸브 베이스(12) 내의 제2 통로(18)를 개방한다. 유체는 제1 통로(16)와 제2 통로(18) 사이에서 유동할 수 있다. 실린더(40) 내의 유체 압력이 해제되면, 스프링(56)의 힘이 피스톤(42) 상에 작용하여 피스톤과 밸브 부재(30)를 밸브 시트(26)를 향하는 방향으로 이동시킨다. 이 때, 조정기(60) 상의 잠금 너트 조립체(66)의 위치는 밸브(10)의 폐쇄 정도를 제어한다. 구체적으로, 조정기(60) 상의 잠금 너트 조립체(66)의 위치는 조정기(60)와 밸브 부재(30)가 밸브 시트(26)를 향하는 방향으로 얼마나 멀리 이동하는 가를 제어하여, 밸브(10)의 폐쇄 정도를 설정한다.
잠금 너트 조립체(66)는 밸브 부재(30)가 밸브 시트(26)에 맞물리기 전에 캡(50)의 단부 벽(52)의 외측부(53)에 제1 잠금 너트(68)가 맞물리지 않도록 조정기(60) 상에 위치할 수 있다. 이러한 경우에, 밸브(10)는 실린더(40)로의 유체 압력이 해제되는 경우 완전히 폐쇄되고, 제2 통로(18)를 통한 유체 흐름은 차단된다. 별법으로서, 잠금 너트 조립체(66)는 밸브 부재(30)가 밸브 시트(26)에 맞물리기 전에 캡(50)의 단부 벽(52)의 외측부(53)에 제1 잠금 너트(68)가 맞물리도록 조정기(60) 상에 위치할 수 있다. 이러한 경우에, 캡(50)의 단부 벽(52)의 외측부(53)와 제1 잠금 너트(68)의 맞물림으로 인해, 조정기(60)와, 피스톤(62) 및 밸브 부재(30)가 폐쇄 방향으로 더 이동하는 것이 방지된다. 그 결과, 밸브(10)는 실린더(40)로의 유체 압력이 해제되는 경우 완전히 폐쇄되지 않고, 제2 통로(18)를 통한 유체 흐름이 가능해진다. 제2 통로(18)를 통한, 미리 결정된 또는 선택 가능한 유량을 설정하기 위하여 제1 잠금 너트(68)의 위치는 변할 수 있다. 예컨대, 밸브 부재(30)와 밸브 시트(26) 사이에 남아 있는 개방 정도가 작다면, 밸브(10)를 통한 유체의 방울 흐름(trickle flow)이 가능해진다. 상기 개방 크기는 조정기(60) 상의 상이한 위치에 잠금 너트 조립체(66)를 설정함으로써 변화될 수 있다. 제1 잠금 너트(68)는 얼마나 많은 유체가 흐를 수 있는 지를 설정하는 정지 수단으로서 작용한다. 제2 잠금 너트(70)는 제1 잠금 너트(68)를 고정하여 제1 잠금 너트가 회전하지 못하도록 한다. 나사형 조정기와 너트를 설명하였지만, 별법으로서 비(非)나사형 실시예가 이용될 수 있다.
도 2는 본 발명의 제2 실시예에 따라 구성된 밸브(10a)를 보여준다. 밸브(10a)는 밸브(10)(도 1)의 구조와 유사하다. 밸브(10)의 대응 부분과 동일 또는 유사한 밸브(10a)의 부분은 첨자 "a"를 첨부하여 동일한 참조 번호로 나타내었다.
밸브(10a)는 밸브 베이스(12a), 하우징(24a) 및 밸브 부재(30a)를 포함한다. 밸브(10a)는 또한 실린더(40a)와 밸브의 종방향 중심축(44a)을 따라 하우징(24a)에 대해 활주하도록 실린더 내에 지지되는 피스톤(42a)을 포함한다. 밸브 부재(30a) 는 피스톤(42a)에 나사식으로 고정된다. 캡(50a)이 밸브 베이스(12a)와 반대쪽의 하우징(24a)에 고정되어 있다. 캡(50a)은 실린더(40a)의 상측 단부를 폐쇄한다. 캡(50a)은 암나사부가 형성된 중앙 개구(54a)가 있는 환형 단부 벽을 구비한다.
밸브(10a)는 스프링 시트(80)를 포함한다. 스프링 시트(80)는 캡(50a)과는 별개의 부재로 형성되고, 캡(50a)에 대해 상대 이동 가능하다. 스프링 시트(80)는 원형의 중앙 개구(82)가 있고 전체적으로 디스크 형상인 구조를 갖는다. 중앙 개구(82)는, 피스톤(42a)으로부터 멀어지는 방향을 향하고 방사상으로 연장된 환형의 쇼울더(84)에 의해 에워싸여 있다. 스프링 시트(80)의 외주부(86)에는 피스톤을 향해 있는 스프링 결합면(88)이 있다. 캡(50a)에 대한 스프링 시트(80)의 위치는 조정기(60a)에 의해 제어된다. 조정기(60a)는 스프링 시트(80)의 중앙 개구(82)를 통해 그리고 캡(50a)의 나사형 중앙 개구(54a)를 통해 연장되는 로드형 부재이다. 조정기(60a)의 내측 단부(90)는 피스톤(42a)으로부터 이격되어 있고 피스톤(42a)에 대해 상대 이동 가능하다. 조정기(60a)의 내측 단부(90)는, 밸브 챔버(14a)를 향해 있고 방사상으로 연장된 환형 쇼울더(92)를 포함한다. 조정기(60a) 상의 쇼울더(92)는 스프링 시트(80) 상의 쇼울더(84)와 맞물린다.
조정기(60a)의 외측 단부에는 수나사부가 형성되어 있다. 외측 단부(64a)는 캡(50a)의 나사형 중앙 개구(54a)에 나사 결합되고, 캡(50a)으로부터 외측으로 축방향 돌출된다.
단일의 잠금 나사(68a)가 조정기(60a)에 배치되어 있다. 잠금 나사(68a)는 캡(50)의 단부 벽(52a)에 인접한 위치에서 조정기(60a)의 돌출 외측 단부(64a)에 나사 결합된다. 잠금 나사(68a)는 조정기(60a) 상에서 캡(50a)의 단부 벽(52a)의 외측부(53a)와의 체결 위치로 나사 결합된다. 조정기(60a)는 캡(50a)에 나사 결합되므로, 잠금 나사(68a)는 밸브(10a) 내의 소정 위치에서 조정기를 잠그고, 조정기(60a)가 회전하거나 축방향으로 이동하지 못하도록 한다. 조정기(60a) 상의 쇼울더(90)는 스프링 시트(80) 상의 쇼울더(84)와 맞물리므로, 조정기는 스프링 시트(80)의 축방향 외측 이동을 제어하고 제한한다.
압축 스프링(56a)이 밸브(10a) 내의 실린더(40a)에 배치되어 있다. 스프링(56a)은 피스톤(42a)과 스프링 시트(80)의 스프링 결합면(88) 사이에서 작동한다. 스프링(56a)은 밸브 챔버(14a)를 향하는 방향, 즉 도 2에서 보았을 때 하향 방향으로 피스톤(42a)에 힘을 가한다. 그 결과, 실린더(40a) 내의 피스톤(42a)의 위치 및 밸브 챔버(14a) 내의 밸브 부재(30a)의 위치는 스프링(56a)의 힘과 실린더(40a)내의 유체의 힘 사이의 상호 작용에 의해 제어된다.
