JP7448368B2 - 手動用ダイヤフラムバルブ - Google Patents

Description

本発明は、例えば、半導体製造装置に使用され、ハンドルなどの手動操作により流路を開閉する手動用ダイヤフラムバルブに関し、特に、全開時の流量を高精度に調整可能とした手動用ダイヤフラムバルブに関する。

この種の手動用ダイヤフラムバルブは、半導体製造用ガス供給系の元弁として使用されることが多く、ステム（操作杆）の上部に設けられた手動ハンドルの操作によりステムを昇降動させ、流路が全開又は全閉状態とされる。通常、この手動用ダイヤフラムバルブが設置された流路の二次側には、分岐流路が並列状に分岐して設けられ、各分岐流路に同じ流量が流れるように設けられる。各分岐流路には、自動操作可能な自動ダイヤフラムバルブが接続され、各自動ダイヤフラムバルブによって、これらバルブよりも二次側への流量がそれぞれ調整されることが多い。
このため、手動用ダイヤフラムバルブを元弁として使用するときには、二次側の各ダイヤフラムで流量制御を高精度におこなうために、その一次側である手動用ダイヤフラムバルブの全開時の流量が正確に設定されていることが要求される。

元弁として使用される手動用ダイヤフラムバルブとして、例えば、本出願人は、特許文献１のバルブを出願している。このダイヤフラムバルブは、弁軸の上部に手動用ハンドル本体が取り付けられ、このハンドル本体を略９０°の回転角度で回動させることにより弁軸を通して弁体（ダイヤフラム）を動作させ、流路を開閉操作する。この場合、ハンドル本体の回動範囲を規制することで、弁体の開閉範囲を設定できることが一般に知られており、このようなハンドルの回転規制構造として、ハンドルの底面に連結ピンを突出させて取付け、一方、バルブ本体の上面に略９０°の角度で連結ピン溝を形成し、連結ピンを連結ピン溝に案内させることで、ハンドル本体の回転領域を設定する場合がある。これによると、コンパクト性を維持しつつ、凹凸部分（連結ピン、連結ピン溝）の係合による簡易な構造で弁体の開閉動作を規制し、全開時の流量を設定可能となる。

特許第６５８０３７７号公報

しかしながら、ダイヤフラムバルブを構成する各部品は、製造時に寸法差を生じるため、組立後のバルブ内部の寸法を完全に一致させることは難しく、例えば、ダイヤフラムの僅かな歪みや形状のばらつきや、弁座をボデーにかしめ等により固定したときの弁座の形状や高さのばらつきなどが生じる。これらのバルブの内部形状の個体差は、バルブ全開時の開度に大きく影響し、例えば、前述した特許文献１の手動用ダイヤフラムバルブに対して凹凸部分（連結ピン、連結ピン溝）の係合による回転規制構造を設け、この回転規制構造によってハンドルの回転角度を９０°に規制しようとするときには、その回転角度に誤差が生じてバルブごとに全開時の流量に個体差が発生するおそれがある。

その結果、二次側に接続された自動ダイヤフラムバルブ以降の半導体製造プロセス結果に差があらわれる可能性があることから、製造プロセスを均一化させるために、二次側の全ての自動ダイヤフラムバルブを個別に流量調整する必要が生じることもある。
このように、ハンドル側とバルブ本体側とを凹凸状の係合部等によりハンドル本体の回転角度を調整不能に規制した場合には、バルブの個体差によるＣｖ値の差異を抑えることが難しくなり、また、二次側の自動ダイヤフラムバルブをそれぞれ流量調整する場合、大変手間がかかるという問題もある。

さらに、半導体製造用バルブは、２００℃、或はそれ以上の高温領域で使用されることが多く、このように高温になると、手動用ダイヤフラムバルブのダイヤフラムや弁座も熱により膨張・変形するため、ばらつきがさらに複雑になり、Ｃｖ値がさらに大きな影響を受け、一次側のバルブとして弁開時の適切な流量を確保できなくなることもある。
これらの理由から、バルブの内部形状の個体差に影響を受けることなく全開時の流量を十分に確保し、全開時の流量を任意に調整できる機能を備えた手動用ダイヤフラムバルブの開発が強く望まれていた。

