JP3287663B2 - 制御器 - Google Patents

制御器

Info

Publication number
JP3287663B2
JP3287663B2 JP23061293A JP23061293A JP3287663B2 JP 3287663 B2 JP3287663 B2 JP 3287663B2 JP 23061293 A JP23061293 A JP 23061293A JP 23061293 A JP23061293 A JP 23061293A JP 3287663 B2 JP3287663 B2 JP 3287663B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
handle
stem
bonnet
lock
rotating
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP23061293A
Other languages
English (en)
Other versions
JPH0783338A (ja
Inventor
茂 糸井
徹哉 小島
Original Assignee
清原 まさ子
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 清原 まさ子 filed Critical 清原 まさ子
Priority to JP23061293A priority Critical patent/JP3287663B2/ja
Priority to TW083106880A priority patent/TW270969B/zh
Priority to SG1996000777A priority patent/SG44480A1/en
Priority to DE69400742T priority patent/DE69400742T2/de
Priority to EP94306249A priority patent/EP0651190B1/en
Priority to KR1019940021543A priority patent/KR0153230B1/ko
Priority to US08/297,551 priority patent/US5439197A/en
Priority to CA002131577A priority patent/CA2131577C/en
Publication of JPH0783338A publication Critical patent/JPH0783338A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3287663B2 publication Critical patent/JP3287663B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K35/00—Means to prevent accidental or unauthorised actuation
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K7/00—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves
    • F16K7/12—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm
    • F16K7/14—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat
    • F16K7/16—Diaphragm valves or cut-off apparatus, e.g. with a member deformed, but not moved bodily, to close the passage ; Pinch valves with flat, dished, or bowl-shaped diaphragm arranged to be deformed against a flat seat the diaphragm being mechanically actuated, e.g. by screw-spindle or cam
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/50—Mechanical actuating means with screw-spindle or internally threaded actuating means
    • F16K31/506—Mechanical actuating means with screw-spindle or internally threaded actuating means with plural sets of thread, e.g. with different pitch
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K31/00—Actuating devices; Operating means; Releasing devices
    • F16K31/44—Mechanical actuating means
    • F16K31/60—Handles
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
    • F16K—VALVES; TAPS; COCKS; ACTUATING-FLOATS; DEVICES FOR VENTING OR AERATING
    • F16K51/00—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus
    • F16K51/02—Other details not peculiar to particular types of valves or cut-off apparatus specially adapted for high-vacuum installations
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05G—CONTROL DEVICES OR SYSTEMS INSOFAR AS CHARACTERISED BY MECHANICAL FEATURES ONLY
    • G05G23/00—Means for ensuring the correct positioning of parts of control mechanisms, e.g. for taking-up play