밸브(10a)는 가압 하의 유체가 실린더(40a) 내로 들어가도록 함으로써 개방된다. 유체 압력은 피스톤 단면(46a)에 작용하여, 피스톤(42a)을 스프링(56a)의 힘에 대항하여 위로 이동시킨다. 그 결과, 밸브 부재(30a)는 밸브 시트(26a)로부터 벗어나, 밸브 베이스(12a) 내의 제2 통로(18a)를 개방한다. 유체는 제1 통로(16a)와 제2 통로(18a) 사이에서 흐를 수 있다. 실린더(40a) 내의 유체 압력이 해제되면, 스프링(56a)의 힘은 피스톤(42a)에 작용하여 밸브 시트(26a)를 향하는 방향으로 피스톤(42a)과 밸브 부재(30a)를 이동시켜, 밸브(10a)를 폐쇄한다.
조정기(60a) 상의 잠금 나사(68a)의 위치는 캡(50a)에 대한 스프링 시트(80) 와 조정기(60a)의 위치를 제어하여, 밸브(10a)를 개방하는 데 필요한 스프링 힘의 크기를 제어한다. 구체적으로, 조정기(60a) 상의 잠금 나사(68a)의 위치는 밸브(10a)가 폐쇄 위치에 있는 경우 스프링(56a)이 얼마나 많이 압축될 지(스프링 예비부하의 크기)를 제어한다. 잠금 나사(68a)는, 조정기(60a)의 내측 단부(90a)가 상대적으로 많이 밸브(10a) 내의 실린더(40a)로 돌출되도록 조정기(60a) 상에 위치될 수 있다. 따라서, 조정기(60a) 상의 쇼울더(92)는 캡(50a)의 단부 벽(52a)으로부터 (축방향으로 내측으로) 상대적으로 떨어진 위치에 스프링 시트(80)를 유지한다. 이 경우, 스프링(56a)은 비교적 크게 압축되고, 비교적 더 많은 힘이 밸브(10a)를 개방하는 데 필요하게 된다. 별법으로서, 잠금 나사(68a)는, 조정기의 내측 단부(90)가 더 작게 실린더(40a) 내로 돌출되도록 조정기(60a) 상에 위치될 수 있다. 그 결과, 조정기(60a) 상의 쇼울더(92)는 스프링 시트(80)가 캡(50a)의 단부 벽(52a)에 더 가까운 (축방향으로 외측) 위치에 있을 수 있도록 해준다. 이 경우, 스프링(56a)은 덜 압축되고, 밸브(10a)를 개방하는 데 필요한 힘의 크기는 상대적으로 더 작다. 잠금 나사(68a)의 위치를 변화시킴으로써, 밸브(10a)는 부하를 변화시키면서 이용될 수 있다. 이는 밸브(10a)가 압력 릴리프 밸브, 블로우 오프 밸브(blow-off valve), 물 해머 서지-어레스터(water hammer surge-arrestor) 또는 압력 조절기로 기능할 수 있도록 해준다.
도 3 내지 도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따라 구성된 밸브(100)를 보여준다. 밸브(100)(도 3)는 밸브 베이스(101)를 포함한다. 밸브 베이스(101)는 제1 통로(104)에 의해 제1 포트(106)에 연결되는 제1 밸브 챔버(102)를 형성한다. 밸 브 베이스(101)는 제2 통로(110)에 의해 제2 포트(112)에 연결되는 제2 밸브 챔버(108)를 형성한다. 밸브 베이스(101)는 또한 제1 밸브 챔버(102)와 제2 밸브 챔버(108) 사이에서 연장되고 제1 밸브 챔버(102)를 제2 밸브 챔버(108)와 유체 연통식으로 연결하는 연결 통로(114)를 형성한다. 연결 통로(114)는 제1 밸브 챔버(102) 내로의 제1 유출 구멍(116) 및 제2 밸브 챔버(108) 내로의 제2 배출 구멍(118)에서 종단된다. 제1 밸브 챔버(102)는 제1 배출 구멍(116) 둘레에서 제1 밸브 챔버 내로 연장되는 제1 밸브 시트(120)를 구비한다. 제2 밸브 챔버(108)는 제2 배출 구멍(118) 둘레에서 제2 밸브 챔버 내로 연장되는 제2 밸브 시트(12)를 구비한다. 제2 밸브 시트(122)는 제1 밸브 시트(120)로부터 축방향 반대 방향으로 향해 있다. 밸브 베이스(101)는 연결 통로(114)와 제3 포트(126)(도 4 내지 도 7) 사이로 연장되어 연결되는 제3(또는 공통) 통로(124)를 구비한다. 제3 통로(124)의 내부 종단은 도 3에서 점선의 원으로 도시되어 있다.
밸브(100)는 제1 통로(104)와 연결 통로(114) 사이의 유체 연통을 선택적으로 가능하게 하거나 그러한 유체 연통을 차단하기 위한 제1 밸브 부재(130)를 포함한다. 제1 밸브 부재(130)에는 제1 밸브 시트(120)와 맞물려 제1 밸브 챔버(102)와 연결 통로(114) 사이에서 유체의 흐름을 차단하는 선단부(132)가 마련되어 있다. 밸브(100)는 제2 통로(110)와 연결 통로(114) 사이의 유체 연통을 선택적으로 가능하게 하거나 차단하기 위한 제2 밸브 부재(134)를 포함한다. 제2 밸브 부재(134)에는 제2 밸브 시트(118)와 맞물려 제2 밸브 챔버(108)와 연결 통로(114) 사이의 유체의 흐름을 차단하는 선단부(136)가 마련되어 있다.
커넥터 스템(140)이 연결 통로(114)를 통해 연장되고, 제1 및 제2 밸브 부재(130, 134)를 서로 이동 가능하도록 고정한다. 2개의 밸브 시트(120, 122)는 반대 방향으로 향해 있고, 축(142)을 따른 커넥터 스템(140)의 왕복 운동은 한 밸브 시트(122)가 닫히는 경우 다른 밸브 시트(120)를 개방시킬 수 있다.
밸브(100)는 밸브 베이스(101)에 연결된 하우징(148)과, 하우징에 연결된 캡(150)을 포함한다. 캡(150)은 스프링 시트를 형성하는 환상의 단부 벽(152)을 구비한다. 단부 벽(152)에는 암나사형 중앙 개구(154)가 있다. 밸브(100)는 또한 실린더(160)와, 밸브의 종방향 중심축(142)를 따라 하우징(148)에 대해 활주 이동하도록 실린더 내에 지지되는 피스톤(162)을 포함한다. 제1 밸브 부재(130)는 피스톤(162)에서 나사 고정된다. 몇몇 실시예에서, 제1 및 제2 밸브 부재(130, 134)는 나사형 커플링과 같은 것에 의해 서로 결합되는 별개의 부재일 수 있다. 다른 실시예에서, 제1 및 제2 밸브 부재(130, 134)는 나사산형 커플링과 같은 것에 의해 중앙 스템부에 커플링될 수 있다. 더욱이, 제1 밸브 부재(130)는 예를 들면 클리핑(clipping), 바인딩 또는 상호 맞물림 체결 형성하는 것과 같은 비나사형 방식으로 피스톤에 커플링될 수 있다. 피스톤에의 커플링 결과, 제1 및 제2 밸브 부재(130, 134)와 커넥터 스템(140)은 피스톤(162)과 함께 이동하도록 피스톤(162)에 고정된다. 압축 스프링(166)이 밸브(100)에 배치되고, 단부 벽(152)에 의해 형성된 스프링 시트(152)와 피스톤(162) 사이에서 작동한다. 스프링(166)은 밸브 챔버(102, 108)를 향하는 방향, 즉 도 3에서 보았을 때 하측 방향으로 피스톤에 힘을 가한다. 그 결과, 실린더(160) 내에서 피스톤(162)의 위치는 피스톤(162) 상의 제 1 방향으로 작용하는 스프링(166)의 힘과 피스톤(162) 상의 반대의 제2 방향으로 작용하는 실린더(160) 내의 유체의 힘 사이의 상호 작용에 의해 제어된다. 밸브 부재(130, 134)는 피스톤(162)에 고정되므로, 밸브 부재의 위치는 또한 스프링(166)의 힘과 실린더(160) 내의 유체의 반대 방향 힘 사이의 상호 작용에 의해 제어된다.