本発明は、従来の課題を解決するために開発したものであり、その目的とするところは、簡単な構造によりコンパクト性を維持しつつ弁体の開閉範囲を設定でき、バルブの内部形状の個体差に影響を受けることなく全開時の流量を十分に確保し、全開時の流量を任意に調整することも可能な手動用ダイヤフラムバルブを提供することにある。

上記目的を達成するため、請求項１に係る発明は、バルブ本体は、ボデー内部に装着されたダイヤフラムよりなる弁体と、ボデーに昇降動可能に螺着されて弁体をボデー内部に装着された弁座に接離させるスピンドルとを備え、バルブ本体の上方には、スピンドルを手動で回転操作するハンドルが取付けられてこのハンドルの底面とバルブ本体の上面側とが対向状態に装着され、ハンドル底面に設けられたピンが、バルブ本体上面側に形成された略円弧状の溝部に係合されてハンドルの開閉時の回転領域が設定されると共に、溝部の内方の一端に設けられた弁閉側端面と、溝部の外方の他端に直線状に形成された進退領域を有し、かつ、溝部と連通した連通孔と、この連通孔の内周面に設けた雌ねじと、連通孔の外端より挿入され先端に当接部を有する雄ねじである止めねじと、を備え、この止めねじを連通孔内の進退領域で直線状に進退自在に螺合して微調整させ、ピンが全閉位置で弁閉側端面に当接し、かつ、ピンが全開位置で当接部に当接可能に調整した状態で止めねじで固定することによりバルブ本体の個体差を解消するようにした手動用ダイヤフラムバルブである。

請求項２に係る発明は、連通孔に雌ねじを備えたインサートナットが装着された手動用ダイヤフラムバルブである。

請求項３に係る発明は、ハンドルの弁閉状態から弁開状態までの回転角度は、略９０°、又は０°よりも大きく３６０°よりも小さい任意の角度である手動用ダイヤフラムバルブである。

請求項１に係る発明によると、バルブ本体の上部付近に全開位置調整機構を設けることで、簡単な構造によりコンパクト性を維持しつつ弁体の全開位置を高精度に設定でき、組立後のバルブの内部形状に寸法差などの個体差が生じた場合にも、全開位置調整機構によりハンドルの弁開操作側の回転を調節して全開時の流量を調整し、バルブの内部形状の個体差に影響を受けることなく全開時の流量を十分に確保できる。さらに、全開位置調整機構により全開時の流量を任意に高精度に調整して、所望のＣｖ値の特性が得られるダイヤフラムバルブを提供することも可能となる。
この場合、外方よりドライバーなどで雄ねじである止めねじを回動させ、この雄ねじと雌ねじとの螺合により当接部をピンの移動方向に進退させることで連通孔内の進退領域での螺入位置の調整が容易となり、これら雄ねじと雌ねじとにより当接部を微調整することでハンドルの弁開操作側の回転を簡便に拡大又は縮小し、全開位置又は所望のハンドルの回転角度の範囲でハンドルを停止でき、簡単な構造で弁体の開閉動作を規制して個体差を解消可能なダイヤフラムバルブを提供できる。これにより、ハンドルの全開時には、当接部にピンが当接してその回転位置の上限を確実かつ高精度に設定して全開時に正確な流量を確保できる。
しかも、止めねじをバルブ本体の側面から簡単に挿入でき、この止めねじを雄ねじと雌ねじとの螺合により進退することで螺入位置の調整が容易となり、これら雄ねじと雌ねじとにより当接部の微調整を簡単におこなえるから、全体高さの増長も抑えてバルブ本体の外部にピンや雄ねじを含む全開位置調整機構を配置するための領域を確保する必要がなく、これらをバルブ本体の上部に配置してコンパクト性を維持してバルブ本体の大型化を防ぐことができる。