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Automation & Control Theory (AREA)
  • Preventing Unauthorised Actuation Of Valves (AREA)
  • Mechanically-Actuated Valves (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、主に半導体製造装置や
原子力発電プラント等の流体管路に於いて使用される制
御器の改良に係り、特に微流量調整が可能なダイヤフラ
ム型の制御器に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体製造装置等に於いて使用
される高純度ガス用の制御器は、所謂パーティクルフリ
ーやデッドスペースフリーと云う特性が厳しく要求され
る。その為、半導体製造の分野では、前記パーティクル
フリーやデッドスペースフリーの要求を構造的に充足し
易いダイヤフラム型の制御器（特にダイレクトダイヤフ
ラム弁）が多く使用されている。
【０００３】しかし、ダイヤフラム型の制御器は、一般
にダイヤフラムの作動ストロークが極めて小さい為、本
質的に流量等の調整には適さないと云う難点がある。特
に手動操作によって流量の微調整を行うのは極めて困難
である。
【０００４】そこで、本件出願人は、前述のような問題
を解決すべく手動操作による正確な微流量調整を可能と
したダイヤフラム型の制御器を開発し、これを特開平５
−７９５７０号として公開している。
【０００５】即ち、前記制御器は、図５に示す如く、流
体通路３０ａ、弁室３０ｂ及び弁座３０ｃ等を有するボ
ディ３０と、弁座３０ｃに当離座するダイヤフラム３１
と、下端部が弁室３０ｂに挿入され、ダイヤフラム３１
の周縁部を押えアダプター３２を介して気密状に押さえ
ると共に、上部内周面に雌ネジ部３３ａを形成した筒状
のボンネット３３と、ボンネット３３をボディ３０に固
定するボンネットナット３４と、ボンネット３３の下端
部内方に収容され、ダイヤフラム押え３５を備えたディ
スク３６と、ディスク３６の上方でボンネット３３内に
廻り止めした状態で昇降自在に挿入され、内周面にボン
ネット３３の雌ネジ部３３ａのネジピッチよりも小さい
ネジピッチの雌ネジ部３７ａを形成した筒状のスライド
ステム３７と、内側にスライドステム３７の雌ネジ部３
７ａに螺合する第１雄ネジ部３８ａを、外側にボンネッ
ト３３の雌ネジ部３３ａに螺合する第２雄ネジ部３８ｂ
を夫々同心状に備え、回転によりスライドステム３７を
昇降動させる回動ステム３８と、回動ステム３８の上端
部に固定され、下端部がボンネット３３の上端部外周面
を囲繞する略筒状のハンドル３９と、ハンドル３９に設
けたハンドルロックネジ４０等から構成されている。。
尚、図４に於いて、４１はスプリング、４２はパネル止
めナット、４３は廻り止めネジ、４４はインジケータ、
４５は袋ナット、４６はストッパーである。
【０００６】而して、ハンドル３９の回転操作によって
回動ステム３８を回転させると、回動ステム３８はボン
ネット３３の雌ネジ部３３ａへ螺合した外側の第２雄ネ
ジ部３８ｂにより、回転しつつ昇降動する。回動ステム
３８が回転しつつ昇降動すると、スライドステム３７の
雌ネジ部３７ａと螺合する内側の第１雄ネジ部３８ａの
回転により、スライドステム３７が廻り止めされた状態
で昇降動する。即ち、回動ステム３８が一回転すると、
スライドステム３７は第２雄ネジ部３８ｂのネジピッチ
と第１雄ネジ部３８ａのネジピッチとの差だけ昇降動す
る。従って、この制御器は、第１雄ネジ部３８ａと第２
雄ネジ部３８ｂとのネジピッチ差を適宜に設定すること
により、回動ステム３８の回転に対するスライドステム
３７の昇降量、即ちダイヤフラム３１のストロークを極
めて微細に調整するとができる。その結果、手動操作に
よって高精度な微流量調整が行える等、優れた実用的効
用を奏するものである。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前記制御器
に於いては、ハンドル３９を回転操作して流量が設定流
量になったら、ハンドル３９をロックネジ４０によりボ
ンネット３３側（袋ナット４５）へロックして各ステム
３７，３８を回転不能且つ昇降動不能にし、流量が設定
流量に保たれるようにしている。ところが、前記制御器
に於いては、ハンドル３９をロックする前とハンドル３
９をロックした後とでは、設定流量が変動すると云う問
題があった。即ち、ロックネジ４０を締め付けたとき
に、ハンドル３９がハンドル３９内周面とボンネット３
３側（袋ナット４５及びインジケータ４４）との間隙分
だけハンドル３９の軸線と直交する方向へ移動すること
があった。その結果、各ステム３７，３８もハンドル３
９と同じ方向の力を受けて変位し、これに伴って設定流
動が変動することがあった。特に、この制御器は、微流
量調整用である為、各ステム３７，３８が僅かに変位し
た場合でも、設定流動が変動することになり、極めて問
題である。
【０００８】本発明は、上記の問題点を解消する為に創
案されたものであり、その目的はハンドルをロックして
も、設定流量に変動を来さないようにした制御器を提供
するにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成する為
に、本発明の制御器は、流体通路、弁室及び弁座を有す