밸브(100)는 조정기(170)를 포함한다. 조정기(170)는 실린더(160) 내로 연장되고 피스톤(162)에 접하는 내측 단부(172)를 갖는 로드형 부재이다. 조정기(170)의 수나사형 외측 단부(174)는 캡(150)의 중앙 개구(154) 내로 나사 결합되고, 캡의 외부로 돌출된다. 잠금 나사(180)가 캡(150)의 단부 벽(152)에 인접한 위치에서 조정기(170)의 돌출된 외측 단부(174) 상에 나사 결합된다. 잠금 나사(180)는 조정기(170) 상에서 캡(150)의 단부 벽(152)과의 맞물림 위치로 나사 결합된다. 그에 따라 잠금 나사(180)는 조정기(170)가 회전하는 것을 방지하고, 또한 밸브(100) 내에서의 조정기의 축방향 위치를 설정한다.
밸브(100)는 가압 하의 유체가 실린더(160) 내로 들어가도록 함으로써 작동된다. 유체 압력은 피스톤(162) 상에 작용하여 피스톤을 스프링(166)의 힘에 대항하여 위로 이동시킨다. 실린더(160) 내의 유체 압력이 해제되면, 스프링(166)의 힘은 피스톤에 작용하여, 피스톤(162)을 밸브 챔버(102, 108)를 향하는 방향(도 3에서 보았을 때 아래 방향)으로 이동시킨다.
밸브(100)는 두 개의 가능한 동작 상태 또는 위치를 갖는다. 밸브(100)는 피스톤(162)이 스프링(166)의 영향 하에서 완전 하방 위치에 있는 제1 상태(도시 생략)를 갖는다. 이 위치는 실린더(160)로의 공기 압력이 해제되는 경우에 발생한다. 따라서, 밸브(100)가 제1 상태에 있으면, 스프링(166)의 힘은 제1 밸브 부재(134)에 힘을 가하여 제1 밸브 시트(120)와 맞물리도록 한다. 유체 흐름은 제1 밸브 챔버(102)와 연결 통로(114) 사이, 따라서 제1 통로(104)와 제3 통로(124) 사이에서 차단된다. 유체는 제1 포트(106)와 제2 포트(112) 또는 제3 포트(126) 사이를 흐를 수 없다. 동시에, 피스톤(162)은 완전히 아래 위치에 있으므로, 제2 밸브 부재(134)는 제2 밸브 시트(122)에서 벗어나 있다. 유체는 제2 밸브 챔버(108)와 연결 통로(114) 사이, 따라서 제2 통로(110)와 제3 통로(124) 사이를 흐를 수 있다. 제2 포트(112)와 제3 포트(126)는 따라서 유체 연통식으로 연결된다.
도 4는 밸브가 제1 상태에 있는 경우 밸브(100)를 통해 가능한 유체 흐름 패턴을 보여준다. 유체는 제3(공통) 포트(126)를 통하여 밸브(100) 내로 흐를 수 있고, 제2 포트(112)를 통하여 밸브 외부로 흐를 수 있다.
밸브(100)는 스프링(166)의 영향에 의해 피스톤(162)이 완전히 아래의 위치로 이동되지 않는 제2 상태를 갖는다. 이 제2 상태는 가압 하의 공기가 실린더(160)에 제공되어 스프링의 힘을 극복하는 경우에 발생한다. 피스톤(162)은 실린더(160)에서 상측으로 이동한다. 이동하는 피스톤(162)은 도 3에 도시한 바와 같이, 제1 밸브 부재(130)를 제1 밸브 시트(120)에서 빼낸다. 그 결과, 유체는 제1 밸브 챔버(102)와 연결 통로(114) 사이, 따라서 제1 통로(104)와 제3 통로(124) 사이에서 흐를 수 있다. 그에 따라, 제1 포트(106)과 제3 포트(126)는 유체 연통식으로 연결된다. 동시에, 제2 밸브 부재(134)는 제2 밸브 시트(122)를 향해 당겨진 다. 만약 피스톤(162)이 위로 충분히 이동하여 제2 밸브 부재(134)가 제2 밸브 시트(122)와 결합되도록 한다면, 유체 흐름은 제2 밸브 챔버(108)와 연결 통로(114) 사이, 따라서 제2 통로(110)와 제3 통로(124)와 제1 통로(104) 사이에서 차단된다. 그렇게 위치함으로써, 제2 포트(112)는 제3 포트(126) 및 제1 포트(106)와 유체 연통이 차단된다.
도 5는 밸브가 상기 제2 상태에 있고, 피스톤(162)이 위로 충분히 이동하여 제2 밸브 챔버(108)를 폐쇄하는 경우 밸브(100)를 통해 가능한 유체의 흐름 패턴을 보여준다. 유체는 제3(공통) 포트(126)를 통해 밸브 안으로 흐를 수 있고, 제1 포트(106)를 통하여 밸브 외부로 흐를 수 있다.
제2 밸브 부재(134)가 제2 밸브 시트(122)에 대하여 밀봉하는 제2 상태를 달성하기 위하여, 조정기(170)는 밸브 단부 벽(152)으로부터 외측으로 설정된다. 조정기(170)의 이러한 설정은 잠금 너트(180)를 느슨하게 하고, 조정기가 캡에서 외부로 더 많이 돌출되고 실린더(160) 내에 덜 배치되도록 하는 방향으로 조정기(170)를 캡(150)에 대해 회전시킴으로써 달성할 수 있다. 잠금 나사(180)는 캡(150)의 단부 벽(152)에서 다시 아래로 조여진다. 밸브(100)가 전술한 바와 같이 작동하면, 조정기(170)의 내측 단부(172)는 밸브 챔버(102, 108)로부터 상대적으로 더 멀리 떨어지고, 따라서 피스톤(162)의 상향 이동을 제한하지 않는다. 이러한 상향 이동은 제2 밸브 부재(134)가 제2 밸브 시트(122)와 맞물리고 나서야 중단된다.