請求項２に係る発明によると、ハンドルを構成する材料の強度が弱い場合でも、インサートナットにより雌ねじの強度を向上させて、この雌ねじのつぶれ等を防止して確実に止めねじを所望の位置まで挿入でき、雄ねじと雌ねじのリード誤差や角度誤差を吸収して止めねじの位置ずれを防ぎ、この止めねじによるハンドルの全開位置の規制を維持できる。

請求項３に係る発明によると、ハンドルの弁閉状態から弁開状態までの回転角度を略９０°に調整することでクォーターターン型のバルブに適用でき、このようにハンドルの回転角度が少ない場合にも、全開時には正確な流量を確保する。また、ハンドルの弁閉状態から弁開状態までの回転角度を０°～３６０°の任意の角度に設けることができ、この場合、クォーターターン型のバルブよりも全開時の流量を小さく又は大きく設定した上で、この全開時の流量を高精度に調整して所望のＣｖ値に設定できる。

本発明の手動用ダイヤフラムバルブの第１実施形態を示す正面図である。 図１のＡ－Ａ断面図である。 図１のハンドルを取り外した模式平面図である。 バルブ本体の一部切欠き斜視図である。 図１の平面図である。（ａ）は、ハンドルの開状態を示す平面図である。（ｂ）は、ハンドルの閉状態を示す平面図である。 ハンドルを示す斜視図である。 （ａ）は、本発明の手動用ダイヤフラムバルブの第２実施形態を示す斜視図である。（ｂ）は、（ａ）の平面図である。 キャップを示す斜視図である。 図７における調整部材を示す斜視図である。

以下に、本発明における手動用ダイヤフラムバルブの実施形態を図面に基づいて説明する。図１、２においては、本発明のダイヤフラムバルブの第１実施形態を示し、図３は、図１のハンドルを取り外した模式平面図を示し、図４は、バルブ本体の一部切欠き斜視図をそれぞれ示している。

図において、本発明における手動用ダイヤフラムバルブは、バルブ本体１、ハンドル２を備え、このうち、バルブ本体１は、ボデー１０、キャップ１１、弁体１２、スピンドル１３、弁座１４、ボンネット１５、押圧部材１６、スピンドルキャップ１７、皿ばね１８を有している。バルブ本体１の上部付近には、全開位置調整機構２０が設けられ、バルブ本体１は、ハンドル２の開閉角度略９０°により開閉操作される。

ボデー１０は、上部ボデー１０ａ、下部ボデー１０ｂからなり、これらはねじ込みにより一体化される。ボデー１０の内部には、ダイヤフラムよりなる略円板状の弁体１２が装着され、この弁体１２の上部側には、スピンドル１３が昇降動可能に螺着される。ボデー１０内部の弁体１２の下方位置には弁座１４が装着され、スピンドル１３の昇降動により弁体１２が弁座１４に接離されることで、ボデー１０内部に形成された流路１０ｃが開閉可能に設けられる。ボデー１０の上部には、キャップ１１が固着されている。

図６に示したハンドル２は、セレーション構造によりスピンドル１３の上端側に着脱可能に一体に取り付けられ、これによりバルブ本体１の上方に配置される。ハンドル２の装着後には、このハンドル２の底面２ａと、バルブ本体１上部のキャップ１１の上面１１ａ側とが対向した状態となり、セレーション構造によって緩みや空転が阻止された状態でハンドル２の回転によりスピンドル１３が一体に回転可能に設けられる。

ハンドル２上部には摘み部２ｂが形成され、この摘み部２ｂを把持して回転操作することで、ハンドル２の回転と共にスピンドル１３が回動しながら昇降動して弁体１２を開閉操作可能となる。
ハンドル底面２ａには、所定の外径及び長さに形成されたピン１９が、下方に突出するように取り付けられる。

図３、図４において、キャップ１１は、ボデー１０の上部付近に装着されてバルブ本体１上部に設けられ、このキャップ１１には、全開位置調整機構２０が設けられる。全開位置調整機構２０は、キャップ１１における弁開操作側に設けられ、この全開位置調整機構２０により、上記ハンドル２の弁開操作側の回転が調整され、弁体１２の全開時の流量が調整される。