るボディに、ボンネットを介してステムを回転且つ昇降
自在に支持し、このステムの上端部に、これを回転操作
すると共にボンネットの上端部外周面を囲繞するハンド
ルを固定し、当該ハンドルにボンネット側へ当接可能な
ロックネジを設け、このロックネジをボンネット側へ締
め付けることによって、ハンドルをボンネット側へロッ
クするようにした制御器に於いて、前記ハンドルを、ス
テムの上端部に固定したハンドル本体と、ハンドル本体
の下端部に遊嵌状態で嵌合され、ステムの軸線と直交す
る方向へ移動可能で且つボンネットの上端部外周面を囲
繞し得る筒状のロックハンドルとから構成し、当該ハン
ドル本体とロックハンドルの嵌合部分に、両者を連結し
且つロックハンドルをステムの軸線と直交する方向への
み移動可能とする連結機構を設け、又、前記ロックネジ
を、ロックハンドルの移動方向へ沿う姿勢でロックハン
ドルに設けたものである。
【００１０】
【作用】ロックハンドルに設けたロックネジを締め付け
ると、ロックハンドルのみがロックハンドルの内周面と
ボンネット側との間隙分だけステムの軸線と直交する方
向へ移動し、ロックハンドルの内周面がボンネット側に
押圧される。その結果、ハンドルがロック状態になり、
ステムも回転不能且つ昇降動不能になる。この制御器
は、ハンドルのロック時にはロックハンドルのみがステ
ムの軸線と直交する方向へ移動する為、ステムに固定さ
れたハンドル本体はロックハンドルの移動方向へ力を受
けることがなく、よってステムも同方向への力を受ける
ことがない。その結果、ハンドルのロックによるステム
の変位を防止することができ、ハンドルのロック前とロ
ック後とで設定流量が変動すると云うこともない。
【００１１】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細
に説明する。図１は本発明の実施例に係るダイヤフラム
型の制御器の縦断面図であって、当該制御器は、手動操
作によって高精度の微流量制御を行えると共に、ダイヤ
フラム２を直接弁座１ｃに当離座させて流体通路１ａを
開閉するようにしたものであり、１はボディ、２はダイ
ヤフラム、３はボンネット、４はボンネットナット、５
は押えアダプター、６はディスク、７はスプリング、８
はダイヤフラム押え、９はスライドステム１０及び回動
ステム１１から成るステム、１２はハンドル、１３は連
結機構、１４はロックネジ、１５はストッパーである。
【００１２】前記ボディ１は、ステンレス鋼等の金属材
により断面形状略十字型に形成されて居り、内部には流
体通路１ａが形成されている。又、ボディ１の上部には
流体通路１ａに連通する上方が開放された凹状の弁室１
ｂが形成されて居り、当該弁室１ｂの底面には弁座１ｃ
がボディ１と一体的に形成されている。
【００１３】前記ダイヤフラム２は、ステンレス鋼、イ
ンコネル（商標名）、形状記憶合金等の金属製薄板によ
り中央部を上方へ膨出せしめた皿状に形成されて居り、
その外周縁部が弁室１ｂ底面の外周縁部に載置されてい
ると共に、中央部が上下動して弁座１ｃに当離座するよ
うになっている。又、ダイヤフラム２は、ボディ１に螺
着したボンネットナット４を締め込むことによって、弁
室１ｂ内へ挿入した環状の押えアダプター５とボンネッ
ト３の下端部とにより、弁室１ｂの底面側へ押圧され、
気密状態で保持固定されている。
【００１４】前記ボンネット３は、筒状に形成されて居
り、ボディ１内へ挿入される下部の内径は太径に形成さ
れ、ディスク６の収容部３ａとなっている。又、ボンネ
ット３の中央部の内径はやや細径に形成され、後述する
スライドステム１０のガイド部３ｂとなっている。更
に、ボンネット３の上部の内径はやや太径に形成され、
その内周面には後述する回動ステム１１が螺合する雌ネ
ジ部３ｃが形成されている。本実施例では、雌ネジ部３
ｃのネジピッチは、０．５５ｍｍに設定されている。当
該ボンネット３は、その下端部がボディ１の弁室１ｂ内
に挿入され、ボンネットナット４を締め込むことによ
り、ボディ１側へ押圧固定されている。尚、ボンネット
３の上部外周面には筒状のインジケータ１６が嵌合さ
れ、ボンネット３の上端部に螺着した袋ナット１７によ
り抜け止めされている。
【００１５】前記ディスク６は、ボンネット３の収容部
３ａに昇降自在に挿入されて居り、下端面にはダイヤフ
ラム２の中央部上面に常時当接する合成樹脂製のダイヤ
フラム押え８が嵌着されている。又、ディスク６は、こ
れと押えアダプター５との間に介装したスプリング７に
より上方へ附勢されている。
【００１６】前記ステム９は、ボンネット３内に昇降自
在に挿入され、ディスク６及びダイヤフラム押え８を下
方へ押圧してダイヤフラム２の中央部を弁座１ｃへ当座
させるものであり、スライドステム１０と回動ステム１
１とから構成されている。即ち、スライドステム１０
は、中空状を呈し、ボンネット３内に廻り止めした状態
で昇降自在に挿入されて居り、その下端面がディスク６
に当接している。本実施例では、スライドステム１０
は、その外周面に形成した縦向きのガイド溝１０ｂ内
へ、ボンネット３に螺着した廻り止めネジ１８の先端部
を係合させることにより、ボンネット３に対して廻り止
めされた状態で昇降動することになる。又、スライドス
テム１０の内周面にはボンネット３の雌ネジ部３ｃのネ
ジピッチよりも小さいネジピッチの雌ネジ部１０ａが形
成されている。本実施例では、雌ネジ部１０ａのネジピ
ッチは、０．５ｍｍに設定されている。一方、回動ステ