다른 한편으로, 조정기(170)는 피스톤(162)의 상향 이동을 제한하지 않도록 설정될 수 있다. 조정기(170)의 이러한 설정은 잠금 나사(180)를 느슨하게 하고, 조정기가 캡으로부터 외부로 덜 돌출되고 실린더(160) 내에 더 많이 배치되도록 하는 방향으로 조정기를 캡(150)에 대해 회전시킴으로써 달성된다. 잠금 너트(180)는 이어서 캡(150)의 단부 벽(152)에서 다시 아래로 조여진다. 그 후 도 3에 도시한 바와 같이, 밸브(100)가 공기 압력으로 작동하면, 피스톤(162)은 조정기(170)의 내측 단부(172)와 결합할 때까지만 상향 이동한다. 피스톤(162)은 제2 밸브 부재(134)가 제2 밸브 시트(122)와 맞물리도록 하기에 충분히 위로 이동하지 않는다. 따라서, 유체 흐름은 제2 밸브 챔버(108)와 연결 통로(114) 사이, 따라서 제2 통로(110)와 제3 통로(124)와 제1 통로(104) 사이에서 차단되지 않는다. 제2 포트(112)와 제3 포트(126)와 제1 포트(106)는 따라서 유체 연통식으로 연결된다.
도 6 및 도 7은 밸브가 제1 상태와 제2 상태 사이에 있는 경우 밸브(100)를 통해 가능한 유체의 흐름 패턴을 보여준다. 도 6에 도시한 바와 같이, 유체는 제3(공통) 포트(126)를 통해 밸브(100) 안으로 흐를 수 있고, 제1 포트(106) 및 제2 포트(112) 모두를 통해 밸브 외부로 흐를 수 있다. 이 방식에서, 단일 유체 흐름은 두 개의 별도의 흐름으로 분리될 수 있다. 별법으로서, 도 7에 도시한 바와 같이, 유체는 제1 포트(106)와 제2 포트(112) 모두를 통해 밸브(100) 안으로 흐를 수 있고, 제3(공통) 포트(126)를 통하여 밸브 외부로 흐를 수 있다. 이러한 방식에서, 밸브(100)는 별도의 두 유체가 함께 혼합되는 혼합 밸브로서 작동한다.
이들 흐름 패턴은 제1 상태에서 조정기가 있는 위치와 제2 상태에서 조정기가 있는 위치 사이에 조정기(170)를 위치시킴으로써 만들어진다. 조정기(170)의 이러한 설정은 잠금 너트(180)를 느슨하게 하고, 조정기(170)를 캡(150)에 대해 회전시킴으로써 달성된다. 조정기(170)가 적절하게 위치되면, 잠금 너트(180)는 조여지고, 밸브(100)는 제3 상태에 있게 된다. 제1, 제2 및 제3 상태를 달성하기 위한 조정기(170)의 위치를 결정하기 위하여, 지시기(도시 생략)가 제공될 수 있다. 예를 들면, 조정기(170)는 각 상태를 하나의 색깔로 3가지 상태를 나타내기 위해 색채 코딩될 수 있다. 또한, 제3 상태는 상대 혼합 부분으로 분리될 수 있다. 예를 들면, 지시기는 3가지 상태에 대한 3개의 색, 따라서 전체 다섯 가지 색깔을 가질 수 있다. 제1 색깔은 약 25/75 혼합물을 표시하고, 제2 색깔은 약 50/50 혼합물을 표시하며, 제3 색깔은 약 75/25 혼합물을 표시한다. 별법으로서, 지시기는 더 많은 부분으로 분할될 수 있다. 지시기는 예를 들면 숫자, 밴드 또는 홈과 같이, 상대 위치를 나타내는 다른 수단을 이용할 수도 있다.
도 8은 본 발명의 제4 실시예를 나타내며, 도면부호 210으로 표시되는 액추에이터를 포함한다. 도 8에 도시된 액추에이터(210)는 정상 폐쇄형 액추에이터이지만, 당업자라면 정상 개방형 액추에이터가 이용될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 액추에이터(210)는 액추에이터 하우징(225), 하나 이상의 피스톤(230), 스프링(240), 유입 포트(242) 및 단부 캡(243)을 포함한다. 스프링(240)은 피스톤(230)에 작용하여, 아래 방향 위치에 유지시킴으로써, 밸브 다이어프램(32)(도 1 참조)과의 맞물림이 유지되도록 한다. 공기는 유입 포트(242) 및 상부 피스톤(230a)의 스템(245)의 유동 채널(244)을 통해 들어온다. 공기는 상부의 동작 체적부(248)를 충전하고, 상부 피스톤(230a)의 표면(249)에 작용한다. 이어서, 공기 는 하부 피스톤(230b)의 스템(252)의 유동 채널(251)을 통하여 계속 유입된다. 공기는 하부의 동작 체적부(254)를 충전하고, 하부 피스톤(230b)의 표면(255)에 작용한다. 상부 및 하부의 동작 체적부(248, 254)를 충전하고 표면(249, 255)에 작용하는 공기는 피스톤(230)이 스프링(240)의 힘에 대항하여 위로 이동하도록 한다. 도 8은 다중-피스톤 액추에이터 조립체를 도시하고 있지만, 당업자는 본 발명이 단일 피스톤 액추에이터에도 이용될 수 있음을 이해하여야 한다. 정적 피스톤(260)이 각각의 동작 피스톤의 하부 측에 공기압을 유지하는 데 이용되고, 행정 제한 기구(270)가 피스톤(230a)에 대한 포지티브 정지 수단으로서 작용한다. 도 8에서, 행정 제한 기구(270)는 세트 나사(271)이다.
스템(245)이 반복하여 세트 나사(271)와 접촉하므로, 세트 나사는 느슨해질 수 있다. 따라서, 적절한 위치에 세트 나사(271)를 고정시키는 기구를 사용하여 상기 느슨함을 방지할 수 있다. 도 9는 한 가지 실시예를 도시하는데, 제2 세트 나사(272)가 제1 세트 나사를 적소에 고정하는 데 사용된다. 다른 실시예에서, 고정 재료 또는 예를 들면 록타이트(locktite)와 같은 접착제가 세트 나사(271)를 적소에 고정하는 데 이용된다. 다른 실시예에서 세트 나사(271)는 억지끼움 방식을 통해 적소에 고정된다. 이것은 나사산의 피치를 변화시켜서 억지끼움을 제공함으로써 달성될 수 있다. 당업자는 억지끼움 방식을 제공하는 통상의 수단을 채용하여 세트 나사를 적소에 고정시킬 수 있다는 것을 이해하여야 한다.
도 10에서, 피스톤 행정을 제한하기 위해 단일편의 조정 가능한 포트(280)가 이용된다. 단일편의 조정 가능한 포트(280)는 단부 캡(243) 내로 나사 결합된다. 단일편의 조정 가능한 포트(280)는, 상부 피스톤(230a)의 스템(245)을 수용하는 카운터보어(284)가 있으며, 전체적으로 원통형인 샤프트(282)를 포함한다. 원통형 샤프트(282)는 피스톤(230)의 융기된 스텝부(249)와 접촉하는 단부(247)를 포함한다. 이러한 접촉은 피스톤(230)에 대해 포지티브 정지 수단을 제공한다. 피스톤(230)이 정지하는 위치는 원통형 샤프트(282)를 조정함으로써 변할 수 있다. 피스톤(230)의 행정이 작은 것이 바람직하다면, 원통형 샤프트(282)는 단부(282)가 액추에이터 하우징(225) 내로 더 돌출되어, 피스톤의 축 이동이 적은 피스톤의 융기부(249)와 접촉을 제공하도록 조정된다. 다른 실시예에서, 브릿지(285)가 유입 포트(242)와 카운터보어(284) 사이에 배치된다. 스템(245)은 액추에이터(210)가 개방 위치에 있는 경우 브릿지(285)와 접촉한다. 이것은 액추에이터 피스톤(230)에 대해 포지티브 정지 수단을 제공하여, 피스톤 행정을 제한한다. 브릿지(285)는 단독으로 이용될 수도 있고, 원통형 샤프트(282)의 단부(247)와 접촉하는 융기부(249)와 함께 이용될 수도 있다. 단일편의 조정 가능한 포트(280)와 단부 캡(243) 사이의 나사 결합은 행정 높이를 조정하는 수단을 제공한다. 액추에이터 하우징(225)과 단부 캡(243) 사이의 나사 결합은 행정 높이를 조정하는 추가의 수단을 제공할 수 있다.