キャップ上面１１ａにおいて、ピン１９が対応する位置には、略円弧状の溝部３０が形成される。溝部３０は、ピン１９を案内可能な幅及び深さにより略９０°の角度の範囲に設けられ、この溝部３０の一端側が弁開操作側、他端側が弁閉操作側となり、全開側にピン１９が到達したときには、このピン１９が全開位置調整機構２０側に当接し、一方、全閉側にピン１９が到達したときには、ピン１９が弁閉側端面３０ａに当接する。

図５において、ハンドル２は、左回転（反時計回り）したときに弁開操作され、また、右回転（時計回り）したときに弁閉操作されるように設けられる。ハンドル２を左回転し、図５（ａ）の全開状態としたときには、ピン１９が略３時の方向に位置し、図３において全開位置構成機構２０によりハンドル２の全開位置が調整可能に設けられる。一方、図５（ａ）の全開状態からハンドル２を右回転し、図５（ｂ）の全閉状態としたときには、ピン１９が略６時の方向に位置し、図３において弁閉側端面３０ａへのピン１９の当接によりハンドル２のそれ以上の回転が阻止される。これらにより、ハンドル２の図５（ａ）の弁開状態から図５（ｂ）の弁閉状態までのハンドル２の回転角度θが、略９０°に設定される。

図３の溝部３０の全開側の終端位置からキャップ１１の側面１１ｂにかけては、直線状の連通孔３１が連通して形成され、この連通孔３１にはメネジ部３１ａが形成され、このメネジ部３１ａにインサートナット（埋め込み用ナット）３２が螺着により装着される。本実施形態では、このインサートナット３２としてスプリューが用いられ、さらにはロックタイプと呼ばれる緩み止め効果を高めたスプリューが使用される。このインサートナット（スプリュー）３２の内周には雌ねじ３３が設けられ、この雌ねじ３３が連通孔３１の一部に配置される。

上記した全開位置調整機構２０は、調整部材３５を備え、この調整部材３５により全開状態のピン１９の位置が調整可能となる。調整部材３５には、ピン１９の移動方向に進退可能な状態で、このピン１９が当接される当接部３６が形成されている。

本例における調整部材３５は、止めねじからなり、この止めねじ３５は、インサートナット３２の雌ねじ３３に螺合可能な雄ねじ３７を備え、これら雄ねじ３７と雌ねじ３３とにより、連通孔３１に対して進退自在になっている。これにより、止めねじ３５は、連通孔３１の任意の位置に挿入可能となる。

止めねじ３５の螺入側端面は、前述した当接部３６となり、この当接部３６にピン１９が当接される。これにより、雄ねじ３７と雌ねじ３３とにより止めねじ３５を連通孔３１に進退させて当接部３６の位置を調整し、この当接部３６にハンドル２が全開状態のときのピン１９を当接させてハンドル２の回転を規制する。このように、全開位置調整機構２０は、止めねじ３５の位置調整によってハンドル２の弁開操作側の回転を任意に調整し、このハンドル２及びスピンドル１３の回転角度θを設定して弁体１２の開度を規制し、全開時の流量の上限を設定可能になっている。

この場合、止めねじ３５の全開位置の調整範囲内に、弁体１２が全開となるときのスピンドル１３の角度（弁閉状態に対して略９０°）が含まれるように、雌ねじ３３の形成領域を予め設定しておくようにする。これにより、全開位置の調整時には、弁体１２が全開まで到達していない状態で、ピン１９が当接部３６に当接するように止めねじ３５の挿入位置を調節することにより、バルブ本体１の流量上限を調整できる。

さらに、望ましくは、雌ねじ３３の形成領域は、バルブ本体１の個体差を考慮して、スピンドル１３の理論上の全開角度である９０°を含んだ９０°以下から９０°以上の範囲に及ぶように設けるとよい。これによると、組立て後のバルブ本体１の全開時のスピンドル１３の回転角度θに大きな差異が生じた場合に、それに対応して全開位置調整機構２０により全開位置を９０°よりも大きく又は小さく設定することが可能になる。