ム１１は、内側の軸状の第１部材１１′と外側の筒状の
第２部材１１″とを一体的に連結固定したものであり、
スライドステム１０の上方にこれと同軸芯状に配設さ
れ、上部がボンネット３から上方へ突出すべくボンネッ
ト３へ昇降自在に取り付けられている。具体的には、第
１部材１１′は、中間部にテーパ部１１ｂを有する軸状
を呈し、下部外周面にスライドステム１０の雌ネジ部１
０ａへ螺合する第１雄ネジ部１１ａが形成されて居り、
その上部がボンネット３から突出するようにスライドス
テム１０内へ螺挿されている。本実施例では、第１雄ネ
ジ部１１ａのネジピッチは、０．５ｍｍに設定されてい
る。又、第２部材１１″は、筒状を呈し、下部外周面に
ボンネット３の雌ネジ部３ｃへ螺合する第２雄ネジ部１
１ｃが形成されて居り、その上部がボンネット３から突
出するようにボンネット３内へ螺挿されている。本実施
例では、第２雄ネジ部１１ｃのネジピッチは、０．５５
ｍｍに設定されている。当該第１部材１１′と第２部材
１１″とは、第１部材１１′の上部を第２部材１１″に
挿通して第２部材１１″の上方へ突出せしめ、この部分
を固定用ナット１９で締め込むことによって、一体的に
連結固定されている。このとき、両部材１１′，１１″
はテーパ部１１ｂによって芯出しが行われ、第１雄ネジ
部１１ａと第２雄ネジ部１１ｃとは同心状になる。尚、
ボンネット３の雌ネジ部３ｃ、スライドステム１０の雌
ネジ部１０ａ、第１部材１１′の第１雄ネジ部１１ａ及
び第２部材１１″の第２雄ネジ部１１ｃのネジの向き
は、回動ステム１１を回転して下降させたときにスライ
ドステム１０も下降するように設定されている。
【００１７】前記ハンドル１２は、回動ステム１１の第
２部材１１″の上部にハンドル固定用ネジ２０により固
定され、上端が閉塞された略筒状のハンドル本体１２′
と、ハンドル本体１２′の下端部にＯリング２１を介し
て遊嵌状態で嵌合され、ステム９の軸線Ｙと直交する方
向へ移動可能で且つボンネット３の上部外周面（インジ
ケータ１６及び袋ナット１７の外周面）を囲繞し得る筒
状のロックハンドル１２″とから構成されて居り、ロッ
クハンドル１２″がインジケータ１６の外周面に沿って
回転且つ昇降動することによって、制御器の開度や流量
調整度を直読できるようになっている。
【００１８】前記連結機構１３は、ハンドル本体１２′
とロックハンドル１２″の嵌合部分に設けられて居り、
ハンドル本体１２′とロックハンドル１２″を連結し且
つロックハンドル１２″をステム９の軸線Ｙと直交する
方向へのみ移動可能にするものである。具体的には、連
結機構１３は、図に示す如く、ハンドル本体１２′の下
端部に対向状態で且つハンドル１２の軸線と直交する方
向に夫々穿設された一対のガイド孔１２ａと、ロックハ
ンドル１２″の上端部に穿設されてガイド孔１２ａと対
向する一対の取付け孔１２ｂと、一端部が取付け孔１２
ｂに締まりばめされ、他端部がガイド孔１２ａに隙間ば
めされた一対のガイドピン２２とから構成されている。
従って、ロックハンドル１２″は、２本のガイドピン２
２によってロックハンドル１２″の内周面とインジケー
タ１６及び袋ナット１７の外周面との間隙分だけガイド
ピン２２の軸線方向へ移動可能になり、且つ回転方向は
拘束されることになる。
【００１９】前記ロックネジ１４は、ロックハンドル１
２″に螺着されて居り、ロックハンドル１２″をボンネ
ット３側（袋ナット１７）へロックし得るものである。
本実施例では、ロックネジ１４は、ステム９の軸線Ｙと
直交し且つ２本のガイドピン２２の軸線と平行になるよ
うにロックハンドル１２″に螺着されて居り、その先端
部が袋ナット１７の外周面に当接可能になっている。
【００２０】前記ストッパー１５は、環状を呈し、回動
ステム１１の第２部材１１″の上部外周面に嵌合され、
固定用ネジ２３により第２部材１１″へ固定されて居
り、制御器の全閉時（ダイヤフラム２の中央部が弁座１
ｃに当座したとき）に袋ナット１７の上面に当接してス
テム９の下降を規制するものである。尚、ストッパー１
５の固定位置は、回動ステム１１、スライドステム１０
及びディスク６が下降してダイヤフラム２を弁座１ｃに
当座させたときにストッパー１５と袋ナット１７とが当
接するように設定されている。
【００２１】次に、前記制御器の作動について説明す
る。ハンドル１２を正逆回転させると、これに伴って回
動ステム１１も正逆回転し、ボンネット３に螺合する回
動ステム１１の第２部材１１″により、回動ステム１１
が回転しつつ昇降動する。
【００２２】回動ステム１１が回転しつつ昇降動する
と、回動ステム１１の第１部材１１′に螺合するスライ
ドステム１０が廻り止めネジ１８及びガイド溝１０ｂに
よって廻り止めされた状態で昇降動する。このとき、ス
ライドステム１０は、ハンドル１２が１回転につき第２
雄ネジ部１１ｃのネジピッチと第１雄ネジ部１１ａのネ
ジピッチとの差だけ昇降動することになる。本実施例で
は、スライドステム１０は、ハンドル１２が１回転する
毎に０．０５ｍｍ昇降動する。
【００２３】スライドステム１０が下降すると、ディス
ク６及びダイヤフラム押え８を介してダイヤフラム２の
中央部が下方へ押し下げられて弁座１ｃに当座し、又、
スライドステム１０が上昇すると、ディスク６がスプリ
ング７の反力により上昇すると共に、ダイヤフラム２が
その弾性力や流体圧により元の形状に復元し、弁座１ｃ
から離座する。その結果、ダイヤフラム２によって流体
通路１ａの有効流通面積が調整され、流体の流量制御が
行われる。尚、弁の開度や流量等は、インジケータ１６