도 11에서, 피스톤 행정을 제한하기 위해 2-부재의 조정 가능한 포트(290)가 이용된다. 나사형 행정 제한 캡(295)이 유입 포트(242)의 반대 단부에서 단부 캡(243) 내로 나사 결합되어 있다. 행정 제한 캡(295)은, 상측 피스톤(230a)의 스템(245)을 수용하는 카운터보어(297)가 마련된 전체적으로 원통형의 샤프트(296)로 구성된다. 원통형 샤프트(296)의 단부(247)와 피스톤(230)의 융기부(249) 사이, 또는 카운터보어(297)의 단부(298)와 스템(245) 사이의 접촉에 의해 포지티브 정지 수단을 달성할 수 있다. 행정 제한 캡(295)과 단부 캡(243) 사이의 나사식 맞물림은 행정 높이를 조정하는 수단을 제공한다. 액추에이터 하우징(225)과 단부 캡(243) 사이의 나사식 맞물림은 행정 높이를 제한하는 추가 수단을 제공할 수 있다.
도 12에서, 일체형의 행정 제한 기구(300)가 구비된 단부 캡(243')이 도시되어 있다. 단부 캡(243')은 액추에이터 하우징(225) 위로 나사 결합된 다음에 잠금 너트 또는 핀(302)에 의해 적소에 고정된다. 행정 제한 기구(300)는 피스톤(230)의 융기부(249)와 접촉하는 샤프트(300)의 단부(247)를 포함한다. 별법으로서, 또는 단부 행정 제한에 추가하여, 브릿지가 도면 부호 306으로 나타낸 곳에 위치할 수 있는데, 이는 유입 포트(242)를 카운터보어(304)로부터 분리하여 피스톤(230)의 스템(243)을 포지티브 정지 수단에 제공한다. 도면 부호 306으로 표시한 곳에 위치하는 브릿지가 사용되는 경우에, 상측 피스톤(230a)의 스템(243)은 카운터보어(304) 내에 수용되고 브릿지와 접촉하여 상측 피스톤(230a)에 대해 포지티브 정지 수단을 제공한다. 이들 각각의 실시예에서, 단부 캡(243')과 액추에이터 하우징(225) 사이의 나사식 맞물림은 행정 높이를 조정하는 수단을 제공한다.
도 8 내지 도 12에 도시한 각각의 실시예에서, 행정 제한 기구(270)는 밸브를 통한 물질 흐름을 제어하는 수단을 제공할 수 있다. 행정 제한 기구(270)는 행정 높이를 변화시키도록 조정될 수 있다. 이러한 방식에서, 밸브를 통한 물질의 흐름을 제어할 수 있다. 예를 들면, 행정 높이가 밸브 다이어프램이 밸브 통로를 단지 절반만 개방하도록 위치하게 되어 있는 경우에, 정상 개방 또는 정상 폐쇄와 절반 개방 위치 사이를 제어하기 위하여 액추에이터를 이용할 수 있다. 또한, 행정 높이를 제한할 수 있기 때문에, 액추에이터 피스톤(230)의 위치를 결정하기 위하여 근접 센서를 이용할 수 있다. 종래의 액추에이터의 경우에, 액추에이터 피스톤의 추가 행정 거리는 종종 피스톤을 대부분의 종래의 근접 센서의 범위 밖으로 이동시킨다. 본 명세서에 개시된 행정 제한 기구는 행정 높이를 제한하여, 피스톤이 종래의 근접 센서 범위 내에 남아 있도록 해준다.
정지 기구의 조정을 통해, 액추에이터의 행정은 미리 정한 거리에 설정될 수 있다. 예컨대, 밸브 다이어프램의 행정보다 더 큰 행정을 갖고 있는 액추에이터가 종종 사용된다. 이러한 경우에, 액추에이터 피스톤은 밸브를 동작시키는 데 필요한 거리보다 더 큰 거리를 이동한다. 이러한 오버-행정은 피스톤과 피스톤 시일을 마모시키며, 다이어프램이 더 큰 거리를 이동하도록 강제되고 또 그와 같이 설계되어 있다면 다이어프램을 왜곡시킬 수 있다. 본 명세서에 개시된 행정 제한 기구를 합체함으로써, 액추에이터 행정은 밸브 다이어프램 행정과 동일한 거리로 설정될 수 있다. 또한, 이들 조정은 밸브 조립체의 외부에서 이루어질 수 있기 때문에, 상기 행정은 밸브 조립체의 분해 없이 조정될 수 있다.
바람직한 실시예를 참조하여 본 발명을 설명하였다. 본 명세서를 통해 많은 수정과 변형예가 이루어질 수 있다. 이러한 모든 수정 및 변형예는 첨부된 청구의 범위 또는 그 균등물의 범위 내에 있는 한 모두 본 발명에 포함된다.

Claims (39)

  1. 제1 및 제2 포트와 그 사이의 유로;
    상기 포트 중 하나 부근에 형성된 밸브 시트;
    상기 밸브 시트와의 밀봉 맞물림이 성립되고 또 밀봉 맞물림이 해제되도록 선택적으로 이동되는 밸브 부재;
    상기 밸브 부재에 커플링되어 상기 밸브 부재를 상기 밸브 시트와의 밀봉 맞물림이 성립되고 또 밀봉 맞물림이 해제되도록 이동시키는 액추에이터;
    상기 액추에이터와 협력하여 상기 액추에이터 및 밸브 부재의 축방향 이동을 결정하는 조정 가능한 기구
    를 포함하는 밸브.
  2. 제1항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 상기 액추에이터와 나사식으로 맞물리는 로드형 부재인 조정기를 포함하는 것인 밸브.
  3. 제1항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 상기 액추에이터의 상단부에 위치하는 스템을 포함하는 것인 밸브.
  4. 제1항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 상기 액추에이터의 일부와 접촉하는 샤프트를 포함하는 것인 밸브.
  5. 제4항에 있어서, 상기 액추에이터의 일부는 상기 액추에이터의 상단면 위로 융기된 것인 밸브.
  6. 제2항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 상기 조정기 상에서 나사식으로 맞물리는 제1 잠금 너트를 포함하는 것인 밸브.
  7. 제6항에 있어서, 상기 제1 잠금 너트는 상기 조정기의 제1 위치에 위치하는 경우 밸브 하우징의 일부와 맞물리고, 상기 밸브 하우징과의 맞물림은 상기 밸브 부재가 상기 밸브 시트와 맞물리는 것을 방지하는 것인 밸브.