雌ねじ３３と雄ねじ３７との間には接着剤３８を塗布してもよく、この場合、接着剤３８によって止めねじ３５がインサートナット３２に位置決め状態で固定される。

ボデー１０内のボンネット１５は、外周に段差部を有する略環状に形成され、上部ボデー１０ａと下部ボデー１０ｂとの間に挟着されて固定される。ボンネット１５の中央には貫通穴１５ａが形成され、この貫通穴１５ａには略円柱状の押圧部材１６が昇降動可能に装着され、この押圧部材１６の底面側には、ボンネット１５と下部ボデー１０ｂとの間に外周側が挟まれた状態で、弁体（ダイヤフラム）１２が取り付けられる。
さらに、押圧部材１６とスピンドル１３との間には、複数の皿ばね１８に装着された状態で、スピンドル１３の下部側を覆うようにスピンドルキャップ１７が装着される。

これらの内部構造により、ハンドル２を弁閉方向に回転させたときには、スピンドル１３がボデー１０に対して回転しつつ降下し、このスピンドル１３の降下により皿ばね１８、スピンドルキャップ１７を通して押圧部材１６が押し下げられ、この押圧部材１６により弁体１２の中央付近が押圧されて弁座１４に圧着し、流路１０ｃが封止される。

一方、ハンドル２を弁開方向に回転させたときには、スピンドル１３がボデー１０に対して回転しつつ上昇し、このスピンドル１３の上昇により弁体１２への押圧力が解除され、縮んでいた皿ばね１８が元の形状に戻った後に、スピンドルキャップ１７が上昇し、これと共に押圧部材１６が上昇しつつ弁体１２が開状態の形状に復帰し、流路１０ｃが開状態となる。

なお、上記実施形態では、バルブ本体１に設けたキャップ１１の上面に溝部３０が形成されているが、キャップ１１を設けることなくボデー１０の上面に直接溝部３０を設ける構成としてもよい。

また、ハンドル底面２ａにピン１９が取り付けられ、キャップ上面１１ａ側に略円弧状の溝部３０が形成されているが、ハンドル底面２ａに溝部が形成され、キャップ上面１１ａ側（バルブ本体１の上面側）にピン１９が取り付けられていてもよい（図示せず）。これらのように、ハンドル底面２ａ又はボデー上面側の何れか一方にピン１９が設けられ、このピン１９が他方側に形成された略円弧状の溝部３０に係合されてハンドル２の開閉時の回転領域の一部が設定されていればよい。

連通孔３１にインサートナット３２を装着することなく、連通孔３１に形成したメネジ部３１ａを、雄ねじ３７が螺着する雌ねじとしてもよい。さらに、これらの何れの場合にも、雄ねじと雌ねじとの間への接着剤の塗布を省略してもよく、この場合には、調整後の止めねじ３５を再度回動させて当接部３６の位置を調整変更できる。一方、接着剤３８以外の固着手段により、雄ねじと雌ねじとを固着するようにしてもよい。

ハンドル２の弁閉状態から弁開状態までの開閉角度は９０°以外であってもよく、この場合、溝部３０を形成する角度を、０°よりも大きく３６０°よりも小さい任意の角度に設定することで対応可能となる。

次いで、本発明の手動用ダイヤフラムバルブの上記実施形態における動作及び作用を説明する。
上記バルブ本体１は、このバルブ本体１を構成する各部品に個体差がある場合でも、その組立て後に、全開位置調整機構２０によって弁体１２の全開時の流量を高精度に調整できる。この場合、全開位置調整機構２０の止めねじからなる調整部材３５を、雄ねじ３７と雌ねじ３３との螺合を通して連通孔３１に対して進退させ、この止めねじ３５の螺入側端面である当接部３６の位置を移動させることで、この当接部３６に当接するピン１９の当接位置を調節し、ピン１９が取付けられたハンドル２の弁開操作側の回転を調整することにより、全開時の流量を任意に設定可能となる。

具体的には、バルブ本体１の組立て後に、このバルブ本体１内に流体を流した状態で止めねじ３５の挿入位置を調整し、所望の流量に合致したときに止めねじ３５の進退による調整を停止し、その位置をバルブ本体１の全開位置として設定する。