上のロックハンドル１２″の下端の位置から直読され
る。
【００２４】この制御器は、第１雄ネジ部１１ａと第２
雄ネジ部１１ｃとのネジピッチ差でもってスライドステ
ム１０を昇降動させている為、回動ステム１１の回転に
対するスライドステム１０の昇降量即ちダイヤフラム２
のストロークを極めて微細に調整するとができ、手動操
作でも高精度の微流量調整が行える。又、制御器の閉弁
時には、第２部材１１″に設けたストッパー１５が袋ナ
ット１７の上面に当接して回動ステム１１の下降を規制
する為、ハンドル１２を締め過ぎると云うことがなく、
締め過ぎによるダイヤフラム２の損傷や破損を防止する
ことができる。
【００２５】そして、前記制御器は、ハンドル１２を回
転操作して流量が設定流量になったら、ハンドル１２を
ロックネジ１４によりボンネット３側（袋ナット１７）
へロックして回動ステム１１を回転不能且つ昇降動不能
にし、流量を設定流量に保つようにする。即ち、ロック
ハンドル１２″に螺着したロックネジ１４を締め付ける
と、図３及び図４に示す如く、ガイドピン２２の一端部
をハンドル本体１２′に隙間ばめしている為にロックハ
ンドル１２″のみがロックハンドル１２″の内周面とイ
ンジケータ１６及び袋ナット１７の外周面との間隙分だ
けガイドピン２２の軸線方向へ移動し、ロックハンドル
１２″の内周面がインジケータ１６及び袋ナット１７の
外周面に押圧される。その結果、ハンドル１２がロック
状態になり、回動ステム１１も回転不能且つ昇降動不能
になる。尚、ロックハンドル１２″がステム９の軸線Ｙ
と直交する方向へ移動しても、ハンドル本体１２′はロ
ックハンドル１２″の移動方向へ力を受けることがな
く、よってステム９も同方向への力を受けることがな
い。その結果、ハンドル１２のロックによってステム９
が変位することがなく、ハンドル１２のロック前とロッ
ク後とで設定流量が変動すると云うこともない。
【００２６】上記実施例に於いては、ダイヤフラム２を
直接弁座１ｃへ当離座させる構成としているが、ダイヤ
フラム２の下方にディスク６を配設し、これを弁座１ｃ
へ当離座させるようにしても良い。
【００２７】上記実施例に於いては、第１部材１１′と
第２部材１１″とを別体とし、両者を固定用ナット１９
で連結固定するようにしているが、両者を一体的に形成
するようにしても良い。
【００２８】上記実施例に於いては、回動ステム１１を
手動で回転させるようにしたが、回動ステム１１をモー
タ等で回転駆動するようにしても良い。
【００２９】上記実施例に於いては、ストッパー１５を
袋ナット１７の上面に当接させて回動ステム１１の下降
量を規制するようにしたが、袋ナット１７がない場合に
はストッパー１５をボンネット３の上面に当接させて回
動ステム１１の下降量を規制するようにしても良い。
【００３０】上記実施例に於いては、ガイドピン２２の
一端部を取付け孔１２ｂに締まりばめし、他端部をガイ
ド孔１２ａに隙間ばめしたが、ガイドピン２２の一端部
をガイド孔１２ａに締まりばめし、他端部を取付け孔１
２ｂに隙間ばめするようにしても良い。
【００３１】上記実施例に於いては、連結機構１３を、
取付け孔１２ｂと、ガイド孔１２ａと、ガイドピン２２
とから構成したが、連結機構１３の構成は上記実施例の
ものに限定されるものではなく、ハンドル本体１２′と
ロックハンドル１２″を連結でき且つロックハンドル１
２″のみをステム９の軸線Ｙと直交する方向へのみ移動
可能にできれば、その構成は任意である。
【００３２】上記実施例に於いては、ロックネジ１４の
先端部を袋ナット１７に当接させるようにしたが、袋ナ
ット１７がない場合にはロックネジ１４の先端部をボン
ネット３の外周面やインジケータ１６の外周面に当接さ
せてロックハンドル１２″をロックするようにしても良
い。
【００３３】
【発明の効果】上述の通り、本発明は、ステムを回転操
作するハンドルを、ステムの上端部に固定したハンドル
本体と、ハンドル本体の下端部に遊嵌状態で嵌合され、
ステムの軸線と直交する方向へ移動可能で且つボンネッ
トの上端部外周面を囲繞し得る筒状のロックハンドルと
から構成し、当該ハンドル本体とロックハンドルの嵌合
部分に、両者を連結し且つロックハンドルをステムの軸
線と直交する方向へのみ移動可能にする連結機構を設
け、前記ロックハンドルにこれの移動方向へ沿う姿勢で
且つロックハンドルをボンネット側へロックし得るロッ
クネジを設けるようにしている為、ハンドルをロックネ
ジによってロックしても、ロックハンドルのみがステム
の軸線と直交する方向へ移動し、ハンドル本体はロック
ハンドルの移動方向へ力を受けることがなく、よってス
テムも同方向への力を受けることがない。その結果、ハ
ンドルのロックによってステムが変位することがなく、
ハンドルのロック前とロック後とで設定流量が変動する
と云うこともない。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の実施例に係るダイヤフラム型の制御器
の拡大縦断面図である。
【図２】図１のＡ−Ａ線拡大断面図である。
【図３】ハンドルをロックした状態の要部の拡大縦断面
図である。
【図４】図３のＢ−Ｂ線拡大断面図である。
【図５】従来のダイヤフラム型の制御器の縦断面図であ
る。
【符号の説明】
１はボディ、１ａは流体通路、１ｂは弁室、１ｃは弁
座、３はボンネット、９はステム、１２はハンドル、１
２′はハンドル本体、１２″はロックハンドル、１３は
連結機構、１４はロックネジ。