  8. 제7항에 있어서, 상기 제1 잠금 너트와 맞물려 제1 잠금 너트의 회전을 방지하는 제2 잠금 너트를 더 포함하는 것인 밸브.
  9. 제1항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 밸브 하우징의 일부와 나사식으로 맞물리는 제1 세트 나사를 포함하는 것인 밸브.
  10. 제1항에 있어서, 제1 세트 나사와 맞물려 그 나사의 회전을 방지하는 제2 세트 나사를 더 포함하는 것인 밸브.
  11. 제1항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 밸브 하우징의 상단부 내로 나사 결합되는 단일편의 조정 가능한 포트를 포함하는 것인 밸브.
  12. 제11항에 있어서, 상기 단일편의 조정 가능한 포트는 상기 액추에이터의 일부와 맞물리는 샤프트를 포함하는 것인 밸브.
  13. 제12항에 있어서, 상기 단일편의 조정 가능한 포트는 상기 액추에이터와 맞물려 상기 피스톤이 상기 축방향으로 이동하는 것을 방지하는 것인 밸브.
  14. 제1항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 밸브 하우징의 상단부 내로 나사 결합되는 2-부재의 조정 가능한 포트를 포함하는 것인 밸브.
  15. 제1항에 있어서, 밸브 하우징 위로 나사 결합되는 단부 캡을 더 포함하는 것인 밸브.
  16. 제15항에 있어서, 상기 단부 캡은 상기 액추에이터와 밸브 부재의 축방향 이동을 결정하도록 선택적으로 위치되는 것인 밸브.
  17. 제1항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 상기 밸브가 폐쇄 위치에 있는 경우 상기 밸브 부재가 상기 밸브 시트에 대하여 밀봉되는 것을 방지하도록 위치되는 것인 밸브.
  18. 각각 유체 통로를 갖는 3개의 유체 포트;
    상기 유체 포트의 유체 통로 각각이 연결되는 연결 유체 통로;
    2개의 밀봉 부재를 포함하는 밸브 요소로서, 한 밀봉 부재는 상기 밸브 요소가 제1 위치에 있을 때 상기 연결 유체 통로의 제1 단부에 위치하는 제1 밸브 시트를 밀봉하고, 다른 밀봉 부재는 상기 밸브 요소가 제2 위치에 있을 때 상기 연결 유체 통로의 제2 단부에 위치하는 제2 밸브 시트를 밀봉하는 것인, 상기 밸브 요소;
    상기 밸브 요소에 연결되는 피스톤;
    상기 밸브 요소의 축방향 이동을 결정하도록 선택적으로 위치되는 조정 가능한 기구
    를 포함하는 밸브.
  19. 제18항에 있어서, 상기 밸브 요소가 제3 위치에 있는 경우, 상기 제1 및 제2 밀봉 부재는 그 어떤 것도 상기 각각의 밸브 시트를 밀봉하지 않는 것인 밸브.
  20. 액추에이터 하우징 내부에 수용되는 적어도 하나의 피스톤;
    상기 적어도 하나의 피스톤의 적어도 일부와 선택적으로 맞물려 상기 적어도 하나의 피스톤의 축방향 이동을 선택적으로 조정하는 조정 가능한 기구
    를 포함하는 밸브 액추에이터.
  21. 제20항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 하나 이상의 세트 나사를 포함하는 것인 밸브 액추에이터.
  22. 제20항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 단일편 포트인 것인 밸브 액추에이터.
  23. 제20항에 있어서, 상기 조정 가능한 기구는 2-부재 포트인 것인 밸브 액추에이터.
  24. 제20항에 있어서, 상기 액추에이터 하우징에 나사식으로 장착되는 단부 캡을 더 포함하는 것인 밸브 액추에이터.
  25. 제24항에 있어서, 상기 단부 캡은 상기 하나 이상의 피스톤의 축방향 이동을 결정하도록 선택적으로 위치될 수 있는 것인 밸브 액추에이터.
  26. 제24항에 있어서, 상기 단부 캡을 상기 액추에이터 하우징 상의 소정의 위치에 고정하는 너트 부재를 더 포함하는 밸브 액추에이터.
  27. 적어도 2개의 포트와 그 사이의 유체 통로;
    상기 포트 중 적어도 하나와 정렬되어 상기 유체 통로를 통한 흐름을 결정하는 부분을 포함하는 밸브 부재;
    상기 밸브 부재와 협동하여 상기 밸브 부재를 상기 유체 통로 중 적어도 하나를 향해 또 그 통로로부터 멀리 축방향으로 선택적으로 이동시키는 피스톤;
    상기 밸브 부재의 상기 부분이 상기 유체 통로 중 적어도 하나를 밀봉하는 것을 방지하여 상기 유체 통로 중 적어도 하나를 통한 흐름을 방지하는 수단
    을 포함하는 밸브.
  28. 적어도 하나의 포트;
    상기 적어도 하나의 포트와 정렬되어 그 포트를 통한 흐름을 제어하는 부분을 포함하는 밸브 요소;
    상기 밸브 요소와 협력하여 상기 밸브 요소를 상기 적어도 하나의 포트를 향해 또 상기 포트로부터 멀리 축방향으로 선택적으로 이동시키는 피스톤;
    상기 밸브 요소를 상기 적어도 하나의 포트로부터 멀리 이동시키는 데에 필요한 힘을 조정하는 수단
    을 포함하는 밸브.
  29. 제28항에 있어서, 상기 밸브 요소를 상기 적어도 하나의 포트로부터 멀리 이동시키는 데 필요한 힘을 조정하는 상기 수단은 스프링과 스프링 맞물림 표면을 포 함하고, 상기 스프링 맞물림 표면의 위치는 상기 스프링을 압축하거나 팽창시키도록 축방향으로 조정될 수 있는 것인 밸브.
  30. 축방향으로 이동되어 밸브 시트와 맞물리고 또 그러한 맞물림으로부터 해제되는 다이어프램;
    상기 다이어프램과 커플링되고, 전체 피스톤 이동 거리를 따라 축방향으로 이동 가능한 피스톤;
    상기 전체 피스톤 이동 거리를 조정하는 수단
    을 포함하는 밸브.
  31. 제30항에 있어서, 상기 전체 피스톤 이동 거리는 상기 다이어프램을 상기 밸브 시트에 대해 밀봉하는 데에 필요한 거리보다 작은 것인 밸브.
  32. 각각 유체 통로가 있는 3개 이상의 유체 포트;
    상기 각각의 유체 포트 유체 통로가 흐르는 연결 유체 통로;
    2개의 맞물림 부재를 포함하는 다이어프램 요소로서, 제1 맞물림 부재는 상기 연결 유체 통로의 제1 단부에 위치하는 제1 밸브 시트와 맞물리고, 제2 맞물림 부재는 상기 연결 유체 통로의 제2 단부에 위치하는 제2 밸브 시트와 맞물리는, 상기 다이어프램 요소;
    상기 다이어프램 요소에 연결되고, 상기 제1 맞물림 부재가 상기 제1 밸브 시트와 맞물리는 제1 위치, 상기 제2 맞물림 부재가 상기 제2 밸브 시트에 맞물리는 제2 위치, 또는 상기 제1 위치와 제2 위치 사이의 제3 위치에 상기 다이어프램 요소를 선택적으로 위치시키도록 축방향으로 이동 가능한 피스톤
    을 포함하는 밸브.