例えば、ハンドル２の全開状態で流体温度２００℃のＣｖ値が０．６２となるように設定する場合、Ｃｖ値０．６２となる位置に止めねじ３５を進退させて当接部３６を調節する。これによって、ハンドル２の全開時には、ピン１９が当接部３６に当接してその回転が規制され、全開時におけるＣｖ値が確実に０．６２に設定されたバルブ本体１を提供できる。バルブ本体１の組立て後に、個体差により全開時のハンドル２及びスピンドル１３の回転角度θが異なる場合であっても、全開時の流量を全開位置調整機構２０で調整し、一定のＣｖ値を発揮する。

これによって、バルブ本体１の二次側に図示しない複数のバルブを並列状態で接続した場合には、これら二次側バルブを個別に流量調整することなく、バルブ本体１の全開時に二次側バルブに所望の流量の流体を供給でき、二次側バルブ以降のプロセスの安定化も図れる。さらには、全開位置調整機構２０によりバルブ本体１の全開時のＣｖ値を正確に設定することで、異なる温度や流体圧の流体を流す場合にも対応している。

全開時に所望のＣｖ値を得るために、その全開位置を９０°から減少させることもでき、例えば、全開時のＣｖ値を０．５に設定する場合には、全開位置調整機構によりハンドルの全開時の角度を約７５°に調整すればよい。

本実施形態のバルブ本体１のように、ハンドル２の開閉時の回転角度θを略９０°の範囲に設定した場合には、バルブ本体１をクォーターターン型とし、このようにハンドル２の少ない回転角度により弁体１２を開閉制御する場合にも、Ｃｖ値を高精度に設定できる。クォーターターン型のバルブ本体１の場合、ハンドル２の摘み部２ｂの向きを外方から視認することで、開閉状態の確認も容易となる。

ハンドル２の弁開状態から弁閉状態までの回転角度θを０°から３６０°までの任意の角度に設けたときには、クォーターターン型に対して全開時の流量を小さく又は大きく設定でき、この場合にも全開時の流量を高精度に設定できる。

ピン１９や止めねじ３５を、ハンドル底面２ａとキャップ上面１１ａとが対向するハンドル２の回動領域内に設けているので、バルブ本体１の外部に全開位置調整機構２０を配置するための領域を確保する必要がなく、バルブ本体１の大型化を防いでコンパクト性にも優れている。

連通孔３１に、ロックタイプのスプリューからなるインサートナット３２を挿入し、このスプリュー３２の内周を雄ねじ３７が螺合する雌ねじ３３としているので、この雌ねじ３３に止めねじ３５を螺入して位置調整した後に緩みにくくなり、仮に、外部から激しい振動や衝撃が加わったとしても止めねじ３５の緩みを確実に防止する。これにより、調整後の止めねじ３５の位置を強固に保持できる。さらに、雄ねじ３７と雌ねじ３３との間に接着剤３８を塗布することで固着力が一層高まり、止めねじ３５の位置ずれをより確実に防止する。一方、スプリュー３２を用いたことで、接着剤３８の塗布を省略することもでき、この場合にも十分な保持力を発揮して、調整後の止めねじ３５の位置ずれを防止できる。

図７（ａ）、図７（ｂ）においては、本発明の手動用ダイヤフラムバルブの第２実施形態を示している。なお、この実施形態において、前記実施形態と同一部分は同一符号によって表し、その説明を省略する。

この実施形態におけるバルブ本体４０は、全開位置調整機構４１を備え、この全開位置調整機構４１では、図９に示す調整部材４２を備えている。調整部材４２は、円筒部４３と、この円筒部４３の外周側に形成された突出片４４とを備え、バルブ本体４０のキャップ４５上面側に装着可能に設けられる。

図８に示すように、キャップ４５側においては、前記実施形態と略同様に円弧状に形成された溝部４６から、弁開操作側の円周方向に延長するように、溝部４６よりもやや広がる溝状の収容部４７が形成される。溝部４６よりも内径側には、収容部４７とその一部が連通する円周溝４８が形成され、この円周溝４８は、調整部材４２の円筒部４３が遊嵌状態で収容可能な大きさ及び深さに設けられる。キャップ４５外周側には、円周溝４８に連通するように略９０°の角度で２箇所にねじ孔４９が形成され、このねじ孔４９には、止めねじ部材５０が進退自在に螺着されて挿入される。