Claims (1)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 流体通路（１ａ）、弁室（１ｂ）及び弁
    座（１ｃ）を有するボディ（１）に、ボンネット（３）
    を介してステム（９）を回転且つ昇降自在に支持し、こ
    のステム（９）の上端部に、これを回転操作すると共に
    ボンネット（３）の上端部外周面を囲繞するハンドル
    （１２）を固定し、当該ハンドル（１２）にボンネット
    （３）側へ当接可能なロックネジ（１４）を設け、この
    ロックネジ（１４）をボンネット（３）側へ締め付ける
    ことによって、ハンドル（１２）をボンネット（３）側
    へロックするようにした制御器に於いて、前記ハンドル
    （１２）を、ステム（９）の上端部に固定したハンドル
    本体（１２′）と、ハンドル本体（１２′）の下端部に
    遊嵌状態で嵌合され、ステム（９）の軸線（Ｙ）と直交
    する方向へ移動可能で且つボンネット（３）の上端部外
    周面を囲繞し得る筒状のロックハンドル（１２″）とか
    ら構成し、当該ハンドル本体（１２′）とロックハンド
    ル（１２″）の嵌合部分に、両者を連結し且つロックハ
    ンドル（１２″）をステム（９）の軸線（Ｙ）と直交す
    る方向へのみ移動可能とする連結機構（１３）を設け、
    又、前記ロックネジ（１４）を、ロックハンドル（１
    ２″）の移動方向へ沿う姿勢でロックハンドル（１
    ２″）に設けたことを特徴とする制御器。
JP23061293A 1993-09-17 1993-09-17 制御器 Expired - Fee Related JP3287663B2 (ja)