  33. 밸브 부재에 커플링되고, 전체 피스톤 이동 거리를 따라 축방향으로 이동 가능한 피스톤;
    상기 전체 피스톤 이동 거리를 조정하는 수단
    을 포함하는 액추에이터.
  34. 제1 거리의 행정을 갖고 있는 액추에이터;
    적어도 하나의 포트와 선택적으로 맞물려 밸브를 통한 흐름을 제어하고 제2 거리의 행정을 갖고 있는 밸브 부재를 포함하는 밸브;
    상기 액추에이터의 행정을 조정하는 수단
    을 포함하는 밸브 조립체.
  35. 제34항에 있어서, 상기 제1 거리는 상기 제2 거리보다 큰 것인 밸브 조립체.
  36. 제34항에 있어서, 상기 액추에이터의 행정을 조정하는 수단은 상기 제1 거리가 상기 제2 거리와 실질상 같아지도록 하는 데에 이용되는 것인 밸브 조립체.
  37. 제34항에 있어서, 상기 액추에이터의 행정을 조정하는 수단은 상기 밸브 조립체의 외측부로부터 접근 가능한 것인 밸브 조립체.
  38. 액추에이터;
    적어도 하나의 포트와 선택적으로 맞물려 밸브를 통한 흐름을 제어하고 상기 액추에이터에 커플링되는 밸브 부재를 포함하는 밸브;
    상기 액추에이터의 축방향 이동을 제어하는 조정 기구
    를 포함하고, 상기 조정 기구는 밸브 조립체의 외측부로부터 접근 가능한 것인 밸브 조립체.
  39. 3개 이상의 포트;
    상기 3개 이상의 포트 사이에서의 흐름을 선택적으로 제어하는 밸브 부재;
    상기 3개 이상의 포트 사이에서의 상대적인 흐름을 제어하는 조정 기구
    를 포함하는 밸브 조립체.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100840659B1 (ko) * 2006-09-06 2008-06-24 동부일렉트로닉스 주식회사 디이모스 소자의 제조 방법
KR20150052021A (ko) * 2012-07-27 2015-05-13 웨스팅하우스 일렉트릭 컴퍼니 엘엘씨 도관 길이 조정 장치 및 방법
KR20190104886A (ko) * 2018-03-02 2019-09-11 가부시키가이샤 호리바 에스텍 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치

Families Citing this family (36)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP1601900A2 (en) 2003-03-07 2005-12-07 Swagelok Company Valve with adjustable stop
US20060065868A1 (en) * 2004-09-28 2006-03-30 Strong Warren N Diaphragm valve
US20060191777A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-31 Glime William H Flow control device with flow adjustment mechanism
US7703744B2 (en) * 2007-03-03 2010-04-27 Freudenberg-Nok General Partnership Core push-in seal
JP5009107B2 (ja) * 2007-09-12 2012-08-22 サーパス工業株式会社 サックバックバルブ
JP5301805B2 (ja) * 2007-10-17 2013-09-25 サーパス工業株式会社 サックバックバルブシステム及びその閉弁動作制御方法
US8083683B2 (en) * 2007-10-19 2011-12-27 Welch Allyn, Inc. Dual lumen interchangeable monitor system
US8033525B2 (en) * 2008-05-13 2011-10-11 Honeywell International Inc. Valve trim adjustor for a poppet control valve
US8376311B2 (en) * 2008-07-23 2013-02-19 Honeywell International Inc. Valve adjustment assembly
US8186370B2 (en) * 2008-10-15 2012-05-29 Freudenberg-Nok General Partnership Solenoid plunger core seal
JP5508875B2 (ja) * 2010-01-26 2014-06-04 株式会社フジキン 流体制御器および流量制御装置
US9690301B2 (en) 2012-09-10 2017-06-27 Reno Technologies, Inc. Pressure based mass flow controller
US9188989B1 (en) 2011-08-20 2015-11-17 Daniel T. Mudd Flow node to deliver process gas using a remote pressure measurement device
US9448564B2 (en) 2013-02-15 2016-09-20 Reno Technologies, Inc. Gas delivery system for outputting fast square waves of process gas during semiconductor processing
US9958302B2 (en) 2011-08-20 2018-05-01 Reno Technologies, Inc. Flow control system, method, and apparatus
US9228674B2 (en) 2012-08-23 2016-01-05 Fisher Controls International, Llc Methods and apparatus to assemble actuators
US9052061B2 (en) * 2012-11-08 2015-06-09 Ge Oil & Gas Pressure Control Lp Well gate valve greasing tool and method of use
US9298195B2 (en) * 2012-11-14 2016-03-29 Rostra Vernatherm, Llc Thermally actuated power element with integral valve member
ITTV20130032A1 (it) * 2013-03-01 2014-09-02 Graziano Bravin "dispositivo per la filtrazione di liquidi organici"
JP6106524B2 (ja) * 2013-05-22 2017-04-05 サーパス工業株式会社 流量調整装置
EP2876340B1 (de) * 2013-11-22 2017-01-11 LacTec GmbH Absperrventil, insbesondere für eine Lackieranlage
US20170016544A1 (en) * 2013-11-28 2017-01-19 Ham-Let (Israel-Canada) Ltd. Valve Device for Controlling and Adjusting Fluid Passage
US9982786B2 (en) * 2014-05-30 2018-05-29 Applied Materials, Inc. Valve with adjustable hard stop
DE102015205126A1 (de) * 2015-03-20 2016-09-22 Gemü Gebr. Müller Apparatebau Gmbh & Co. Kommanditgesellschaft Ventil
JP6719960B2 (ja) * 2016-04-27 2020-07-08 サーパス工業株式会社 流量調整装置
US10303189B2 (en) 2016-06-30 2019-05-28 Reno Technologies, Inc. Flow control system, method, and apparatus
US10838437B2 (en) 2018-02-22 2020-11-17 Ichor Systems, Inc. Apparatus for splitting flow of process gas and method of operating same
US10679880B2 (en) 2016-09-27 2020-06-09 Ichor Systems, Inc. Method of achieving improved transient response in apparatus for controlling flow and system for accomplishing same
US11144075B2 (en) 2016-06-30 2021-10-12 Ichor Systems, Inc. Flow control system, method, and apparatus
US10663337B2 (en) 2016-12-30 2020-05-26 Ichor Systems, Inc. Apparatus for controlling flow and method of calibrating same
ES2868876T3 (es) * 2017-01-13 2021-10-22 Silverbow Dev Llc Ajuste de flujo de oxígeno a distancia
KR102451196B1 (ko) * 2018-02-22 2022-10-06 스웨이지락 캄파니 흐름 조정 기구를 갖는 흐름 제어 디바이스
JP7202597B2 (ja) * 2018-07-31 2023-01-12 株式会社フジキン アクチュエータおよびこれを用いたバルブ装置
US11927273B2 (en) 2019-11-18 2024-03-12 Swagelok Company Arrangements and methods for controlled valve flow rate
DE102019008017A1 (de) * 2019-11-19 2021-05-20 Vat Holding Ag Gaseinlassventil für Vakuumprozesskammern
WO2022186971A1 (en) 2021-03-03 2022-09-09 Ichor Systems, Inc. Fluid flow control system comprising a manifold assembly

Family Cites Families (54)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US697097A (en) * 1901-11-29 1902-04-08 Alvarado Mayer Automatic valve for steam fire-engines, &c.