調整部材４２は、円筒部４３がその回転軸を中心に回転可能な状態で円周溝４８に装入され、突出片４４が収容部４７内を進退可能な状態で装着された状態で、キャップ４５上面側に収容される。突出片４４は、ハンドルのピン１９に対向した状態となり、このピン１９との対向側が当接部５１となる。
調整部材４２は、２つの止めねじ部材５０により締付け可能に設けられ、この２箇所からの固着により円筒部４３がキャップ４５内に位置ずれが防がれた状態で固定され、突出片４４が収容部４７内に固定される。

上記の構成により、バルブ本体４０の組立後には、円筒部４３を円周溝４８内で回転させて突出片４４（当接部５１）を収容部４７内の所望の位置に調節し、止めねじ部材５０で円筒部４３を固定することで、当接部５１をバルブ全開位置に調整可能となる。ハンドルの全開時には、ピン１９が当接部５１に当接し、ハンドルの回転が規制されることで全開時のＣｖ値を正確に設定可能となる。

このバルブ本体４０の場合、例えば、ハンドルの全開状態で流体温度２００℃のＣｖ値が約０．２５程度であるとき、全開位置調整機構４１によりハンドルの開閉可能角度が９０°であったものを約７０°程度に調整することにより、Ｃｖ値を０．２０程度に調整できる。

以上、本発明の実施の形態について詳述したが、本発明は、前記実施の形態記載に限定されるものではなく、本発明の特許請求の範囲に記載されている発明の精神を逸脱しない範囲で、種々の変更ができるものである。

１ バルブ本体
２ ハンドル
２ａ 底面
１０ ボデー
１１ キャップ
１１ａ 上面
１２ ダイヤフラム（弁体）
１３ スピンドル
１４ 弁座
１９ ピン
２０ 全開位置調整機構
３０、４６ 溝部
３１ 連通孔
３２ インサートナット
３３ 雌ねじ
３５ 止めねじ（調整部材）
３６ 螺入側端面（当接部）
３７ 雄ねじ
３８ 接着剤
４２ 調整部材
４３ 円筒部
４４ 突出片
４８ 円周溝
５１ 当接部
θ ハンドルの回転角度

Claims (3)

1. バルブ本体は、ボデー内部に装着されたダイヤフラムよりなる弁体と、前記ボデーに昇降動可能に螺着されて前記弁体を前記ボデー内部に装着された弁座に接離させるスピンドルとを備え、前記バルブ本体の上方には、前記スピンドルを手動で回転操作するハンドルが取付けられてこのハンドルの底面と前記バルブ本体の上面側とが対向状態に装着され、前記ハンドル底面に設けられたピンが、前記バルブ本体上面側に形成された略円弧状の溝部に係合されて前記ハンドルの開閉時の回転領域が設定されると共に、前記溝部の内方の一端に設けられた弁閉側端面と、前記溝部の外方の他端に直線状に形成された進退領域を有し、かつ、前記溝部と連通した連通孔と、この連通孔の内周面に設けた雌ねじと、前記連通孔の外端より挿入され先端に当接部を有する雄ねじである止めねじと、を備え、この止めねじを前記連通孔内の進退領域で直線状に進退自在に螺合して微調整させ、前記ピンが全閉位置で前記弁閉側端面に当接し、かつ、前記ピンが全開位置で前記当接部に当接可能に調整した状態で前記止めねじで固定することにより前記バルブ本体の個体差を解消するようにしたことを特徴とする手動用ダイヤフラムバルブ。
2. 前記連通孔に前記雌ねじを備えたインサートナットが装着された請求項１に記載の手動用ダイヤフラムバルブ。
3. 前記ハンドルの弁閉状態から弁開状態までの回転角度は、略９０°、又は０°よりも大きく３６０°よりも小さい任意の角度である請求項１又は請求項２に記載の手動用ダイヤフラムバルブ。

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