Priority Applications (8)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23061293A JP3287663B2 (ja) 1993-09-17 1993-09-17 制御器
TW083106880A TW270969B (ja) 1993-09-17 1994-07-27
DE69400742T DE69400742T2 (de) 1993-09-17 1994-08-24 Durchflussregelventil
EP94306249A EP0651190B1 (en) 1993-09-17 1994-08-24 Flow rate control valve
SG1996000777A SG44480A1 (en) 1993-09-17 1994-08-24 Flow rate control valve
KR1019940021543A KR0153230B1 (ko) 1993-09-17 1994-08-30 유량제어밸브
US08/297,551 US5439197A (en) 1993-09-17 1994-08-31 Flow rate control valve
CA002131577A CA2131577C (en) 1993-09-17 1994-09-07 Flow rate control valve

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP23061293A JP3287663B2 (ja) 1993-09-17 1993-09-17 制御器

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0783338A JPH0783338A (ja) 1995-03-28
JP3287663B2 true JP3287663B2 (ja) 2002-06-04

Family

ID=16910495

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP23061293A Expired - Fee Related JP3287663B2 (ja) 1993-09-17 1993-09-17 制御器

Country Status (8)

Country Link
US (1) US5439197A (ja)
EP (1) EP0651190B1 (ja)
JP (1) JP3287663B2 (ja)
KR (1) KR0153230B1 (ja)
CA (1) CA2131577C (ja)
DE (1) DE69400742T2 (ja)
SG (1) SG44480A1 (ja)
TW (1) TW270969B (ja)

Families Citing this family (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
DE29513000U1 (de) * 1995-08-12 1995-10-12 Balzers Prozess Systeme Vertri Vakuumventil
US5725198A (en) * 1996-02-20 1998-03-10 Ohmeda Inc. Non-rotating needle valve
JP3825517B2 (ja) * 1996-12-17 2006-09-27 独立行政法人産業技術総合研究所 薄膜製造装置用噴霧ノズル弁
DK0959283T3 (da) * 1998-05-16 2003-01-06 Richter Albert Ari Armaturen Ventil
KR20000001126A (ko) * 1998-06-03 2000-01-15 아리 아르마투렌 알베르트 리히터 게엠베하 운트 콤파니 카게 밸브
JP2001116008A (ja) * 1999-10-18 2001-04-27 Smc Corp 圧力調整機構
US6241213B1 (en) * 2000-03-07 2001-06-05 Itt Manufacturing Enterprises, Inc. Diaphragm valve
JP3482180B2 (ja) * 2000-07-31 2003-12-22 日本原子力研究所 微小流量調整弁
ITGE20010004U1 (it) * 2001-03-16 2002-09-16 Carpigiani Group Ali Spa Dispositivo di sicurezza per i rubinetti del tipo con otturatore a disco scorrevole in un settore tubolare ad arco di cerchio, per macchine
KR20040098664A (ko) * 2002-03-18 2004-11-20 엔테그리스, 아이엔씨. 완전 배출식 위어 밸브
WO2004081428A2 (en) 2003-03-07 2004-09-23 Swagelok Company Valve with adjustable stop
US20050199292A1 (en) * 2004-03-10 2005-09-15 Stedman David W. Fluid device actuator with manual override
TWM276133U (en) * 2004-12-07 2005-09-21 Metal Ind Res & Dev Ct Pushing block applied in the valve
JP2008530481A (ja) * 2005-02-18 2008-08-07 スワゲロック カンパニー フロー調節機構を有するフロー制御デバイス
US8104742B2 (en) 2005-12-02 2012-01-31 Ckd Corporation Flow control valve
US7987869B2 (en) * 2008-12-12 2011-08-02 Masco Corporation Of Indiana Valve stem holding device
FR2966944B1 (fr) * 2010-11-03 2012-11-02 Legris Sas Dispositif de reglage pour circuit de transport de fluide
CN102853101B (zh) * 2011-06-27 2013-10-02 浙江三花股份有限公司 一种流量调节阀
US9618132B2 (en) * 2011-07-13 2017-04-11 GM Global Technology Operations LLC Temperature dependent variable flow orifice
US9016307B2 (en) * 2012-07-20 2015-04-28 Itt Manufacturing Enterprises Llc. Quick connect, post energized flanged joint for a diaphragm valve
US20140103240A1 (en) * 2012-10-17 2014-04-17 Swagelok Company Actuator with dual drive
US9920840B2 (en) 2014-08-08 2018-03-20 Clark-Reliance Corporation Valve with different threads for preventing rotation of and locking bonnet within valve
US9927041B2 (en) * 2014-08-29 2018-03-27 A. Raymond Et Cie Fluid control valve utilizing shape memory alloy driving spring
JP6491878B2 (ja) * 2014-12-25 2019-03-27 株式会社フジキン 流体制御器
JP6491877B2 (ja) * 2014-12-25 2019-03-27 株式会社フジキン 流体制御器
JP6530929B2 (ja) * 2015-02-27 2019-06-12 株式会社フジキン 流体制御器
US20170254441A1 (en) * 2016-03-03 2017-09-07 Weston Rocco Furia Fluid dispensing apparatus regulated by a throttle-like handle
JP6836108B2 (ja) * 2016-05-06 2021-02-24 Toto株式会社 流量調整バルブ
JP6873391B2 (ja) * 2016-05-06 2021-05-19 Toto株式会社 流量調整バルブおよびその製造方法
US11486514B2 (en) * 2020-09-11 2022-11-01 Ge Aviation Systems Llc Valve assembly and lockout mechanism
CN112361055B (zh) * 2020-11-25 2022-07-12 江苏博特威流体科技有限公司 一种具有防盗功能的高密封性的智能阀门
CN112392981B (zh) * 2020-12-03 2022-04-12 西安西材三川智能制造有限公司 一种特种气体用隔膜阀及其制造方法
CN116412185A (zh) * 2021-12-29 2023-07-11 梅特勒-托利多(常州)精密仪器有限公司 液压系统微量调节装置及包括其的料罐标定系统
US11913563B2 (en) 2021-12-30 2024-02-27 Applied Materials, Inc. Temperature actuated valve and methods of use thereof