US2593047A (en) * 1945-03-27 1952-04-15 Moore Inc Multiple slide valve and operator therefor
US2605748A (en) * 1948-02-25 1952-08-05 Rockwell Mfg Co Adjustable abutment for pistons
US2716395A (en) * 1951-08-22 1955-08-30 Hartford Special Machinery Co Fluid operated power apparatus and control mechanisms therefor
US2855176A (en) * 1954-04-28 1958-10-07 Grinnell Corp Diaphragm valves
US3175473A (en) * 1962-05-01 1965-03-30 Grinnell Corp Spring and fluid pressure actuator
US3138073A (en) * 1963-03-18 1964-06-23 Ct Circuits Inc Precision stroke piston and cylinder
US3512550A (en) * 1968-03-11 1970-05-19 William L Ammann Fluid pressure controlled valve
US3739693A (en) * 1969-10-09 1973-06-19 Robertshaw Controls Co Pneumatic positioning apparatus and parts therefor or the like
US3729168A (en) * 1971-08-13 1973-04-24 Acf Ind Inc Piston stop for piston operated valve
CH532738A (de) 1971-08-18 1973-01-15 Fischer Ag Georg Fernsteuerbares Membranventil
US4014514A (en) * 1975-06-27 1977-03-29 Hills-Mccanna Company High pressure diaphragm valve
US4180239A (en) 1977-06-13 1979-12-25 Electron Fusion Devices Inc. Metering valves
US4242947A (en) * 1978-07-28 1981-01-06 Renner And Lovelace, Inc. Hydraulic actuator
US4249458A (en) * 1979-05-11 1981-02-10 The Bendix Corporation Piston and extensible cylinder therefor
IL63319A0 (en) * 1981-07-15 1981-10-30 Kim Production Ltd Improved diaphragm valve
US4588163A (en) * 1983-03-10 1986-05-13 Dana Corporation Valve stem travel limiting apparatus
IL70201A (en) 1983-11-11 1989-03-31 M A L Ind Automation Systems L Solenoid actuated diaphragm control valve partdicularly for generating hydraulic pulses
DE3446096A1 (de) * 1984-12-18 1986-06-19 Wabco Westinghouse Fahrzeugbremsen GmbH, 3000 Hannover Sitzventileinrichtung
FR2591677B1 (fr) * 1985-12-17 1988-02-05 Videocolor Verin bi-pression
FR2612598B1 (fr) * 1987-03-17 1989-06-09 Air Liquide Robinet pour bouteille de gaz sous pression
GB8708745D0 (en) * 1987-04-11 1987-05-20 Lucas Ind Plc Fuel injection nozzles
DE3829783A1 (de) 1987-12-18 1989-06-29 Oventrop Sohn Kg F W Strangregulierventil fuer heizungsanlagen
US4968003A (en) 1988-09-26 1990-11-06 Nupro Company Diaphragm valve
US4899642A (en) * 1988-10-13 1990-02-13 Hwang Chrang Chuan Pneumatic combined with hydraulic brake chamber
US5112027A (en) 1989-06-21 1992-05-12 Benkan Corporation Metal diaphragm valve
DE59006623D1 (de) * 1990-03-31 1994-09-01 Honeywell Bv Vorrichtung zur Hubbegrenzung.
DE4134063A1 (de) * 1991-10-15 1993-04-22 Festo Kg Linearantrieb
US5279328A (en) * 1993-01-19 1994-01-18 Fluoroware, Inc. Weir valve with adjustable bypass
JP2852843B2 (ja) 1993-04-02 1999-02-03 株式会社ベンカン スローベントバルブ
JP2838959B2 (ja) 1993-06-15 1998-12-16 三菱電機株式会社 天井走行産業用ロボット装置
JP3287663B2 (ja) 1993-09-17 2002-06-04 清原 まさ子 制御器
CH689310A5 (de) * 1994-06-20 1999-02-15 Fischer Georg Rohrleitung Membranventil.
US5551477A (en) 1994-07-08 1996-09-03 Kabushiki-Kaisha Motoyama Seisakusho Diaphragm-type flow control valve and manual control valve apparatus
DE4442744C2 (de) 1994-12-01 2000-12-14 Danfoss As Einbauventil
JP3442604B2 (ja) 1996-02-15 2003-09-02 株式会社フジキン 混合ガスの供給方法及び混合ガス供給装置並びにこれらを備えた半導体製造装置
DE19606220C2 (de) * 1996-02-20 1998-08-27 Festo Ag & Co Arbeitszylinder
US5924441A (en) * 1996-09-11 1999-07-20 Fluoroware, Inc. Diaphragm valve
JP4035666B2 (ja) 1997-03-14 2008-01-23 Ｓｍｃ株式会社 サックバックバルブ
JP3962933B2 (ja) 1997-07-17 2007-08-22 Ｓｍｃ株式会社 サックバックバルブ
US5876189A (en) * 1997-12-09 1999-03-02 Lube Devices, Inc. Pumped fluid metering device for the precise feeding of a fluid
JP2000065240A (ja) * 1998-08-21 2000-03-03 Neriki:Kk 止め弁
US6123320A (en) * 1998-10-09 2000-09-26 Swagelok Co. Sanitary diaphragm valve
DE19960630B4 (de) * 1998-12-18 2014-01-16 Entegris, Inc. Kunststoffventil
JP3437799B2 (ja) * 1999-07-16 2003-08-18 藤倉ゴム工業株式会社 自動二段切換開閉弁
JP3502597B2 (ja) * 2000-07-07 2004-03-02 Ｓｍｃ株式会社 二方弁
JP2002139161A (ja) 2000-11-06 2002-05-17 Smc Corp 二方弁
US6629544B2 (en) * 2000-12-11 2003-10-07 Keihin Corporation Gas pressure-reducing valve
US6460825B1 (en) * 2001-05-11 2002-10-08 Sloan Valve Company Adjustment for piston-style flush valve
DE10161388A1 (de) * 2001-12-14 2003-07-03 Bayer Ag Ventil
ATE448047T1 (de) * 2002-05-22 2009-11-15 Hermle Berthold Maschf Ag Werkzeughandhabungsvorrichtung für eine werkzeugmaschine
JP3890561B2 (ja) * 2002-07-12 2007-03-07 Ｓｍｃ株式会社 弁開度を調整可能な２ポート真空バルブ
EP1601900A2 (en) 2003-03-07 2005-12-07 Swagelok Company Valve with adjustable stop
US20060191777A1 (en) * 2005-02-18 2006-08-31 Glime William H Flow control device with flow adjustment mechanism

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100840659B1 (ko) * 2006-09-06 2008-06-24 동부일렉트로닉스 주식회사 디이모스 소자의 제조 방법
KR20150052021A (ko) * 2012-07-27 2015-05-13 웨스팅하우스 일렉트릭 컴퍼니 엘엘씨 도관 길이 조정 장치 및 방법
KR20190104886A (ko) * 2018-03-02 2019-09-11 가부시키가이샤 호리바 에스텍 유체 제어 밸브 및 유체 제어 장치

Also Published As

Publication number Publication date
EP1601900A2 (en) 2005-12-07
WO2004081428A2 (en) 2004-09-23
US20040244850A1 (en) 2004-12-09
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US7337805B2 (en) 2008-03-04

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