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3210040A (en) * 1961-12-07 1965-10-05 Thurlow William Lloyd Faucet adapter
US3280836A (en) * 1962-09-28 1966-10-25 Nuclear Products Company Double pattern metering valve
US3475005A (en) * 1966-04-13 1969-10-28 Albert L Semon Lock stem valves
CH473347A (de) * 1968-12-20 1969-05-31 Balzers Patent Beteilig Ag Gasdosierventil
US3637188A (en) * 1970-01-13 1972-01-25 Baldwin Lima Hamilton Corp Multistage throttle valve
US3840041A (en) * 1971-01-25 1974-10-08 B Mcmurray Magnetic lock and wrench
DE2334243A1 (de) * 1973-07-05 1975-01-23 Karl Hehl Bedienungseinrichtung, insbesondere fuer ein drosselventil an einer spritzgiessmaschine
DE3125347C2 (de) * 1981-06-27 1983-04-07 Rheinische Armaturen- und Maschinenfabrik Albert Sempell, 4052 Korschenbroich "Einstellbare Armaturenverriegelung"
US4620428A (en) * 1983-02-10 1986-11-04 Productive Instrument & Machine, Inc. Lock and coupling for securing fire hydrants
US4687181A (en) * 1985-05-01 1987-08-18 Nupro Company Metering valve
US5295662A (en) * 1991-08-26 1994-03-22 Masako Kiyohara Fluid flow-controller with improved diaphragm
JP3012047B2 (ja) * 1991-09-19 2000-02-21 清原 まさ子 制御器
JPH0643429U (ja) * 1992-11-12 1994-06-10 株式会社ベンカン 閉弁ロック機構付ダイヤフラム弁

Also Published As

Publication number Publication date
DE69400742D1 (de) 1996-11-21
SG44480A1 (en) 1997-12-19
KR0153230B1 (ko) 1999-02-18
US5439197A (en) 1995-08-08
DE69400742T2 (de) 1997-05-22
TW270969B (ja) 1996-02-21
CA2131577A1 (en) 1995-03-18
EP0651190B1 (en) 1996-10-16
CA2131577C (en) 1999-01-26
KR950008997A (ko) 1995-04-21
JPH0783338A (ja) 1995-03-28
EP0651190A1 (en) 1995-05-03

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP3287663B2 (ja) 制御器
US5112027A (en) Metal diaphragm valve
US5452741A (en) Pressure reducing valve
US4553277A (en) Faucet and clamping mechanism
JP2927582B2 (ja) 制御器
US4257450A (en) Pressure-reducing regulator valve for high-pressure gases
US6003535A (en) Micro control valve and apparatus and method for making semiconductors with high purity process gas
JP3012047B2 (ja) 制御器
JPH1172170A (ja) 弁の最大開口を調節可能に設定する手段を具えたダイヤフラム弁
EP0597424B1 (en) Flow control device
JP2541613Y2 (ja) 制御器
US8640732B1 (en) High pressure inlet regulator
US4129284A (en) Metering valve
JP2001050421A (ja) バルブアセンブリ
US4714235A (en) Constant displacement dual position cam stop assembly
US4575043A (en) Needle valve
US2086942A (en) Pressure relief valve
JPH0238765A (ja) 弁閉止体を調整するための方法と装置
AU2011207112B2 (en) A tap valve assembly
US20210388914A1 (en) Valve device and gas supply system
JPH0249431B2 (ja)
JP3396695B2 (ja) 分流用バルブ
JP7448368B2 (ja) 手動用ダイヤフラムバルブ
JP2999417B2 (ja) 流体制御機器
JPS6128928Y2 (ja)

Legal Events

Date Code Title Description
R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090315

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090315

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (event date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100315

Year of fee payment: 8

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees